Ｘ線発生装置及び照射ユニット
【課題】 保守作業の簡略化を図るＸ線発生装置及び照射ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】 Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニット３をユニット装着部３４に着脱自在に装着する構成とすることで、照射ユニット３の着脱を容易とし、Ｘ線管の寿命、電圧発生部の故障等の不具合が生じた場合には、照射ユニット３の交換、着脱を短時間で実施することを可能とする。これにより、保守作業の簡略化が可能となる。
【解決手段】 Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニット３をユニット装着部３４に着脱自在に装着する構成とすることで、照射ユニット３の着脱を容易とし、Ｘ線管の寿命、電圧発生部の故障等の不具合が生じた場合には、照射ユニット３の交換、着脱を短時間で実施することを可能とする。これにより、保守作業の簡略化が可能となる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を放射するＸ線発生装置及び照射ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線を出射するＸ線管を有するＸ線発生装置は、例えばＩＣ（集積回路）、ＬＣＤ（液晶表示装置）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）等の製造分野を始めとした幅広い分野において、静電気を除電する除電（静電気除去）装置として採用され、空気などの気体にＸ線を照射してイオンガスを生成し、被対象物の除電を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−６８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来技術では、長年の使用等により、Ｘ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部等の保守作業が必要となることがあり、保守作業の簡略化が求められている。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、保守作業の簡略化を図るＸ線発生装置及び照射ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるＸ線発生装置は、Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、照射ユニットに電力供給する電源と照射ユニットとを電気的に接続するコネクタと、一方向に延びる中空のバー状を成し、Ｘ線管、電圧発生部及びコネクタを収容する筐体と、を備え、複数の照射ユニットを筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、照射ユニットは、ユニット装着部に着脱自在に装着されていることを特徴としている。
【０００６】
また、本発明による照射ユニットは、Ｘ線を放射するＸ線管と、このＸ線管を駆動させる電圧発生部と、を備え、上記ユニット装着部に着脱自在に装着されることを特徴としている。
【０００７】
このようなＸ線発生装置及び照射ユニットによれば、Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニットが筐体のユニット装着部に着脱自在に装着されるため、照射ユニットの着脱が容易となり、Ｘ線管の寿命、電圧発生部の故障等の不具合が生じた場合には、照射ユニットの交換、着脱を短時間で実施することができる。これにより、保守作業の簡略化が可能となる。
【０００８】
ここで、筐体は、ユニット装着部が形成された筐体本体を有し、照射ユニットは、筐体本体と共に筐体の外壁を構成するユニットカバーを備えた構成が挙げられる。
【０００９】
また、ユニットカバーには、Ｘ線管から放射されたＸ線を筐体外に出射する出射開口部と、ユニット装着部に固定されるフランジ部と、が設けられ、照射ユニットは、フランジ部とユニット装着部とが面接触して固定されていると、Ｘ線管で発生した熱がユニットカバーに伝達され、ユニットカバーに伝達された熱がフランジ部を通じて面接触で効果的に筐体本体に伝達され、放熱が効率良く行われる。これにより、Ｘ線管の温度を適正に維持することが可能となり、Ｘ線発生装置の信頼性を向上させることが可能となる。
【００１０】
また、筐体本体には、ユニット装着部として、フランジ部の形状にならう凹部が形成され、ユニットカバーの外面は筐体本体の外面と略面一であると、凹部を形成する壁体とフランジ部とを接触させることにより、ユニットカバーと筐体本体との接触面積を増加させることが可能となり、放熱効率を向上させることができる。また、フランジ部の形状にならう凹部が形成されているため、この凹部がガイド機能を果たし、照射ユニットの位置決めが容易とされる。また、筐体の外面が面一となるので、取扱いが容易となる。
【００１１】
また、筐体は、角筒状を成し、ユニットカバーは、出射開口部が形成された前壁部と、この前壁部に略直交すると共に互いに対向する一対の側壁部と、を有し、筐体本体には、ユニット装着部として、ユニットカバーの側壁部の形状にならう切欠き形状の凹部が形成されていると、ユニットカバーの側壁部を掴むことで、照射ユニットの筐体本体に対する脱着が容易となり、保守作業が一層簡略化される。
【００１２】
また、照射ユニットは、ユニットカバーを含みＸ線管及び電圧発生部を保護する保護ケースと、コネクタと電気的に接続されるソケットと、を備え、保護ケースは、筐体の長手方向における外壁を構成しソケットを外面に固定するソケット固定壁と、筐体の長手方向において、ソケット固定壁より外方に突出するガイド壁とを有していることとしていると、照射ユニットを筐体に装着する際に、配線がガイド壁によって、ユニットカバーと反対側に案内され、配線が筐体と照射ユニットとの間に挟まれることが防止される。これにより、配線の損傷を防止することができると共に配線をスムーズに筐体内に収容することが可能となる。
【００１３】
また、本発明のＸ線発生装置は、Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、一方向に延びる中空のバー状を成し、Ｘ線管及び電圧発生部を収容する筐体と、を備え、複数の照射ユニットを筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、照射ユニットは、ユニット装着部に装着されていることを特徴としている。
【００１４】
このようなＸ線発生装置によれば、Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニットが、バー状の筐体に並設されているため、並設された複数のＸ線管により長手方向のＸ線の照射範囲が拡大されると共に、各照射ユニットの間隔を容易に一定とすることが可能となりＸ線発生装置の取扱いが容易となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のＸ線発生装置及び照射ユニットによれば、照射ユニットの交換、着脱を短時間で実施できるため、Ｘ線発生装置における保守作業の簡略化が図られるＸ線発生装置及び照射ユニットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明によるＸ線発生装置の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の第１実施形態に係るＸ線発生装置を下方から示す斜視図、図２は、図１に示すＸ線発生装置の分解側面図、図３は、図２中のＸ線管の断面図、図４は、図１中の照射ユニットを下方から示す斜視図、図５は、図４に示す照射ユニットの内部を示す平面図、図６は、図５示す照射ユニットのＶＩ−ＶＩ矢視図、図７は、図１に示すユニット装着部を下方から示す斜視図である。なお、以下の説明において、「上」、「下」等の方向を示す語については各図の状態において言うものとする。
