Ｘ線検査装置
【課題】Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線検出器１０は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部９と、被検査物Ｗの搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、・・・からなる検出素子列１０１〜１０８を搬送方向に複数段有し、複数の検出素子列１０１〜１０８の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線検出器１０により出力される合成データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４４と、を備える。また、被検査物Ｗの厚さ情報に応じて、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列の段数を設定する段数設定部４６を備える。
【解決手段】Ｘ線検出器１０は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部９と、被検査物Ｗの搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、・・・からなる検出素子列１０１〜１０８を搬送方向に複数段有し、複数の検出素子列１０１〜１０８の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線検出器１０により出力される合成データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４４と、を備える。また、被検査物Ｗの厚さ情報に応じて、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列の段数を設定する段数設定部４６を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するＸ線検査装置に関し、特に、Ｘ線発生器から照射されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば食品などの被検査物への異物の混入の有無を検出するために、従来からＸ線検査装置が用いられている。この種の従来のＸ線検査装置は、装置本体の上側にＸ線発生部を配置し、且つ、Ｘ線発生部の下方の搬送ベルトの下部となる位置にＸ線検出器を取り付け、Ｘ線発生部から照射されたＸ線をＸ線検出部にて受けるようにしている。
【０００３】
この種のＸ線検査装置においては、１つのＸ線発生部に対し、Ｘ線発生部からのＸ線を受けるライン状のセンサモジュールを搬送方向に並べて配置するとともに、Ｘ線発生部から各Ｘ線センサに至るそれぞれのＸ線の線質を異ならせるＸ線可変体を設け、被検査物を透過した互いに線質の異なる各Ｘ線を各センサモジュールで検出することにより、これらＸ線の透過量から被検査物中の異物を、Ｘ線を透過し易い異物と、Ｘ線を透過しにくい異物とに区別して検出するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このＸ線検査装置は、例えば、複数のセンサモジュールにより取得した高エネルギー画像と低エネルギー画像との差分を算出することにより、異物のみを高感度に検出することができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１６８８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたものは、異物を高感度に検出することができるが、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が従来のＸ線検査装置と同等の強度またはそれ以上であった。このため、例えば、Ｘ線の出力が小さい場合と比較して、被検査物が受けるＸ線の被爆量が高いという問題、動作時のＸ線発生部の発熱が大きいために冷却手段が必要となったり食品の検査には不向きであるという問題があった。また、Ｘ線発生部の寿命が短いという問題、Ｘ線漏洩防止のための遮蔽構造を強固にするために装置が大型化してしまうという問題があった。
【０００６】
すなわち、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力を低下させるとＸ線検出器の検出出力が低下して異物を高感度に検出することが困難になるという問題があり、一方、異物を高感度に検出するためにはＸ線の出力を維持または増加することに伴う上記のような問題が発生してしまっていた。
【０００７】
そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るＸ線検査装置は、搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物の搬送方向の平面上で搬送方向に直交する主走査方向に直線状に配置された複数の検出素子からなる検出素子列を前記搬送方向に複数段有し、前記複数の検出素子列の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器と、前記Ｘ線検出器により出力される合成データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成により、Ｘ線検出器が、検出データを時間遅延積分により合成して出力することにより高感度にＸ線を検出することができるので、Ｘ線発生器が照射するＸ線の出力を小さくすることができる。
【００１０】
したがって、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができる。
【００１１】
これにより、Ｘ線発生器が照射するＸ線の出力を小さくすることにより、被検査物に対するＸ線の照射量やＸ線発生器の発熱を低下し、Ｘ線発生器の寿命を延ばし、Ｘ線漏えい防止用の遮蔽構造を小型化することができる。
