説明

Fターム[2G001KA01]の内容

放射線を利用した材料分析 (46,695) | 分析の目的、用途、応用、志向 (3,508) | 成分;濃、密度 (1,118)

Fターム[2G001KA01]の下位に属するFターム

Fターム[2G001KA01]に分類される特許

1 - 20 / 1,083


【課題】欠陥周辺に圧痕マーキングを行う際、試料の膜種によらず、一定の条件で行うと、周囲が割れてマーキングや欠陥が見にくくなったり、マーキングが小さすぎて見にくくなるという問題があった。また、パターン付きウェーハではマーキングに適さない方の膜上にマーキングしてしまうという問題があった。
【解決手段】マーキング予定位置を元素分析し、その結果に基づいて、圧子の荷重、下降速度、深さ等の圧痕マーキングの条件を変えることにより、膜種に適したマーキングを行う。また、登録された膜種と断定できない場合、手動設定に切り替えることにより、間違えた条件でマーキングすることを防ぐ。マーキングに適さない材質の場合、マーキングを施さないようにすることもできる。 (もっと読む)


【課題】装置構成が複雑化することなく、確実かつ自動的に動作モードを動作確認モードに切替えることができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】搬送部2に設けられ、搬送される被検査物Wの通過を検知する搬入センサ50(第1搬入センサ51、第2搬入センサ52)と、搬入センサ50により通過が検知される検知タイミングに基づいて、被検査物Wを検査する通常検査モードから検査部3の動作確認を行う動作確認モードに動作モードを切替える制御部8と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するA工程と、液中のSiの質量数28、Pの質量数31およびPO不純物の質量数47の質量スペクトル強度を計測するB工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するC−1工程、この固形物中のSi、P、PO元素の真空中でのエネルギー強度を測定するC−2工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するC−3工程、C−3工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記B工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のSi、P,POの真の不純物量を求める。 (もっと読む)


【課題】蛍光X線分析法による成分定量において分析精度を向上できる試料の予備成形方法およびそれを用いる成分定量方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加圧して本成形した後で蛍光X線分析法に用いられる試料を予備成形する方法であって、平均粒径D50が30μm以下の金属または合金粉末を型に充填して成形し、この成形体5のX線が照射される面5aの全面を押込み率を10〜40%にして加圧することを特徴とする試料の予備成形方法である。本発明の予備成形方法は、成形体5のX線が照射される面5aの全面を押込み率を10〜40%にして加圧する際に、成形体5のX線が照射される面の全面を加圧するパンチ4と、このパンチ4を案内するガイド3とを用いるのが好ましく、金属または合金粉末として、希土類−鉄−ホウ素系合金の酸化物粉末を用いるのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】熱交換器のアルミニウムフィンに鉄が強固に固着する以前に除去する必要があるが、そのためには、冷凍装置の熱交換器の運転状態を常に監視しなければならず、装置が大規模となるほか、鉄粉の腐食による目詰まりであるか、油にごみ等が付着したために生じた目詰まりであるかを判別することはできない。
【解決手段】この発明に係る検知装置は、アルミニウムの成型品にX線を照射する照射部と、成型品から放出される蛍光X線を分析する分析部と、分析部における分析結果からアルミニウムと鉄の信号強度の比を算出する算出部とを備え、この比により成型品に固着した鉄の固着度を検知する。 (もっと読む)


【課題】簡易な操作により容易かつ迅速に分析を行うことができるとともに、公定法との良好な相関性を得ることができる石炭灰中における砒素濃度の簡易分析方法を提供する。
【解決手段】石炭灰中における砒素濃度の簡易分析方法は、まず石炭灰にX線を照射し、該石炭灰から発せられる蛍光X線の強度を測定する蛍光X線法により得られる砒素濃度と、アメリカ環境保護庁の定める公定法(EPA Method 3051)により得られる砒素濃度との間で検量線を作成する。次いで、分析対象物としての石炭灰について前記蛍光X線法により砒素濃度を分析する。そして、蛍光X線法で得られた砒素濃度の分析値から、前記検量線に基づいて公定法により得られる石炭灰中の砒素濃度が推定可能である。 (もっと読む)


【課題】結晶構造を有する試料から発生する散乱線および不純線を抑制し、回折X線を回避することができるX線分析装置等を提供する。
【解決手段】本発明のX線分析装置は、試料Sを試料Sの所定点周りに回転させながら1次X線2を照射し、試料Sから発生する2次X線4の強度を試料Sの回転角度と対応させた回折パターンを取得して記憶し、回折パターンを、2次X線4の強度を示す直線で強度の高低方向に走査しながら、直線が示す強度以下の強度をもつ回折パターン上の点を候補点とし、隣接する候補点間の回転角度差の最大値が所定の角度になったときに走査を止めて候補点の回転角度を記憶し、試料Sの測定点の座標に応じて、記憶した候補点の回転角度の中から測定点の座標に最も近い回転角度を読み出し、読み出した回転角度に試料Sを設定するとともに、試料Sの測定点を検出器7の視野V内に配置する。 (もっと読む)


