【課題】プラズマから放射された高エネルギ放射線のビーム束における特性の調整用の方法および機構を提供する。
【解決手段】集光光学系によって合焦されるビーム束内において、放射線の強度分布が、中間焦点１６の前の光軸１３に垂直な測定面１５２における収束ビーム束１５の断面にわたって取得され、かつ強度値が、光軸１３と同心の異なる半径を備えて整列された測定装置２の複数の受信領域用の画定されたセクタにおいて記録され、かつ測定量および制御変数が、集光光学系１４を整列させるために、異なるセクタの強度値の比較から決定される。 （もっと読む）

【課題】ターゲット供給装置の性能を安定させる。
【解決手段】ノズル部８６の下方に設けられ、第１の開口領域が形成された電極８８と、ターゲット物質と電極８８との間に電圧を印加する電源と、を備える。電極８８の第１の開口領域は、ターゲット物質がノズル部８６から重力方向に滴下するときにターゲット物質が第１の導電部材とは離間して通過するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ的確な診断を行うことが可能な極端紫外光発生装置の診断方法を提供する。
【解決手段】極端紫外光の光源部で生成された複数の光パルスの光強度値の時系列データを生成する工程Ｓ２と、時系列データから統計データを生成する工程Ｓ３と、統計データに基づいて光源部の発光状態を評価する工程Ｓ４とを備える。 （もっと読む）

【課題】多孔体金属の表面において発光物質の浸み出しが均一化されたプラズマ光源の製造方法を提供する。
【解決手段】１対の同軸状電極１０間に管状放電を形成してプラズマを軸方向に封じ込めるプラズマ光源の製造方法であって、各同軸状電極１０は、棒状の中心電極１２と、中心電極１２を間隔を隔てて囲む管状のガイド電極１４と、中心電極１２とガイド電極１４の間に位置しその間を絶縁するリング状の絶縁体１６とからなり、絶縁体１６は、内側と外側の絶縁性緻密部分１６ａと、その間に挟持された導電性多孔部分１６ｂとからなり、導電性多孔部分は、導電性金属の微粒子を焼結して多孔体に成形し、多孔体の形状を機械加工し、多孔体におけるプラズマと対向する面及び反対面について、電解エッチングすることによって製造される。 （もっと読む）

【課題】ＡＥＣセンサを変更した場合に既存の装置を改造することなく変更前と同じＡＥＣを行う。
【解決手段】電子カセッテ１３のＡＥＣ部６７の補正回路７６は、電子カセッテ１３の検出画素６５の検出信号を旧ＡＥＣセンサ２５の検出信号に相当する検出信号とする。補正回路７６は、旧ＡＥＣセンサ２５に代えて検出画素６５をＡＥＣセンサとして用いた場合のＸ線源１０と電子カセッテ１３のＦＰＤ３５の撮像面３６との間に配置される中間部材の構成の違いによる検出信号への影響を排除するように補正を行う。検出信号は、そのまま（瞬時値）、または積分回路７７で積算値とされて、検出信号Ｉ／Ｆ８０から線源制御装置１１の検出信号Ｉ／Ｆ２６に向けて送信される。 （もっと読む）