【００１７】
図１に示すＸ線発生装置１は、例えば、大型ガラス等を取り扱う製造ラインにおいて、クリーンルーム等に設置され、Ｘ線を照射して大型ガラスの除電を行うフォトイオナイザ（光照射式静電除去装置）として採用されるものである。そして、Ｘ線発生装置１は、被対象物である大型ガラスの上方に設置され、上方から下方へＸ線を照射する。このＸ線発生装置１は、Ｘ線を出射するＸ線管２（図２及び図３参照）を備えた照射ユニット３を複数（本実施形態では３個）有し、これらの照射ユニット３を並設するバー状の筐体４を具備している。そして、Ｘ線発生装置１は、被対象物の搬送方向（図２における紙面垂直方向）に対して、筐体４の長手方向Ｌが直交するように配置される。
【００１８】
先ず、図３に示すＸ線管２について詳説する。このＸ線管２は、コバールガラス製の円筒状バルブ１１を有し、このバルブ１１の末端（図示上端）には、排気管１２を有するステム１３が形成されている。排気管１２は、組立終了後にＸ線管２内を排気して真空状態にするために利用される。また、バルブ１１の開放端には、円筒状を成すコバール金属製の出力窓保持部１４が融着接続されている。この出力窓保持部１４には、その中央開口１４ａを塞ぐように円板状の出力窓１５がＡｇロウ付け等により固定され、出力窓１５の内面には、電子ビームの衝突によりＸ線を発生させるターゲット１６が蒸着されている。また、出力窓保持部１４の下端には、外方に突出する円環状の鍔部２０が設けられている。
【００１９】
更に、ステム１３には２本のステムピン１７，１７が挿着され、バルブ１１内には、所定の電圧で電子ビームを放出するカソードとしてのフィラメント１８が設けられ、このフィラメント１８は、ステムピン１７の先端（図示下端）に固定されている。これらのステムピン１７のうちの一方のステムピンには、円筒状を成すステンレス製のフォーカス１９がフィラメント１８を囲繞するようにして固定されている。このような構成を有するＸ線管２の出射窓保持部１４は、コバール金属により形成されているので熱伝導性及び導電性が良好であると共に、アースされた筐体４に電気的に接続されるので接地電位に維持されている。
【００２０】
そして、Ｘ線管２のステムピン１７に、後述する電圧発生部から−９．５ｋＶの高電位を供給し、接地電位のターゲット１６から電子ビームを出射する。このとき、電子ビームの衝突によりターゲット１６からＸ線が放射される。なお、使用時において、Ｘ線管２は高温になっており、Ｘ線の発生効率の維持やターゲット１６の破損防止のために、ターゲット１６の熱を外部に適切に逃がす必要がある。
【００２１】
次に、このように構成されたＸ線管２を備えた照射ユニット３について詳説する。この照射ユニット３は、図４に示すように、箱型を成す保護ケース２１を有し、この保護ケース２１内に、図５及び図６に示すように、Ｘ線管２、このＸ線管２を駆動させる電圧発生部２２及び回路基板２３を収容している。
【００２２】
保護ケース２１は、図４に示すように、図示下側の壁体を構成すると共に筐体４（図１参照）の壁体の一部を構成するユニットカバー２４と、このユニットカバー２４に直交すると共に、長手方向Ｌに対向する一対の壁体２５ｃ，２５ｄを有するベースプレート２５と、ユニットカバー２４に対向する壁体３２ａ及びこの壁体３２ａに直交する共に長手方向Ｌに延在する一対の壁体３２ｂ，３２ｂを有する保護カバー３２と、を具備している。
【００２３】
ユニットカバー２４は、熱伝導性の良好な金属から構成され、矩形平板状を成すユニットカバー本体（前壁部）２４ａを備えている。このユニットカバー本体２４ａの長手方向Ｌの両端部には、照射ユニット３を筐体４に着脱自在に固定するためのフランジ部２４ｂがユニットカバー本体２４ａと面一を成し延出するように各々設けられ、このフランジ部２４ｂには、照射ユニット３を固定するためのネジ４４（図１参照）を挿通させる開口部２４ｃが設けられている。また、ユニットカバー本体２４ａの一方の端部近傍でＸ線管２に対向する位置には円形の開口が形成され、この開口はＸ線管２からのＸ線を筐体４外へ出射する出射開口部２４ｄとされている。更に、ユニットカバー本体２４ａの幅方向（長手方向Ｌに直交する方向；図５における上下方向）の端部には、ユニットカバー本体２４ａに直交すると共に互いに対向する一対の掴み部（側壁部）２４ｅが立設されている。照射ユニット３の筐体４への脱着の際には、この掴み部２４ｅを掴んで照射ユニット３を抜き差しする。また、掴み部２４ｅの内面には、図５に示すように、保護カバー３２を係合するための複数の凸部２４ｆが形成されている。
【００２４】
ベースプレート２５は、図５及び図６に示すように、ユニットカバー２４の内面に固定され、回路基板２３を搭載するものである。このベースプレート２５は長手方向Ｌに延在し、ユニットカバー本体２４ａの内面に面接触するベースプレート本体２５ａを備え、このベースプレート本体２５ａには、図６に示すように、ユニットカバー２４の出射開口部２４ｄに対応する位置に、開口２５ｂが形成されている。この開口２５ｂの径は、出射開口２４ｄの径より大きくされている。
【００２５】
また、ベースプレート本体２５ａの長手方向Ｌの両端部は、図５及び図６に示すように、図６における上方に屈曲されて、ベースプレート本体２５ａに直交する壁体２５ｃ，２５ｄを形成している。更に、開口２５ｂから遠い方の壁体（固定壁）２５ｄの外面には、図４〜図６に示すように、筐体４外の外部電源（不図示）と電気的に接続するためのソケット２６が取り付けられている。ここで、保護カバー３２を構成する壁体３２ｂ及びユニットカバー本体２４ａは長手方向Ｌにおいて壁体２５ｄの外面から突出している。この壁体２５ｄより突出する壁体３２ｂ及びユニットカバー本体２４ａの部分が本発明のガイド壁を構成している。そして、壁体２５ｄに固定されたソケット２６は、ユニットカバー本体２４ａ、対向する壁体３２ｂ，３２ｂ及び壁体２５ｄにより形成されるガイド空間Ｓ内に位置している。筐体４に対して照射ユニット３を装着するには、ソケット２６と、筐体４の内部に備えられた配線４０（後述する）とを電気的に接続した後、照射ユニット３を筐体４に挿入して固定する。その際、壁体２５ｄから突出するユニットカバー本体２４ａ、壁体３２ｂ，３２ｂにより、配線４０がガイドされて、配線４０の保護カバー３２の外側への回りこみが防止される。このため、配線４０が筐体４の内面と保護カバー３２との間で挟み込まれることが防止され、配線４０の破損が予防されると共に、照射ユニット３の筐体４への装着作業が容易になる。また、ソケット２６を接続口がユニットカバー本体２４ａと反対の方向（ユニットカバー本体２４ａ、壁体３２ｂ，３２ｂと対向しない方向）を向くように固定するので、更に配線４０の破損が予防され、装着作業が容易となる。
【００２６】
図６に示すように、ベースプレート２５には、回路基板２３をベースプレート本体２５ａと離間して支持するための複数（本実施形態では４個）の支持片２５ｅが立設され、この支持片２５ｅに固定された回路基板２３とユニットカバー２４との間には、絶縁空間２７が形成されている。また、回路基板２３はソケット２６と電気的に接続されている。更に、回路基板２３は、複数のＸ線管２のＸ線量を略一定とすべく調整されたものとされている。
【００２７】
電圧発生部２２は、回路基板２３上に搭載され、−９．５ｋＶの高電位をステムピン１７に供給して、Ｘ線管２を駆動させるものである。先ず、電圧発生部２２内の低電圧発生部位で−１ｋＶまで電位を上げ、次に高電圧発生部位で−９．５ｋＶまで電位を上げている。そして、電圧発生部２２の高電圧発生部位からの配線２８は、Ｘ線管２のステムピン１７に結線され、この状態で、Ｘ線管２のバルブ１１には、ステムピン１７を覆う円筒状のキャップ２９が装着されている。なお、キャップ２９内には、配線２８とステムピン１７との結線後、シリコン樹脂Ｐが充填される。
【００２８】
