黒化処理装置
【課題】黒化処理装置の第一水洗部の第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散、及び液切り後に残留している黒化液に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生を防止する黒化処理装置を提供すること。
【解決手段】メッシュ部が形成された面側を水洗する第一水洗ノズルを、シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置に設けたこと。第一水洗ノズルはシールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下、その吐出口を接点に向ける。
【解決手段】メッシュ部が形成された面側を水洗する第一水洗ノズルを、シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置に設けたこと。第一水洗ノズルはシールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下、その吐出口を接点に向ける。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅箔エッチング部品の黒化処理装置に関するものであり、特に、メッシュ状銅箔の黒化処理においてメッシュ状銅箔に黒化のシミ、ムラを発生させることのない黒化処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体放電による発光を利用したＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）は、気体放電に伴う電磁波を遮蔽するために、パネルの前面（観察者側）に電磁波シールドを施している。
ＰＤＰに施す電磁波シールドとしては、例えば、片面銅張プラスチックシートの銅箔をメッシュ状に形成した電磁波シールドメッシュが実用されている。この電磁波シールドメッシュは、ディスプレイの輝度の損失が比較的少なく、優れたシールド特性を有するものが得られている。
【０００３】
図１は、電磁波シールドメッシュの一例の構成を示す断面図である。図１に示すように、電磁波シールドメッシュ（６）は、プラスチックシート（１）として、例えば、ＰＥＴ（ポリテレフタル酸エチレン）シートの片面上に接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされており、また、他面上に粘着剤（４）を介して保護フィルム（５）が貼り合わされている。
電磁波を吸収する材料として導電性の高い銅箔が用いられている。銅箔（３）はエッチングによりメッシュ状に形成されている。
【０００４】
この電磁波シールドメッシュ（６）を使用する際には、プラスチックシート（１）から粘着剤（４）及び保護フィルム（５）を剥離、除去し、接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされているプラスチックシート（１）をパネルの前面（観察者側）に取り付ける。
この取り付けの際には、反射防止フィルム、保護ガラス、Ｎｅ発光吸収フィルタなども同時に取り付けられるのが一般的である。
【０００５】
以降、本願においては、接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされているプラスチックシート（１）をもってシールドメッシュ（１０）と称する（シールドメッシュ（１０）＝（１）＋（２）＋（３））。
【０００６】
尚、プラスチックシート（ＰＥＴシート）（１）の厚みは１００〜１２５μｍ、接着剤（２）の厚みは１５μｍ、銅箔（３）の厚みは１０μｍ、粘着剤（４）の厚みは５μｍ、保護フィルム（５）の厚みは２５μｍ程度である。
【０００７】
図２は、図１に示すシールドメッシュ（１０）の上方からの平面図であり、一部分を拡大して示したものである。また、図３は、図２におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。
図２、及び図３に示すように、エッチングによってメッシュ状に形成された銅箔（３）は、メッシュ部（３Ａ）と開口部（３Ｂ）で構成され、開口部（３Ｂ）では接着剤（２）が露出している。また、メッシュ部（３Ａ）には反射防止のために、その表面には黒化処理が施されている。
【０００８】
この開口部（３Ｂ）を伴ったメッシュ部（３Ａ）によって電磁波はシールドされる。尚、メッシュ部（３Ａ）の幅（Ｗ１）は１０μｍ程度、開口部（３Ｂ）の幅（Ｗ２）は２００μｍ程度のものである。
【０００９】
このシールドメッシュ（１０）を製造する際には、長尺帯状のシールドメッシュ原反を用い、シールドメッシュ原反の銅箔に、例えば、カゼインを用いてのレジストパターンの形成、塩化第二鉄を用いての銅箔のエッチング、水酸化ナトリウムを用いてのレジストパターンの剥離、酸化剤を用いての黒化等の処理を施してメッシュ部（３Ａ）と開口部（３Ｂ）で構成される、メッシュ状に形成された銅箔（３）を得る。長尺帯状のシールドメッシュ原反は、最終的に所定の大きさの枚葉状のシールドメッシュ（１０）に切断する。
【００１０】
