【課題】
X線マイクロビーム分析装置において、より簡便な方法でX線マイクロビームの試料上での照射位置を目視観察しながらX線マイクロビーム分析を行えるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
Ｘ線源とＸ線が照射される試料台との間にＸ線透過部を有する反射ミラーを有し、前記Ｘ線源と反射ミラーの間に、Ｘ線集光用光学素子を有するＸ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線検出器１０は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部９と、被検査物Ｗの搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、・・・からなる検出素子列１０１〜１０８を搬送方向に複数段有し、複数の検出素子列１０１〜１０８の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線検出器１０により出力される合成データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４４と、を備える。また、被検査物Ｗの厚さ情報に応じて、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列の段数を設定する段数設定部４６を備える。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置を提供する。
【解決手段】撮影する被検体５の層状構造の層面が、断層撮影面に交差するようにテーブル４上に載置し、撮影する被検体５に向けて断層撮影面に沿った放射線光軸を中心に放射線を放射する放射線源１と、被検体５を透過した放射線２を検出して透過像として出力する放射線検出器３と、テーブル４と放射線２とを相対的に回転させる回転手段７と、回転手段７と放射線検出手段３を制御して被検体５の層面が放射線２の光軸と平行に近くなる回転角度を優先的に複数の透過像をスキャンデータとして取り込んで記憶し、スキャンを実施するスキャン制御手段９ｃと、このスキャンデータから被検体５の断層撮影面に平行な少なくとも１枚の断面像を再構成する再構成手段９ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】例えば数ＭｅＶ以上の高エネルギーのＸ線であって、かつ異なるエネルギーのＸ線を従来よりも安価に発生させる。
【解決手段】Ｘ線源１と、該Ｘ線源１から出射されたＸ線の特定スペクトル成分の透過を阻止することにより異なるスペクトルの検査用Ｘ線を出射するＸ線透過手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物品の内容物の過不足の有無の判定精度を向上することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 順々に搬送されてくる被検査物品ＷにＸ線を照射するＸ線照射器２２と、被検査物品Ｗを透過したＸ線の透過量を検出するＸ線検出器２３と、制御装置２４とを備え、制御装置２４は、Ｘ線検出器２３で検出されるＸ線の透過量に基づいて被検査物品Ｗの内容物の体積値を算出する体積値算出手段と、体積値算出手段により算出される体積値が許容体積範囲内にあるか否かに基づいて被検査物品Ｗがその内容物に過不足のない良品であるか否かを判定する過不足判定手段と、過不足判定手段の判定結果が良品であるものの中から直近に搬送されてきた所定個数の被検査物品の各々に対して体積値算出手段により算出された内容物の体積値に基づいて、許容体積範囲を変更する許容範囲変更手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を測定すること。
【解決手段】電子線源２が、鉄鋼材料Ｓに電子線Ｅを照射する。ＷＤＸ３が、電子線Ｅの照射に伴い発生するＸ線を検出することによって、鉄鋼材料Ｓに含まれる主成分元素以外の低濃度元素の分布状態を測定する。ＥＤＸ４が、Ｃｒ箔からなるフィルター７を透過したＸ線を検出することによって、主成分元素以外の高濃度元素の分布状態を測定する。これにより、鉄鋼材料Ｓに含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、ビームラインの方向をほとんど変えずに、Ｘ線の吸収による減衰を抑えながら、Ｘ線を集束又は平行化することができるＸ線屈折方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線Ｂ１が入射又は出射する第１面２と、前記第１面２から離れた位置から当該第１面２の反対側へ前記第１面２に垂直にかつ互いに平行に延びる複数の第２面４及び各前記第２面４の先端からその内側に隣り合う他の第２面４の基端に至るように延びる複数の第３面５を有し、前記第２面４の基端を通り前記第１面２に平行な面、前記第２面４及び前記第３面５により規定される複数のプリズム部６を有する屈折部３と、を備えたＸ線屈折素子１を、前記第１面２がＸ線Ｂ１の入射又は出射軸Ｂ_ｉｎに対して垂直な角度位置から前記第２面４に垂直なＺ軸の回りに所定角度θ回転した位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の回折格子を使用して位相コントラスト画像を撮影する放射線撮影システムにおいて、高精度な測定器を使用せずに各回折格子の位置や傾きを調整する。
【解決手段】１枚目の格子である第３の吸収型格子２５は、ＦＰＤ２０の検出面に直交するｚ軸上に配置され、第３の吸収型格子２５を通過するＸ線量に基づいて、ｚ軸に直交するｘ軸、ｙ軸上の回転位置θｘ、θｙが調整される。２枚目の格子である第１の吸収型格子２１は、モアレパターンが生じるようにｚ軸上に配置され、ＦＰＤ２０により検出したモアレパターンの周波数が面内において一律になるように、θｘ、θｙが調整される。３枚目の格子である第２の吸収型格子２２は、２枚目の格子である第１の吸収型格子２１と同様にモアレパターンに基づいてθｘ、θｙが調整され、その後にモアレパターンがＦＰＤ２０により検出されなくなるように、ｚ軸位置またはｚ軸周りのθｚが調整される。 （もっと読む）