図５及び図６に示すように、照射ユニット３は、Ｘ線管２をユニットカバー２４に固定するためのＸ線管ホルダ３０を備えている。Ｘ線管ホルダ３０には、矩形の板材から形成され、Ｘ線管２を挿通させる開口３０ａと、Ｘ線管ホルダ３０をネジ止め固定するための開口３０ｂとが設けられている。そして、Ｘ線管２は、ベースプレート２５の開口２５ｂ内に、出力窓保持部１４の鍔部２０が配置され、この鍔部２０は、Ｘ線管ホルダ３０によって上方から押圧され、鍔部２０の下端面が、ユニットカバー２４の出射開口部２４ｄを形成する周縁部の内面（図示上側の面）に面接触してネジ固定される。
【００２９】
保護カバー３２は、アルミ等から形成され、図４〜図６に示すようにユニットカバー２４上に配置されたＸ線管２、電圧発生部２２及び回路基板２３を保護するものである。保護カバー３２を構成する壁体３２ｂの下端部には、図５に示すように、ユニットカバー２４の掴み部２４ｅの凸部２４ｆに係合する複数の開口３２ｃを有している。保護カバー３２は、その開口３２ｃが凸部２４ｆに各々係合し着脱可能にユニットカバー２４に装着されている。
【００３０】
次に、このように構成された照射ユニット３を着脱可能に装着する筐体４について詳説する。この筐体４は、図２に示すように、一方向（図示左右方向；長手方向Ｌ）に延びる中空の箱型を成し、複数の照射ユニット３を長手方向Ｌに沿って並設させる複数のユニット装着部３４を有し、内部に照射ユニット３のＸ線管２及び電圧発生部２２、照射ユニット３と外部電源とを電気的に接続するための配線４０及びこの配線４０の一方の端部に設けられソケット２６に電気的に接続されるコネクタ４１を収容している。ここで「中空」とは、筐体４の内部に少なくとも照射ユニット３の一部を収容する空間を有していることを指し、各照射ユニット３を収容する空間が連続して形成されているか否かは問わない。そして、筐体４は、ユニット装着部３４が形成された筐体本体３５と、この筐体本体３５のユニット装着部３４に装着された上記照射ユニット３のユニットカバー２４によって、その外壁が構成されている。
【００３１】
筐体本体３５は、下部側を構成するヘッドカバー３６と、上部側を構成する筐体ベース３７とを備えている。具体的には、筐体ベース３７は、図1及び図２に示すように、筐体本体３５の上側の壁体３７ａ及びこの壁体３７ａに直交すると共に長手方向Ｌに対向する一対の壁体３７ｂ，３７ｂを有し、ヘッドカバー３６は、筐体本体３５の下側の壁体３６ａ及びこの壁体３６ａに直交すると共に長手方向Ｌに延在して互いに対向する一対の壁体３６ｂ，３６ｂを有する構成とされている。
【００３２】
筐体ベース３７の壁体３７ｂには、図１に示すように、Ｌ字型の取付部材３８が固定されている。取付部材３８は、ネジを挿通するための開口部３８ａを有し、Ｘ線発生装置１を所定の設置面にネジ固定する。また、図２に示すように、図示左側の壁体３７ｂは、外部電源と電気的に接続される端子３９を有し、この端子３９は、配線４０、コネクタ４１を介してソケット２６と電気的に接続されている。そして、筐体ベース３７とヘッドカバー３６とが連結固定されることにより、筐体本体３５が構成されている。
【００３３】
次に、ヘッドカバー３６に形成されたユニット装着部３４について説明する。ユニット装着部３４は、図７に示すように、ユニットカバー２４に対応する形状とされ、壁体３６ａに、ユニットカバー本体２４ａに対応する大きさの矩形の開口４３ａが形成され、この開口４３ａの長手方向Ｌの両側に、フランジ２４ｂが収容配置される凹部４３ｂ，４３ｂが形成され、壁体３６ｂに、掴み部２４ｅに対応する形状の切欠き部（切欠き形状の凹部）４３ｃが形成されている。このユニット装着部３４は、長手方向Ｌにおいて照射ユニット３の向きを逆にしても装着が可能である。
【００３４】
凹部４３ｂは、図８に示すように、フランジ２４ｂの厚さに対応する深さとされ、フランジ２４ｂの上側の面と面接触する設置面４３ｄを有し、この設置面４３ｄには照射ユニット３を固定するための雌螺子部４３ｅが形成されている。そして、図１に示すように、ネジ４４をフランジ２４ｂの開口に挿通して雌螺子部４３ｅに螺合することで、照射ユニット３がユニット装着部４３に着脱自在に装着されている。図１に示すように、ここでは、左側及び中央のユニット装着部４３に対して、照射ユニット３の出射開口部２４ｄを左側に配置して照射ユニット３を装着し、右側のユニット装着部４３に対して、照射ユニット３の出射開口部２４ｄを右側に配置して照射ユニット３を装着している。この照射ユニット３の装着状態において、フランジ部２４ｂは、設置面４３ｄに面接触していると共に、フランジ部２４ｂを含むユニットカバー２４の外面は、筐体本体３５の外面と略面一となっている。更に、複数の出射開口部２４ｄの間隔は、略同じとなっている。これにより、長手方向Ｌに亘って一様にＸ線を照射することが可能な構成となっている。
【００３５】
このように、Ｘ線管２及び電圧発生部２２を有する照射ユニット３が、バー状の筐体４に並設されているため、並設された複数のＸ線管２により長手方向ＬのＸ線の照射範囲が拡大されると共に、各照射ユニット３の間隔を容易に一定とすることが可能となりＸ線発生装置１の取扱いが容易とされている。
【００３６】
このようなＸ線発生装置１では、外部電源により、端子３９、配線４０、コネクタ４１及びソケット２６を介して、照射ユニット３に電力が供給され、Ｘ線管２からＸ線が放射されて出射開口部２４ｄから筐体４外へ出射される。これにより、周囲の空気がイオン化され、被対象物の除電を行うことができる。また、Ｘ線管２が所定のＸ線量になるように調整された回路基板２３を備えているため、Ｘ線管２の性能にばらつきがある場合においても、各照射ユニット３から照射されるＸ線量を略同一とすることができる。
【００３７】
ここで、Ｘ線管２の寿命等により照射ユニット３の交換等の保守作業が必要となった場合、照射ユニット３を固定しているネジ４４を緩め、ユニットカバー２４の掴み部２４ｅを掴んで、照射ユニット３を下方に引き出した後、コネクタ４１をソケット２６から取外して、照射ユニット３と筐体４とを分離し、照射ユニット３の交換を行う。
【００３８】
このように本実施形態のＸ線発生装置１及び照射ユニット３では、照射ユニット３がユニット装着部３４に着脱自在に装着されているため、照射ユニット３の着脱が容易となり、Ｘ線管２の寿命、電圧発生部２２の故障等の不具合が生じた場合には、照射ユニット３の交換、着脱を短時間で実施することができる。これにより、保守作業が簡略化されている。また、フランジ部２４ｂの形状にならう凹部４３ｂが形成されているため、この凹部４３ｂがガイド機能を果たし、照射ユニット３の位置決めが容易とされている。
【００３９】
また、Ｘ線発生装置１にあっては、筐体４は、ユニット装着部３４が形成された筐体本体３５を有し、照射ユニット３は、筐体本体３５と共に筐体４の外壁を構成するユニットカバー２４を備え、ユニットカバー２４には、Ｘ線管２から放射されたＸ線を筐体４外に出射する出射開口部２４ｄと、ユニット装着部２４ｄに固定されるフランジ部２４ｂと、が設けられ、照射ユニット３は、フランジ部２４ｂとユニット装着部３４とが面接触して固定されているため、Ｘ線管２で発生した熱がユニットカバー２４に伝達され、ユニットカバー２４に伝達された熱がフランジ部２４ｂを通じて面接触で効果的に筐体本体３５に伝達され、放熱が効率良く行われる。これにより、Ｘ線管２の温度が適正に維持され、Ｘ線発生装置１の信頼性が向上されている。
【００４０】
また、筐体本体３５には、ユニット装着部３４として、フランジ部２４ｂの形状にならう凹部４３ｂが形成され、ユニットカバー２４の外面は筐体本体３５の外面と略面一であるため、凹部４３ｂを形成する設置面４３ｄとフランジ部２４ｂとを接触させることにより、ユニットカバー２４と筐体本体３５との接触面積が増加し、放熱効率が向上されている。また、筐体４の外面が面一となるので、取扱いが容易されている。
【００４１】
次に、本発明の第２実施形態に係るＸ線発生装置５１について、図９を参照しながら説明する。この第２実施形態のＸ線発生装置５１が第１実施形態のＸ線発生装置１と違う点は、フランジ部５４ｂ及びこのフランジ部５４ｂが配置される凹部５３ｂの位置を変えた点である。