【００１２】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記被検査物の厚さを入力する厚さ入力手段と、前記厚さ入力手段により入力された前記被検査物の厚さに応じて、前記Ｘ線検出器により行われる時間遅延積分の対象となる前記検出素子列の段数を設定する段数設定手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成により、段数設定手段で設定した段数分だけ時間遅延積分を行うことにより、Ｘ線検出器から得られた合成データの画像の空間分解能が低下することを抑制することができる。
【００１４】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記被検査物の厚さを検出し、検出した厚さを前記厚さ入力手段に入力する厚さ検出手段を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成により、利用者が被検査物の厚さを測って入力することなく、被検査物の厚さが検出される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるＸ線検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。
【図３】Ｘ線検査装置のＸ線検出器の構成を示す図である。
【図４】Ｘ線検出器および出力データの時間遅延積分を説明する図である。
【図５】Ｘ線検出器の横方向の構成を示す図であり、被検査物の通過途中の状態を示す図である。
【図６】Ｘ線検出器の横方向の構成を示す図であり、被検査物の通過途中の状態を示す図である。
【図７】被検査物へのＸ線の透過経路の変遷を示す図である。
【図８】Ｘ線検出器の横方向の構成を示す図であり、時間遅延積分の段数を説明する図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１９】
まず構成について説明する。
【００２０】
図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示部５を筐体４の前面上部に備えている。
【００２１】
搬送部２は、被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４の内部に水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。筐体４の内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。
【００２２】
検出部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生部９と、搬送部２内にＸ線発生部９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。
【００２３】
Ｘ線発生源としてのＸ線発生部９は、金属製の箱体１１の内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状（図３参照）となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。
【００２４】
図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するものである。遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。
【００２５】
Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検出器１０からのＸ線透過データが入力されるとともに被検査物Ｗ中の異物の有無を検査する制御部４０と、制御部４０による検査結果等を表示出力する表示部５と、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力を行う設定部４５とを備えている。
【００２６】
制御部４０は、ＣＰＵやメモリなどを備えて構成されており、Ｘ線検出器１０から受け取ったデータを記憶する記憶部４２と、記憶部４２から読み出したデータに対して合成や各種フィルタ等の画像処理を施す画像処理部４３と、画像処理されたデータに対して被検査物Ｗと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部４４と、を備えている。
【００２７】
設定部４５は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択を行うものである。また、設定部４５からは利用者の操作により、被検査物Ｗの厚さ情報が入力されるようになっている。また、設定部４５には、後述する厚さ検出センサ６０が検出した被検査物Ｗの厚さ情報が入力されるようになっている。
【００２８】
また、制御部４０は、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列１０１〜１０８（図３参照）の段数を、設定部４５に入力された被検査物Ｗの厚さ情報に基づいて設定する段数設定部４６を備えている。
【００２９】
表示部５は、平面ディスプレイ等から構成されており、制御部４０による検査結果の表示を行うようになっている。また、表示部５は、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示するとともに、総検査数、良品数、ＮＧ総数などの検査結果を、既定設定として、または、設定部４５からの所定のキー操作による要求に基づいて表示するようになっている。
【００３０】
また、Ｘ線検査装置１は、被検査物Ｗの厚さを検出する厚さ検出センサ６０を搬送路２１内に備えており、厚さ検出センサ６０が検出した被検査物Ｗの厚さ情報は設定部４５に出力されるようになっている。厚さ検出センサ６０は、被検査物Ｗの厚さを光学的に検出したり、音波を用いて検出するようになっている。
【００３１】
Ｘ線検出器１０は、図３に示すように、幅方向、すなわち搬送される被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向と直交するＹ方向に複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・、が一直線上に配置されてなる検出素子列１０１〜１０８を、搬送方向に複数段並べたものであり、ラインセンサとして構成されている。
