【課題】２つの放射線検出器における画素数が異なっても、これらの放射線検出器による放射線像に基づく演算処理を容易にする。
【解決手段】一実施形態に係る放射線検出装置８０は、サブトラクション法を用いる異物検査用の放射線検出装置であって、被検査物Ｓを透過した第１エネルギ範囲の放射線を検出して第１画像を生成する第１放射線検出器３２と、第１エネルギ範囲の放射線よりも高い第２エネルギ範囲の放射線を検出して第２画像を生成する第２放射線検出器４２と、第１画像の画像処理を行う第１画像処理部３４と、第２画像の画像処理を行う第２画像処理部４４とを備え、第１放射線検出器３２の画素の像検出方向での第１画素幅は、第２放射線検出器４２の画素の像検出方向での第２画素幅より小さく、第１画像処理部３４及び第２画像処理部４４は、第１画像の画素数と第２画像の画素数とを等しくするように画素変更処理を行う。 （もっと読む）

【課題】二次イオン質量分析における一次イオンエネルギー補正方法に関し、実効的な一次イオンエネルギーを簡便かつ精確に把握し、装置上の設定値からのずれを補正する。
【解決手段】標準試料を用いて二次イオン質量分析により求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を標準チャートとして予め求め、測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際に、標準試料を用いて求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を実測前に求め、前記標準チャートのプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性と前記実測前に求めたプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性との差分から一次イオンエネルギーのエネルギーずれを求め、前記求めたエネルギーずれを基にして前記測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際の一次イオンエネルギーを補正する。 （もっと読む）

【課題】リサイクル樹脂の臭素濃度を精度良く測定する。
【解決手段】少なくとも樹脂片を含む分別対象物を重ならずに移動させる搬送装置と、複数の分別対象物に同時にＸ線あるいは電子線を照射する照射線発生装置と、複数の樹脂片中の臭素から同時に放出される蛍光Ｘ線を検出する検出装置と、検出された蛍光Ｘ線のデータを処理するデータ処理部と、該データ処理部からの信号に基づいて臭素濃度を測定する臭素濃度測定装置であって、前記データ処理部は、検出された蛍光Ｘ線のデータを樹脂片の所定単位毎に積算するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 作業効率よく、安全に試料測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、信号を分析する分析器と、試料を載置する試料ステージと、試料ステージ上の試料と放射線源及びＸ線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、試料における照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構と、測定した試料における照射ポイントの高さに基づいて移動機構を制御して、試料と放射線源及びＸ線検出器との距離を調整する制御部とを備えていることを特徴とするＸ線分析装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】装置を構成する非金属部材の破片が異物として物品に混入した場合であっても、その異物をＸ線検査装置によって検出することが可能な組合せ計量装置を得る。
【解決手段】組合せ計量装置２は、物品を供給する供給部５と、投入された物品を放射状に分散する分散テーブル７と、供給部５から供給された物品を分散テーブル７上に投入する投入部６と、分散テーブル７の周囲に複数配置された搬送部８と、各搬送部８から供給された物品を一時的に貯留するプールホッパ９と、各プールホッパ９から供給された物品の重量を計量する計量ホッパ１０と、計量ホッパ１０から供給された物品を集合して排出する排出部１１とを備える。供給部５、分散テーブル７、投入部６、搬送部８、プールホッパ９、計量ホッパ１０、及び排出部１１の少なくとも一つにおいて、物品と接触する接触面の少なくとも一部が、Ｘ線造影剤を含有する所定の材質を用いて構成されている。 （もっと読む）

【課題】分析パラメータを少しずつ変更しながら分析を繰り返して適切な分析条件を見い出す作業を行う際の、分析者の負担を軽減し作業効率を改善する。
【解決手段】分析パラメータを情報として含む分析条件ファイルに、ＩＤとその下位のバージョン情報とを属性情報として付与する。分析者が目的とするファイルを読み出してパラメータを適宜編集し（Ｓ１〜Ｓ３）、そのファイルを用いた分析実行指示やファイル保存の指示を行うと（Ｓ４、Ｓ５でＹｅｓ）、データベース管理部はバージョン情報を自動的に更新し（Ｓ７）、ＩＤは元のままで更新されたバージョン情報を属性として、編集後のパラメータを含む分析条件ファイルをデータベースに新規保存する（Ｓ８）。これにより、編集後のパラメータを含む分析条件ファイルが編集前のパラメータを含む分析条件ファイルとは別に確実に保存される。 （もっと読む）

【課題】電子線マイクロアナライザ分析用の試料ホルダであって試料の着脱が容易で且つチャージアップが発生しない試料ホルダを備えた電子線マイクロアナライザを提供する。
【解決手段】包埋試料を収納する空間を形成するＵ字形保持枠を有し、枠の底部に設置したコイルバネにて包埋試料を力が作用した状態で保持し、しかも上面には試料マスクを載置してホルダと試料間の導電系を保持させつつ保持するものである。したがってチャージアップは生起しない。 （もっと読む）