長尺帯状のシールドメッシュ原反の幅は、パネルの画面サイズに相応し、例えば、画面４２インチ用には６５０ｍｍ、５０インチ用には７２０ｍｍ程度である。尚、上記レジストパターンの形成から始まる各工程内では、シールドメッシュ原反は長尺帯状で装置内を搬送されながら処理が施される。また、各工程間の運搬は巻き取られたロール状で運搬される。
【００１１】
図４は、レジストパターンの剥離後に行われる黒化工程において用いられる黒化処理装置の一例を示す断面図である。図４に示すように、黒化処理装置（２０）は、シールドメッシュ原反の巻出し部（Ｍ１）、黒化前水洗部（２１）、黒化液を有する黒化槽（２２）、第一水洗部（２３）、第二水洗部（２４）、第三水洗部（２５）、エアー乾燥部（２６）、加熱乾燥部（２７）、巻取り部（Ｍ２）、及び搬送ロール（Ｒ０〜Ｒ１３）で構成され、各部には各々水洗ノズル（３１〜３４）、エアーナイフ（３５）、加熱ヒーター（３６）が設けられている。
【００１２】
搬送ロールの中で、特に、黒化槽（２２）における第一搬送ロール（Ｒ１）、第二搬送ロール（Ｒ２）、第三搬送ロール（Ｒ３）は、ＳＵＳ製のロール芯にＥＰＤＭ（エチレンとプロピレン及び架橋用ジエンモノマーとの三元共重合体）、又は超高分子ポリエチレン製のロール芯にＥＰＤＭが被覆された搬送ロールを用いている。
【００１３】
レジストパターンが剥離された状態のシールドメッシュ原反（３０）は、図４中、左方から右方へと帯状で搬送されながら、黒化液にて黒化処理が施される。
黒化槽（２２）に供給される黒化液の組成は、例えば、酸化剤３０重量％、苛性ソーダ６重量％程度の水溶液であり、温度は５０℃程度である。各水洗部で用いる水洗水は、例えば、第一水洗部（２３）〜第二水洗部（２４）では上水が用いられ、第三水洗部（２５）では純水が用いられる。
水洗水の吐出圧力は、０．1 ＭＰａ程度であり、温度は２０℃程度である。
【００１４】
しかし、このような黒化処理装置を用いて黒化処理を行うと、メッシュ部（３Ａ）への黒化は均一にならず、メッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラが発生することがある。
図５は、図４に示す第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）の近傍を拡大した説明図である。また、図６は、第一水洗部（２３）の説明図である。
黒化槽（２２）において黒化されたシールドメッシュ原反（３０）は、図５に示すように、周辺雰囲気中の異物降下による異物付着を防止するため及び液切りのため、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側を下方にして搬送され第一搬送ロール（Ｒ４）を経て第一水洗部（２３）にて水洗される。
【００１５】
第一水洗部（２３）において、シールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成された面側は、図６に示すように、第一水洗部の第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間で、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側に向かって噴出する第一水洗ノズル（３２Ａ）からの水洗水によって水洗される。
同様に、第二搬送ロール（Ｒ５）と第三搬送ロール（Ｒ６）の間では、メッシュ部（３Ａ
）が形成された面側に向かって噴出する第二水洗ノズル（３２Ｂ）からの水洗水によって水洗される。
また、シールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成されていない面側は、第一搬送ロール（Ｒ４）と第三搬送ロール（Ｒ６）の間に設けられた第三水洗ノズル（３２Ｃ）からの水洗水によって水洗される。
【００１６】
この際、第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間では、図７に示すように、第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）がメッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて水滴（４０’）となって飛散する。
第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）によって直接に水洗される前に、メッシュ部（３Ａ）が形成された面に飛散した水滴（４０’）が付着すると、その部分では水洗が進行してしまい、これがメッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらす。
【００１７】
また、図６に示すように、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側に向かって水洗水（４０）を噴出する第一水洗ノズル（３２Ａ）は、第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間で第一搬送ロール（Ｒ４）から一定の距離（Ｌ１）を保って設けられている。
