Ｘ線検査装置
【課題】Ｘ線が筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、筺体９１０と、被検査物が載置される載置面を有する回転テーブル７１１と、回転テーブル７１１の上方に配置され、回転テーブル７１１で搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線源２１０と、Ｘ線源２１０から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００と、Ｘ線が回転テーブル７１１の載置面とＸ線源２１０との間から筺体９１０の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部３００とを備える。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、筺体９１０と、被検査物が載置される載置面を有する回転テーブル７１１と、回転テーブル７１１の上方に配置され、回転テーブル７１１で搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線源２１０と、Ｘ線源２１０から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００と、Ｘ線が回転テーブル７１１の載置面とＸ線源２１０との間から筺体９１０の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部３００とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転テーブルを備えた検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の透視検査装置は、放射線しゃへい構成をとったテーブル収容部と検査室とが連設され、この検査室内に配置された放射線発生器と透視装置との間に被検査物を設定して透視検査を行う装置において、前記テーブル収容室および検査室に跨って配置された複数の区画に分割された回転テーブルと、この回転テーブルを所定角度ずつ間欠回転させるテーブル回転駆動装置と、前記回転テーブルの各区画ごとに首振り可能に設けられ、被検査物を載置してなる載置台と、この載置台上の被検査物を初期検査位置に設定する初期位置設定装置と、前記検査室内に設けられ、回転テーブルの回転によって検査室内に到達したある区画の載置台を所定角度回動させて前記載置台上の被検査物の検査領域を可変させる検査領域可変装置とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭５９−１１７９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１の透視検査装置では、テーブル収容部が放射線しゃへい構成となっているが、当然、検査対象であるワークをテーブル収容部に供給するワーク供給口と、検査後のワークを搬出するワーク搬出口とが必要になる。この透視検査装置では、テーブル収容室の上部にワーク供給口及びワーク搬出口が開口している。しかしながら、上記特許文献１に開示される透視検査装置では、回転テーブルが複数の区画に分割されているので、搬送される物品のサイズや供給間隔の制約が多くなる。そのため、当該透視検査装置は、汎用性及び高速性に不向きとなっていた。
【０００５】
また、特許文献１の透視検査装置では、回転テーブルの周縁部より所定距離内側に円筒状のしゃへい体およびこのしゃへい体より径方向外側に放射状に複数のしゃへい体を立設させて複数の区画が形成されているが、上記した汎用性及び高速性の観点から、回転テーブルの載置面には前述したようなしゃへい体のような構造物が無い方が好ましい。しかしながら、当該複数のしゃへい体を無くすと、回転テーブルのあらゆる箇所からＸ線が漏洩するという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、Ｘ線が筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することが可能なＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一局面に係るＸ線検査装置は、筺体と、被検査物が載置される載置面を有する回転テーブルと、回転テーブルの上方に配置され、回転テーブルで搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検知するセンサと、Ｘ線が回転テーブルの載置面とＸ線源との間から筺体の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部とを備える。
【０００８】
このＸ線検査装置は、各種サイズの物品を高速に搬送するために、回転テーブルの載置面上には構造物が何もないので、汎用性及び高速性に優れたＸ線検査装置を得ることができる。この場合、回転テーブルの載置面上には構造物が何もないので、Ｘ線が回転テーブルのあらゆる箇所から漏洩する恐れがあるところ、本発明では、Ｘ線漏洩防止部を設けることにより、筺体内で反射したＸ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することができる。すなわち、本発明のＸ線検査装置は、汎用性及び高速性を維持しつつ、筺体内で反射したＸ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することができる。
【０００９】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部は、Ｘ線源のＸ線照射口を覆うように形成されている。
【００１０】
この場合、Ｘ線源をＸ線漏洩防止部により覆うことによって、不要なＸ線がＸ線漏洩防止部の外側に照射されるのを抑制することができる。これにより、Ｘ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩するのを抑制することができる。
【００１１】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部は、回転テーブルの載置面に対して上方に延びる第１遮蔽板及び第２遮蔽板を有し、当該Ｘ線漏洩防止部は、第１遮蔽板と第２遮蔽板との間が空間となる中空形状となっている。
【００１２】
汎用性及び高速性に優れたＸ線検査装置を得るため、回転テーブルの載置面上には構造物が何もないので、Ｘ線が回転テーブルのあらゆる箇所から漏洩する恐れがあるところ、第１遮蔽板と第２遮蔽板との２重構造のＸ線漏洩防止部を設けることにより、筺体内で反射したＸ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩してしまうのを確実に防止することができる。
また、第１遮蔽板と第２遮蔽板との間に形成された空間において、Ｘ線を繰り返し反射させることにより、当該Ｘ線が減衰する。これにより、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
また、Ｘ線漏洩防止部が中空形状となっているので、Ｘ線漏洩防止部の軽量化を図ることができる。これにより、回転テーブルの清掃時において、Ｘ線漏洩防止部を回転テーブルの載置面付近から退避させる場合、Ｘ線漏洩防止部の移動が容易になり、回転テーブルの清掃性が向上する。
また、Ｘ線漏洩防止部が中空形状となっているので、下面空間に物品が溜まるのを防止することができる。これにより、当該溜まった物品によって雑菌が発生してしまうのを防止することができる。
【００１３】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部の外周面は、Ｘ線源のＸ線照射口を覆っている。
【００１４】
この場合、筺体の内周面とＸ線漏洩防止部の外周面との間で、Ｘ線を繰り返し反射することにより、当該Ｘ線が減衰する。これにより、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
【００１５】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部は、Ｘ線の漏洩を防止する漏洩防止位置から載置面から離間した非漏洩防止位置まで移動し、且つ、非漏洩防止位置でＸ線が照射された場合にセンサによって検知する検知部を有する。
【００１６】
この場合、この場合、Ｘ線漏洩防止部を非漏洩防止位置に配置することによって、回転テーブルの載置面付近に空き空間が形成され、回転テーブルの清掃性が向上する。
また、Ｘ線漏洩防止部を回転テーブルの載置面から離間した非漏洩防止位置に固定した状態で、Ｘ線照射を行ってしまった場合でも、センサがＸ線漏洩防止部の検知部によって一部のＸ線を検知できないので、正しくＸ線漏洩防止部が装着されていないことが分かる。これにより、Ｘ線照射を停止した後、Ｘ線漏洩防止部を非漏洩防止位置から漏洩防止位置に戻して、Ｘ線検査装置の正常運転を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＸ線検査装置の外観を示した正面図である。
【図２】Ｘ線検査装置の概略的構成の一例を示す模式的平面図である。
【図３】Ｘ線検査装置の概略を説明するための模式的側面図である。
【図４】漏洩防止位置に配置されるＸ線漏洩防止カバーと、非漏洩防止位置に配置されるＸ線漏洩防止カバーとを示した模式的側面図である。
【図５】Ｘ線漏洩防止カバーの詳細を説明するための図である。
【図６】Ｘ線検査装置の筺体とＸ線漏洩防止カバーとの関係を示した図である。
【図７】Ｘ線検査装置の取り付け方法を説明するための図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るＸ線検査装置を示した模式的側面図である。