【課題】対象物の元素組成を同定する方法を提供する。
【解決手段】この方法は、選択されたエネルギー範囲を獲得するために少なくとも１つのエネルギー選択規準に応じて照射エネルギー範囲のエネルギー範囲を選択するステップ（２１０）と、選択された元素を獲得するために、少なくとも１つの元素・選択規準に応じて、対象物の分析が実行される純粋な元素及び／又は化合物を選択するステップ（２１５）と、選択されたエネルギー範囲に応じて、選択された純粋な元素及び／又は化合物の吸収係数を決定するステップ（２２０）と、選択された純粋な元素及び／又は化合物の積分密度を決定するステップ（２３０）と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】酸素分離膜用材料の還元膨張率を適切に測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明により提供される還元膨張率測定方法は、酸素分離膜用材料の還元膨張率を測定する方法であって、測定対象となる材料１６について還元雰囲気下でＸ線回折測定を行い、その材料１６の還元雰囲気下における還元雰囲気下格子定数を求める工程と、材料１６について空気雰囲気下でＸ線回折測定を行い、その材料１６の空気雰囲気下における空気雰囲気下格子定数を求める工程と、得られた還元雰囲気下格子定数と空気雰囲気下格子定数とに基づいて、材料の還元膨張率を算出する工程とを包含する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板の洗浄水中の不純物が被洗浄基板の汚染に及ぼす影響を評価する方法を提供する。
【解決手段】被洗浄基板としてのシリコンウエハの表面の汚染は、シリコンウエハ上に存在するＳｉＯＨに由来するＯＨ基が吸着活性点となり、ここ金属含有成分、有機物等が吸着することにより生じる。そこで超純水製造システム１を基本システムとして洗浄した後のＳｉＯＨ（ＯＨ基）の量と、シリコンウエハの洗浄条件や水質条件等の洗浄処理条件を変動させて洗浄した後のＳｉＯＨの量とを測定し、両者の比に基づき最適な水質を設定し、さらに当該設定水質の超純水を供給し得る最適なシステム設定となるように基本システムを組み換えたり、基本システムの構成要素の仕様を変更したりする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ホログラム撮像用の試料構造体に、参照光が通過する実効的に小さな参照光孔を容易に形成する。
【解決手段】Ｘ線を透過する支持基板３の下面上に形成されたＸ線遮蔽層２と、遮蔽層２を貫通し底面に支持基板３を表出する透過窓５と、支持基板３上の透過窓５直上に形成された薄膜試料４と、透過窓５に入射するＸ線の可干渉長内に開設され、遮蔽層２及び支持基板３を斜めに貫通する参照光透過用の参照光孔６とを有し、垂直方向視したとき、参照光孔６の上下の開口形状６ａ、６ｂが、一部重畳するＸ線ホログラム撮像用の試料構造体１０。 （もっと読む）