図４に示す黒化槽（２２）から搬出されたシールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成され面側に付着している黒化液は、黒化槽（２２）の第三搬送ロール（Ｒ３）、及び第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）によって液切りされているが、僅かながらメッシュ部（３Ａ）が形成され面側に残留している。
【００１８】
残留している黒化液は、第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）によって水洗されるまでは、メッシュ部（３Ａ）の黒化を進行させている。
この残留している黒化液による黒化は不均一なものであり、これがメッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらすこととなる。
【特許文献１】特開平６−２４０５００号公報
【特許文献２】特開平６−２６００８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、長尺帯状のシールドメッシュ原反の銅箔に、レジストパターンの形成、銅箔のエッチング、レジストパターンの剥離を行ってメッシュ部を形成し、引き続き、形成したメッシュ部に黒化処理を行う黒化処理装置において、第一水洗部の第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生、及び第一水洗部の第一搬送ロールによる液切り後に残留している黒化液に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生を防止することのできる黒化処理装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、プラスチックシート上に接着剤を介して銅箔が貼り合わされ、該銅箔はフォトエッチングによってメッシュ部と開口部とに形成された長尺帯状のシールドメッシュ原反の前記メッシュ部に黒化処理を行う黒化槽と、黒化槽より搬出されたシールドメッシュ原反に水洗洗浄を行う水洗部とを有する黒化処理装置において、シールドメッシュ原反を黒化槽より搬出する搬送ロールと、前記搬送ロールの外周に接触して搬送されるたシールドメッシュ原反が前記搬送ロールの外周から離れる直後の位置であってメッシュ側に設けた水洗ノズルとを備え、前記水洗ノズルより噴出した水洗水にて、前記搬送ロールの外周
から離れる直後のメッシュ部に水洗を行うことを特徴とする黒化処理装置である。
【００２１】
また、本発明は、上記発明による黒化処理装置において、前記水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、ノズルの吐出口を該接点に向けて設けたことを特徴とする黒化処理装置である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、黒化槽の次に位置する第一水洗部の、メッシュ部が形成された面側を水洗する第一水洗ノズルを、第一水洗部の第一搬送ロールの外周に接触して搬送されていたシールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置に設けた黒化処理装置であるので、第一水洗部の第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生、及び第一水洗部の第一搬送ロールによる液切り後に残留している黒化液に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生を防止することのできる黒化処理装置となる。
【００２３】
また、本発明は、上記黒化処理装置において、第一水洗ノズル及び第二水洗ノズルをシールドメッシュ原反から８０ｍｍ以上離れた位置に設けたので、飛散した水滴が水洗ノズルの外側に付着することを回避でき、正常な状態で水洗水は噴出される。
また、本発明は、上記黒化処理装置において、第一水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、その吐出口を該接点に向けて設けたので、水洗はより効果的なものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図８は、本発明による黒化処理装置の第一水洗部（２３）の一例を示す断面図である。図８に示すように、本発明おける第一水洗部（２３）においては、第一水洗ノズル（５２Ａ）は、第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）の外周に接触して搬送されていたシールドメッシュ原反（３０）が第一搬送ロール（Ｒ４）の外周から離れる直後の位置（Ｌ２）に設けられている。
【００２５】
従って、本発明においては、第一水洗ノズル（５２Ａ）から噴出した水洗水（４０）がメッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて水滴（４０’）となって飛散し、メッシュ部（３Ａ）が形成された面に付着しても、付着後即、第一水洗ノズル（５２Ａ）から噴出した水洗水（４０）による直接の水洗となるので、その付着した部分の水洗は殆ど進行しない。
これにより、メッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらすことは回避される。