【図９】図８に示したＸ線検査装置をセンサ側から見た模式的側面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係るＸ線検査装置の第１変形例を示した模式的側面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るＸ線検査装置の（ａ）第２変形例、（ｂ）第３変形例、（ｃ）第４変形例を示した模式的側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態に係るＸ線検査装置について図面を参照しながら説明する。
【００１９】
（第１実施形態）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、図１及び図２に示すように、既設のトップチェーン型コンベア９００に取り付けられ、該トップチェーン型コンベア９００によって搬送される物品Ｂ中に含まれる異物の検査、物品Ｂが複数の個体から構成される場合の該個体数の検査（欠品検査）、及び、物品Ｂの割れや欠けの検査等を行う。このＸ線検査装置１００は、主として、受取部６００、Ｘ線検査部７００、受渡部８００、Ｘ線漏洩防止構造の筺体９１０、及び、表示部９２０からなる。
【００２０】
図２及び図３に示すように、受取部６００は、受取テーブル６１１、回転軸６１２、第１モータ６１３、案内ガイド板６１４を有している。Ｘ線検査部７００は、Ｘ線照射部２００、Ｘ線漏洩防止カバー３００、ラインセンサ４００、制御部５００、検査テーブル７１１、回転軸７１２、第２モータ７１３、及び、不良品ボックス７１４を有している。受渡部８００は、受渡テーブル８１１、回転軸８１２、第３モータ８１３、案内ガイド板８１４を有している。なお、図３における括弧書きの符号は、受取部６００と同様の構成からなる受渡部８００の関係を示すために記載している。なお、本実施形態における受取テーブル６１１、検査テーブル７１１及び受渡テーブル８１１の天面には、仕切り板を設けていない。
【００２１】
（受取部）
図２及び図３に示すように、受取部６００は、トップチェーン型コンベア９００から物品Ｂを受け取るために設けられる。垂直に設けられた回転軸６１２の一端側に第１モータ６１３が取り付けられ、回転軸６１２の他端側に水平面を有する受取テーブル６１１が取り付けられる。この受取テーブル６１１は、天板が円板形状からなる。また、受取テーブル６１１上には、トップチェーン型コンベア９００上の物品Ｂを該受取テーブル６１１から検査テーブル７１１に案内する案内ガイド板６１４が設けられる。
【００２２】
（Ｘ線検査部）
図２及び図３に示すように、Ｘ線検査部７００は、受取部６００から受け取った物品ＢにＸ線を照射することにより、該物品ＢのＸ線検査を行うものである。垂直に設けられた回転軸７１２の一端側に第２モータ７１３が取り付けられ、回転軸７１２の他端側に水平面を有する検査テーブル７１１が取り付けられる。この検査テーブル７１１は、受取部６００から受け取った物品Ｂを上面の外周端近傍に載置して検査テーブル７１１の回転方向（−Ｒ１方向）に沿って搬送する。そして、検査テーブル７１１の上方には、Ｘ線照射部２００が設けられている。
【００２３】
（Ｘ線照射部）
Ｘ線照射部２００は、検査テーブル７１１の載置面に載置される物品Ｂに対してＸ線を照射するために設けられている。このＸ線照射部２００は、検査テーブル７１１の略中心方向から径方向外側で、且つ、トップチェーン型コンベア９００から遠ざかる方向に向かってＸ線を照射している。Ｘ線照射部２００は、Ｘ線源２１０と、Ｘ線源２１０を覆う筺体のカバー２２０と、Ｘ線源２１０から照射されるＸ線が通過するＸ線照射口２３０とを有している。本実施形態では、検査テーブル７１１の載置面から上方に所定の間隔を隔ててＸ線照射部２００が配置されている。そして、筺体のカバー２２０のラインセンサ４００側には、Ｘ線漏洩防止カバー３００が回転可能に取り付けられている。
【００２４】
（Ｘ線漏洩防止カバー）
Ｘ線漏洩防止カバー３００は、図４に示すように、筺体のカバー２２０側の上端に回動軸が設けられ、該回動軸を中心としてＸ線漏洩防止カバー３００の下端側がラインセンサ４００側に近づくように上方に回転可能に設けられている。この場合、検査テーブル７１１の載置面に近接した位置であってＸ線の漏洩を防止する漏洩防止位置Ｐ１（図４（ａ）参照）から当該載置面から離間した非漏洩防止位置Ｐ２（図４（ｂ）参照）まで回転する。すなわち、物品ＢのＸ線検査時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、漏洩防止位置Ｐ１に配置されて、Ｘ線照射部２００と検査テーブル７１１との間を通過するＸ線を遮蔽する。また、検査テーブル７１１の清掃時等において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、非漏洩防止位置Ｐ２に配置されて、検査テーブル７１１の載置面付近に構造物が配置されないようにしている。なお、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、ステンレスである。
【００２５】
図５に示すように、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、板金を折り曲げることによって形成される略筒状の部材であって、Ｘ線照射部２００とラインセンサ４００との間に配置される前面部（第１遮蔽板）３１０と、前面部３１０のＸ線照射部２００側に設けられる上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０とを有している。この前面部３１０、上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０から構成されるＸ線漏洩防止カバー３００は、Ｘ線照射口２３０（図４参照）を覆うように形成されている。そして、本実施形態では、前面部３１０、上部漏洩防止片３４０、及び、下部漏洩防止片３５０によって、Ｘ線漏洩防止カバー３００の内部が空間ＳＰ２となる中空形状となっている。
【００２６】
前面部３１０は、検査テーブル７１１の載置面に対して垂直上方に延びる部分であって、その水平断面形状は、図５（ｄ）に示すように、Ｘ線照射部２００側が開口した略Ｕ字状である。この前面部３１０は、最もラインセンサ４００側に配置された正面部３１１と、当該正面部３１１のＸ方向（Ｘ線漏洩防止カバー３００の幅方向：Ｘ方向）の端部の各々からＸ方向外側で且つＸ線照射部２００側に傾斜する斜面部３１２及び３１３と、当該斜面部３１２及び３１３のＸ方向の外側の端部の各々からＹ方向（Ｘ線漏洩防止カバー３００の奥行方向：Ｙ方向）に延びる側面部３１４及び３１５を有している。つまり、本実施形態の前面部３１０は、正面部３１１、斜面部３１２、斜面部３１３、側面部３１４、及び、側面部３１５から構成され、その外周面が５つの平面からなる多面体形状である。
【００２７】
前面部３１０の正面部３１１は、平面視におけるＸ線の照射方向に沿う線Ｌ（仮想的な線であって、図２中の２点鎖線）上に配置されている。そして、正面部３１１の矢印Ｘ方向の略中央には、Ｘ線漏洩防止カバー３００のＺ方向（Ｘ線漏洩防止カバー３００の高さ方向：Ｚ方向）を長軸とするスリット３１６が形成されている。このスリット３１６は、Ｘ線照射部２００から照射されるＸ線が通過する開口であって、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線は、当該スリット３１６を介してラインセンサ４００（図４参照）に入射される。
【００２８】
そして、本実施形態では、正面部３１１のＸ線照射部２００側には、正面部３１１に対向して、上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０が設けられている。上部漏洩防止片３４０の下端と、下部漏洩防止片３５０の上端との間であって、Ｘ線照射口２３０に対応する部分には、開口Ｔが形成されている。
【００２９】
また、図４（ｂ）に示すように、Ｘ線漏洩防止カバー３００が非漏洩防止位置Ｐ２に配置された場合において、本実施形態の下部漏洩防止片３５０は、ラインセンサ４００によって検知される領域（図４中の斜線の領域）ＡＲに配置される。
【００３０】
（ラインセンサ）
ラインセンサ４００は、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線を検知して、制御部５００に検知信号を出力する。本実施形態では、既設のトップチェーン型コンベア９００から遠ざかる方向にＸ線が照射されるので、ラインセンサ４００は、Ｘ線照射部２００のトップチェーン型コンベア９００とは反対側に配置されている。
【００３１】
（制御部）
図３に示すように、筺体９１０内には、制御部５００が内蔵される。この制御部５００は、第１モータ６１３、第２モータ７１３、第３モータ８１３との間で信号の送受信が可能なように設けられる。また、制御部５００は、Ｘ線照射部２００との間で信号の送受信、及び、ラインセンサ４００からの信号を受信できるように設けられる。この制御部５００は、ラインセンサ４００からの検知信号に基づきＸ線透過画像を作成して表示部９２０（図１参照）に表示すると共に、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｂの検査を行う。この制御部５００によって検査された物品の内の不良品は、後述する受渡部８００に渡されずに、図２中の棒７１５によって検査テーブル７１１の面上から落下され、不良品ボックス７１４（図１及び図２参照）に投入される。
【００３２】
（受渡部）