【課題】走査型電子顕微鏡等を用いて化粧料の断面を観察する化粧料の断面観察方法に関し、所望する位置での断面観察を可能とした化粧料の断面観察方法を提供する。
【解決手段】サンプルホルダに化粧料を配設して試料を作成する試料作成工程S1と、この試料を凍結させる凍結工程S2と、凍結された試料を集束イオンビームにより加工し試料に切断面を形成する切断工程S3と、走査型電子顕微鏡を用いて切断面の切断面画像を生成する切断面画像処理工程S4とを有する。また凍結工程S2において凍結された試料を凍結環境を保ったままシールド処理し、凍結環境を保ったまま切断工程S3及び切断面画像処理工程S4を実施する。この際、支持台として、人工皮膚、樹脂テープ、又は皮膚のいずれかを用い、かつ、シールド処理では真空状態又は不活性ガスを充填したシールド部材に凍結された試料を配設する。 (もっと読む)


【課題】2段に重ねられた放射線検出器の画素間での対応がとれなくなったことを早期に知ることができる非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置1は、X線照射器20、低エネルギ検出器32、高エネルギ検出器42、低エネルギ透過率算出部72、高エネルギ透過率算出部74及び検出部76を備えている。低エネルギ透過率算出部72は、被検査物Sを透過したX線の低エネルギ範囲における透過率を、低エネルギ検出器32で検出された輝度データから算出し、高エネルギ透過率算出部74は、被検査物Sを透過したX線の高エネルギ範囲における透過率を、高エネルギ検出器42で検出された輝度データから算出する。検出部76は、低エネルギ透過率算出部72で算出された透過率と、高エネルギ透過率算出部74で算出された透過率との比に基づいてX線照射器20の位置ずれを検出する。 (もっと読む)


【課題】鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定すること。
【解決手段】鋼中介在物の分析方法は、鋼片試料に電子線を第1の加速電圧で照射することによって反射電子像を取得し、取得した反射電子像から鋼組織と鋼中介在物とを識別するステップと、鋼中介在物と判定された鋼片試料領域に電子線を第1の加速電圧とは異なる第2の加速電圧で照射することによって発生する特性X線を検出し、検出された特性X線から鋼中介在物の組成に関する情報を取得するステップと、を含む。これにより、鋼中介在物の組成や大きさを迅速に測定することができる。 (もっと読む)


【課題】分析精度の高い分析装置を提供する。
【解決手段】イオンビームを試料10に照射するイオン照射部と、試料から第1の方向106に散乱する散乱イオンを通過させるための第1の開口部34aと、試料から第1の方向と異なる第2の方向114に散乱する散乱イオンを通過させるための第2の開口部34bとが形成された制限板24と、制限板の第1の開口部を通過した散乱イオンと、制限板の第2の開口部を通過した散乱イオンとに対して磁場を印加する磁場印加部28と、磁場印加部により偏向された各々の散乱イオンを検出するイオン検出部30とを有している。 (もっと読む)


【課題】高エネルギーの荷電粒子ビームにより測定試料中の物質ごとに1μm〜0.1μm等といった高空間分解能で定量的に材料分析できるとともに、前述した高精度の材料分析を研究室規模の施設で可能とする材料分析装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザを射出するパルスレーザ射出部1と、前記パルスレーザが照射される金属薄膜Fを有し、当該金属薄膜Fから荷電粒子ビームを生成する荷電粒子ビーム生成部2と、前記荷電粒子ビーム生成部2から射出された荷電粒子ビームIBを磁場又は電場により収束して、測定試料Sに照射する荷電粒子ビーム制御部3と、前記荷電粒子ビームJBが測定試料Sに照射された際に生じる放射線Rを測定する放射線測定部4と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を略一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線管31を、搬送面に平行な平面上において搬送部2の搬送方向上流側または搬送方向下流側に位置調整可能に支持する支持機構100と、第1のX線画像データおよび第2のX線画像データから被検査物Wの搬送方向の濃淡変化を示す第1の波形および第2の波形をそれぞれ取得し、第1の波形形状と第2の波形形状の差異に基づいて、X線管31の調整方向を判定する調整判定部81と、調整判定部81により判別された調整方向を表示する表示器5と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線管31を、X線ラインセンサ51に対する相対位置を調整可能に支持する第1支持機構100と、第1および第2のX線画像データから被検査物Wの検出幅方向の濃淡変化を示す第1および第2の波形をそれぞれ取得し、第1の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度(角度θ1)が第2の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度(角度θ2)より小さい場合に、X線管31の調整方向が、搬送面と平行な平面上であって被検査物Wの搬送方向と直交する方向(Y軸)において、第1の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別する調整判定部81と、調整判定部81により判定された調整方向を表示する表示器5と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】個人差を生じさせずにROI範囲を設定して検量線を算出することが可能な、検量線算出方法、及び情報処理装置を提供すること。
【解決手段】測定スペクトル上のROI範囲を設定するROI範囲設定工程と、設定されたROI範囲の積分強度を前記測定スペクトルごとに算出し、算出した積分強度に基づき最小二乗法により検量線を算出する検量線算出工程と、前記積分強度と前記検量線との誤差を算出する誤差算出工程とを含み、前記ROI範囲設定工程において、前記測定スペクトル上のROI範囲を変更し、変更後のROI範囲に基づき算出される前記誤差が最小となるROI範囲を決定する。 (もっと読む)