【００３２】
Ｘ線検出器１０には、被検査物Ｗを透過したＸ線が入射するようになっており、Ｘ線検出器１０の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・、は、入射するＸ線の強度に基づいて、Ｘ線透過データを出力するようになっている。
【００３３】
具体的には、一例として、各検出素子は、図示しないシンチレータとフォトダイオード等の受光素子とを密着したものから構成されており、Ｘ線をシンチレータで光に変換し、この光を受光素子で受光して電気信号に変換し、Ｘ線透過データとして出力するようになっている。また、他の例として、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）のような半導体を用いて、Ｘ線を直接的に効率良く電気信号に変換するようになっていてもよい。
【００３４】
また、Ｘ線検出器１０は、検出素子列１０１〜１０８から出力されるＸ線透過データを時間遅延積分により所定の段数分合成して合成データとして出力する合成部１００ａ（図２参照）を備えている。
【００３５】
具体的には、合成部１００ａは、図４において、例えば、時間遅延積分を行う段数が３段で検出素子列１０１、１０２、１０３からのＸ線透過データを時間遅延積分により合成するときは、検出素子列１０１が時刻Ｔ１に検出したＸ線透過データと、検出素子列１０２が時刻Ｔ２に検出したＸ線透過データと、検出素子列１０２が時刻Ｔ３に検出したＸ線透過データとを、被検査物Ｗの下面における位置が一致するように遅延させて合成するようになっている。合成部１００ａは、各検出素子列１０１〜１０８のうち所定の段数分のＸ線透過データを時間遅延積分により合成する。
【００３６】
このように、Ｘ線検出器１０が、合成部１００ａにより、各検出素子列１０１〜１０８のうち所定の段数分のＸ線透過データを時間遅延積分により合成することによって、Ｘ線の検出感度およびＳ／Ｎ比を向上することができる。したがって、Ｘ線発生部９のＸ線出力を減少させても十分な感度で被検査物Ｗ中の異物を検出することができるため、Ｘ線発生部９のＸ線出力を減少させることにより、被検査物が受けるＸ線の被爆量を減少することができ、動作時のＸ線発生部の発熱を減少できるので冷却手段を別途設けることを不要にすることができ、食品の検査に適したＸ線検査装置とすることができる。また、Ｘ線発生部９のＸ線出力を減少させることにより、Ｘ線発生部９の寿命を長くすることができ、Ｘ線漏洩防止のための遮蔽構造を簡易にすることにより装置を小型化することができる。
【００３７】
なお、本実施の形態では、説明を簡単にするためにＸ線検出器１０が８段の検出素子列１０１〜１０８から構成される例を用いて説明しているが、８段に限定されるものではない。
【００３８】
ここで、Ｘ線検出器１０の上を搬送される被検査物ＷをＸ線が透過する角度は、例えば、図５に示すように、Ｘ線発生部９の直下を被検査物Ｗが通過するときと、図５の状態から所定時間経過後（例えば、４秒後）の状態である図６に示すように、Ｘ線発生部９の直下よりも搬送方向下流の位置を被検査物Ｗが通過するときとで異なる。
【００３９】
被検査物Ｗ内を透過するＸ線の角度が異なると、図７に示すように、搬送される被検査物Ｗを横から見たときに、被検査物Ｗの下面を基準にした場合、被検査物Ｗの下面の中央を透過するＸ線は、被検査物Ｗの上面においては、Ｘ線検出器１０の上を被検査物Ｗが搬送されて移動するのに伴いその位置が変化することになる。
【００４０】
また、図７で、被検査物ＷがＸ線発生部９の直下を通過するときは、Ｘ線が被検査物Ｗの下面を透過する水平方向の位置と上面を透過する水平方向の位置が等しいが、被検査物ＷがＸ線発生部９の直下以外の位置を通過するときは、Ｘ線が被検査物Ｗの下面を透過する水平方向の位置と上面を透過する水平方向の位置が異なり、この透過位置の差異は、被検査物ＷがＸ線発生部９の直下から離れるほど大きくなる。
【００４１】
このため、Ｘ線検出器１０から得られた合成データの画像は、時間遅延積分により合成する検出素子列の段数を増やすと、高感度化できてＳ／Ｎ比が向上する一方で空間分解能は低下する。また、Ｘ線検出器１０から得られた合成データの画像は、被検査物Ｗの厚さが大きいほど、空間分解能が低いものとなってしまう。換言すると、被検査物Ｗの厚さが大きいほど、Ｘ線検出器１０から得られた画像のコントラストが低下してぼやけた状態となってしまう。コントラストは、例えば、ＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）の値として客観的に計測される。
【００４２】
そこで、本実施の形態では、空間分解能の低下を抑制するために、８段の検出素子列１０１〜１０８（図３参照）のうち時間遅延積分を行う段数を、被検査物Ｗの厚さ情報に基づいて段数設定部４６により設定するようになっている。
【００４３】
具体的には、図８に示すように、被検査物Ｗの厚さをｈ、Ｘ線発生部９から被検査物Ｗまでの距離をＬ、検出素子列１０１〜１０８の片側段数をｎ、検出素子列１０１〜１０８のピッチをｐ、画像ズレをΔｘとすると、画像ズレΔｘと片側段数ｎの関係は、Δｘ＝ｈｎｐ／Ｌｄの数式で表される。例えば、許容する最大の画像ズレ２Δｘをピッチｐの２５％以下にする場合は、２Δｘ＝２ｈｎｐ／Ｌ≦０．２５ｐの数式を解き、片側段数ｎは、ｎ≦Ｌ／８ｈとなる。すなわち、ｎ≦Ｌ／８ｈとなるように、片側段数ｎを設定することにより、最大の画像ズレ２Δｘをピッチｐの２５％以下にすることができる。
【００４４】
なお、ピッチｐは、各検出素子列１０１〜１０８の中心間の間隔であり、画像ズレΔｘは、被検査物Ｗの上面のＸ線透過位置と下面のＸ線透過位置の水平方向の距離である。
【００４５】
このように、許容する最大の画像ズレ２Δｘを予め定めておき、これを満足するように片側段数ｎを設定することにより、Ｘ線検出器１０から得られる画像のコントラストの低下を抑制することができる。
【００４６】
上記構成のＸ線検査装置１の異物検出動作について説明する。
【００４７】
被検査物Ｗが搬送部２によって搬送される途中位置で被検査物ＷにＸ線発生部９からＸ線が照射される。このＸ線の照射に伴って被検査物Ｗを透過してくるＸ線は、Ｘ線検出器１０において、各検出素子列１０１〜１０８によって検出され、合成部１００ａにより時間遅延積分される。