図２及び図３に示すように、受渡部８００は、Ｘ線検査部７００によって良品と判断された物品Ｂを検査テーブル７１１からトップチェーン型コンベア９００に受け渡すために設けられる。垂直に設けられた回転軸８１２の一端側に第３モータ８１３が取り付けられ、回転軸８１２の他端側に水平面を有する受渡テーブル８１１が取り付けられる。本実施形態に係る受渡テーブル８１１は、天板が円板形状からなる。また、受渡テーブル８１１上には、検査テーブル７１１上の物品Ｂを該受渡テーブル８１１からトップチェーン型コンベア９００に案内する案内ガイド板８１４が設けられる。
【００３３】
（筺体）
図１及び図２に示すように、筺体９１０は、Ｘ線照射部２００を覆うように設けられ、当該筺体９１０の外部にＸ線が漏洩しないようにＸ線遮蔽構造を有している。そのため、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線が乱反射した場合でも、該乱反射した大部分のＸ線を筺体９１０内に残留させることができる。図６に示すように、この筺体９１０は、Ｘ線漏洩防止カバー３００の外側に配置されており、その内周面は、上記したＸ線漏洩防止カバー３００の前面部３１０の外周面に対向して、複数の平面からなる多面体形状となっている。本実施形態では、当該筺体９１０の内周面は、前述した前面部３１０の外周面と同様に、Ｘ線源２１０のＸ線照射口２３０を覆っている。
【００３４】
この筺体９１０は、図６に示すように、上記した受取部６００に物品Ｂを搬入させる搬入口（開口部）９１１と、上記した受渡部８００から物品Ｂを搬出させる搬出口９１２（開口部）とを有している。本実施形態では、筺体９１０のトップチェーン型コンベア９００側の面９１３には、開口が無く、搬入口９１１と搬出口９１２とは、平面視においてＸ線照射方向（矢印Ｌ方向）に対して直交する方向に開口している。さらに、これにより、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線が反射した１次線（Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線が１度反射したもの）が直接、当該搬入口９１１及び搬出口９１２から漏洩するのを防止している。こうすることで、この搬入口９１１及び搬出口９１２に、物品Ｂを倒す障害となる漏洩防止カーテンなど所定のＸ線遮蔽手段を設けなくても良い。
【００３５】
（Ｘ線検査装置の動作）
次に、図２及び図３に示したＸ線検査装置１００の動作の一例について説明を行う。
【００３６】
図２及び図３に示すように、トップチェーン型コンベア９００上を矢印ＨＬ１の方向に沿って搬送される物品Ｂが受取部６００の案内ガイド板６１４により受取テーブル６１１側に移動される。この場合、物品Ｂは、矢印ＨＬ２の方向に沿って一対の案内ガイド板６１４の間を通過し、受取テーブル６１１に載置される。
【００３７】
受取テーブル６１１に載置された物品Ｂは、受取テーブル６１１が矢印Ｒ１の方向に回転することにより、矢印ＨＬ３の方向に移送され、検査テーブル７１１に受け渡される。
【００３８】
検査テーブル７１１が矢印−Ｒ１の方向に回転することにより、検査テーブル７１１に載置された物品Ｂは、検査テーブル７１１上を矢印ＨＬ４の方向に沿って移動し、Ｘ線照射部２００からＸ線が照射される。
【００３９】
そして、Ｘ線検査が終了した物品Ｂは、検査テーブル７１１上を矢印ＨＬ５の方向に沿って移動する。この際、前述したＸ線検査によって不良品と判断された物品Ｂは、不良品ボックス７１４に投下される。一方、Ｘ線検査によって良品と判断された物品Ｂは、矢印ＨＬ６の方向に沿って一対の案内ガイド板８１４の間を通過し、受渡テーブル８１１に載置される。
受渡テーブル８１１に載置された物品Ｂは、受渡テーブル８１１が矢印Ｒの方向に回転することにより、矢印ＨＬ７の方向に移送される。この場合、物品Ｂは、一対の案内ガイド板８１４の間を通過し、トップチェーン型コンベア９００上に戻される。
【００４０】
（Ｘ線漏洩防止カバーの開閉動作）
次に、図４を参照して、Ｘ線漏洩防止カバー３００の開閉動作について説明を行う。本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を検査テーブル７１１の載置面に近接する漏洩防止位置Ｐ１から検査テーブル７１１の載置面から離間した非漏洩防止位置Ｐ２まで回転させることによって、検査テーブル７１１の載置面付近から構造物を退避させて空き空間Ｓを形成して、当該検査テーブル７１１の清掃を容易にする。
【００４１】
図４（ａ）に示すように、物品Ｂの検査が行われるＸ線検査時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、漏洩防止位置Ｐ１に配置されている。この際、Ｘ線漏洩防止カバー３００の下端は、検査テーブル７１１の載置面に近接して配置されると共に、前面部３１０及び漏洩防止片３４０及び３５０は、当該載置面に対して垂直に配置される。これにより、ラインセンサ４００側からＸ線照射部２００に向かって進行するＸ線に関して、２重に配置された前面部３１０と漏洩防止片３４０及び３５０とで確実に遮蔽することができる。
【００４２】
そして、図４（ｂ）に示すように、物品Ｂの検査が終了してＸ線源２１０からのＸ線照射を停止させる。次に、検査テーブル７１１の載置面を清掃する清掃時等において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、漏洩防止位置Ｐ１から手動で回転させ非漏洩防止位置Ｐ２に図示しない位置固定手段にて固定される。この際、Ｘ線漏洩防止カバー３００の下部に配置される下部漏洩防止片３５０が、ラインセンサ４００により検知される位置に配置される。これにより、当該下部漏洩防止片３５０によってＸ線が検知されなくなる。このため、Ｘ線漏洩防止カバー３００を非漏洩防止位置Ｐ２に固定したままＸ線照射を行っても、下部漏洩防止片３５０を検知するので、Ｘ線漏洩防止カバー３００が非漏洩防止位置Ｐ２に配置されていると判断すると共に、制御部５００によってＸ線源２１０のＸ線照射を停止できる。
【００４３】
（既設のトップチェーン型コンベアに対するＸ線検査装置の取り付け方法）
次に、トップチェーン型コンベア９００にＸ線検査装置１００を取り付ける状態について説明を行う。
【００４４】
図７に示すように、トップチェーン型コンベア９００に対してＸ線検査装置１００をトップチェーン型コンベア９００の搬送方向と垂直な方向（図中矢印Ｌ１の方向）から介挿する。それにより、図２に示したように、トップチェーン型コンベア９００に対してＸ線検査工程を容易に追加することができる。
【００４５】
なお、この場合、トップチェーン型コンベア９００に対してＸ線検査装置１００の受取テーブル６１１、検査テーブル７１１、受渡テーブル８１１、Ｘ線照射部２００、及びラインセンサ４００等の高さを調整する高さ調整機構（図示せず）が設けられている。この高さ調整機構によりトップチェーン型コンベア９００の高さに合うように受取テーブル６１１、検査テーブル７１１、受渡テーブル８１１、Ｘ線照射部２００、及びラインセンサ４００等の高さ調整をし、トップチェーン型コンベア９００にＸ線検査装置１００を介挿する。
【００４６】
（本実施形態における効果）
以上のように、本実施形態に係るＸ線検査装置１００においては、受取テーブル６１１、検査テーブル７１１及び受渡テーブル８１１の天面に仕切り板を設けなくても、Ｘ線漏洩防止カバー３００を設けることにより、筺体９１０内で反射したＸ線が検査テーブル７１１の載置面とＸ線照射部２００との間から筺体９１０の外部に漏洩してしまうのを防止することができる。
【００４７】
また、本実施形態では、Ｘ線源２１０をＸ線漏洩防止カバー３００により覆うことによって、Ｘ線検知に不要なＸ線がＸ線漏洩防止カバー３００の外側に放射されるのを抑制することができる。これにより、Ｘ線検知に不要なＸ線が筺体９１０内を反射するのを抑制することができるので、当該Ｘ線が検査テーブル７１１の載置面とＸ線照射部２００との間から筺体９１０の外部に漏洩するのを抑制することができる。
【００４８】
また、本実施形態では、前面部３１０と、上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０との２重構造のＸ線漏洩防止カバー３００を設けることにより、筺体９１０内で反射したＸ線が検査テーブル７１１の載置面とＸ線照射部２００との間から筺体９１０の外部に漏洩してしまうのを確実に防止することができる。
【００４９】
また、本実施形態では、図６に示すように、Ｘ線漏洩防止カバー３００の空間ＳＰ２において、Ｘ線を繰り返し反射させることにより、Ｘ線の通過距離が長くなり、当該Ｘ線が減衰する。これにより、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
【００５０】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００が中空形状となっており、且つ、開口部Ｔがあるため、Ｘ線漏洩防止カバー３００の軽量化を図ることができる。これにより、検査テーブル７１１の清掃時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００を検査テーブル７１１の載置面付近から退避させる場合、Ｘ線漏洩防止カバー３００の移動が容易になり、検査テーブル７１１の清掃性が向上する。
【００５１】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００に底面に開口部Ｔが設けられているため、底面部分に物品が溜まるのを防止することができる。これにより、当該溜まった物品によって雑菌が発生してしまうのを防止することができる。
【００５２】
また、本実施形態では、筺体９１０の内周面がＸ線源２１０のＸ線照射口２３０を覆うことによって、筺体９１０の内周面とＸ線漏洩防止カバー３００の外周面との間で、Ｘ線が繰り返し反射する。これにより、当該Ｘ線が減衰し、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