【００４２】
照射ユニット５５は、ユニットカバー５４の掴み部５４ｅの長手方向Ｌにおける両端部にフランジ部５４ｂ，５４ｂを備えている。また、筐体５６は、長手方向Ｌに延在する壁体５６ｂに凹部５３ｂを備えている。そして、照射ユニット５５は、そのフランジ部５４ｂが筐体５６の凹部５３ｂに配置されて、ネジ５７によりユニット装着部５３に着脱自在に固定されている。このように構成しても第１実施形態のＸ線発生装置１及び照射ユニット３と同様な作用・効果を奏すると共に、ネジ５７が筐体５６の側面を構成する壁体５６ｂ側に設置されているため、ネジ５７の着脱が容易となり、作業性が向上されている。
【００４３】
次に、本発明の第３実施形態に係るＸ線発生装置について、図１０を参照しながら説明する。この第３の実施形態のＸ線発生装置が第１実施形態のＸ線発生装置１と違う点は、ユニットカバー２４のフランジ部２４ｂに対する筐体の取り付け構造を変更した点である。具体的には、凹部６１を、雌螺子部６２ａが形成された第１の壁部６２と、フランジ部２４ｂにならう形状の切欠き部６３ａが形成された第２の壁部６３とを張り合わせた２重板６４により構成した点である。そして、凹部６１にユニットカバー２４のフランジ部２４ｂが配置され、ネジ４４が雌螺子部６２ａに螺合することで、照射ユニットが着脱可能にユニット装着部に装着されている。このように構成しても第１実施形態のＸ線発生装置１及び照射ユニット３と同様な作用・効果を奏する。なお、図１１に示すように、第２の壁部を無くし、構造をシンプルにしても良い。また、図１２に示すように、雌螺子部６２ａが形成された第１の壁部６２に代えて、開口部６５ａが形成された第１の壁部６５を備え、ナット６６を第１の壁部６５の内面（図示上側）に溶接固定し、第１の壁部６５及び第２の壁部６３により形成される凹部６１にユニットカバー２４のフランジ部２４ｂを配置し、ネジ４４をナット６６に螺合するようにしても良い。
【００４４】
更に、照射ユニットを溶接等によりユニット装着部に固定しても良い。このようなＸ線発生装置では、Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニットが、バー状の筐体に並設されるため、並設された複数のＸ線管により長手方向のＸ線の照射範囲が拡大されると共に、各照射ユニットの間隔を容易に一定とすることが可能となりＸ線発生装置の取扱いが容易とされる。
【００４５】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、照射ユニット３は、フランジ部２４ｂを備える構造としているが、フランジ部２４ｂを備えず、着脱可能に筐体に装着される構造としても良い。
【００４６】
なお、Ｘ線発生装置の設置方向は限定されず、その他の方向にＸ線を照射するように、設置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＸ線発生装置を下方から示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線発生装置の分解側面図である。
【図３】図２中のＸ線管の断面図である。
【図４】図１中の照射ユニットを下方から示す斜視図である。
【図５】図４に示す照射ユニットの内部を示す平面図である。
【図６】図５示す照射ユニットのＶＩ−ＶＩ矢視図である。
【図７】図１に示すユニット装着部を下方から示す斜視図である。
【図８】ユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るＸ線発生装置を下方から示す斜視図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係るＸ線発生装置のユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【図１１】他のユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【図１２】更に他のユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１，５１…Ｘ線発生装置、２…Ｘ線管、３，５５…照射ユニット、４，５６…筐体、２２…電圧発生部、２４，５４…ユニットカバー、２４ａ…ユニットカバー本体（前壁部）、２４ｂ，５４ｂ…フランジ部、２４ｄ…出射開口部、２４ｅ，５４ｅ…掴み部（側壁部）、３５…筐体本体、４２…コネクタ、４３，５３…ユニット装着部、４３ｂ，５３ｂ，６１…凹部、４３ｃ…切欠き部（切欠き形状の凹部）。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を放射するＸ線発生装置及び照射ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線を出射するＸ線管を有するＸ線発生装置は、例えばＩＣ（集積回路）、ＬＣＤ（液晶表示装置）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）等の製造分野を始めとした幅広い分野において、静電気を除電する除電（静電気除去）装置として採用され、空気などの気体にＸ線を照射してイオンガスを生成し、被対象物の除電を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−６８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来技術では、長年の使用等により、Ｘ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部等の保守作業が必要となることがあり、保守作業の簡略化が求められている。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、保守作業の簡略化を図るＸ線発生装置及び照射ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるＸ線発生装置は、Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、照射ユニットに電力供給する電源と照射ユニットとを電気的に接続するコネクタと、一方向に延びる中空のバー状を成し、Ｘ線管、電圧発生部及びコネクタを収容する筐体と、を備え、複数の照射ユニットを筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、照射ユニットは、ユニット装着部に着脱自在に装着されていることを特徴としている。
【０００６】
また、本発明による照射ユニットは、Ｘ線を放射するＸ線管と、このＸ線管を駆動させる電圧発生部と、を備え、上記ユニット装着部に着脱自在に装着されることを特徴としている。
【０００７】
このようなＸ線発生装置及び照射ユニットによれば、Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニットが筐体のユニット装着部に着脱自在に装着されるため、照射ユニットの着脱が容易となり、Ｘ線管の寿命、電圧発生部の故障等の不具合が生じた場合には、照射ユニットの交換、着脱を短時間で実施することができる。これにより、保守作業の簡略化が可能となる。
【０００８】
ここで、筐体は、ユニット装着部が形成された筐体本体を有し、照射ユニットは、筐体本体と共に筐体の外壁を構成するユニットカバーを備えた構成が挙げられる。
【０００９】
また、ユニットカバーには、Ｘ線管から放射されたＸ線を筐体外に出射する出射開口部と、ユニット装着部に固定されるフランジ部と、が設けられ、照射ユニットは、フランジ部とユニット装着部とが面接触して固定されていると、Ｘ線管で発生した熱がユニットカバーに伝達され、ユニットカバーに伝達された熱がフランジ部を通じて面接触で効果的に筐体本体に伝達され、放熱が効率良く行われる。これにより、Ｘ線管の温度を適正に維持することが可能となり、Ｘ線発生装置の信頼性を向上させることが可能となる。
【００１０】
