【課題】放射光装置（高エネルギー電子蓄積リング）等の大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易な連続Ｘ線光源を用い、被測定物に含有される各元素の平均密度、全量等を非破壊で測定することのできる定量分析方法、及び、そのような定量分析方法を実施することのできる元素別定量分析装置を提供する。
【解決手段】炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性の軽元素からなり、冷陰極電子源から放出された電子が入射面に入射され、入射方向に対して前方にＸ線を放出するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備する連続Ｘ線光源と、エネルギー弁別型検出器とを用いて、被測定物のＸ線吸収スペクトルにおける含有各元素の吸収端ジャンプ量を求め、あらかじめ標準試料等で決定した元素別の質量吸収端ジャンプ係数と前記含有各元素の吸収端ジャンプ量に基づき、被測定物に含有される各元素について同時にＸ線透過経路上の面密度を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】厚さ２００ｎｍ以上のゴム材料でも充填剤の分散状態を詳細に観察できるゴム材料の観察方法を提供する。
【解決手段】充填剤を含有するゴム材料の観察方法であって、走査透過電子顕微鏡を用いて取得した該ゴム材料の各回転角度における画像からトモグラフィー法により３次元構造を再構築し、ゴム材料中の充填剤の分散状態を観察することを特徴とするゴム材料の観察方法に関する。 （もっと読む）

【課題】様々な性状の試料の特定部分のみを非破壊かつ高精度で微量元素まで定量分析することができる定量分析方法を提供する。
【解決手段】試料中に含まれる特定の元素を定量分析する方法であって、試料に対してＸ線を波長掃引しながら照射し、ＸＡＦＳスペクトルを得るスペクトル取得工程と、得られたＸＡＦＳスペクトルを用いて仮想高エネルギー領域曲線を作成する仮想高エネルギー領域曲線作成工程と、得られたＸＡＦＳスペクトルを用いて仮想バックグラウンド曲線を作成する仮想バックグラウンド曲線作成工程と、仮想高エネルギー領域曲線と、仮想バックグラウンド曲線との差を用いて特定の元素を定量する解析工程とを含むことを特徴とする定量分析方法である。 （もっと読む）

【課題】被検査物が短い間隔で高速に搬送される場合または被検査物が連続的に搬送される場合であっても、被検査物の成分比率を求めることができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】搬送される被検査物にＸ線を照射し、被検査物を透過した複数の異なるエネルギー帯のＸ線の透過量を検出し、そのエネルギー帯毎の検出信号から複数の異なるエネルギー帯の数と同数分の被検査物の成分について質量を求めるための質量換算係数を記憶する換算係数記憶手段を備え、複数の異なるエネルギー帯毎の検出信号と換算係数記憶手段に記憶された成分ごとの質量換算係数に基づいて被検査物中に含まれる成分の比率を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易迅速に潤滑油のダイリューションの発生を早期に検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置４０は、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を抜き出す潤滑油分取ラインＬ１１と、潤滑油分取ラインＬ１１から抜き出した潤滑油３２に酸性薬剤４７を添加する酸性薬剤供給手段４１と、潤滑油３２を加熱して潤滑油３２中に含まれる無機成分を炭化し、炭化物５０を生成する電気炉４２と、炭化物５０を検出する分析装置４３と、を有し、分析装置４３で得られた検出結果から燃料油中に含まれる無機成分を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板上の半導体デバイスを均一に汚染した試料を作成できる試料汚染方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の実施形態に係る試料汚染方法は、汚染物を含有する薬液を筺体内へ噴霧する工程と、噴霧により薬液が充満した筺体内へ半導体基板を搬入する工程と、薬液が充満した筺体内へ半導体基板を所定時間放置する工程と、所定時間経過後に、半導体基板を筺体内から搬出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、X線等による回折測定時の含水結晶の乾燥を防ぎ、適切な試料凍結を行う方法及びそのための装置の提供を目的とする。
【解決手段】
結晶を水溶性ポリマーで包み込む工程を含む含水結晶のＸ線回折測定方法。 （もっと読む）