【００２６】
なお、本発明おける第一水洗ノズル（５２Ａ）、及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）の水洗水の吐出圧力は、０．1 ＭＰａ程度であり、温度は２０℃程度である。
また、図８に示すように、第二水洗ノズル（３２Ｂ）の第二搬送ロール（Ｒ５）、或いは第三搬送ロール（Ｒ６）からの距離は、特に規制するものではない。
【００２７】
また、本発明は、第一水洗ノズル（５２Ａ）を第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール間（Ｒ５）のシールドメッシュ原反（３０）から８０ｍｍ以上離れた位置（Ｌ３）に設け、第二水洗ノズル（３２Ｂ）を第二搬送ロール（Ｒ５）と第三搬送ロール（Ｒ６）間のシールドメッシュ原反（３０）から８０ｍｍ以上離れた位置（Ｌ３）に設けたことを特徴としている。
【００２８】
第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）をこの位置に設けることによ
って、メッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて飛散した水滴（４０’）が、第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）の外側に付着することを回避できる。これにより、第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）からの水洗水は正常な状態で噴出されるものとなる。
【００２９】
また、本発明は、第一水洗ノズル（６２Ａ）が、シールドメッシュ原反（３０）が第一搬送ロール（Ｒ４）の外周から離れる接点（６０）を通る垂線下にあって、その吐出口（５０）を接点（６０）に向けて設けたことを特徴としている。
図９に示すように、本発明における第一水洗ノズル（６２Ａ）が、第一搬送ロール（Ｒ４）の直近で、その吐出口（５０）を上記接点（６０）に向けて水洗水を噴出することによって、残留した黒化液を水洗する即時性は高まり、第一水洗ノズル（６２Ａ）による水洗はより効果的なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】電磁波シールドメッシュの一例の構成を示す断面図である。
【図２】図１に示すシールドメッシュの上方からの平面図であり、一部分を拡大して示したものである
【図３】図２におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。
【図４】黒化処理装置の一例を示す断面図である。
【図５】図４に示す第一水洗部の第一搬送ロールの近傍を拡大した説明図である。
【図６】第一水洗部の説明図である。
【図７】第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散の説明図である。
【図８】本発明における第一水洗部の一例を示す断面図である。
【図９】図８に示す第一水洗部の第一搬送ロールの近傍を拡大した説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１・・・プラスチックシート
２・・・接着剤
３・・・銅箔
３Ａ・・・メッシュ部
３Ｂ・・・開口部
４・・・粘着剤
５・・・保護フィルム
６・・・電磁波シールドメッシュ
１０・・・シールドメッシュ
２０・・・黒化処理装置
２１・・・黒化前水洗部
２２・・・黒化槽
２３・・・第一水洗部
２４・・・第二水洗部
２５・・・第三水洗部
２６・・・エアー乾燥部
２７・・・加熱乾燥部
２８・・・黒化液
３０・・・シールドメッシュ原反
３１〜３４・・・水洗ノズル
３２・・・第一水洗部の水洗ノズル
３２Ａ・・・第一水洗部の第一水洗ノズル
３２Ｂ・・・第一水洗部の第二水洗ノズル
３２Ｃ・・・第一水洗部の第三水洗ノズル
３５・・・エアーナイフ
３６・・・加熱ヒーター
４０・・・水洗水
４０’・・・水滴
５０・・・本発明における第一水洗ノズルの吐出口
６０・・・シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点
５２Ａ、６２Ａ・・・本発明における第一水洗部の第一水洗ノズル
Ｌ１・・・第一搬送ロールから第一水洗ノズルまでの距離
Ｌ２・・・シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置。
Ｌ３・・・第一水洗ノズル及び第二水洗ノズルのシールドメッシュ原反からの距離
Ｍ１・・・巻出し部
Ｍ２・・・巻取り部
Ｒ０〜Ｒ１３・・・搬送ロール
Ｒ４・・・第一水洗部の第一搬送ロール
Ｒ５・・・第一水洗部の第二搬送ロール
Ｒ６・・・第一水洗部の第三搬送ロール
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅箔エッチング部品の黒化処理装置に関するものであり、特に、メッシュ状銅箔の黒化処理においてメッシュ状銅箔に黒化のシミ、ムラを発生させることのない黒化処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体放電による発光を利用したＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）は、気体放電に伴う電磁波を遮蔽するために、パネルの前面（観察者側）に電磁波シールドを施している。