【００４８】
被検査物Ｗの厚さ情報は、利用者により計測された被検査物Ｗの高さ方向の寸法（ｈ）が予め設定部４５から入力されるか、または、搬送時に厚さ検出センサ６０が検出した被検査物Ｗの高さ方向の寸法（ｈ）が設定部４５から入力される。
【００４９】
段数設定部４６は、設定部４５から取得した被検査物Ｗの厚さに基づいて、上記のΔｘ＝ｈｎｐ／Ｌｄの数式から時間遅延積分の段数を算出し、この段数をＸ線検出器１０の合成部１００ａに設定する。
【００５０】
Ｘ線検出器１０の合成部１００ａは、各検出素子列１０１〜１０８が検出したＸ線透過データのうち、段数設定部４６により設定された段数分のＸ線透過データを時間遅延積分により合成する。
【００５１】
合成された合成データは、記憶部４２により記憶され、画像処理部４３により画像処理が施された後、判定部４４により、被検査物Ｗと異物との判別が行われて異物の混入の有無を判定される。
【００５２】
なお、被検査物Ｗの形状により、高さ方向の寸法（ｈ）が一様でない場合には、最大値（ｈａ）や最小値（ｈｂ）等が設定部４５により入力されて、段数設定部４６がそれらの平均値（ｈｃ）を用いて時間遅延積分の段数を設定するようにしてもよい。
【００５３】
また、厚さ検出センサ６０により被検査物Ｗの厚さ段階（ｈ［ｎ］：ｈ［１］〜ｈ［５］）が検出されるようになっていてもよい。このとき、段数設定部４６は、検出された厚さレベル（ｈ［ｎ］）に予め対応付けられた時間遅延積分の段数を設定する。
【００５４】
以上のように、本実施の形態に係るＸ線検出器１０は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部９と、被検査物Ｗの搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、・・・からなる検出素子列１０１〜１０８を搬送方向に複数段有し、複数の検出素子列１０１〜１０８の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線検出器１０により出力される合成データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４４と、を備えたことを特徴とする。
【００５５】
この構成により、Ｘ線検出器１０が、検出データを時間遅延積分により合成して出力することにより高感度にＸ線を検出することができるので、Ｘ線発生部９が照射するＸ線の出力を小さくすることができる。
【００５６】
したがって、Ｘ線発生部９が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができる。
【００５７】
これにより、Ｘ線発生部９が照射するＸ線の出力を小さくすることにより、被検査物Ｗに対するＸ線の照射量やＸ線発生部９の発熱を低下し、Ｘ線発生部９の寿命を延ばし、Ｘ線漏えい防止用の遮蔽構造を小型化することができる。
【００５８】
また、本実施の形態に係るＸ線検出器１０は、被検査物Ｗの厚さ情報を入力する設定部４５と、設定部４５により入力された被検査物Ｗの厚さ情報に応じて、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列１０１〜１０８の段数を設定する段数設定部４６と、を備えたことを特徴とする。
【００５９】
この構成により、段数設定部４６で設定した段数分だけ時間遅延積分を行うことにより、Ｘ線検出器１０から得られた合成データの画像の空間分解能が低下することを抑制することができる。
【００６０】
また、本実施の形態に係るＸ線検出器１０は、被検査物Ｗの厚さ情報を検出し、検出した厚さ情報を設定部４５に入力する厚さ検出センサ６０を備えたことを特徴とする。
【００６１】
この構成により、利用者が被検査物Ｗの高さ方向の寸法を測って入力することなく、被検査物Ｗの厚さ情報を検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるという効果を有し、Ｘ線発生器から照射されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検査装置として有用である。
【符号の説明】
【００６３】
１ Ｘ線検査装置
２ 搬送部
２ａ ベルト面
３ 検出部
４ 筐体
５ 表示部
６ 駆動モータ
７ 搬入口
８ 搬出口
９ Ｘ線発生部（Ｘ線発生器）
１０ Ｘ線検出器
１１ 箱体
１２ Ｘ線管
１６ 遮蔽カーテン
２１ 搬送路
２１ａ 天井部
２２ 検査空間
４０ 制御部
４２ 記憶部
４３ 画像処理部
４４ 判定部（判定手段）
４５ 設定部（厚さ入力手段）
４６ 段数設定部（段数設定手段）
６０ 厚さ検出センサ（厚さ検出手段）
１００ａ 合成部
１０１〜１０８ 検出素子列
１０１ａ〜１０８ａ、１０１ｂ〜１０８ｂ、・・・ 検出素子
Ｗ 被検査物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物中に混入した異物を検出するＸ線検査装置に関し、特に、Ｘ線発生器から照射されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば食品などの被検査物への異物の混入の有無を検出するために、従来からＸ線検査装置が用いられている。この種の従来のＸ線検査装置は、装置本体の上側にＸ線発生部を配置し、且つ、Ｘ線発生部の下方の搬送ベルトの下部となる位置にＸ線検出器を取り付け、Ｘ線発生部から照射されたＸ線をＸ線検出部にて受けるようにしている。
【０００３】