【００５３】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を非漏洩防止位置Ｐ２に配置することによって、検査テーブル７１１の載置面付近に空き空間ＳＰ１が形成され、検査テーブル７１１の清掃性が向上する。
【００５４】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を検査テーブル７１１の載置面から離間した非漏洩防止位置Ｐ２に固定した状態で、Ｘ線照射を行ってしまった場合でも、ラインセンサ４００が漏洩防止片３５０を検知する。そのため、制御部５００が、Ｘ線漏洩防止カバー３００が非漏洩防止位置Ｐ２に配置されているのを直ちに認識し、Ｘ線源２１０からのＸ線照射を停止させる。その後、Ｘ線漏洩防止カバー３００を手動で非漏洩防止位置Ｐ２から漏洩防止位置Ｐ１に戻して、Ｘ線検査装置の正常運転を実施することができる。
【００５５】
＜請求項の各構成要素と上記実施形態の各部との対応関係＞
上記実施形態においては、Ｘ線検査装置１００が「Ｘ線検査装置」に相当し、筺体９１０が「筺体」に相当し、物品Ｂが「被検査物」に相当し、検査テーブル７１１が「回転テーブル」に相当し、Ｘ線源２１０が「Ｘ線源」に相当し、ラインセンサ４００が「センサ」に相当し、Ｘ線漏洩防止カバー３００が「Ｘ線漏洩防止部」に相当し、Ｘ線照射口２３０が「Ｘ線照射口」に相当し、前面部３１０が「第１遮蔽板」に相当し、漏洩防止片３４０及び３５０が「第２遮蔽板」に相当し、空間ＳＰ２が「空間」に相当し、漏洩防止位置Ｐ１が「漏洩防止位置」に相当し、非漏洩防止位置Ｐ２が「非漏洩防止位置」に相当し、下部漏洩防止片３５０が「検知部」に相当する。
【００５６】
（第２実施形態）
上記した第１実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線漏洩防止カバー３００がＸ線照射部２００のラインセンサ４００側の面に回転可能に取り付けられる例について説明したが、この第２実施形態に係るＸ線検査装置１００ａは、検査テーブル７１１ａの載置面に対して垂直方向（矢印Ｚ方向）にスライド移動可能なＸ線漏洩防止カバー３００ａを備えている。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同様の構成及び動作については、第１実施形態の符号に「ａ」を付加して、適宜その説明を省略する。
【００５７】
図８及び図９に示すように、第２実施形態に係るＸ線検査装置１００ａは、Ｘ線照射部２００ａ、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａ、ラインセンサ４００ａ、検査テーブル７１１ａ、回転軸７１２ａ等を有するＸ線検査部７００ａを備えている。
【００５８】
そして、本実施形態に係るＸ線漏洩防止カバー３００ａは、Ｘ線照射部２００ａの筺体のカバー２２０ａのラインセンサ４００ａ側の面にスライド移動可能に取り付けられている。具体的には、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａは、リニアガイド３５０ａにより検査テーブル７１１ａの載置面に対して垂直方向（矢印Ｚ方向）にスライド移動可能となっている。リニアガイド３５０ａは、筺体のカバー２２０ａのラインセンサ４００側の面に取り付けられるスライドレール３５１ａと、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａのＸ線照射部２００ａ側の面に取り付けられるスライドブロック３５２ａとを有している。そして、スライドレール３５１ａに対してスライドブロック３５２ａがスライドすることによって、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａが矢印Ｚ方向に沿って移動可能となる。この際、スライドブロック３５２ａは、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａの下端が検査テーブル７１１に接触しないように、下方への移動が規制されている。
【００５９】
上記構成のＸ線検査装置１００ａにおいて、図８（ａ）及び図９（ａ）に示すように、物品ＢのＸ線検査時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａは、漏洩防止位置Ｐ１ａに配置されて、Ｘ線がＸ線照射部２００ａと検査テーブル７１１ａとの間から外部に漏洩するのを遮蔽する。また、図８（ｂ）及び図９（ｂ）に示すように、検査テーブル７１１ａの清掃時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａを手動で矢印Ｚ方向に移動させ、図示しない位置固定手段にて非漏洩防止位置Ｐ２ａに固定する。その結果、検査テーブル７１１ａの載置面付近に空き空間ＳＰ１が形成される。この際、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａのスライド移動に伴って、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａに形成されるスリット３１６ａも上方に移動し、スリット３１６ａの下方の部分（検知部）３１７ａが検知される位置に配置される。これにより、当該検知部３１７ａによってＸ線が検知されなくなる。このため、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａを非漏洩防止位置Ｐ２ａに固定したままＸ線照射を行っても、検知部３１７ａを検知するので、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａが非漏洩防止位置Ｐ２ａに配置されていると判断すると共に、制御部５００によってＸ線源２１０ａのＸ線照射を停止できる。
【００６０】
ここでは、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａの形状については、言及しないが、当該Ｘ線漏洩防止カバー３００ａの形状は、上記した第１実施形態に係るＸ線漏洩防止カバー３００と同様に、Ｘ線照射部２００ａのＸ線照射口２３０ａを覆うように形成されていても良いし、内部が中空形状であっても良いし、その外周面が複数の平面からなる多面体形状であっても良い。
【００６１】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００６２】
＜第１変形例＞
例えば、上記第１実施形態では、Ｘ線照射部２００のラインセンサ４００側の面にＸ線漏洩防止カバー３００を回転可能に取り付ける例について説明したが、本発明はこれに限らず、図１０（ａ）及び（ｂ）に示した第１変形例に係るＸ線検査装置１００ｂのように、第１実施形態と同様の構造のＸ線漏洩防止カバー３００ｂを、Ｘ線照射部２００ｂのラインセンサ４００ｂとは反対側の面に回転可能に取り付けても良い。
【００６３】
＜第２〜第４変形例＞
また、上記実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を、Ｘ線照射部２００を覆うように設ける例について説明したが、本発明はこれに限らず、図１１（ａ）に示した第２変形例に係るＸ線検査装置１００ｃのように、Ｘ線漏洩防止カバー３００ｃをＸ線照射部２００ｃの前面且つ下部に取り付けても良いし、図１１（ｂ）に示した第３変形例に係るＸ線検査装置１００ｄのように、Ｘ線漏洩防止カバー３００ｄをＸ線照射部２００ｄの背面且つ下部に取り付けても良い。また、図１１（ｃ）に示した第４変形例に係るＸ線検査装置１００ｅのように、Ｘ線漏洩防止カバー３００ｅをＸ線照射部２００ｅの下部に取り付けても良い。
【００６４】
また、上記実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００をステンレスにより構成する例について説明したが、当該Ｘ線漏洩防止カバー３００は、Ｘ線の遮蔽性に優れた鉛及びタングステン等の金属製であっても良い。
【符号の説明】
【００６５】
１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄ，１００ｅ Ｘ線検査装置
２１０，２１０ａ Ｘ線源
２３０ Ｘ線照射口
４００，４００ａ，４００ｂ ラインセンサ
３００，３００ａ，３００ｂ，３００ｃ，３００ｄ，３００ｅ Ｘ線漏洩防止カバー
３１０ 前面部
３４０ 上部漏洩防止片
３５０ 下部漏洩防止片
７１１ 検査テーブル
９１０ 筺体
Ｂ 物品
Ｐ１，Ｐ１ａ 漏洩防止位置
Ｐ２，Ｐ２ａ 非漏洩防止位置
ＳＰ２ 空間
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転テーブルを備えた検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の透視検査装置は、放射線しゃへい構成をとったテーブル収容部と検査室とが連設され、この検査室内に配置された放射線発生器と透視装置との間に被検査物を設定して透視検査を行う装置において、前記テーブル収容室および検査室に跨って配置された複数の区画に分割された回転テーブルと、この回転テーブルを所定角度ずつ間欠回転させるテーブル回転駆動装置と、前記回転テーブルの各区画ごとに首振り可能に設けられ、被検査物を載置してなる載置台と、この載置台上の被検査物を初期検査位置に設定する初期位置設定装置と、前記検査室内に設けられ、回転テーブルの回転によって検査室内に到達したある区画の載置台を所定角度回動させて前記載置台上の被検査物の検査領域を可変させる検査領域可変装置とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭５９−１１７９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１の透視検査装置では、テーブル収容部が放射線しゃへい構成となっているが、当然、検査対象であるワークをテーブル収容部に供給するワーク供給口と、検査後のワークを搬出するワーク搬出口とが必要になる。この透視検査装置では、テーブル収容室の上部にワーク供給口及びワーク搬出口が開口している。しかしながら、上記特許文献１に開示される透視検査装置では、回転テーブルが複数の区画に分割されているので、搬送される物品のサイズや供給間隔の制約が多くなる。そのため、当該透視検査装置は、汎用性及び高速性に不向きとなっていた。