ＰＤＰに施す電磁波シールドとしては、例えば、片面銅張プラスチックシートの銅箔をメッシュ状に形成した電磁波シールドメッシュが実用されている。この電磁波シールドメッシュは、ディスプレイの輝度の損失が比較的少なく、優れたシールド特性を有するものが得られている。
【０００３】
図１は、電磁波シールドメッシュの一例の構成を示す断面図である。図１に示すように、電磁波シールドメッシュ（６）は、プラスチックシート（１）として、例えば、ＰＥＴ（ポリテレフタル酸エチレン）シートの片面上に接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされており、また、他面上に粘着剤（４）を介して保護フィルム（５）が貼り合わされている。
電磁波を吸収する材料として導電性の高い銅箔が用いられている。銅箔（３）はエッチングによりメッシュ状に形成されている。
【０００４】
この電磁波シールドメッシュ（６）を使用する際には、プラスチックシート（１）から粘着剤（４）及び保護フィルム（５）を剥離、除去し、接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされているプラスチックシート（１）をパネルの前面（観察者側）に取り付ける。
この取り付けの際には、反射防止フィルム、保護ガラス、Ｎｅ発光吸収フィルタなども同時に取り付けられるのが一般的である。
【０００５】
以降、本願においては、接着剤（２）を介して銅箔（３）が貼り合わされているプラスチックシート（１）をもってシールドメッシュ（１０）と称する（シールドメッシュ（１０）＝（１）＋（２）＋（３））。
【０００６】
尚、プラスチックシート（ＰＥＴシート）（１）の厚みは１００〜１２５μｍ、接着剤（２）の厚みは１５μｍ、銅箔（３）の厚みは１０μｍ、粘着剤（４）の厚みは５μｍ、保護フィルム（５）の厚みは２５μｍ程度である。
【０００７】
図２は、図１に示すシールドメッシュ（１０）の上方からの平面図であり、一部分を拡大して示したものである。また、図３は、図２におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。
図２、及び図３に示すように、エッチングによってメッシュ状に形成された銅箔（３）は、メッシュ部（３Ａ）と開口部（３Ｂ）で構成され、開口部（３Ｂ）では接着剤（２）が露出している。また、メッシュ部（３Ａ）には反射防止のために、その表面には黒化処理が施されている。
【０００８】
この開口部（３Ｂ）を伴ったメッシュ部（３Ａ）によって電磁波はシールドされる。尚、メッシュ部（３Ａ）の幅（Ｗ１）は１０μｍ程度、開口部（３Ｂ）の幅（Ｗ２）は２００μｍ程度のものである。
【０００９】
このシールドメッシュ（１０）を製造する際には、長尺帯状のシールドメッシュ原反を用い、シールドメッシュ原反の銅箔に、例えば、カゼインを用いてのレジストパターンの形成、塩化第二鉄を用いての銅箔のエッチング、水酸化ナトリウムを用いてのレジストパターンの剥離、酸化剤を用いての黒化等の処理を施してメッシュ部（３Ａ）と開口部（３Ｂ）で構成される、メッシュ状に形成された銅箔（３）を得る。長尺帯状のシールドメッシュ原反は、最終的に所定の大きさの枚葉状のシールドメッシュ（１０）に切断する。
【００１０】
長尺帯状のシールドメッシュ原反の幅は、パネルの画面サイズに相応し、例えば、画面４２インチ用には６５０ｍｍ、５０インチ用には７２０ｍｍ程度である。尚、上記レジストパターンの形成から始まる各工程内では、シールドメッシュ原反は長尺帯状で装置内を搬送されながら処理が施される。また、各工程間の運搬は巻き取られたロール状で運搬される。
【００１１】
図４は、レジストパターンの剥離後に行われる黒化工程において用いられる黒化処理装置の一例を示す断面図である。図４に示すように、黒化処理装置（２０）は、シールドメッシュ原反の巻出し部（Ｍ１）、黒化前水洗部（２１）、黒化液を有する黒化槽（２２）、第一水洗部（２３）、第二水洗部（２４）、第三水洗部（２５）、エアー乾燥部（２６）、加熱乾燥部（２７）、巻取り部（Ｍ２）、及び搬送ロール（Ｒ０〜Ｒ１３）で構成され、各部には各々水洗ノズル（３１〜３４）、エアーナイフ（３５）、加熱ヒーター（３６）が設けられている。
【００１２】
搬送ロールの中で、特に、黒化槽（２２）における第一搬送ロール（Ｒ１）、第二搬送ロール（Ｒ２）、第三搬送ロール（Ｒ３）は、ＳＵＳ製のロール芯にＥＰＤＭ（エチレンとプロピレン及び架橋用ジエンモノマーとの三元共重合体）、又は超高分子ポリエチレン製のロール芯にＥＰＤＭが被覆された搬送ロールを用いている。
【００１３】
レジストパターンが剥離された状態のシールドメッシュ原反（３０）は、図４中、左方から右方へと帯状で搬送されながら、黒化液にて黒化処理が施される。
黒化槽（２２）に供給される黒化液の組成は、例えば、酸化剤３０重量％、苛性ソーダ６重量％程度の水溶液であり、温度は５０℃程度である。各水洗部で用いる水洗水は、例えば、第一水洗部（２３）〜第二水洗部（２４）では上水が用いられ、第三水洗部（２５）では純水が用いられる。