【課題】極めて短時間に且つ簡単に試料分析を行う。
【解決手段】 電子ビーム照射により試料４表面から発生し、Ｘ線分光器７のＸ線検出器に検出された特性Ｘ線信号に基づくスペクトルを表示装置１７の表示画面上に表示させる様に成してあり、過去の分析に使用した分析条件に関するデータとその分析条件下で検出された信号に基づいて作成された分析データとを関連付けて記憶する記憶手段１６、分析データに関係するパラメータの数値範囲を選択可能に表示手段１７に表示させるパラメータ表示指令部９Ｐ、表示されたパラメータから分析データに関係するパラメータの数値範囲を指定する指定手段１８、及び、指定されたパラメータの数値範囲が含まれる分析データに関係づけられた分析条件データを記憶手段１６に記憶されたデータから抽出し、表示手段１７に表示させる分析条件抽出手段２１を備えている。 （もっと読む）

【課題】改良型の微量熱量計型エネルギー分散型Ｘ線分光計を提供すること。
【解決手段】改良型の微量熱量計型エネルギー分散型Ｘ線分光計は、低電子ビーム・エネルギーで試料の高空間分解能Ｘ線マッピングを実用的に実行するのに十分なエネルギー分解能およびスループットを提供する。エッチングによって試料から層を除去する能力を提供するデュアル・ビーム・システムとともに使用すると、本発明のシステムを、３次元Ｘ線マッピングに使用することができる。好ましいシステムは、試料を出たＸ線のうち検出器に衝突するＸ線の割合を増大させるため、広角の開口を有するＸ線光学部品を使用し、パルス・パイルアップを回避するため、複数の検出器を使用する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射によって得られた転動装置のＸ線断層データによって潤滑剤の状態を正確に観察することができる転動装置の観察方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線を照射することで転動装置の内部のＸ線吸収率データを得るとともに、このＸ線吸収率データに基づいて、前記転動装置の内部の濃淡をグレースケールで表すＸ線画像データを取得する。次いで、ＣＡＤデータに基づいて転動装置を構成する内側軌道部材、外側軌道部材及び転動体の形状を示すＣＡＤ画像データを取得する。次いで、前記Ｘ線画像データ及び前記ＣＡＤ画像データの差に基づいてこれらデータの非共通部分である差分画像データを取得する。次いで、前記Ｘ線画像データ及び前記差分画像データに基づいて前記転動装置の内部形状を画像表示装置に表示し、形状変化部分を観察する。 （もっと読む）

【課題】粒子ビームを用いて試料の構造に関する情報を得るための検査方法において、試料から放出された電子およびｘ線から試料に関する情報を得ることができる検出方法および検査装置を提案する。
【解決手段】検査方法は、試料に粒子ビームを集束するステップと、試料に隣接して配置した少なくとも１つの検出器を作動するステップと、少なくとも１つの検出器によって生成した検出信号を異なった強度間隔に割り当てるステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射した電子に関連した少なくとも１つの第１信号成分を決定するステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射したＸ線に関連した少なくとも１つの第２信号成分を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明はエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置に関し、スペクトル同士の相関関係を求める必要がなく、高速に処理が可能なエネルギー分散型Ｘ線分析装置のスペクトルの分類方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料に荷電粒子ビームを照射して試料から発生したＸ線を所定の区画毎に検出し、検出されたＸ線から、横軸にエネルギー、縦軸に発生したＸ線の数を表わすＸ線スペクトルを求めるスペクトル取得手段と、該スペクトル取得手段から得られたスペクトルを横軸をＭ分割、縦軸をＮ分割して、横軸のＭ分割区域毎に縦軸の数値を求め、求めた数値列を各区画毎に得る数値列算出手段と、同じ数値列の区画をまとめて、同一の数値列により同一の組成と判定された区画を同じ色で着色する着色手段と、各組成と判定された個別の分布を合成して分布図を得る分布図取得手段とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】 試料の材料分析と内部構造分析とを省力的に短時間で行うことができ、また大型試料にも対応可能で、しかも、持ち運んで屋外で使用することもできる大型試料用のＸ線複合分析装置、及び当該装置を利用したＸ線複合分析方法を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線光源に面光源である焦電結晶を用いたＸ線面状照射器１と；Ｘ線を照射する試料Ｓを配置するための試料セッティング部２と；この試料セッティング部２に対して、前記Ｘ線面状照射器１と同じ側、またはＸ線面状照射器１の反対側に配置され、かつ、Ｘ線が照射された試料Ｓから放出される蛍光Ｘ線を検出可能な蛍光Ｘ線検出器３と；前記試料セッティング部２に対し前記Ｘ線面状照射器１の反対側に配置され、かつ、Ｘ線が照射された試料ＳのＸ線透過像を撮影可能なＸ線撮像器４とを含んでＸ線複合分析装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】 多量の反応ガスを流しながらＸ線回折で試料（亜鉛フェライト脱硫剤）の反応過程（炭素析出）をその場で観察する。
【解決手段】 試料を流通する前と流通した後の反応ガスの組成が変化しない状態に試料２１を保持する微分反応評価試料保持部１５を備え、検証条件を保持した状態でＸ線回折装置（Ｘ線発生手段２５、二次元Ｘ線検出手段２６）により試料２１の組成の形態変化をその場で直接解析し、炭素の析出が生じる過程での形態変化を検証する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハ上の欠陥の分析に特に有利であり、自動化による製造プラント内でのウェーハのインライン検査に適するシステムを提供する。
【解決手段】 バックグラウンドに起因するｘ線信号を定量的に考慮する欠陥のＥＤＸ自動分析用システムを用いる。本システムは、バックグラウンドと欠陥のｘ線サンプリングに適切な場所を自動的に同定することができる。本システムは、また、バックグラウンドに起因し欠陥に起因しない信号を効果的に、かつ定性的ではなく定量的に除去することができる。『微量分析』と呼ばれる有利な特徴が本システムのスループットを高くすることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】保温材で取り囲まれる配管及び容器のいずれかの外面とその保温材を取り囲む保温カバーの外面との間に形成される領域内に存在する水分の検出精度を向上できる水分測定装置を提供する。
【解決手段】水分測定装置１は測定装置本体部５を有し、測定装置本体部５のケーシング２５内に、中性子源装置３及び中性子検出装置６が設けられる。中性子源装置３は高速中性子を放出する中性子源２を有し、中性子検出装置６は中性子検出器７をコリメータ８で取り囲んでいる。コリメータ８に設けられたコリメータ開口部９には、複数の仕切り部材１０が配置され、これらの仕切り部材１０によって複数のスリット１１が形成されている。中性子源２から放出された高速中性子は、減速材２４で減速された後、保温領域内に存在する水分３４でさらに減速されて熱中性子になる。この熱中性子はスリット１１を通って中性子検出器７で検出される。 （もっと読む）