【課題】異物を精度良く識別する最適な画像処理アルゴリズムの設定操作を容易に行うことができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】画像処理アルゴリズムを予め複数記憶する情報蓄積部４７と、被検査物Ｗ中から検出する異物について、主に検出すべき異物の成分を含む異物検出能力を表す異物検出特性を選択する設定操作部４５と、設定操作部４５で選択された異物検出特性に近似する少なくとも１つの画像処理アルゴリズムを情報蓄積部４７から抽出する制御部４６と、制御部４６により抽出された画像処理アルゴリズムを所定形式で表示する表示部５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの電子蓄積リングのような大がかりな装置を用いることなく、所定値以上のエネルギー領域において特性Ｘ線の無い連続Ｘ線を発生することのできるＸ線放射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射装置は、炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性軽元素ターゲットからなり、冷陰極電子源から放出された電子を入射するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備し、電子の入射方向に対して前方に放出するＸ線を利用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの金属不純物の元素情報及び空間情報を高感度且つ高精度で取得することができ、加えて低コスト且つ簡便に実現することができるシリコンウェハの金属不純物分析方法を提供する。
【解決手段】気相エッチング用のＯ_３／ＨＦ混合ガスをシリコンウェハ表面に噴射し、シリコンウェハ表面を気相エッチングする。これにより、第１表層のシリコンが分解され、該第１表層に含まれる金属不純物がその位置をほぼ維持したまま第１表層分解後のシリコンウェハ表層に蓄積する。また、第１表層分解後のシリコンウェハ表面は、Ｏ_３／ＨＦ混合ガスによる気相エッチングにより鏡面化される。その後、気相エッチングにて鏡面化されたシリコンウェハ表面をＴＸＲＦ法にてスキャンし、シリコンウェハの第１表層に含まれる金属不純物の面内分布情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】対象の外郭を示す形状情報だけでなく内部構造に関する情報をも含む立体画像を再構成する。
【解決手段】対象の立体画像を再構成する立体画像再構成装置であって、濃淡で示された複数の透過型画像を撮像する撮像部と、透過型画像において複数の特徴領域を選択する特徴領域選択部と、複数の特徴領域のそれぞれの、透過型画像上の位置に基づいて、複数の特徴領域の空間的な分布を算出する特徴領域分布算出部と、複数の透過型画像を重ね合わせて対象の立体構造を示す立体画像を再構成する場合に、複数の特徴領域の空間的な分布に基づいて、複数の透過型画像により示される濃淡を、複数の特徴領域のそれぞれの位置に割り付けて、複数の特徴領域のそれぞれにおける立体構造を示す立体画像を再構成することにより、対象全体に濃淡を割り付けた立体画像を再構成する立体画像再構成部とを備える立体画像再構成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】透過法によるＸ線回折測定ができる構造を前提として、被測定試料と標準試料の周囲環境を同じにして高精度な熱分析測定を実現する。
【解決手段】被測定試料に対しＸ線を照射してＸ線回折測定を実施するとともに、当該被測定試料および標準試料を加熱して熱分析測定を同時に実施する機能を備えたＸ線回折・熱分析同時測定装置であり、被測定試料および標準試料を加熱する加熱炉を備えている。この加熱炉は、円筒形状をしており、中心軸が水平方向に配置され、一端面から他端面へとＸ線を透過可能な構成をしている。さらに、被測定試料および標準試料を加熱する加熱炉内に配置され、これら各試料から伝えられる熱を検出する感熱板３０と、感熱板３０の感熱面に設けられた被測定試料を保持する第１試料保持部３１と、感熱板３０の感熱面に設けられた標準試料を保持する第２試料保持部３２とを有している。 （もっと読む）

【課題】所定の光軸にマルチキャピラリＸ線レンズを設置する際、保護ケースの中心軸に合わせて設置することが可能なマルチキャピラリＸ線レンズ用の保護ケースを提供する。
【解決手段】本発明に係るマルチキャピラリＸ線レンズ用保護ケースは、マルチキャピラリＸ線レンズの周囲を覆う保護管１０と、保護管１０の外周に設けた外管１２と、該外管１２の内側の保護管１０の傾きを調整する調整手段としての調整ねじ１３と、有することを特徴とする。本発明の保護ケースは、調整ねじ１３を用いて外管１２の内側の保護管１０の傾きを調整することで、保護管１０の内部のマルチキャピラリＸ線レンズ７の実効軸Ａ₁と外管１２の中心軸Ａ₄の相対的傾きを調整することができる。そのため、調整ねじ１３を用いて予めこれらの軸を調整しておけば、最も外側に位置する外管１２の中心軸Ａ₄を、光軸を合わせる際の基準にすることができる。 （もっと読む）

【課題】セメントを含有する溶液を精度よく分析できる溶液分析装置を提供する。
【解決手段】セメントを含有する溶液を分析する溶液分析装置１０であって、溶液が流動する管路であり、該管路における所定容積の一部を上流側及び下流側から独立して荷重を支持できるように構成したスパイラル計量管３２を有する循環管路２０と、スパイラル計量管３２の重量を測定するロードセル３８と、循環管路２０に介装されたＸ線測定ブロック４０と、Ｘ線測定ブロック４０を流れる溶液のカルシウム含有率を測定する蛍光Ｘ線測定装置５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】鉛含有量を簡易かつ正確に測定することのできる蛍光Ｘ線分析法および装置を提供する。
【解決手段】鉛含有量が既知の標準試料により得られる鉛含有量と鉛特性Ｘ線強度との関係と、鉛特性Ｘ線強度とに基づいて鉛含有量を求める蛍光Ｘ線分析法において、Ｘ線管球電圧を変えながらＸ線透視像を観察し、Ｘ線透視像に投影された鉛含有粒子の影の有無を調べることにより、所定のＸ線管球電圧でのＸ線が貫通していない鉛含有粒子を有しているか否かを判定基準として、貫通していない鉛含有粒子を有しないグループ１と、貫通していない鉛含有粒子を有するグループ２とに分類し、グループ１の蛍光Ｘ線分析については、所定のＸ線管球電圧でのＸ線が貫通していない鉛含有粒子を有しないものを標準試料として選定し、グループ２の蛍光Ｘ線分析については、所定のＸ線管球電圧でのＸ線が貫通していない鉛含有粒子を有するものを標準試料として選定する。 （もっと読む）