水洗水の吐出圧力は、０．1 ＭＰａ程度であり、温度は２０℃程度である。
【００１４】
しかし、このような黒化処理装置を用いて黒化処理を行うと、メッシュ部（３Ａ）への黒化は均一にならず、メッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラが発生することがある。
図５は、図４に示す第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）の近傍を拡大した説明図である。また、図６は、第一水洗部（２３）の説明図である。
黒化槽（２２）において黒化されたシールドメッシュ原反（３０）は、図５に示すように、周辺雰囲気中の異物降下による異物付着を防止するため及び液切りのため、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側を下方にして搬送され第一搬送ロール（Ｒ４）を経て第一水洗部（２３）にて水洗される。
【００１５】
第一水洗部（２３）において、シールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成された面側は、図６に示すように、第一水洗部の第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間で、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側に向かって噴出する第一水洗ノズル（３２Ａ）からの水洗水によって水洗される。
同様に、第二搬送ロール（Ｒ５）と第三搬送ロール（Ｒ６）の間では、メッシュ部（３Ａ
）が形成された面側に向かって噴出する第二水洗ノズル（３２Ｂ）からの水洗水によって水洗される。
また、シールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成されていない面側は、第一搬送ロール（Ｒ４）と第三搬送ロール（Ｒ６）の間に設けられた第三水洗ノズル（３２Ｃ）からの水洗水によって水洗される。
【００１６】
この際、第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間では、図７に示すように、第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）がメッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて水滴（４０’）となって飛散する。
第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）によって直接に水洗される前に、メッシュ部（３Ａ）が形成された面に飛散した水滴（４０’）が付着すると、その部分では水洗が進行してしまい、これがメッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらす。
【００１７】
また、図６に示すように、メッシュ部（３Ａ）が形成された面側に向かって水洗水（４０）を噴出する第一水洗ノズル（３２Ａ）は、第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール（Ｒ５）の間で第一搬送ロール（Ｒ４）から一定の距離（Ｌ１）を保って設けられている。
図４に示す黒化槽（２２）から搬出されたシールドメッシュ原反（３０）のメッシュ部（３Ａ）が形成され面側に付着している黒化液は、黒化槽（２２）の第三搬送ロール（Ｒ３）、及び第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）によって液切りされているが、僅かながらメッシュ部（３Ａ）が形成され面側に残留している。
【００１８】
残留している黒化液は、第一水洗ノズル（３２Ａ）から噴出した水洗水（４０）によって水洗されるまでは、メッシュ部（３Ａ）の黒化を進行させている。
この残留している黒化液による黒化は不均一なものであり、これがメッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらすこととなる。
【特許文献１】特開平６−２４０５００号公報
【特許文献２】特開平６−２６００８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、長尺帯状のシールドメッシュ原反の銅箔に、レジストパターンの形成、銅箔のエッチング、レジストパターンの剥離を行ってメッシュ部を形成し、引き続き、形成したメッシュ部に黒化処理を行う黒化処理装置において、第一水洗部の第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生、及び第一水洗部の第一搬送ロールによる液切り後に残留している黒化液に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生を防止することのできる黒化処理装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、プラスチックシート上に接着剤を介して銅箔が貼り合わされ、該銅箔はフォトエッチングによってメッシュ部と開口部とに形成された長尺帯状のシールドメッシュ原反の前記メッシュ部に黒化処理を行う黒化槽と、黒化槽より搬出されたシールドメッシュ原反に水洗洗浄を行う水洗部とを有する黒化処理装置において、シールドメッシュ原反を黒化槽より搬出する搬送ロールと、前記搬送ロールの外周に接触して搬送されるたシールドメッシュ原反が前記搬送ロールの外周から離れる直後の位置であってメッシュ側に設けた水洗ノズルとを備え、前記水洗ノズルより噴出した水洗水にて、前記搬送ロールの外周