【０００５】
また、特許文献１の透視検査装置では、回転テーブルの周縁部より所定距離内側に円筒状のしゃへい体およびこのしゃへい体より径方向外側に放射状に複数のしゃへい体を立設させて複数の区画が形成されているが、上記した汎用性及び高速性の観点から、回転テーブルの載置面には前述したようなしゃへい体のような構造物が無い方が好ましい。しかしながら、当該複数のしゃへい体を無くすと、回転テーブルのあらゆる箇所からＸ線が漏洩するという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、Ｘ線が筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することが可能なＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一局面に係るＸ線検査装置は、筺体と、被検査物が載置される載置面を有する回転テーブルと、回転テーブルの上方に配置され、回転テーブルで搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検知するセンサと、Ｘ線が回転テーブルの載置面とＸ線源との間から筺体の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部とを備える。
【０００８】
このＸ線検査装置は、各種サイズの物品を高速に搬送するために、回転テーブルの載置面上には構造物が何もないので、汎用性及び高速性に優れたＸ線検査装置を得ることができる。この場合、回転テーブルの載置面上には構造物が何もないので、Ｘ線が回転テーブルのあらゆる箇所から漏洩する恐れがあるところ、本発明では、Ｘ線漏洩防止部を設けることにより、筺体内で反射したＸ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することができる。すなわち、本発明のＸ線検査装置は、汎用性及び高速性を維持しつつ、筺体内で反射したＸ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することができる。
【０００９】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部は、Ｘ線源のＸ線照射口を覆うように形成されている。
【００１０】
この場合、Ｘ線源をＸ線漏洩防止部により覆うことによって、不要なＸ線がＸ線漏洩防止部の外側に照射されるのを抑制することができる。これにより、Ｘ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩するのを抑制することができる。
【００１１】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部は、回転テーブルの載置面に対して上方に延びる第１遮蔽板及び第２遮蔽板を有し、当該Ｘ線漏洩防止部は、第１遮蔽板と第２遮蔽板との間が空間となる中空形状となっている。
【００１２】
汎用性及び高速性に優れたＸ線検査装置を得るため、回転テーブルの載置面上には構造物が何もないので、Ｘ線が回転テーブルのあらゆる箇所から漏洩する恐れがあるところ、第１遮蔽板と第２遮蔽板との２重構造のＸ線漏洩防止部を設けることにより、筺体内で反射したＸ線が回転テーブルの載置面とＸ線照射部との間から筺体の外部に漏洩してしまうのを確実に防止することができる。
また、第１遮蔽板と第２遮蔽板との間に形成された空間において、Ｘ線を繰り返し反射させることにより、当該Ｘ線が減衰する。これにより、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
また、Ｘ線漏洩防止部が中空形状となっているので、Ｘ線漏洩防止部の軽量化を図ることができる。これにより、回転テーブルの清掃時において、Ｘ線漏洩防止部を回転テーブルの載置面付近から退避させる場合、Ｘ線漏洩防止部の移動が容易になり、回転テーブルの清掃性が向上する。
また、Ｘ線漏洩防止部が中空形状となっているので、下面空間に物品が溜まるのを防止することができる。これにより、当該溜まった物品によって雑菌が発生してしまうのを防止することができる。
【００１３】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部の外周面は、Ｘ線源のＸ線照射口を覆っている。
【００１４】
この場合、筺体の内周面とＸ線漏洩防止部の外周面との間で、Ｘ線を繰り返し反射することにより、当該Ｘ線が減衰する。これにより、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
【００１５】
Ｘ線検査装置において、Ｘ線漏洩防止部は、Ｘ線の漏洩を防止する漏洩防止位置から載置面から離間した非漏洩防止位置まで移動し、且つ、非漏洩防止位置でＸ線が照射された場合にセンサによって検知する検知部を有する。
【００１６】
この場合、この場合、Ｘ線漏洩防止部を非漏洩防止位置に配置することによって、回転テーブルの載置面付近に空き空間が形成され、回転テーブルの清掃性が向上する。
また、Ｘ線漏洩防止部を回転テーブルの載置面から離間した非漏洩防止位置に固定した状態で、Ｘ線照射を行ってしまった場合でも、センサがＸ線漏洩防止部の検知部によって一部のＸ線を検知できないので、正しくＸ線漏洩防止部が装着されていないことが分かる。これにより、Ｘ線照射を停止した後、Ｘ線漏洩防止部を非漏洩防止位置から漏洩防止位置に戻して、Ｘ線検査装置の正常運転を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＸ線検査装置の外観を示した正面図である。
【図２】Ｘ線検査装置の概略的構成の一例を示す模式的平面図である。
【図３】Ｘ線検査装置の概略を説明するための模式的側面図である。
【図４】漏洩防止位置に配置されるＸ線漏洩防止カバーと、非漏洩防止位置に配置されるＸ線漏洩防止カバーとを示した模式的側面図である。
【図５】Ｘ線漏洩防止カバーの詳細を説明するための図である。
【図６】Ｘ線検査装置の筺体とＸ線漏洩防止カバーとの関係を示した図である。
【図７】Ｘ線検査装置の取り付け方法を説明するための図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るＸ線検査装置を示した模式的側面図である。
【図９】図８に示したＸ線検査装置をセンサ側から見た模式的側面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係るＸ線検査装置の第１変形例を示した模式的側面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るＸ線検査装置の（ａ）第２変形例、（ｂ）第３変形例、（ｃ）第４変形例を示した模式的側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態に係るＸ線検査装置について図面を参照しながら説明する。
【００１９】
（第１実施形態）
本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、図１及び図２に示すように、既設のトップチェーン型コンベア９００に取り付けられ、該トップチェーン型コンベア９００によって搬送される物品Ｂ中に含まれる異物の検査、物品Ｂが複数の個体から構成される場合の該個体数の検査（欠品検査）、及び、物品Ｂの割れや欠けの検査等を行う。このＸ線検査装置１００は、主として、受取部６００、Ｘ線検査部７００、受渡部８００、Ｘ線漏洩防止構造の筺体９１０、及び、表示部９２０からなる。
【００２０】
図２及び図３に示すように、受取部６００は、受取テーブル６１１、回転軸６１２、第１モータ６１３、案内ガイド板６１４を有している。Ｘ線検査部７００は、Ｘ線照射部２００、Ｘ線漏洩防止カバー３００、ラインセンサ４００、制御部５００、検査テーブル７１１、回転軸７１２、第２モータ７１３、及び、不良品ボックス７１４を有している。受渡部８００は、受渡テーブル８１１、回転軸８１２、第３モータ８１３、案内ガイド板８１４を有している。なお、図３における括弧書きの符号は、受取部６００と同様の構成からなる受渡部８００の関係を示すために記載している。なお、本実施形態における受取テーブル６１１、検査テーブル７１１及び受渡テーブル８１１の天面には、仕切り板を設けていない。
【００２１】
（受取部）
図２及び図３に示すように、受取部６００は、トップチェーン型コンベア９００から物品Ｂを受け取るために設けられる。垂直に設けられた回転軸６１２の一端側に第１モータ６１３が取り付けられ、回転軸６１２の他端側に水平面を有する受取テーブル６１１が取り付けられる。この受取テーブル６１１は、天板が円板形状からなる。また、受取テーブル６１１上には、トップチェーン型コンベア９００上の物品Ｂを該受取テーブル６１１から検査テーブル７１１に案内する案内ガイド板６１４が設けられる。
【００２２】
（Ｘ線検査部）