また、筐体本体には、ユニット装着部として、フランジ部の形状にならう凹部が形成され、ユニットカバーの外面は筐体本体の外面と略面一であると、凹部を形成する壁体とフランジ部とを接触させることにより、ユニットカバーと筐体本体との接触面積を増加させることが可能となり、放熱効率を向上させることができる。また、フランジ部の形状にならう凹部が形成されているため、この凹部がガイド機能を果たし、照射ユニットの位置決めが容易とされる。また、筐体の外面が面一となるので、取扱いが容易となる。
【００１１】
また、筐体は、角筒状を成し、ユニットカバーは、出射開口部が形成された前壁部と、この前壁部に略直交すると共に互いに対向する一対の側壁部と、を有し、筐体本体には、ユニット装着部として、ユニットカバーの側壁部の形状にならう切欠き形状の凹部が形成されていると、ユニットカバーの側壁部を掴むことで、照射ユニットの筐体本体に対する脱着が容易となり、保守作業が一層簡略化される。
【００１２】
また、照射ユニットは、ユニットカバーを含みＸ線管及び電圧発生部を保護する保護ケースと、コネクタと電気的に接続されるソケットと、を備え、保護ケースは、筐体の長手方向における外壁を構成しソケットを外面に固定するソケット固定壁と、筐体の長手方向において、ソケット固定壁より外方に突出するガイド壁とを有していることとしていると、照射ユニットを筐体に装着する際に、配線がガイド壁によって、ユニットカバーと反対側に案内され、配線が筐体と照射ユニットとの間に挟まれることが防止される。これにより、配線の損傷を防止することができると共に配線をスムーズに筐体内に収容することが可能となる。
【００１３】
また、本発明のＸ線発生装置は、Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、一方向に延びる中空のバー状を成し、Ｘ線管及び電圧発生部を収容する筐体と、を備え、複数の照射ユニットを筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、照射ユニットは、ユニット装着部に装着されていることを特徴としている。
【００１４】
このようなＸ線発生装置によれば、Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニットが、バー状の筐体に並設されているため、並設された複数のＸ線管により長手方向のＸ線の照射範囲が拡大されると共に、各照射ユニットの間隔を容易に一定とすることが可能となりＸ線発生装置の取扱いが容易となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のＸ線発生装置及び照射ユニットによれば、照射ユニットの交換、着脱を短時間で実施できるため、Ｘ線発生装置における保守作業の簡略化が図られるＸ線発生装置及び照射ユニットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明によるＸ線発生装置の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の第１実施形態に係るＸ線発生装置を下方から示す斜視図、図２は、図１に示すＸ線発生装置の分解側面図、図３は、図２中のＸ線管の断面図、図４は、図１中の照射ユニットを下方から示す斜視図、図５は、図４に示す照射ユニットの内部を示す平面図、図６は、図５示す照射ユニットのＶＩ−ＶＩ矢視図、図７は、図１に示すユニット装着部を下方から示す斜視図である。なお、以下の説明において、「上」、「下」等の方向を示す語については各図の状態において言うものとする。
【００１７】
図１に示すＸ線発生装置１は、例えば、大型ガラス等を取り扱う製造ラインにおいて、クリーンルーム等に設置され、Ｘ線を照射して大型ガラスの除電を行うフォトイオナイザ（光照射式静電除去装置）として採用されるものである。そして、Ｘ線発生装置１は、被対象物である大型ガラスの上方に設置され、上方から下方へＸ線を照射する。このＸ線発生装置１は、Ｘ線を出射するＸ線管２（図２及び図３参照）を備えた照射ユニット３を複数（本実施形態では３個）有し、これらの照射ユニット３を並設するバー状の筐体４を具備している。そして、Ｘ線発生装置１は、被対象物の搬送方向（図２における紙面垂直方向）に対して、筐体４の長手方向Ｌが直交するように配置される。
【００１８】
先ず、図３に示すＸ線管２について詳説する。このＸ線管２は、コバールガラス製の円筒状バルブ１１を有し、このバルブ１１の末端（図示上端）には、排気管１２を有するステム１３が形成されている。排気管１２は、組立終了後にＸ線管２内を排気して真空状態にするために利用される。また、バルブ１１の開放端には、円筒状を成すコバール金属製の出力窓保持部１４が融着接続されている。この出力窓保持部１４には、その中央開口１４ａを塞ぐように円板状の出力窓１５がＡｇロウ付け等により固定され、出力窓１５の内面には、電子ビームの衝突によりＸ線を発生させるターゲット１６が蒸着されている。また、出力窓保持部１４の下端には、外方に突出する円環状の鍔部２０が設けられている。
【００１９】
更に、ステム１３には２本のステムピン１７，１７が挿着され、バルブ１１内には、所定の電圧で電子ビームを放出するカソードとしてのフィラメント１８が設けられ、このフィラメント１８は、ステムピン１７の先端（図示下端）に固定されている。これらのステムピン１７のうちの一方のステムピンには、円筒状を成すステンレス製のフォーカス１９がフィラメント１８を囲繞するようにして固定されている。このような構成を有するＸ線管２の出射窓保持部１４は、コバール金属により形成されているので熱伝導性及び導電性が良好であると共に、アースされた筐体４に電気的に接続されるので接地電位に維持されている。
【００２０】
そして、Ｘ線管２のステムピン１７に、後述する電圧発生部から−９．５ｋＶの高電位を供給し、接地電位のターゲット１６から電子ビームを出射する。このとき、電子ビームの衝突によりターゲット１６からＸ線が放射される。なお、使用時において、Ｘ線管２は高温になっており、Ｘ線の発生効率の維持やターゲット１６の破損防止のために、ターゲット１６の熱を外部に適切に逃がす必要がある。
【００２１】
次に、このように構成されたＸ線管２を備えた照射ユニット３について詳説する。この照射ユニット３は、図４に示すように、箱型を成す保護ケース２１を有し、この保護ケース２１内に、図５及び図６に示すように、Ｘ線管２、このＸ線管２を駆動させる電圧発生部２２及び回路基板２３を収容している。
【００２２】
保護ケース２１は、図４に示すように、図示下側の壁体を構成すると共に筐体４（図１参照）の壁体の一部を構成するユニットカバー２４と、このユニットカバー２４に直交すると共に、長手方向Ｌに対向する一対の壁体２５ｃ，２５ｄを有するベースプレート２５と、ユニットカバー２４に対向する壁体３２ａ及びこの壁体３２ａに直交する共に長手方向Ｌに延在する一対の壁体３２ｂ，３２ｂを有する保護カバー３２と、を具備している。
【００２３】
ユニットカバー２４は、熱伝導性の良好な金属から構成され、矩形平板状を成すユニットカバー本体（前壁部）２４ａを備えている。このユニットカバー本体２４ａの長手方向Ｌの両端部には、照射ユニット３を筐体４に着脱自在に固定するためのフランジ部２４ｂがユニットカバー本体２４ａと面一を成し延出するように各々設けられ、このフランジ部２４ｂには、照射ユニット３を固定するためのネジ４４（図１参照）を挿通させる開口部２４ｃが設けられている。また、ユニットカバー本体２４ａの一方の端部近傍でＸ線管２に対向する位置には円形の開口が形成され、この開口はＸ線管２からのＸ線を筐体４外へ出射する出射開口部２４ｄとされている。更に、ユニットカバー本体２４ａの幅方向（長手方向Ｌに直交する方向；図５における上下方向）の端部には、ユニットカバー本体２４ａに直交すると共に互いに対向する一対の掴み部（側壁部）２４ｅが立設されている。照射ユニット３の筐体４への脱着の際には、この掴み部２４ｅを掴んで照射ユニット３を抜き差しする。また、掴み部２４ｅの内面には、図５に示すように、保護カバー３２を係合するための複数の凸部２４ｆが形成されている。