から離れる直後のメッシュ部に水洗を行うことを特徴とする黒化処理装置である。
【００２１】
また、本発明は、上記発明による黒化処理装置において、前記水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、ノズルの吐出口を該接点に向けて設けたことを特徴とする黒化処理装置である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、黒化槽の次に位置する第一水洗部の、メッシュ部が形成された面側を水洗する第一水洗ノズルを、第一水洗部の第一搬送ロールの外周に接触して搬送されていたシールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置に設けた黒化処理装置であるので、第一水洗部の第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生、及び第一水洗部の第一搬送ロールによる液切り後に残留している黒化液に起因するメッシュ部の黒化度の異なるシミ、ムラの発生を防止することのできる黒化処理装置となる。
【００２３】
また、本発明は、上記黒化処理装置において、第一水洗ノズル及び第二水洗ノズルをシールドメッシュ原反から８０ｍｍ以上離れた位置に設けたので、飛散した水滴が水洗ノズルの外側に付着することを回避でき、正常な状態で水洗水は噴出される。
また、本発明は、上記黒化処理装置において、第一水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、その吐出口を該接点に向けて設けたので、水洗はより効果的なものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図８は、本発明による黒化処理装置の第一水洗部（２３）の一例を示す断面図である。図８に示すように、本発明おける第一水洗部（２３）においては、第一水洗ノズル（５２Ａ）は、第一水洗部（２３）の第一搬送ロール（Ｒ４）の外周に接触して搬送されていたシールドメッシュ原反（３０）が第一搬送ロール（Ｒ４）の外周から離れる直後の位置（Ｌ２）に設けられている。
【００２５】
従って、本発明においては、第一水洗ノズル（５２Ａ）から噴出した水洗水（４０）がメッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて水滴（４０’）となって飛散し、メッシュ部（３Ａ）が形成された面に付着しても、付着後即、第一水洗ノズル（５２Ａ）から噴出した水洗水（４０）による直接の水洗となるので、その付着した部分の水洗は殆ど進行しない。
これにより、メッシュ部（３Ａ）に部分的に黒化度の異なるシミ、ムラをもたらすことは回避される。
【００２６】
なお、本発明おける第一水洗ノズル（５２Ａ）、及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）の水洗水の吐出圧力は、０．1 ＭＰａ程度であり、温度は２０℃程度である。
また、図８に示すように、第二水洗ノズル（３２Ｂ）の第二搬送ロール（Ｒ５）、或いは第三搬送ロール（Ｒ６）からの距離は、特に規制するものではない。
【００２７】
また、本発明は、第一水洗ノズル（５２Ａ）を第一搬送ロール（Ｒ４）と第二搬送ロール間（Ｒ５）のシールドメッシュ原反（３０）から８０ｍｍ以上離れた位置（Ｌ３）に設け、第二水洗ノズル（３２Ｂ）を第二搬送ロール（Ｒ５）と第三搬送ロール（Ｒ６）間のシールドメッシュ原反（３０）から８０ｍｍ以上離れた位置（Ｌ３）に設けたことを特徴としている。
【００２８】
第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）をこの位置に設けることによ
って、メッシュ部（３Ａ）が形成された面の表面で跳ねて飛散した水滴（４０’）が、第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）の外側に付着することを回避できる。これにより、第一水洗ノズル（５２Ａ）及び第二水洗ノズル（３２Ｂ）からの水洗水は正常な状態で噴出されるものとなる。
【００２９】
また、本発明は、第一水洗ノズル（６２Ａ）が、シールドメッシュ原反（３０）が第一搬送ロール（Ｒ４）の外周から離れる接点（６０）を通る垂線下にあって、その吐出口（５０）を接点（６０）に向けて設けたことを特徴としている。
図９に示すように、本発明における第一水洗ノズル（６２Ａ）が、第一搬送ロール（Ｒ４）の直近で、その吐出口（５０）を上記接点（６０）に向けて水洗水を噴出することによって、残留した黒化液を水洗する即時性は高まり、第一水洗ノズル（６２Ａ）による水洗はより効果的なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】電磁波シールドメッシュの一例の構成を示す断面図である。