この種のＸ線検査装置においては、１つのＸ線発生部に対し、Ｘ線発生部からのＸ線を受けるライン状のセンサモジュールを搬送方向に並べて配置するとともに、Ｘ線発生部から各Ｘ線センサに至るそれぞれのＸ線の線質を異ならせるＸ線可変体を設け、被検査物を透過した互いに線質の異なる各Ｘ線を各センサモジュールで検出することにより、これらＸ線の透過量から被検査物中の異物を、Ｘ線を透過し易い異物と、Ｘ線を透過しにくい異物とに区別して検出するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このＸ線検査装置は、例えば、複数のセンサモジュールにより取得した高エネルギー画像と低エネルギー画像との差分を算出することにより、異物のみを高感度に検出することができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１６８８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたものは、異物を高感度に検出することができるが、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が従来のＸ線検査装置と同等の強度またはそれ以上であった。このため、例えば、Ｘ線の出力が小さい場合と比較して、被検査物が受けるＸ線の被爆量が高いという問題、動作時のＸ線発生部の発熱が大きいために冷却手段が必要となったり食品の検査には不向きであるという問題があった。また、Ｘ線発生部の寿命が短いという問題、Ｘ線漏洩防止のための遮蔽構造を強固にするために装置が大型化してしまうという問題があった。
【０００６】
すなわち、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力を低下させるとＸ線検出器の検出出力が低下して異物を高感度に検出することが困難になるという問題があり、一方、異物を高感度に検出するためにはＸ線の出力を維持または増加することに伴う上記のような問題が発生してしまっていた。
【０００７】
そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るＸ線検査装置は、搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生器と、前記被検査物の搬送方向の平面上で搬送方向に直交する主走査方向に直線状に配置された複数の検出素子からなる検出素子列を前記搬送方向に複数段有し、前記複数の検出素子列の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器と、前記Ｘ線検出器により出力される合成データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成により、Ｘ線検出器が、検出データを時間遅延積分により合成して出力することにより高感度にＸ線を検出することができるので、Ｘ線発生器が照射するＸ線の出力を小さくすることができる。
【００１０】
したがって、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができる。
【００１１】
これにより、Ｘ線発生器が照射するＸ線の出力を小さくすることにより、被検査物に対するＸ線の照射量やＸ線発生器の発熱を低下し、Ｘ線発生器の寿命を延ばし、Ｘ線漏えい防止用の遮蔽構造を小型化することができる。
【００１２】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記被検査物の厚さを入力する厚さ入力手段と、前記厚さ入力手段により入力された前記被検査物の厚さに応じて、前記Ｘ線検出器により行われる時間遅延積分の対象となる前記検出素子列の段数を設定する段数設定手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成により、段数設定手段で設定した段数分だけ時間遅延積分を行うことにより、Ｘ線検出器から得られた合成データの画像の空間分解能が低下することを抑制することができる。
【００１４】
また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記被検査物の厚さを検出し、検出した厚さを前記厚さ入力手段に入力する厚さ検出手段を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成により、利用者が被検査物の厚さを測って入力することなく、被検査物の厚さが検出される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるＸ線検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。
【図３】Ｘ線検査装置のＸ線検出器の構成を示す図である。
【図４】Ｘ線検出器および出力データの時間遅延積分を説明する図である。
【図５】Ｘ線検出器の横方向の構成を示す図であり、被検査物の通過途中の状態を示す図である。
【図６】Ｘ線検出器の横方向の構成を示す図であり、被検査物の通過途中の状態を示す図である。
【図７】被検査物へのＸ線の透過経路の変遷を示す図である。
【図８】Ｘ線検出器の横方向の構成を示す図であり、時間遅延積分の段数を説明する図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１９】
まず構成について説明する。
【００２０】
図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示部５を筐体４の前面上部に備えている。
【００２１】
搬送部２は、被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４の内部に水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中Ｘ方向）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。筐体４の内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。
【００２２】
検出部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１の途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生部９と、搬送部２内にＸ線発生部９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。
【００２３】
Ｘ線発生源としてのＸ線発生部９は、金属製の箱体１１の内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）となるよう配置されている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状（図３参照）となって搬送方向（Ｘ方向）を横切るように照射されるようになっている。