【００２４】
ベースプレート２５は、図５及び図６に示すように、ユニットカバー２４の内面に固定され、回路基板２３を搭載するものである。このベースプレート２５は長手方向Ｌに延在し、ユニットカバー本体２４ａの内面に面接触するベースプレート本体２５ａを備え、このベースプレート本体２５ａには、図６に示すように、ユニットカバー２４の出射開口部２４ｄに対応する位置に、開口２５ｂが形成されている。この開口２５ｂの径は、出射開口２４ｄの径より大きくされている。
【００２５】
また、ベースプレート本体２５ａの長手方向Ｌの両端部は、図５及び図６に示すように、図６における上方に屈曲されて、ベースプレート本体２５ａに直交する壁体２５ｃ，２５ｄを形成している。更に、開口２５ｂから遠い方の壁体（固定壁）２５ｄの外面には、図４〜図６に示すように、筐体４外の外部電源（不図示）と電気的に接続するためのソケット２６が取り付けられている。ここで、保護カバー３２を構成する壁体３２ｂ及びユニットカバー本体２４ａは長手方向Ｌにおいて壁体２５ｄの外面から突出している。この壁体２５ｄより突出する壁体３２ｂ及びユニットカバー本体２４ａの部分が本発明のガイド壁を構成している。そして、壁体２５ｄに固定されたソケット２６は、ユニットカバー本体２４ａ、対向する壁体３２ｂ，３２ｂ及び壁体２５ｄにより形成されるガイド空間Ｓ内に位置している。筐体４に対して照射ユニット３を装着するには、ソケット２６と、筐体４の内部に備えられた配線４０（後述する）とを電気的に接続した後、照射ユニット３を筐体４に挿入して固定する。その際、壁体２５ｄから突出するユニットカバー本体２４ａ、壁体３２ｂ，３２ｂにより、配線４０がガイドされて、配線４０の保護カバー３２の外側への回りこみが防止される。このため、配線４０が筐体４の内面と保護カバー３２との間で挟み込まれることが防止され、配線４０の破損が予防されると共に、照射ユニット３の筐体４への装着作業が容易になる。また、ソケット２６を接続口がユニットカバー本体２４ａと反対の方向（ユニットカバー本体２４ａ、壁体３２ｂ，３２ｂと対向しない方向）を向くように固定するので、更に配線４０の破損が予防され、装着作業が容易となる。
【００２６】
図６に示すように、ベースプレート２５には、回路基板２３をベースプレート本体２５ａと離間して支持するための複数（本実施形態では４個）の支持片２５ｅが立設され、この支持片２５ｅに固定された回路基板２３とユニットカバー２４との間には、絶縁空間２７が形成されている。また、回路基板２３はソケット２６と電気的に接続されている。更に、回路基板２３は、複数のＸ線管２のＸ線量を略一定とすべく調整されたものとされている。
【００２７】
電圧発生部２２は、回路基板２３上に搭載され、−９．５ｋＶの高電位をステムピン１７に供給して、Ｘ線管２を駆動させるものである。先ず、電圧発生部２２内の低電圧発生部位で−１ｋＶまで電位を上げ、次に高電圧発生部位で−９．５ｋＶまで電位を上げている。そして、電圧発生部２２の高電圧発生部位からの配線２８は、Ｘ線管２のステムピン１７に結線され、この状態で、Ｘ線管２のバルブ１１には、ステムピン１７を覆う円筒状のキャップ２９が装着されている。なお、キャップ２９内には、配線２８とステムピン１７との結線後、シリコン樹脂Ｐが充填される。
【００２８】
図５及び図６に示すように、照射ユニット３は、Ｘ線管２をユニットカバー２４に固定するためのＸ線管ホルダ３０を備えている。Ｘ線管ホルダ３０には、矩形の板材から形成され、Ｘ線管２を挿通させる開口３０ａと、Ｘ線管ホルダ３０をネジ止め固定するための開口３０ｂとが設けられている。そして、Ｘ線管２は、ベースプレート２５の開口２５ｂ内に、出力窓保持部１４の鍔部２０が配置され、この鍔部２０は、Ｘ線管ホルダ３０によって上方から押圧され、鍔部２０の下端面が、ユニットカバー２４の出射開口部２４ｄを形成する周縁部の内面（図示上側の面）に面接触してネジ固定される。
【００２９】
保護カバー３２は、アルミ等から形成され、図４〜図６に示すようにユニットカバー２４上に配置されたＸ線管２、電圧発生部２２及び回路基板２３を保護するものである。保護カバー３２を構成する壁体３２ｂの下端部には、図５に示すように、ユニットカバー２４の掴み部２４ｅの凸部２４ｆに係合する複数の開口３２ｃを有している。保護カバー３２は、その開口３２ｃが凸部２４ｆに各々係合し着脱可能にユニットカバー２４に装着されている。
【００３０】
次に、このように構成された照射ユニット３を着脱可能に装着する筐体４について詳説する。この筐体４は、図２に示すように、一方向（図示左右方向；長手方向Ｌ）に延びる中空の箱型を成し、複数の照射ユニット３を長手方向Ｌに沿って並設させる複数のユニット装着部３４を有し、内部に照射ユニット３のＸ線管２及び電圧発生部２２、照射ユニット３と外部電源とを電気的に接続するための配線４０及びこの配線４０の一方の端部に設けられソケット２６に電気的に接続されるコネクタ４１を収容している。ここで「中空」とは、筐体４の内部に少なくとも照射ユニット３の一部を収容する空間を有していることを指し、各照射ユニット３を収容する空間が連続して形成されているか否かは問わない。そして、筐体４は、ユニット装着部３４が形成された筐体本体３５と、この筐体本体３５のユニット装着部３４に装着された上記照射ユニット３のユニットカバー２４によって、その外壁が構成されている。
【００３１】
筐体本体３５は、下部側を構成するヘッドカバー３６と、上部側を構成する筐体ベース３７とを備えている。具体的には、筐体ベース３７は、図1及び図２に示すように、筐体本体３５の上側の壁体３７ａ及びこの壁体３７ａに直交すると共に長手方向Ｌに対向する一対の壁体３７ｂ，３７ｂを有し、ヘッドカバー３６は、筐体本体３５の下側の壁体３６ａ及びこの壁体３６ａに直交すると共に長手方向Ｌに延在して互いに対向する一対の壁体３６ｂ，３６ｂを有する構成とされている。
【００３２】
筐体ベース３７の壁体３７ｂには、図１に示すように、Ｌ字型の取付部材３８が固定されている。取付部材３８は、ネジを挿通するための開口部３８ａを有し、Ｘ線発生装置１を所定の設置面にネジ固定する。また、図２に示すように、図示左側の壁体３７ｂは、外部電源と電気的に接続される端子３９を有し、この端子３９は、配線４０、コネクタ４１を介してソケット２６と電気的に接続されている。そして、筐体ベース３７とヘッドカバー３６とが連結固定されることにより、筐体本体３５が構成されている。
【００３３】
次に、ヘッドカバー３６に形成されたユニット装着部３４について説明する。ユニット装着部３４は、図７に示すように、ユニットカバー２４に対応する形状とされ、壁体３６ａに、ユニットカバー本体２４ａに対応する大きさの矩形の開口４３ａが形成され、この開口４３ａの長手方向Ｌの両側に、フランジ２４ｂが収容配置される凹部４３ｂ，４３ｂが形成され、壁体３６ｂに、掴み部２４ｅに対応する形状の切欠き部（切欠き形状の凹部）４３ｃが形成されている。このユニット装着部３４は、長手方向Ｌにおいて照射ユニット３の向きを逆にしても装着が可能である。
【００３４】
凹部４３ｂは、図８に示すように、フランジ２４ｂの厚さに対応する深さとされ、フランジ２４ｂの上側の面と面接触する設置面４３ｄを有し、この設置面４３ｄには照射ユニット３を固定するための雌螺子部４３ｅが形成されている。そして、図１に示すように、ネジ４４をフランジ２４ｂの開口に挿通して雌螺子部４３ｅに螺合することで、照射ユニット３がユニット装着部４３に着脱自在に装着されている。図１に示すように、ここでは、左側及び中央のユニット装着部４３に対して、照射ユニット３の出射開口部２４ｄを左側に配置して照射ユニット３を装着し、右側のユニット装着部４３に対して、照射ユニット３の出射開口部２４ｄを右側に配置して照射ユニット３を装着している。この照射ユニット３の装着状態において、フランジ部２４ｂは、設置面４３ｄに面接触していると共に、フランジ部２４ｂを含むユニットカバー２４の外面は、筐体本体３５の外面と略面一となっている。更に、複数の出射開口部２４ｄの間隔は、略同じとなっている。これにより、長手方向Ｌに亘って一様にＸ線を照射することが可能な構成となっている。