図２及び図３に示すように、Ｘ線検査部７００は、受取部６００から受け取った物品ＢにＸ線を照射することにより、該物品ＢのＸ線検査を行うものである。垂直に設けられた回転軸７１２の一端側に第２モータ７１３が取り付けられ、回転軸７１２の他端側に水平面を有する検査テーブル７１１が取り付けられる。この検査テーブル７１１は、受取部６００から受け取った物品Ｂを上面の外周端近傍に載置して検査テーブル７１１の回転方向（−Ｒ１方向）に沿って搬送する。そして、検査テーブル７１１の上方には、Ｘ線照射部２００が設けられている。
【００２３】
（Ｘ線照射部）
Ｘ線照射部２００は、検査テーブル７１１の載置面に載置される物品Ｂに対してＸ線を照射するために設けられている。このＸ線照射部２００は、検査テーブル７１１の略中心方向から径方向外側で、且つ、トップチェーン型コンベア９００から遠ざかる方向に向かってＸ線を照射している。Ｘ線照射部２００は、Ｘ線源２１０と、Ｘ線源２１０を覆う筺体のカバー２２０と、Ｘ線源２１０から照射されるＸ線が通過するＸ線照射口２３０とを有している。本実施形態では、検査テーブル７１１の載置面から上方に所定の間隔を隔ててＸ線照射部２００が配置されている。そして、筺体のカバー２２０のラインセンサ４００側には、Ｘ線漏洩防止カバー３００が回転可能に取り付けられている。
【００２４】
（Ｘ線漏洩防止カバー）
Ｘ線漏洩防止カバー３００は、図４に示すように、筺体のカバー２２０側の上端に回動軸が設けられ、該回動軸を中心としてＸ線漏洩防止カバー３００の下端側がラインセンサ４００側に近づくように上方に回転可能に設けられている。この場合、検査テーブル７１１の載置面に近接した位置であってＸ線の漏洩を防止する漏洩防止位置Ｐ１（図４（ａ）参照）から当該載置面から離間した非漏洩防止位置Ｐ２（図４（ｂ）参照）まで回転する。すなわち、物品ＢのＸ線検査時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、漏洩防止位置Ｐ１に配置されて、Ｘ線照射部２００と検査テーブル７１１との間を通過するＸ線を遮蔽する。また、検査テーブル７１１の清掃時等において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、非漏洩防止位置Ｐ２に配置されて、検査テーブル７１１の載置面付近に構造物が配置されないようにしている。なお、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、ステンレスである。
【００２５】
図５に示すように、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、板金を折り曲げることによって形成される略筒状の部材であって、Ｘ線照射部２００とラインセンサ４００との間に配置される前面部（第１遮蔽板）３１０と、前面部３１０のＸ線照射部２００側に設けられる上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０とを有している。この前面部３１０、上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０から構成されるＸ線漏洩防止カバー３００は、Ｘ線照射口２３０（図４参照）を覆うように形成されている。そして、本実施形態では、前面部３１０、上部漏洩防止片３４０、及び、下部漏洩防止片３５０によって、Ｘ線漏洩防止カバー３００の内部が空間ＳＰ２となる中空形状となっている。
【００２６】
前面部３１０は、検査テーブル７１１の載置面に対して垂直上方に延びる部分であって、その水平断面形状は、図５（ｄ）に示すように、Ｘ線照射部２００側が開口した略Ｕ字状である。この前面部３１０は、最もラインセンサ４００側に配置された正面部３１１と、当該正面部３１１のＸ方向（Ｘ線漏洩防止カバー３００の幅方向：Ｘ方向）の端部の各々からＸ方向外側で且つＸ線照射部２００側に傾斜する斜面部３１２及び３１３と、当該斜面部３１２及び３１３のＸ方向の外側の端部の各々からＹ方向（Ｘ線漏洩防止カバー３００の奥行方向：Ｙ方向）に延びる側面部３１４及び３１５を有している。つまり、本実施形態の前面部３１０は、正面部３１１、斜面部３１２、斜面部３１３、側面部３１４、及び、側面部３１５から構成され、その外周面が５つの平面からなる多面体形状である。
【００２７】
前面部３１０の正面部３１１は、平面視におけるＸ線の照射方向に沿う線Ｌ（仮想的な線であって、図２中の２点鎖線）上に配置されている。そして、正面部３１１の矢印Ｘ方向の略中央には、Ｘ線漏洩防止カバー３００のＺ方向（Ｘ線漏洩防止カバー３００の高さ方向：Ｚ方向）を長軸とするスリット３１６が形成されている。このスリット３１６は、Ｘ線照射部２００から照射されるＸ線が通過する開口であって、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線は、当該スリット３１６を介してラインセンサ４００（図４参照）に入射される。
【００２８】
そして、本実施形態では、正面部３１１のＸ線照射部２００側には、正面部３１１に対向して、上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０が設けられている。上部漏洩防止片３４０の下端と、下部漏洩防止片３５０の上端との間であって、Ｘ線照射口２３０に対応する部分には、開口Ｔが形成されている。
【００２９】
また、図４（ｂ）に示すように、Ｘ線漏洩防止カバー３００が非漏洩防止位置Ｐ２に配置された場合において、本実施形態の下部漏洩防止片３５０は、ラインセンサ４００によって検知される領域（図４中の斜線の領域）ＡＲに配置される。
【００３０】
（ラインセンサ）
ラインセンサ４００は、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線を検知して、制御部５００に検知信号を出力する。本実施形態では、既設のトップチェーン型コンベア９００から遠ざかる方向にＸ線が照射されるので、ラインセンサ４００は、Ｘ線照射部２００のトップチェーン型コンベア９００とは反対側に配置されている。
【００３１】
（制御部）
図３に示すように、筺体９１０内には、制御部５００が内蔵される。この制御部５００は、第１モータ６１３、第２モータ７１３、第３モータ８１３との間で信号の送受信が可能なように設けられる。また、制御部５００は、Ｘ線照射部２００との間で信号の送受信、及び、ラインセンサ４００からの信号を受信できるように設けられる。この制御部５００は、ラインセンサ４００からの検知信号に基づきＸ線透過画像を作成して表示部９２０（図１参照）に表示すると共に、当該Ｘ線透過画像に基づいて物品Ｂの検査を行う。この制御部５００によって検査された物品の内の不良品は、後述する受渡部８００に渡されずに、図２中の棒７１５によって検査テーブル７１１の面上から落下され、不良品ボックス７１４（図１及び図２参照）に投入される。
【００３２】
（受渡部）
図２及び図３に示すように、受渡部８００は、Ｘ線検査部７００によって良品と判断された物品Ｂを検査テーブル７１１からトップチェーン型コンベア９００に受け渡すために設けられる。垂直に設けられた回転軸８１２の一端側に第３モータ８１３が取り付けられ、回転軸８１２の他端側に水平面を有する受渡テーブル８１１が取り付けられる。本実施形態に係る受渡テーブル８１１は、天板が円板形状からなる。また、受渡テーブル８１１上には、検査テーブル７１１上の物品Ｂを該受渡テーブル８１１からトップチェーン型コンベア９００に案内する案内ガイド板８１４が設けられる。
【００３３】
（筺体）
図１及び図２に示すように、筺体９１０は、Ｘ線照射部２００を覆うように設けられ、当該筺体９１０の外部にＸ線が漏洩しないようにＸ線遮蔽構造を有している。そのため、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線が乱反射した場合でも、該乱反射した大部分のＸ線を筺体９１０内に残留させることができる。図６に示すように、この筺体９１０は、Ｘ線漏洩防止カバー３００の外側に配置されており、その内周面は、上記したＸ線漏洩防止カバー３００の前面部３１０の外周面に対向して、複数の平面からなる多面体形状となっている。本実施形態では、当該筺体９１０の内周面は、前述した前面部３１０の外周面と同様に、Ｘ線源２１０のＸ線照射口２３０を覆っている。
【００３４】
この筺体９１０は、図６に示すように、上記した受取部６００に物品Ｂを搬入させる搬入口（開口部）９１１と、上記した受渡部８００から物品Ｂを搬出させる搬出口９１２（開口部）とを有している。本実施形態では、筺体９１０のトップチェーン型コンベア９００側の面９１３には、開口が無く、搬入口９１１と搬出口９１２とは、平面視においてＸ線照射方向（矢印Ｌ方向）に対して直交する方向に開口している。さらに、これにより、Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線が反射した１次線（Ｘ線照射部２００から照射されたＸ線が１度反射したもの）が直接、当該搬入口９１１及び搬出口９１２から漏洩するのを防止している。こうすることで、この搬入口９１１及び搬出口９１２に、物品Ｂを倒す障害となる漏洩防止カーテンなど所定のＸ線遮蔽手段を設けなくても良い。
【００３５】
（Ｘ線検査装置の動作）
次に、図２及び図３に示したＸ線検査装置１００の動作の一例について説明を行う。
【００３６】
図２及び図３に示すように、トップチェーン型コンベア９００上を矢印ＨＬ１の方向に沿って搬送される物品Ｂが受取部６００の案内ガイド板６１４により受取テーブル６１１側に移動される。この場合、物品Ｂは、矢印ＨＬ２の方向に沿って一対の案内ガイド板６１４の間を通過し、受取テーブル６１１に載置される。
【００３７】
受取テーブル６１１に載置された物品Ｂは、受取テーブル６１１が矢印Ｒ１の方向に回転することにより、矢印ＨＬ３の方向に移送され、検査テーブル７１１に受け渡される。
【００３８】
検査テーブル７１１が矢印−Ｒ１の方向に回転することにより、検査テーブル７１１に載置された物品Ｂは、検査テーブル７１１上を矢印ＨＬ４の方向に沿って移動し、Ｘ線照射部２００からＸ線が照射される。