【課題】公定法に準拠し抽出した液、または、それに準拠し抽出した被検査液、さらに濃縮して、対象とする元素の濃度を濃縮した液、もしくは、検査対象としない元素の濃度を相対的に下げる、元素（イオン物質）を選択およびまたは濃縮した液を被検査液として用いて、ラボ分析や現場分析にも使用可能な、検出検体を得る金属検出用センサを提供する。
【解決手段】ベース絶縁基板上に、参照電極、対極電極、及び作用電極を備え、各電極と電気的に接続された端子部を備え、前記各電極のうち、少なくとも作用電極を覆うように、多孔性の交互積層膜が形成されたことを特徴とする金属検出用センサである。 （もっと読む）

【課題】機能性付与成分中に励起により蛍光Ｘ線を発生する元素が含まれていない場合であっても、非破壊で機能性付与成分の含有状態を容易に判定できる機能性多孔質体を提供する。
【解決手段】機能性付与成分として第一成分とトレース用成分としての第二成分とを多孔質体に同時に含有させてなる機能性多孔質体であって、前記第一成分と前記第二成分とは互いに相溶するか前記第二成分は前記第一成分と同時に溶媒に溶解され、前記第二成分には励起により蛍光Ｘ線を発生する元素が含有され、前記第二成分に含有される前記元素が前記第一成分に含有されず、かつ、前記第二成分中の前記元素が前記機能性多孔質体の表面からの蛍光Ｘ線分析による検出が可能な含有量で前記第二成分が該機能性多孔質体に含有されている機能性多孔質体。 （もっと読む）

【課題】簡易な測定が可能であり、かつ、測定対象物を破壊することなく、浸炭深さを定量的に把握しうるＣｒ含有合金の浸炭深さ測定方法を提供する。
【解決手段】浸炭深さが異なるＣｒ含有合金の複数の試料についてポータブル型蛍光Ｘ線分析装置により分析を行って（ステップＳ２）、クロム及びクロム以外の金属元素の濃度と浸炭深さとの関係を予め求めておく（ステップＳ４）。次に、測定対象物であるＣｒ含有合金について前記ポータブル型蛍光Ｘ線分析装置により分析を行って、該測定対象物中のクロム及びクロム以外の金属元素の濃度を測定する（ステップＳ６）。この後、予め求めた前記関係に基づいて、前記測定対象物中のクロム及びクロム以外の金属元素の濃度の測定結果から、前記測定対象物の浸炭深さを求める（ステップＳ８）。 （もっと読む）

【課題】高精度に試料の不純物濃度分布を測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明の試料の不純物濃度分布を測定する方法は、走査工程、フィルタ工程、二次電子の強度を測定する強度測定工程、ハイパスフィルタ１７のカットオフエネルギー値Ｅｃを段階的にＮ−１回上昇させる工程、及び、二次電子の強度のエネルギー分布曲線ＲＬ、ＲＨを評価する工程とを備える。カットオフエネルギー値Ｅｃの各段階において、走査工程、フィルタ工程、及び、強度測定工程が行われる。ｍを１以上Ｎ以下の任意の整数、ｐを１以上Ｎ−１以下の任意の整数、ｍ段階目のカットオフエネルギー値ＥｃをＥ_ｍ、カットオフエネルギー値ＥｃがＥ_ｍである際に測定された二次電子の強度をＩ_ｍとしたとき、Ｉ_ｐ＋１−Ｉ_ｐの値を、Ｅ_ｐ以上Ｅ_ｐ＋１以下のエネルギーを有する二次電子の強度とみなす。 （もっと読む）

【課題】従来は測定し難かった測定対象物であっても容易に測定できるＸ線回折装置及びＸ線回折の測定方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線を照射するＸ線照射源１と、Ｘ線が測定対象物９に照射されて回折したＸ線を検出する検出器２と、Ｘ線照射源１と検出器２とを移動可能に支持する支持部材１０と、を備えているＸ線回折装置１００であって、支持部材１０は、直交する二軸のそれぞれの軸方向に、それぞれ独立して移動可能な第１の位置決め手段１３及び第２の位置決め手段１４と、二軸に垂直な軸の軸方向に移動可能な第３の位置決め手段１５とを備え、Ｘ線照射源１及び検出器２が固定された第１の位置決め手段１３、第２の位置決め手段１４及び第３の位置決め手段１５が所定の位置に移動することにより、Ｘ線の照射位置及び回折したＸ線の検出位置が決定されるように構成されているＸ線回折装置。 （もっと読む）