【００３５】
このように、Ｘ線管２及び電圧発生部２２を有する照射ユニット３が、バー状の筐体４に並設されているため、並設された複数のＸ線管２により長手方向ＬのＸ線の照射範囲が拡大されると共に、各照射ユニット３の間隔を容易に一定とすることが可能となりＸ線発生装置１の取扱いが容易とされている。
【００３６】
このようなＸ線発生装置１では、外部電源により、端子３９、配線４０、コネクタ４１及びソケット２６を介して、照射ユニット３に電力が供給され、Ｘ線管２からＸ線が放射されて出射開口部２４ｄから筐体４外へ出射される。これにより、周囲の空気がイオン化され、被対象物の除電を行うことができる。また、Ｘ線管２が所定のＸ線量になるように調整された回路基板２３を備えているため、Ｘ線管２の性能にばらつきがある場合においても、各照射ユニット３から照射されるＸ線量を略同一とすることができる。
【００３７】
ここで、Ｘ線管２の寿命等により照射ユニット３の交換等の保守作業が必要となった場合、照射ユニット３を固定しているネジ４４を緩め、ユニットカバー２４の掴み部２４ｅを掴んで、照射ユニット３を下方に引き出した後、コネクタ４１をソケット２６から取外して、照射ユニット３と筐体４とを分離し、照射ユニット３の交換を行う。
【００３８】
このように本実施形態のＸ線発生装置１及び照射ユニット３では、照射ユニット３がユニット装着部３４に着脱自在に装着されているため、照射ユニット３の着脱が容易となり、Ｘ線管２の寿命、電圧発生部２２の故障等の不具合が生じた場合には、照射ユニット３の交換、着脱を短時間で実施することができる。これにより、保守作業が簡略化されている。また、フランジ部２４ｂの形状にならう凹部４３ｂが形成されているため、この凹部４３ｂがガイド機能を果たし、照射ユニット３の位置決めが容易とされている。
【００３９】
また、Ｘ線発生装置１にあっては、筐体４は、ユニット装着部３４が形成された筐体本体３５を有し、照射ユニット３は、筐体本体３５と共に筐体４の外壁を構成するユニットカバー２４を備え、ユニットカバー２４には、Ｘ線管２から放射されたＸ線を筐体４外に出射する出射開口部２４ｄと、ユニット装着部２４ｄに固定されるフランジ部２４ｂと、が設けられ、照射ユニット３は、フランジ部２４ｂとユニット装着部３４とが面接触して固定されているため、Ｘ線管２で発生した熱がユニットカバー２４に伝達され、ユニットカバー２４に伝達された熱がフランジ部２４ｂを通じて面接触で効果的に筐体本体３５に伝達され、放熱が効率良く行われる。これにより、Ｘ線管２の温度が適正に維持され、Ｘ線発生装置１の信頼性が向上されている。
【００４０】
また、筐体本体３５には、ユニット装着部３４として、フランジ部２４ｂの形状にならう凹部４３ｂが形成され、ユニットカバー２４の外面は筐体本体３５の外面と略面一であるため、凹部４３ｂを形成する設置面４３ｄとフランジ部２４ｂとを接触させることにより、ユニットカバー２４と筐体本体３５との接触面積が増加し、放熱効率が向上されている。また、筐体４の外面が面一となるので、取扱いが容易されている。
【００４１】
次に、本発明の第２実施形態に係るＸ線発生装置５１について、図９を参照しながら説明する。この第２実施形態のＸ線発生装置５１が第１実施形態のＸ線発生装置１と違う点は、フランジ部５４ｂ及びこのフランジ部５４ｂが配置される凹部５３ｂの位置を変えた点である。
【００４２】
照射ユニット５５は、ユニットカバー５４の掴み部５４ｅの長手方向Ｌにおける両端部にフランジ部５４ｂ，５４ｂを備えている。また、筐体５６は、長手方向Ｌに延在する壁体５６ｂに凹部５３ｂを備えている。そして、照射ユニット５５は、そのフランジ部５４ｂが筐体５６の凹部５３ｂに配置されて、ネジ５７によりユニット装着部５３に着脱自在に固定されている。このように構成しても第１実施形態のＸ線発生装置１及び照射ユニット３と同様な作用・効果を奏すると共に、ネジ５７が筐体５６の側面を構成する壁体５６ｂ側に設置されているため、ネジ５７の着脱が容易となり、作業性が向上されている。
【００４３】
次に、本発明の第３実施形態に係るＸ線発生装置について、図１０を参照しながら説明する。この第３の実施形態のＸ線発生装置が第１実施形態のＸ線発生装置１と違う点は、ユニットカバー２４のフランジ部２４ｂに対する筐体の取り付け構造を変更した点である。具体的には、凹部６１を、雌螺子部６２ａが形成された第１の壁部６２と、フランジ部２４ｂにならう形状の切欠き部６３ａが形成された第２の壁部６３とを張り合わせた２重板６４により構成した点である。そして、凹部６１にユニットカバー２４のフランジ部２４ｂが配置され、ネジ４４が雌螺子部６２ａに螺合することで、照射ユニットが着脱可能にユニット装着部に装着されている。このように構成しても第１実施形態のＸ線発生装置１及び照射ユニット３と同様な作用・効果を奏する。なお、図１１に示すように、第２の壁部を無くし、構造をシンプルにしても良い。また、図１２に示すように、雌螺子部６２ａが形成された第１の壁部６２に代えて、開口部６５ａが形成された第１の壁部６５を備え、ナット６６を第１の壁部６５の内面（図示上側）に溶接固定し、第１の壁部６５及び第２の壁部６３により形成される凹部６１にユニットカバー２４のフランジ部２４ｂを配置し、ネジ４４をナット６６に螺合するようにしても良い。
【００４４】
更に、照射ユニットを溶接等によりユニット装着部に固定しても良い。このようなＸ線発生装置では、Ｘ線管及び電圧発生部を有する照射ユニットが、バー状の筐体に並設されるため、並設された複数のＸ線管により長手方向のＸ線の照射範囲が拡大されると共に、各照射ユニットの間隔を容易に一定とすることが可能となりＸ線発生装置の取扱いが容易とされる。
【００４５】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、照射ユニット３は、フランジ部２４ｂを備える構造としているが、フランジ部２４ｂを備えず、着脱可能に筐体に装着される構造としても良い。
【００４６】
なお、Ｘ線発生装置の設置方向は限定されず、その他の方向にＸ線を照射するように、設置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＸ線発生装置を下方から示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線発生装置の分解側面図である。
【図３】図２中のＸ線管の断面図である。
【図４】図１中の照射ユニットを下方から示す斜視図である。
【図５】図４に示す照射ユニットの内部を示す平面図である。
【図６】図５示す照射ユニットのＶＩ−ＶＩ矢視図である。
【図７】図１に示すユニット装着部を下方から示す斜視図である。
【図８】ユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るＸ線発生装置を下方から示す斜視図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係るＸ線発生装置のユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【図１１】他のユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【図１２】更に他のユニット装着部の要部をフランジ部と共に示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１，５１…Ｘ線発生装置、２…Ｘ線管、３，５５…照射ユニット、４，５６…筐体、２２…電圧発生部、２４，５４…ユニットカバー、２４ａ…ユニットカバー本体（前壁部）、２４ｂ，５４ｂ…フランジ部、２４ｄ…出射開口部、２４ｅ，５４ｅ…掴み部（側壁部）、３５…筐体本体、４２…コネクタ、４３，５３…ユニット装着部、４３ｂ，５３ｂ，６１…凹部、４３ｃ…切欠き部（切欠き形状の凹部）。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、