【図２】図１に示すシールドメッシュの上方からの平面図であり、一部分を拡大して示したものである
【図３】図２におけるＸ−Ｘ’線での断面図である。
【図４】黒化処理装置の一例を示す断面図である。
【図５】図４に示す第一水洗部の第一搬送ロールの近傍を拡大した説明図である。
【図６】第一水洗部の説明図である。
【図７】第一水洗ノズルから噴出した水洗水の飛散の説明図である。
【図８】本発明における第一水洗部の一例を示す断面図である。
【図９】図８に示す第一水洗部の第一搬送ロールの近傍を拡大した説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１・・・プラスチックシート
２・・・接着剤
３・・・銅箔
３Ａ・・・メッシュ部
３Ｂ・・・開口部
４・・・粘着剤
５・・・保護フィルム
６・・・電磁波シールドメッシュ
１０・・・シールドメッシュ
２０・・・黒化処理装置
２１・・・黒化前水洗部
２２・・・黒化槽
２３・・・第一水洗部
２４・・・第二水洗部
２５・・・第三水洗部
２６・・・エアー乾燥部
２７・・・加熱乾燥部
２８・・・黒化液
３０・・・シールドメッシュ原反
３１〜３４・・・水洗ノズル
３２・・・第一水洗部の水洗ノズル
３２Ａ・・・第一水洗部の第一水洗ノズル
３２Ｂ・・・第一水洗部の第二水洗ノズル
３２Ｃ・・・第一水洗部の第三水洗ノズル
３５・・・エアーナイフ
３６・・・加熱ヒーター
４０・・・水洗水
４０’・・・水滴
５０・・・本発明における第一水洗ノズルの吐出口
６０・・・シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる接点
５２Ａ、６２Ａ・・・本発明における第一水洗部の第一水洗ノズル
Ｌ１・・・第一搬送ロールから第一水洗ノズルまでの距離
Ｌ２・・・シールドメッシュ原反が第一搬送ロールの外周から離れる直後の位置。
Ｌ３・・・第一水洗ノズル及び第二水洗ノズルのシールドメッシュ原反からの距離
Ｍ１・・・巻出し部
Ｍ２・・・巻取り部
Ｒ０〜Ｒ１３・・・搬送ロール
Ｒ４・・・第一水洗部の第一搬送ロール
Ｒ５・・・第一水洗部の第二搬送ロール
Ｒ６・・・第一水洗部の第三搬送ロール
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチックシート上に接着剤を介して銅箔が貼り合わされ、該銅箔はフォトエッチングによってメッシュ部と開口部とに形成された長尺帯状のシールドメッシュ原反の前記メッシュ部に黒化処理を行う黒化槽と、黒化槽より搬出されたシールドメッシュ原反に水洗洗浄を行う水洗部とを有する黒化処理装置において、シールドメッシュ原反を黒化槽より搬出する搬送ロールと、前記搬送ロールの外周に接触して搬送されるたシールドメッシュ原反が前記搬送ロールの外周から離れる直後の位置であってメッシュ側に設けた水洗ノズルとを備え、前記水洗ノズルより噴出した水洗水にて、前記搬送ロールの外周から離れる直後のメッシュ部に水洗を行うことを特徴とする黒化処理装置。
【請求項２】
前記水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、ノズルの吐出口を該接点に向けて設けたことを特徴とする請求項１記載の黒化処理装置。
【請求項１】
プラスチックシート上に接着剤を介して銅箔が貼り合わされ、該銅箔はフォトエッチングによってメッシュ部と開口部とに形成された長尺帯状のシールドメッシュ原反の前記メッシュ部に黒化処理を行う黒化槽と、黒化槽より搬出されたシールドメッシュ原反に水洗洗浄を行う水洗部とを有する黒化処理装置において、シールドメッシュ原反を黒化槽より搬出する搬送ロールと、前記搬送ロールの外周に接触して搬送されるたシールドメッシュ原反が前記搬送ロールの外周から離れる直後の位置であってメッシュ側に設けた水洗ノズルとを備え、前記水洗ノズルより噴出した水洗水にて、前記搬送ロールの外周から離れる直後のメッシュ部に水洗を行うことを特徴とする黒化処理装置。
【請求項２】
前記水洗ノズルは、シールドメッシュ原反が搬送ロールの外周から離れる接点を通る垂線下にあって、ノズルの吐出口を該接点に向けて設けたことを特徴とする請求項１記載の黒化処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００６−１２４７２６（Ｐ２００６−１２４７２６Ａ）
【公開日】平成１８年５月１８日（２００６．５．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３１０４８１（Ｐ２００４−３１０４８１）
【出願日】平成１６年１０月２６日（２００４．１０．２６）
【出願人】（０００００３１９３）凸版印刷株式会社 (10,630)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年５月１８日（２００６．５．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１０月２６日（２００４．１０．２６）
【出願人】（０００００３１９３）凸版印刷株式会社 (10,630)
【Ｆターム（参考）】
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