【課題】 骨材の種類による影響が比較的少なく、信頼性に優れた硬化コンクリートの配合組成推定方法を提供することを課題としている。
【解決手段】 電子プローブマイクロアナライザを用いて硬化コンクリート表面を面分析することにより、該表面の区画ごとに少なくとも二酸化珪素及び酸化カルシウムの濃度を測定する硬化コンクリートの配合組成推定方法であって、
前記面分析により不連続相と認識された不連続部分の二酸化珪素濃度又は酸化カルシウム濃度から骨材の種類を推定する骨材種類推定工程と、
骨材の種類に応じて二酸化珪素又は酸化カルシウムの基準濃度範囲を決定し、二酸化珪素又は酸化カルシウムの濃度が該基準濃度範囲内である区画を含む領域を骨材部分と判定する骨材部分判定工程と、
該骨材部分の面積から骨材含量を推定する骨材含量推定工程とをおこなうことにより骨材含量を推定する硬化コンクリートの配合組成推定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー帯のＸ線を用いて測定対象の成分を計測できるとともに、測定対象に応じて識別すべきエネルギー帯を容易に変更できるＸ線成分計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１０から照射されたＸ線は、計測対象３０を透過して、Ｘ線検出器２０に入射する。Ｘ線検出器２０は、量子計数方式の検出器であって、予め設定された２個以上のしきい値で区切られたエネルギー帯のＸ線量子数を計数する。Ｘ線検出器２０により計数されたＸ線量子数に基づいて３種類以上の成分比を算出することができる。しきい値は、測定対象に応じて変更でき、しきい値を３個以上にとると、４種類以上の成分比を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】 難燃剤などの由来の無機成分に含まれる微量な成分であっても、その組成分析を迅速かつ高精度に定量分析することによって、金型成形用のハロゲン系難燃剤含有樹脂を選択する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ハロゲン系難燃剤を含有する樹脂を凍結粉砕して微粒化する工程と、前記微粒化された樹脂に対して、加圧成形して無機成分の定性分析、および純水と混合して得られる抽出液のイオン成分の濃度の測定を行う工程とを含んでなり、前記無機成分の定性分析および前記イオン成分の濃度の測定結果に基づき、前記無機成分および／または前記イオン成分の濃度が低い樹脂を選択する、金型成形用のハロゲン系難燃剤含有樹脂を選択する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 測定試料に含まれる一つの元素のＸ線吸収端より低く、かつ、検出元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの特性Ｘ線を試料に照射するＸ線管球１１と、Ｘ線が試料を透過した際の透過Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、透過Ｘ線の透過像からコントラスト像を得る演算部１５と、を備えたＸ線透過装置及びＸ線透過方法とする。 （もっと読む）