【００２４】
図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。遮蔽カーテン１６は、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４の外部に漏えいすることを防止するものである。遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられており、１つの遮蔽カーテン１６が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、他の遮蔽カーテン１６がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。搬送路２１における遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間が検査空間２２を構成している。
【００２５】
Ｘ線検査装置１は、Ｘ線検出器１０からのＸ線透過データが入力されるとともに被検査物Ｗ中の異物の有無を検査する制御部４０と、制御部４０による検査結果等を表示出力する表示部５と、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力を行う設定部４５とを備えている。
【００２６】
制御部４０は、ＣＰＵやメモリなどを備えて構成されており、Ｘ線検出器１０から受け取ったデータを記憶する記憶部４２と、記憶部４２から読み出したデータに対して合成や各種フィルタ等の画像処理を施す画像処理部４３と、画像処理されたデータに対して被検査物Ｗと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定する判定部４４と、を備えている。
【００２７】
設定部４５は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択を行うものである。また、設定部４５からは利用者の操作により、被検査物Ｗの厚さ情報が入力されるようになっている。また、設定部４５には、後述する厚さ検出センサ６０が検出した被検査物Ｗの厚さ情報が入力されるようになっている。
【００２８】
また、制御部４０は、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列１０１〜１０８（図３参照）の段数を、設定部４５に入力された被検査物Ｗの厚さ情報に基づいて設定する段数設定部４６を備えている。
【００２９】
表示部５は、平面ディスプレイ等から構成されており、制御部４０による検査結果の表示を行うようになっている。また、表示部５は、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示するとともに、総検査数、良品数、ＮＧ総数などの検査結果を、既定設定として、または、設定部４５からの所定のキー操作による要求に基づいて表示するようになっている。
【００３０】
また、Ｘ線検査装置１は、被検査物Ｗの厚さを検出する厚さ検出センサ６０を搬送路２１内に備えており、厚さ検出センサ６０が検出した被検査物Ｗの厚さ情報は設定部４５に出力されるようになっている。厚さ検出センサ６０は、被検査物Ｗの厚さを光学的に検出したり、音波を用いて検出するようになっている。
【００３１】
Ｘ線検出器１０は、図３に示すように、幅方向、すなわち搬送される被検査物Ｗの搬送方向（Ｘ方向）の平面上で搬送方向と直交するＹ方向に複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・、が一直線上に配置されてなる検出素子列１０１〜１０８を、搬送方向に複数段並べたものであり、ラインセンサとして構成されている。
【００３２】
Ｘ線検出器１０には、被検査物Ｗを透過したＸ線が入射するようになっており、Ｘ線検出器１０の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・、は、入射するＸ線の強度に基づいて、Ｘ線透過データを出力するようになっている。
【００３３】
具体的には、一例として、各検出素子は、図示しないシンチレータとフォトダイオード等の受光素子とを密着したものから構成されており、Ｘ線をシンチレータで光に変換し、この光を受光素子で受光して電気信号に変換し、Ｘ線透過データとして出力するようになっている。また、他の例として、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）のような半導体を用いて、Ｘ線を直接的に効率良く電気信号に変換するようになっていてもよい。
【００３４】
また、Ｘ線検出器１０は、検出素子列１０１〜１０８から出力されるＸ線透過データを時間遅延積分により所定の段数分合成して合成データとして出力する合成部１００ａ（図２参照）を備えている。
【００３５】
具体的には、合成部１００ａは、図４において、例えば、時間遅延積分を行う段数が３段で検出素子列１０１、１０２、１０３からのＸ線透過データを時間遅延積分により合成するときは、検出素子列１０１が時刻Ｔ１に検出したＸ線透過データと、検出素子列１０２が時刻Ｔ２に検出したＸ線透過データと、検出素子列１０２が時刻Ｔ３に検出したＸ線透過データとを、被検査物Ｗの下面における位置が一致するように遅延させて合成するようになっている。合成部１００ａは、各検出素子列１０１〜１０８のうち所定の段数分のＸ線透過データを時間遅延積分により合成する。
【００３６】
このように、Ｘ線検出器１０が、合成部１００ａにより、各検出素子列１０１〜１０８のうち所定の段数分のＸ線透過データを時間遅延積分により合成することによって、Ｘ線の検出感度およびＳ／Ｎ比を向上することができる。したがって、Ｘ線発生部９のＸ線出力を減少させても十分な感度で被検査物Ｗ中の異物を検出することができるため、Ｘ線発生部９のＸ線出力を減少させることにより、被検査物が受けるＸ線の被爆量を減少することができ、動作時のＸ線発生部の発熱を減少できるので冷却手段を別途設けることを不要にすることができ、食品の検査に適したＸ線検査装置とすることができる。また、Ｘ線発生部９のＸ線出力を減少させることにより、Ｘ線発生部９の寿命を長くすることができ、Ｘ線漏洩防止のための遮蔽構造を簡易にすることにより装置を小型化することができる。