前記照射ユニットに電力供給する電源と前記照射ユニットとを電気的に接続するコネクタと、
一方向に延びる中空のバー状を成し、前記Ｘ線管、前記電圧発生部及び前記コネクタを収容する筐体と、を備え、
前記筐体は、前記複数の照射ユニットを前記筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、
前記照射ユニットは、前記ユニット装着部に着脱自在に装着されていることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項２】
前記筐体は、前記ユニット装着部が形成された筐体本体を有し、
前記照射ユニットは、前記筐体本体と共に前記筐体の外壁を構成するユニットカバーを備えたことを特徴とする請求項１記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
前記ユニットカバーには、前記Ｘ線管から放射されたＸ線を前記筐体外に出射する出射開口部と、
前記ユニット装着部に固定されるフランジ部と、が設けられ、
前記照射ユニットは、前記フランジ部が前記ユニット装着部に面接触して固定されていることを特徴とする請求項２記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記筐体本体には、前記ユニット装着部として、前記フランジ部の形状にならう凹部が形成され、
前記ユニットカバーの外面は前記筐体本体の外面と略面一であることを特徴とする請求項２又は３記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記筐体は、角筒状を成し、
前記ユニットカバーは、前記出射開口部が形成された前壁部と、この前壁部に略直交すると共に互いに対向する一対の側壁部と、を有し、
前記筐体本体には、前記ユニット装着部として、前記ユニットカバーの側壁部の形状にならう切欠き形状の凹部が形成されていることを特徴とする請求項２〜４記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記照射ユニットは、前記ユニットカバーを含み前記Ｘ線管及び前記電圧発生部を保護する保護ケースと、
前記コネクタと電気的に接続されるソケットと、を備え、
前記保護ケースは、前記筐体の長手方向における外壁を構成し前記ソケットを外面に固定するソケット固定壁と、
前記筐体の長手方向において、前記ソケット固定壁より外方に突出するガイド壁とを有していることを特徴とする請求項２〜５の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
Ｘ線を放射するＸ線管と、
このＸ線管を駆動させる電圧発生部と、を備え、
請求項１〜６の何れか一項に記載されたユニット装着部に着脱自在に装着される照射ユニット。
【請求項８】
Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、
一方向に延びる中空のバー状を成し、前記Ｘ線管及び前記電圧発生部を収容する筐体と、を備え、
前記筐体は、前記複数の照射ユニットを前記筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、
前記照射ユニットは、前記ユニット装着部に装着されていることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項１】
Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、
前記照射ユニットに電力供給する電源と前記照射ユニットとを電気的に接続するコネクタと、
一方向に延びる中空のバー状を成し、前記Ｘ線管、前記電圧発生部及び前記コネクタを収容する筐体と、を備え、
前記筐体は、前記複数の照射ユニットを前記筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、
前記照射ユニットは、前記ユニット装着部に着脱自在に装着されていることを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項２】
前記筐体は、前記ユニット装着部が形成された筐体本体を有し、
前記照射ユニットは、前記筐体本体と共に前記筐体の外壁を構成するユニットカバーを備えたことを特徴とする請求項１記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
前記ユニットカバーには、前記Ｘ線管から放射されたＸ線を前記筐体外に出射する出射開口部と、
前記ユニット装着部に固定されるフランジ部と、が設けられ、
前記照射ユニットは、前記フランジ部が前記ユニット装着部に面接触して固定されていることを特徴とする請求項２記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記筐体本体には、前記ユニット装着部として、前記フランジ部の形状にならう凹部が形成され、
前記ユニットカバーの外面は前記筐体本体の外面と略面一であることを特徴とする請求項２又は３記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記筐体は、角筒状を成し、
前記ユニットカバーは、前記出射開口部が形成された前壁部と、この前壁部に略直交すると共に互いに対向する一対の側壁部と、を有し、
前記筐体本体には、前記ユニット装着部として、前記ユニットカバーの側壁部の形状にならう切欠き形状の凹部が形成されていることを特徴とする請求項２〜４記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記照射ユニットは、前記ユニットカバーを含み前記Ｘ線管及び前記電圧発生部を保護する保護ケースと、
前記コネクタと電気的に接続されるソケットと、を備え、
前記保護ケースは、前記筐体の長手方向における外壁を構成し前記ソケットを外面に固定するソケット固定壁と、
前記筐体の長手方向において、前記ソケット固定壁より外方に突出するガイド壁とを有していることを特徴とする請求項２〜５の何れか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
Ｘ線を放射するＸ線管と、
このＸ線管を駆動させる電圧発生部と、を備え、
請求項１〜６の何れか一項に記載されたユニット装着部に着脱自在に装着される照射ユニット。
【請求項８】
Ｘ線を放射するＸ線管及びこのＸ線管を駆動させる電圧発生部を有する複数の照射ユニットと、
一方向に延びる中空のバー状を成し、前記Ｘ線管及び前記電圧発生部を収容する筐体と、を備え、
前記筐体は、前記複数の照射ユニットを前記筐体の長手方向に沿って並設させる複数のユニット装着部を有し、
前記照射ユニットは、前記ユニット装着部に装着されていることを特徴とするＸ線発生装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２００６−３３８９６５（Ｐ２００６−３３８９６５Ａ）
【公開日】平成１８年１２月１４日（２００６．１２．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１６０５７８（Ｐ２００５−１６０５７８）
【出願日】平成１７年５月３１日（２００５．５．３１）
【出願人】（０００２３６４３６）浜松ホトニクス株式会社 (1,479)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１２月１４日（２００６．１２．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年５月３１日（２００５．５．３１）
【出願人】（０００２３６４３６）浜松ホトニクス株式会社 (1,479)
【Ｆターム（参考）】
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