【００３９】
そして、Ｘ線検査が終了した物品Ｂは、検査テーブル７１１上を矢印ＨＬ５の方向に沿って移動する。この際、前述したＸ線検査によって不良品と判断された物品Ｂは、不良品ボックス７１４に投下される。一方、Ｘ線検査によって良品と判断された物品Ｂは、矢印ＨＬ６の方向に沿って一対の案内ガイド板８１４の間を通過し、受渡テーブル８１１に載置される。
受渡テーブル８１１に載置された物品Ｂは、受渡テーブル８１１が矢印Ｒの方向に回転することにより、矢印ＨＬ７の方向に移送される。この場合、物品Ｂは、一対の案内ガイド板８１４の間を通過し、トップチェーン型コンベア９００上に戻される。
【００４０】
（Ｘ線漏洩防止カバーの開閉動作）
次に、図４を参照して、Ｘ線漏洩防止カバー３００の開閉動作について説明を行う。本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を検査テーブル７１１の載置面に近接する漏洩防止位置Ｐ１から検査テーブル７１１の載置面から離間した非漏洩防止位置Ｐ２まで回転させることによって、検査テーブル７１１の載置面付近から構造物を退避させて空き空間Ｓを形成して、当該検査テーブル７１１の清掃を容易にする。
【００４１】
図４（ａ）に示すように、物品Ｂの検査が行われるＸ線検査時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、漏洩防止位置Ｐ１に配置されている。この際、Ｘ線漏洩防止カバー３００の下端は、検査テーブル７１１の載置面に近接して配置されると共に、前面部３１０及び漏洩防止片３４０及び３５０は、当該載置面に対して垂直に配置される。これにより、ラインセンサ４００側からＸ線照射部２００に向かって進行するＸ線に関して、２重に配置された前面部３１０と漏洩防止片３４０及び３５０とで確実に遮蔽することができる。
【００４２】
そして、図４（ｂ）に示すように、物品Ｂの検査が終了してＸ線源２１０からのＸ線照射を停止させる。次に、検査テーブル７１１の載置面を清掃する清掃時等において、Ｘ線漏洩防止カバー３００は、漏洩防止位置Ｐ１から手動で回転させ非漏洩防止位置Ｐ２に図示しない位置固定手段にて固定される。この際、Ｘ線漏洩防止カバー３００の下部に配置される下部漏洩防止片３５０が、ラインセンサ４００により検知される位置に配置される。これにより、当該下部漏洩防止片３５０によってＸ線が検知されなくなる。このため、Ｘ線漏洩防止カバー３００を非漏洩防止位置Ｐ２に固定したままＸ線照射を行っても、下部漏洩防止片３５０を検知するので、Ｘ線漏洩防止カバー３００が非漏洩防止位置Ｐ２に配置されていると判断すると共に、制御部５００によってＸ線源２１０のＸ線照射を停止できる。
【００４３】
（既設のトップチェーン型コンベアに対するＸ線検査装置の取り付け方法）
次に、トップチェーン型コンベア９００にＸ線検査装置１００を取り付ける状態について説明を行う。
【００４４】
図７に示すように、トップチェーン型コンベア９００に対してＸ線検査装置１００をトップチェーン型コンベア９００の搬送方向と垂直な方向（図中矢印Ｌ１の方向）から介挿する。それにより、図２に示したように、トップチェーン型コンベア９００に対してＸ線検査工程を容易に追加することができる。
【００４５】
なお、この場合、トップチェーン型コンベア９００に対してＸ線検査装置１００の受取テーブル６１１、検査テーブル７１１、受渡テーブル８１１、Ｘ線照射部２００、及びラインセンサ４００等の高さを調整する高さ調整機構（図示せず）が設けられている。この高さ調整機構によりトップチェーン型コンベア９００の高さに合うように受取テーブル６１１、検査テーブル７１１、受渡テーブル８１１、Ｘ線照射部２００、及びラインセンサ４００等の高さ調整をし、トップチェーン型コンベア９００にＸ線検査装置１００を介挿する。
【００４６】
（本実施形態における効果）
以上のように、本実施形態に係るＸ線検査装置１００においては、受取テーブル６１１、検査テーブル７１１及び受渡テーブル８１１の天面に仕切り板を設けなくても、Ｘ線漏洩防止カバー３００を設けることにより、筺体９１０内で反射したＸ線が検査テーブル７１１の載置面とＸ線照射部２００との間から筺体９１０の外部に漏洩してしまうのを防止することができる。
【００４７】
また、本実施形態では、Ｘ線源２１０をＸ線漏洩防止カバー３００により覆うことによって、Ｘ線検知に不要なＸ線がＸ線漏洩防止カバー３００の外側に放射されるのを抑制することができる。これにより、Ｘ線検知に不要なＸ線が筺体９１０内を反射するのを抑制することができるので、当該Ｘ線が検査テーブル７１１の載置面とＸ線照射部２００との間から筺体９１０の外部に漏洩するのを抑制することができる。
【００４８】
また、本実施形態では、前面部３１０と、上部漏洩防止片３４０及び下部漏洩防止片３５０との２重構造のＸ線漏洩防止カバー３００を設けることにより、筺体９１０内で反射したＸ線が検査テーブル７１１の載置面とＸ線照射部２００との間から筺体９１０の外部に漏洩してしまうのを確実に防止することができる。
【００４９】
また、本実施形態では、図６に示すように、Ｘ線漏洩防止カバー３００の空間ＳＰ２において、Ｘ線を繰り返し反射させることにより、Ｘ線の通過距離が長くなり、当該Ｘ線が減衰する。これにより、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
【００５０】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００が中空形状となっており、且つ、開口部Ｔがあるため、Ｘ線漏洩防止カバー３００の軽量化を図ることができる。これにより、検査テーブル７１１の清掃時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００を検査テーブル７１１の載置面付近から退避させる場合、Ｘ線漏洩防止カバー３００の移動が容易になり、検査テーブル７１１の清掃性が向上する。
【００５１】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００に底面に開口部Ｔが設けられているため、底面部分に物品が溜まるのを防止することができる。これにより、当該溜まった物品によって雑菌が発生してしまうのを防止することができる。
【００５２】
また、本実施形態では、筺体９１０の内周面がＸ線源２１０のＸ線照射口２３０を覆うことによって、筺体９１０の内周面とＸ線漏洩防止カバー３００の外周面との間で、Ｘ線が繰り返し反射する。これにより、当該Ｘ線が減衰し、Ｘ線の漏洩を抑制することができる。
【００５３】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を非漏洩防止位置Ｐ２に配置することによって、検査テーブル７１１の載置面付近に空き空間ＳＰ１が形成され、検査テーブル７１１の清掃性が向上する。
【００５４】
また、本実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を検査テーブル７１１の載置面から離間した非漏洩防止位置Ｐ２に固定した状態で、Ｘ線照射を行ってしまった場合でも、ラインセンサ４００が漏洩防止片３５０を検知する。そのため、制御部５００が、Ｘ線漏洩防止カバー３００が非漏洩防止位置Ｐ２に配置されているのを直ちに認識し、Ｘ線源２１０からのＸ線照射を停止させる。その後、Ｘ線漏洩防止カバー３００を手動で非漏洩防止位置Ｐ２から漏洩防止位置Ｐ１に戻して、Ｘ線検査装置の正常運転を実施することができる。
【００５５】
＜請求項の各構成要素と上記実施形態の各部との対応関係＞
上記実施形態においては、Ｘ線検査装置１００が「Ｘ線検査装置」に相当し、筺体９１０が「筺体」に相当し、物品Ｂが「被検査物」に相当し、検査テーブル７１１が「回転テーブル」に相当し、Ｘ線源２１０が「Ｘ線源」に相当し、ラインセンサ４００が「センサ」に相当し、Ｘ線漏洩防止カバー３００が「Ｘ線漏洩防止部」に相当し、Ｘ線照射口２３０が「Ｘ線照射口」に相当し、前面部３１０が「第１遮蔽板」に相当し、漏洩防止片３４０及び３５０が「第２遮蔽板」に相当し、空間ＳＰ２が「空間」に相当し、漏洩防止位置Ｐ１が「漏洩防止位置」に相当し、非漏洩防止位置Ｐ２が「非漏洩防止位置」に相当し、下部漏洩防止片３５０が「検知部」に相当する。
【００５６】
（第２実施形態）
上記した第１実施形態に係るＸ線検査装置１００では、Ｘ線漏洩防止カバー３００がＸ線照射部２００のラインセンサ４００側の面に回転可能に取り付けられる例について説明したが、この第２実施形態に係るＸ線検査装置１００ａは、検査テーブル７１１ａの載置面に対して垂直方向（矢印Ｚ方向）にスライド移動可能なＸ線漏洩防止カバー３００ａを備えている。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同様の構成及び動作については、第１実施形態の符号に「ａ」を付加して、適宜その説明を省略する。
【００５７】
図８及び図９に示すように、第２実施形態に係るＸ線検査装置１００ａは、Ｘ線照射部２００ａ、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａ、ラインセンサ４００ａ、検査テーブル７１１ａ、回転軸７１２ａ等を有するＸ線検査部７００ａを備えている。
【００５８】