【００３７】
なお、本実施の形態では、説明を簡単にするためにＸ線検出器１０が８段の検出素子列１０１〜１０８から構成される例を用いて説明しているが、８段に限定されるものではない。
【００３８】
ここで、Ｘ線検出器１０の上を搬送される被検査物ＷをＸ線が透過する角度は、例えば、図５に示すように、Ｘ線発生部９の直下を被検査物Ｗが通過するときと、図５の状態から所定時間経過後（例えば、４秒後）の状態である図６に示すように、Ｘ線発生部９の直下よりも搬送方向下流の位置を被検査物Ｗが通過するときとで異なる。
【００３９】
被検査物Ｗ内を透過するＸ線の角度が異なると、図７に示すように、搬送される被検査物Ｗを横から見たときに、被検査物Ｗの下面を基準にした場合、被検査物Ｗの下面の中央を透過するＸ線は、被検査物Ｗの上面においては、Ｘ線検出器１０の上を被検査物Ｗが搬送されて移動するのに伴いその位置が変化することになる。
【００４０】
また、図７で、被検査物ＷがＸ線発生部９の直下を通過するときは、Ｘ線が被検査物Ｗの下面を透過する水平方向の位置と上面を透過する水平方向の位置が等しいが、被検査物ＷがＸ線発生部９の直下以外の位置を通過するときは、Ｘ線が被検査物Ｗの下面を透過する水平方向の位置と上面を透過する水平方向の位置が異なり、この透過位置の差異は、被検査物ＷがＸ線発生部９の直下から離れるほど大きくなる。
【００４１】
このため、Ｘ線検出器１０から得られた合成データの画像は、時間遅延積分により合成する検出素子列の段数を増やすと、高感度化できてＳ／Ｎ比が向上する一方で空間分解能は低下する。また、Ｘ線検出器１０から得られた合成データの画像は、被検査物Ｗの厚さが大きいほど、空間分解能が低いものとなってしまう。換言すると、被検査物Ｗの厚さが大きいほど、Ｘ線検出器１０から得られた画像のコントラストが低下してぼやけた状態となってしまう。コントラストは、例えば、ＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）の値として客観的に計測される。
【００４２】
そこで、本実施の形態では、空間分解能の低下を抑制するために、８段の検出素子列１０１〜１０８（図３参照）のうち時間遅延積分を行う段数を、被検査物Ｗの厚さ情報に基づいて段数設定部４６により設定するようになっている。
【００４３】
具体的には、図８に示すように、被検査物Ｗの厚さをｈ、Ｘ線発生部９から被検査物Ｗまでの距離をＬ、検出素子列１０１〜１０８の片側段数をｎ、検出素子列１０１〜１０８のピッチをｐ、画像ズレをΔｘとすると、画像ズレΔｘと片側段数ｎの関係は、Δｘ＝ｈｎｐ／Ｌｄの数式で表される。例えば、許容する最大の画像ズレ２Δｘをピッチｐの２５％以下にする場合は、２Δｘ＝２ｈｎｐ／Ｌ≦０．２５ｐの数式を解き、片側段数ｎは、ｎ≦Ｌ／８ｈとなる。すなわち、ｎ≦Ｌ／８ｈとなるように、片側段数ｎを設定することにより、最大の画像ズレ２Δｘをピッチｐの２５％以下にすることができる。
【００４４】
なお、ピッチｐは、各検出素子列１０１〜１０８の中心間の間隔であり、画像ズレΔｘは、被検査物Ｗの上面のＸ線透過位置と下面のＸ線透過位置の水平方向の距離である。
【００４５】
このように、許容する最大の画像ズレ２Δｘを予め定めておき、これを満足するように片側段数ｎを設定することにより、Ｘ線検出器１０から得られる画像のコントラストの低下を抑制することができる。
【００４６】
上記構成のＸ線検査装置１の異物検出動作について説明する。
【００４７】
被検査物Ｗが搬送部２によって搬送される途中位置で被検査物ＷにＸ線発生部９からＸ線が照射される。このＸ線の照射に伴って被検査物Ｗを透過してくるＸ線は、Ｘ線検出器１０において、各検出素子列１０１〜１０８によって検出され、合成部１００ａにより時間遅延積分される。
【００４８】
被検査物Ｗの厚さ情報は、利用者により計測された被検査物Ｗの高さ方向の寸法（ｈ）が予め設定部４５から入力されるか、または、搬送時に厚さ検出センサ６０が検出した被検査物Ｗの高さ方向の寸法（ｈ）が設定部４５から入力される。
【００４９】
段数設定部４６は、設定部４５から取得した被検査物Ｗの厚さに基づいて、上記のΔｘ＝ｈｎｐ／Ｌｄの数式から時間遅延積分の段数を算出し、この段数をＸ線検出器１０の合成部１００ａに設定する。
【００５０】
Ｘ線検出器１０の合成部１００ａは、各検出素子列１０１〜１０８が検出したＸ線透過データのうち、段数設定部４６により設定された段数分のＸ線透過データを時間遅延積分により合成する。
【００５１】
合成された合成データは、記憶部４２により記憶され、画像処理部４３により画像処理が施された後、判定部４４により、被検査物Ｗと異物との判別が行われて異物の混入の有無を判定される。
【００５２】
なお、被検査物Ｗの形状により、高さ方向の寸法（ｈ）が一様でない場合には、最大値（ｈａ）や最小値（ｈｂ）等が設定部４５により入力されて、段数設定部４６がそれらの平均値（ｈｃ）を用いて時間遅延積分の段数を設定するようにしてもよい。
【００５３】
また、厚さ検出センサ６０により被検査物Ｗの厚さ段階（ｈ［ｎ］：ｈ［１］〜ｈ［５］）が検出されるようになっていてもよい。このとき、段数設定部４６は、検出された厚さレベル（ｈ［ｎ］）に予め対応付けられた時間遅延積分の段数を設定する。
【００５４】
以上のように、本実施の形態に係るＸ線検出器１０は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部９と、被検査物Ｗの搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、・・・からなる検出素子列１０１〜１０８を搬送方向に複数段有し、複数の検出素子列１０１〜１０８の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線検出器１０により出力される合成データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４４と、を備えたことを特徴とする。
【００５５】
この構成により、Ｘ線検出器１０が、検出データを時間遅延積分により合成して出力することにより高感度にＸ線を検出することができるので、Ｘ線発生部９が照射するＸ線の出力を小さくすることができる。