【課題】冷媒に混入したガスからなる気泡を好適に捕捉して、出射されるＸ線強度が気泡の影響によって変動することを抑制可能なＸ線装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘ線を透過するＸ線照射窓６を備える真空容器１ａ内でＸ線を発生するＸ線管１と、Ｘ線管１を収納するＸ線管容器７と、Ｘ線管１を冷却する冷媒１５をＸ線管容器７に送り込んでＸ線管１の周囲に流通させる冷却ユニット１４と、を含んで構成され、真空容器１ａ内で発生してＸ線照射窓６を透過したＸ線５が冷媒１５を通過してＸ線管容器７から出射するＸ線装置１００とする。そして、冷却ユニット１４からＸ線管容器７に送り込まれる冷媒１５内の気泡１５ａを、Ｘ線照射窓６の冷媒１５の流れに対する上流で捕捉する気泡トラップ２０を備え、気泡トラップ２０は、流通する冷媒１５に圧力差を生じさせ、当該圧力差を利用して気泡１５ａを捕捉する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線システムの妨害音響を低減するための新たな装置および方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射器（５）の外側に配置された打ち消し振動発生ユニット（１）が設けられており、この打ち消し振動発生ユニット（１）は、前記Ｘ線放射器（５）の動作時に発生する該Ｘ線放射器（５）の振動（８）を低減する。打ち消し振動発生ユニット（１）は、Ｘ線放射器（５）に作用を及ぼすようこのＸ線放射器（５）と結合されおり、振動（８）に対し１８０゜位相のずらされた打ち消し振動（９）を発生する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射手段側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出する、あるいはＸ線照射手段側のＸ線照射の異常を検出することができるＸ線制御装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管２１も含めてＸ線発生装置３１の消費電流に基づいて、Ｘ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出することができる。また、当該消費電流とＸ線照射条件との比較に基づいて、設定されたＸ線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、Ｘ線照射の異常を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射の異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光光源装置の光出射口から露光機側に汚染物質が流出するのを防ぐこと。
【解決手段】高温プラズマＰから放射されたＥＵＶ光は、ＥＵＶ集光鏡６により集光点ｆに集められ、ＥＵＶ光出射口７から出射し、露光機３０に入射する。集光鏡６と光出射口７の間に、モータ９によりＥＵＶ光の光軸と交差するように回転する回転翼（プロペラ）８が配置され、その回転軸９ａは極端紫外光の光路外に配置される。極端紫外光が発光していないとき、回転翼８を集光鏡６と光出射口７の間を通過させる。極端紫外光が発光していないとき光出射口７が回転翼によって実質的に遮蔽され、また、光出射口に向かって進んできた汚染物質が回転翼と衝突し、その進行方向が曲げられることによって汚染物質の流出が抑制される。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶリソグラフィに応用される斜入射集光器（ＧＩＣ）を熱管理するためのシステム、アセンブリ、方法を提供する。
【解決手段】ＧＩＣ冷却アセンブリ１５０は、密閉チャンバ１８０を形成するようにジャケット１６０に接合されたＧＩＣミラーシェル１１０を有する。オープンセル型熱伝導性材料（ＯＣＨＴ材料）２０２は、金属チャンバ内に配置され、ＧＩＣミラーシェル１１０、及びジャケットに熱接着及び機械接着される。ＥＵＶ源からのＥＵＶを受光して集束ＥＵＶを形成するように構成されるＧＩＣミラーシステムにおいてＧＩＣ冷却アセンブリ１５０を採用する場合、冷却媒体１７０が入出力プレナム間のＯＣＨＴ材料２０２を方位角方向に対称に流される。その結果、冷却性が実現される。 （もっと読む）

【課題】ターゲット物質又はプラズマによって反射されてドライバレーザに戻る反射光（戻り光）によるドライバレーザの故障を防止する極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、チャンバ内にターゲットを供給するターゲット供給部と、ドライバレーザから出射されるレーザ光をターゲットに集光することによってプラズマを発生させるレーザ集光光学系と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するＥＵＶ集光光学系と、所定の光路を通過したレーザ光の第１の直線偏光成分を円偏光成分に変換しながら反射し、集光されたレーザ光がターゲット又はプラズマによって反射されて生じた戻り光の円偏光成分を第２の直線偏光成分に変換しながら反射するリターダーと、レーザ光の光路に配置され、第１の直線偏光成分を反射して第２の直線偏光成分を吸収するコーティングミラーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】透過基板の温度上昇を抑制して放射線発生の長時間駆動を可能とし、信頼性の高い透過型放射線管および放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線発生装置は、冷却媒体が充填された収納容器１２内に透過型放射線管１１が収納され、透過型放射線管は、開口部１４ａを有する外囲器１４と、外囲器内に開口部１４ａに臨んで配設された電子放出源１５と、放射線を透過する透過基板１９と、透過基板１９の電子放出源側面に設置され、電子放出源１５から放出された電子の照射により放射線を発生するターゲット１８と、ターゲットから放出された放射線を遮る遮蔽体２０と、を備え、遮蔽体は外囲器１４の外側に突設されると共に、外囲器１４の開口部１４ａに連通する通路２０ａを有し、通路２０ａに設けられる透過基板１９の少なくとも一部は、外囲器１４の外壁面よりも外側に突出して配設され、冷却媒体は遮蔽体２０の少なくとも一部に接している。 （もっと読む）