そして、本実施形態に係るＸ線漏洩防止カバー３００ａは、Ｘ線照射部２００ａの筺体のカバー２２０ａのラインセンサ４００ａ側の面にスライド移動可能に取り付けられている。具体的には、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａは、リニアガイド３５０ａにより検査テーブル７１１ａの載置面に対して垂直方向（矢印Ｚ方向）にスライド移動可能となっている。リニアガイド３５０ａは、筺体のカバー２２０ａのラインセンサ４００側の面に取り付けられるスライドレール３５１ａと、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａのＸ線照射部２００ａ側の面に取り付けられるスライドブロック３５２ａとを有している。そして、スライドレール３５１ａに対してスライドブロック３５２ａがスライドすることによって、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａが矢印Ｚ方向に沿って移動可能となる。この際、スライドブロック３５２ａは、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａの下端が検査テーブル７１１に接触しないように、下方への移動が規制されている。
【００５９】
上記構成のＸ線検査装置１００ａにおいて、図８（ａ）及び図９（ａ）に示すように、物品ＢのＸ線検査時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａは、漏洩防止位置Ｐ１ａに配置されて、Ｘ線がＸ線照射部２００ａと検査テーブル７１１ａとの間から外部に漏洩するのを遮蔽する。また、図８（ｂ）及び図９（ｂ）に示すように、検査テーブル７１１ａの清掃時において、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａを手動で矢印Ｚ方向に移動させ、図示しない位置固定手段にて非漏洩防止位置Ｐ２ａに固定する。その結果、検査テーブル７１１ａの載置面付近に空き空間ＳＰ１が形成される。この際、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａのスライド移動に伴って、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａに形成されるスリット３１６ａも上方に移動し、スリット３１６ａの下方の部分（検知部）３１７ａが検知される位置に配置される。これにより、当該検知部３１７ａによってＸ線が検知されなくなる。このため、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａを非漏洩防止位置Ｐ２ａに固定したままＸ線照射を行っても、検知部３１７ａを検知するので、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａが非漏洩防止位置Ｐ２ａに配置されていると判断すると共に、制御部５００によってＸ線源２１０ａのＸ線照射を停止できる。
【００６０】
ここでは、Ｘ線漏洩防止カバー３００ａの形状については、言及しないが、当該Ｘ線漏洩防止カバー３００ａの形状は、上記した第１実施形態に係るＸ線漏洩防止カバー３００と同様に、Ｘ線照射部２００ａのＸ線照射口２３０ａを覆うように形成されていても良いし、内部が中空形状であっても良いし、その外周面が複数の平面からなる多面体形状であっても良い。
【００６１】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００６２】
＜第１変形例＞
例えば、上記第１実施形態では、Ｘ線照射部２００のラインセンサ４００側の面にＸ線漏洩防止カバー３００を回転可能に取り付ける例について説明したが、本発明はこれに限らず、図１０（ａ）及び（ｂ）に示した第１変形例に係るＸ線検査装置１００ｂのように、第１実施形態と同様の構造のＸ線漏洩防止カバー３００ｂを、Ｘ線照射部２００ｂのラインセンサ４００ｂとは反対側の面に回転可能に取り付けても良い。
【００６３】
＜第２〜第４変形例＞
また、上記実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００を、Ｘ線照射部２００を覆うように設ける例について説明したが、本発明はこれに限らず、図１１（ａ）に示した第２変形例に係るＸ線検査装置１００ｃのように、Ｘ線漏洩防止カバー３００ｃをＸ線照射部２００ｃの前面且つ下部に取り付けても良いし、図１１（ｂ）に示した第３変形例に係るＸ線検査装置１００ｄのように、Ｘ線漏洩防止カバー３００ｄをＸ線照射部２００ｄの背面且つ下部に取り付けても良い。また、図１１（ｃ）に示した第４変形例に係るＸ線検査装置１００ｅのように、Ｘ線漏洩防止カバー３００ｅをＸ線照射部２００ｅの下部に取り付けても良い。
【００６４】
また、上記実施形態では、Ｘ線漏洩防止カバー３００をステンレスにより構成する例について説明したが、当該Ｘ線漏洩防止カバー３００は、Ｘ線の遮蔽性に優れた鉛及びタングステン等の金属製であっても良い。
【符号の説明】
【００６５】
１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄ，１００ｅ Ｘ線検査装置
２１０，２１０ａ Ｘ線源
２３０ Ｘ線照射口
４００，４００ａ，４００ｂ ラインセンサ
３００，３００ａ，３００ｂ，３００ｃ，３００ｄ，３００ｅ Ｘ線漏洩防止カバー
３１０ 前面部
３４０ 上部漏洩防止片
３５０ 下部漏洩防止片
７１１ 検査テーブル
９１０ 筺体
Ｂ 物品
Ｐ１，Ｐ１ａ 漏洩防止位置
Ｐ２，Ｐ２ａ 非漏洩防止位置
ＳＰ２ 空間
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筺体と、
被検査物が載置される載置面を有する回転テーブルと、
前記回転テーブルの上方に配置され、前記回転テーブルで搬送される前記被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線源から照射される前記Ｘ線を検知するセンサと、
前記Ｘ線が前記回転テーブルの載置面と前記Ｘ線源との間から前記筺体の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部とを備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線漏洩防止部は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を覆うように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線漏洩防止部は、前記回転テーブルの載置面に対して上方に延びる第１遮蔽板及び第２遮蔽板を有し、
当該Ｘ線漏洩防止部は、前記第１遮蔽板と前記第２遮蔽板との間が空間となる中空形状となっていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記Ｘ線漏洩防止部の外周面は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を覆っていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線漏洩防止部は、前記Ｘ線の漏洩を防止する漏洩防止位置から前記載置面から離間した非漏洩防止位置まで移動し、且つ、前記非漏洩防止位置で前記Ｘ線が照射された場合に前記センサによって検知する検知部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１】
筺体と、
被検査物が載置される載置面を有する回転テーブルと、
前記回転テーブルの上方に配置され、前記回転テーブルで搬送される前記被検査物にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線源から照射される前記Ｘ線を検知するセンサと、
前記Ｘ線が前記回転テーブルの載置面と前記Ｘ線源との間から前記筺体の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部とを備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線漏洩防止部は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を覆うように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線漏洩防止部は、前記回転テーブルの載置面に対して上方に延びる第１遮蔽板及び第２遮蔽板を有し、
当該Ｘ線漏洩防止部は、前記第１遮蔽板と前記第２遮蔽板との間が空間となる中空形状となっていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記Ｘ線漏洩防止部の外周面は、前記Ｘ線源のＸ線照射口を覆っていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線漏洩防止部は、前記Ｘ線の漏洩を防止する漏洩防止位置から前記載置面から離間した非漏洩防止位置まで移動し、且つ、前記非漏洩防止位置で前記Ｘ線が照射された場合に前記センサによって検知する検知部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１１−２５２７３７（Ｐ２０１１−２５２７３７Ａ）
【公開日】平成２３年１２月１５日（２０１１．１２．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１２５４１９（Ｐ２０１０−１２５４１９）
【出願日】平成２２年６月１日（２０１０．６．１）
【出願人】（０００１４７８３３）株式会社イシダ (859)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月１５日（２０１１．１２．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月１日（２０１０．６．１）
【出願人】（０００１４７８３３）株式会社イシダ (859)
【Ｆターム（参考）】
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