【００５６】
したがって、Ｘ線発生部９が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができる。
【００５７】
これにより、Ｘ線発生部９が照射するＸ線の出力を小さくすることにより、被検査物Ｗに対するＸ線の照射量やＸ線発生部９の発熱を低下し、Ｘ線発生部９の寿命を延ばし、Ｘ線漏えい防止用の遮蔽構造を小型化することができる。
【００５８】
また、本実施の形態に係るＸ線検出器１０は、被検査物Ｗの厚さ情報を入力する設定部４５と、設定部４５により入力された被検査物Ｗの厚さ情報に応じて、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列１０１〜１０８の段数を設定する段数設定部４６と、を備えたことを特徴とする。
【００５９】
この構成により、段数設定部４６で設定した段数分だけ時間遅延積分を行うことにより、Ｘ線検出器１０から得られた合成データの画像の空間分解能が低下することを抑制することができる。
【００６０】
また、本実施の形態に係るＸ線検出器１０は、被検査物Ｗの厚さ情報を検出し、検出した厚さ情報を設定部４５に入力する厚さ検出センサ６０を備えたことを特徴とする。
【００６１】
この構成により、利用者が被検査物Ｗの高さ方向の寸法を測って入力することなく、被検査物Ｗの厚さ情報を検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるという効果を有し、Ｘ線発生器から照射されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検査装置として有用である。
【符号の説明】
【００６３】
１ Ｘ線検査装置
２ 搬送部
２ａ ベルト面
３ 検出部
４ 筐体
５ 表示部
６ 駆動モータ
７ 搬入口
８ 搬出口
９ Ｘ線発生部（Ｘ線発生器）
１０ Ｘ線検出器
１１ 箱体
１２ Ｘ線管
１６ 遮蔽カーテン
２１ 搬送路
２１ａ 天井部
２２ 検査空間
４０ 制御部
４２ 記憶部
４３ 画像処理部
４４ 判定部（判定手段）
４５ 設定部（厚さ入力手段）
４６ 段数設定部（段数設定手段）
６０ 厚さ検出センサ（厚さ検出手段）
１００ａ 合成部
１０１〜１０８ 検出素子列
１０１ａ〜１０８ａ、１０１ｂ〜１０８ｂ、・・・ 検出素子
Ｗ 被検査物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路（２１）上を搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器（９）と、
前記被検査物の搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子（１０１ａ、１０１ｂ、・・・）からなる検出素子列（１０１〜１０８）を前記搬送方向に複数段有し、前記複数の検出素子列の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器（１０）と、
前記Ｘ線検出器により出力される合成データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段（４４）と、を備えたことを特徴とするＸ線異物検出装置。
【請求項２】
前記被検査物の厚さを入力する厚さ入力手段（４５）と、
前記厚さ入力手段により入力された前記被検査物の厚さに応じて、前記Ｘ線検出器により行われる時間遅延積分の対象となる前記検出素子列の段数を設定する段数設定手段（４６）と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線異物検査装置。
【請求項３】
前記被検査物の厚さを検出し、検出した厚さを前記厚さ入力手段に入力する厚さ検出手段（６０）を備えたことを特徴とする請求項２に記載のＸ線異物検出装置。
【請求項１】
搬送路（２１）上を搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器（９）と、
前記被検査物の搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子（１０１ａ、１０１ｂ、・・・）からなる検出素子列（１０１〜１０８）を前記搬送方向に複数段有し、前記複数の検出素子列の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器（１０）と、
前記Ｘ線検出器により出力される合成データに基づいて前記被検査物中の異物の有無を判定する判定手段（４４）と、を備えたことを特徴とするＸ線異物検出装置。
【請求項２】
前記被検査物の厚さを入力する厚さ入力手段（４５）と、
前記厚さ入力手段により入力された前記被検査物の厚さに応じて、前記Ｘ線検出器により行われる時間遅延積分の対象となる前記検出素子列の段数を設定する段数設定手段（４６）と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線異物検査装置。
【請求項３】
前記被検査物の厚さを検出し、検出した厚さを前記厚さ入力手段に入力する厚さ検出手段（６０）を備えたことを特徴とする請求項２に記載のＸ線異物検出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−２４２３７４（Ｐ２０１１−２４２３７４Ａ）
【公開日】平成２３年１２月１日（２０１１．１２．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１１７４３８（Ｐ２０１０−１１７４３８）
【出願日】平成２２年５月２１日（２０１０．５．２１）
【出願人】（３０２０４６００１）アンリツ産機システム株式会社 (238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月１日（２０１１．１２．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年５月２１日（２０１０．５．２１）
【出願人】（３０２０４６００１）アンリツ産機システム株式会社 (238)
【Ｆターム（参考）】
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