【課題】 振動を長期に亘って軽減させることができる取付器具、回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を提供する。
【解決手段】 取付器具１ａは、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａを有し、剛性を示す支持部材２と、支持部材２より剛性の低い緩衝部材３とを備えている。支持部材２は、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａ間に加わる外力を支持し、緩衝部材３に加わる外力を軽減させ、緩衝部材３は、外部から加わる振動を減衰又は吸収し、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａ間に伝わる振動を軽減させる。 （もっと読む）

【課題】真空容器内のＥＵＶ光源の異常を、大気解放することなく早期に発見する。
【解決手段】大気圧以下の減圧下でプラズマを発生し、プラズマから放射されるＥＵＶ光を取り出すＥＵＶ光源と、ＥＵＶ光源からのＥＵＶ光を、所望の半導体パターンが形成されたマスクに導く第１の光学系と、マスクからの反射光又はマスクの透過光を試料上に導く第２の光学系と、を備え半導体露光装置において、光源のアコースティックエミッションを検出する検出部１８０を設け、検出部１８０の出力から光源の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造性が良好で環境に配慮したＸ線管の収容容器を提供する。
【解決手段】少なくともタングステン29を含む材料により、内部にＸ線管15を収容する容器本体21を形成する。容器本体21の内面に、環境に対して好ましくない影響を与え得る物質である鉛の内張りなどを施すことなく不必要なＸ線12bを遮蔽できる。鉛の内張りを形成する際に不可欠な鉛部品の成形や接合、および、鉛部品と容器本体21との接合などの製造工程が不要となる。製造性が良好で環境に配慮したＸ線管15の収容容器14を提供できる。 （もっと読む）

【課題】陽極接地（ターゲット接地）方式の電子放出装置において陽極電流の制御を実際に実現できる電流制御装置を提供する。
【解決手段】陽極３の端子と引出し電極４の端子との間に接続された電流コントロールアレイ８を有しており、この電流コントロールアレイ８は、入力端子１４からの入力信号に応じて電流を制御する互いに直列に接続された複数のトランジスタＴｒ（０）〜Ｔｒ（ｎ）と、陽極３と引出し電極４との間の電圧Ｖｇｔを複数のトランジスタＴｒ（０）〜Ｔｒ（ｎ）のそれぞれに分圧して加える電圧分圧素子（Ｒ０〜Ｒｎ）とを有する電子放出装置１の電流制御装置である。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を照射することによるＩＣ等の被検査物の破損を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷへのＸ線の累積照射量を測定もしくは推定して記録するＸ線累積照射量記録手段を備えた構成とすることにより、例えば累積照射量があらかじめ設定している限界量に到達した時点で自動的にＸ線の照射を停止する等によって、検査自体による不良品の発生を防止し、良品に混入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】絶縁構造を強化することで、針治療を行う術者の作業性が良好なＸ線管装置を提供するものである。
【解決手段】ハウジング内のインサート部に収容したＸ線管からＸ線を曝射するＸ線管ユニットと、一対のシールドケーブルで前記Ｘ線管ユニットに電源を供給する電源ユニットとの間において、インサート部がそのケースに接続されたアノードとカソードを含み、アノードが接続されたインサート部のケースが一方のシールドケーブルの芯線によってハウジングに接触することとなく、電源ユニットのケース内の正極側と接続されて接地される構造と、ハウジングが前記インサート部を絶縁して内部に固定、保持し、一対のシールドケーブルのシールド線によって電源ユニットのケースに接続され、かつ接地される構造と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 X線高電圧装置から発生するノイズによる周辺機器への誤動作の低減、及び、発熱低減による冷却構造の簡易化をすることが可能なX線高電圧装置と、このX線高電圧装置を用いてX線を発生させるX線装置を提供する。また、このX線装置を用いて撮影画像へのノイズ混入等の影響を低減可能なX線診断装置を提供する。
【解決手段】 X線を発生させるX線管装置に電力を供給する、半導体スイチング素子を備えた複数の半導体電力変換回路と、この半導体電力変換回路を制御する制御回路と、を備えたX線高電圧装置であって、このX線管装置からX線を発生させる際に、そのX線発生条件に応じて、これら複数の半導体電力変換回路のうち、一つの半導体電力変換回路内の半導体スイチング素子の動作を停止させる。 （もっと読む）