【課題】表面処理を行ったフィルム、ここでは薬剤による化学的処理や微細形状加工などを除く、不安定で失効しやすい表面改質処理を行なったポリマーフィルムを対象とした評価を行うに当り、測定用装置によって生じたダメージに起因する誤差を修正して、より正確な初期表面状態を容易かつ簡便に評価可能な技術を提供することを課題とする。
【解決手段】コロナ処理など不安定な表面改質処理を行ったポリマーフィルムについて、その表面状態を定量的に評価するに際し、測定用装置によって生じたダメージに起因する誤差を修正して、より正確な初期表面状態の評価を行う。 (もっと読む)


【課題】未処理の二軸延伸PETフィルム或いはシートは工業用や包装用など幅広く使われており、機能材料を塗工したり、易接着材料やプラライマー材料を予め塗工した後に機能材料を貼り合せ(ラミネート)たりして高付加価値を付与している。その際、従来はぬれ張力や接触角などでぬれ性の良いPET基材を選択してきたが、密着性との相関は高くはなかった。
【解決手段】これまでに無い密着性の指標として、XPS(X線光電子分光法)分析により検出角度45度で測定した最表面のC(炭素)、O(酸素)、Si(珪素)のナロースペクトルから得られたSi比率が0.2atomic%以下である場合は、PET基材の密着性が高いと考えられる。また、新たに加熱工程を経た場合には、Si由来のPET添加剤であるシリカフィラーがブリードして表出するので、再度XPS分析を行い、Si比率を把握することで品質管理を行うことが出来る。 (もっと読む)


【課題】エネルギーサブトラクション法により得る2つのX線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができるX線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】X線ラインセンサ51を、X線ラインセンサ52に対して平行となる姿勢を保って支持するとともに、被検査物搬送方向に位置調整可能に構成された第1支持部材71と、第1支持部材71の被検査物搬送方向に対する位置の調整操作を行う位置調整部材74と、第1のX線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第1の波形と第2のX線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第2の波形とを取得するとともに、第1の波形の先端部に対する第2の波形の先端部の位相差に基づいて第1支持部材71の位置調整方向および位置調整量を判定する位置調整判定部と、位置調整判定部による判定結果を表示する表示器と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】適量の物品と粉粒物が充填された製品か否かの判定が行えるX線検査装置を提供する。
【解決手段】X線照射器21は、物品および粉粒物を含む被検査物にX線を照射する。X線ラインセンサ22は、被検査物を透過したX線を検出する。画像生成部82aは、X線ラインセンサ22によって検出された透過X線の透過量に応じてX線画像を生成する。暗部特定部82bは、第1の閾値に基づいてX線画像のうち所定の濃淡値を有する暗部を特定する。第1判定部82cは、X線画像に含まれる暗部の総面積と第2の閾値に基づいて、正量品を判定する。 (もっと読む)


【課題】加圧成形試料からの破片や粉体による汚染を簡単な作業で十分に抑制できる試料ホルダを提供する。
【解決手段】加圧成形試料1を保持する試料ホルダ2であって、底部3a付きの円筒形であって通気部3cを有する本体3と、本体3の上部を覆うように着脱自在に取り付けられ、加圧成形試料1の分析面1aを露出させる開口4aを有し、下方から加圧成形試料1が当接される蓋体4と、加圧成形試料1が載置される受け皿5と、本体3の底部3aと受け皿5との間に配置され、受け皿5を介して加圧成形試料1を蓋体4に押圧する内側ばね6と、加圧成形試料1を非接触で囲うように配置されるリング部7aおよびそのリング部7aから垂下する多孔性膜である袋部7bからなるトラップ7と、底部3aとリング部7aとの間に配置され、リング部7aを蓋体4に押圧する外側ばね8とを備える。 (もっと読む)


1 - 20 / 1,083