【課題】バックグラウンド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するスペクトルであっても、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の適当な分離を図ること。
【解決手段】典型的なバックグラウンド波形と強度を求めたい蛍光Ｘ線ピーク波形とそのピークの周辺にあり検出された複数の蛍光Ｘ線ピーク波形を使い、測定された波形を良く再現するようにバックグラウンド波形と蛍光Ｘ線ピーク波形の強度を変化させる。そして、出来上がったスペクトルから、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離する蛍光Ｘ線分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】モルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を迅速に予測できる方法を提供すること。
【解決手段】セメントクリンカー又は当該セメントクリンカーを含むセメントの粉末Ｘ線回折結果をプロファイルフィッティング法により解析して、セメントクリンカーに含まれるクリンカー鉱物の結晶情報を得る第一工程と、結晶情報を基に、セメントクリンカーを含むセメントから得られるモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量を予測する第二工程と、を有するモルタル又はコンクリートの終局の断熱温度上昇量の予測方法。 （もっと読む）

【課題】試料が軽量な小片である場合でも外部から伝わる振動による試料の移動を防止し、試料の蛍光Ｘ線分析を精度良く行うことができる試料ホルダ及び試料分析方法を提供する。
【解決手段】上側チャンバ４１と下側チャンバ３１とを上下に仕切るベース板３２に形成された照射窓３６を塞ぐように２枚のフィルム１１ｂを載置するとともに、Ｘ線管３３により励磁Ｘ線が照射される試料１００を２枚のフィルム１１ｂで挟持した。 （もっと読む）

【課題】試料のＸ線吸収差により、画像再構成に生じる放射状パターンのアーチファクトを低減する。
【解決手段】Ｘ線連続スペクトルを記憶し、単一スペクトルのＸ線投影データgを生成し、補正量を初期化し、Ｘ線投影データを補正量h、tで補正して撮影物に含む２つの物質のＸ線吸収係数のエネルギー依存性を考慮して撮影物に単一スペクトルのＸ線を照射した場合に相当する補正Ｘ線投影データg’を得、単一波長用画像再構成アルゴリズムを用いて逆投影演算してＣＴ画像を再構成し、各物質を区別する１つのしきい値TH1、TH2、…を用いてＣＴ画像から各物質の領域を抽出しこの領域のＸ線経路の長さを演算し、発生Ｘ線連続スペクトルのエネルギー、各物質の領域の長さ及び各物質のＸ線吸収係数を用いて連続スペクトルのＸ線投影データfを演算し、単一ペクトルのＸ線投影データgと連続スペクトルのＸ線投影データfとの差で補正量h、tを演算する。 （もっと読む）

【課題】バイオマスメタン発酵施設などにおける含水状態の有機汚泥の全体組成を迅速に評価することができる有機汚泥の組成推定方法を提供することにある。
【解決手段】有機汚泥の組成推定方法において、蛍光Ｘ線法を用いて測定されたリンとカルシウムの量からリン酸カルシウム系化合物量を推定する工程と、前記リン酸カルシウム系化合物に含まれなかったカルシウム残量から炭酸カルシウム量を推定する工程とを備える。有機汚泥としてはメタン発酵汚泥であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作により高い精度で膨張剤を含むモルタルやコンクリートの乾燥収縮量を予測する方法の提供。
【解決手段】膨張モルタル又はコンクリートの乾燥収縮量を予測する方法であって、水中材齢７日のセメント硬化体について、セメントの水和反応に伴って生成されるエトリンガイトの量から前記膨張モルタル又はコンクリートの水中材齢７日の膨張量を推定することを特徴とする、膨張モルタル又はコンクリートの乾燥収縮量の予測方法。 （もっと読む）