【課題】透過率可変ＮＤフィルタを有する調光装置と、照明装置の調光機能を組み合わせて画像処理を行う装置において、ＮＤフィルタの透過率の変化により、被測定対象のパターン位置が変動し、測定結果が安定しない。長寸法の測定のための画像処理装置では、対物レンズの切り替えの際の明るさの変化に対応するために、特殊な照明制御により自動調光機能を実現している。しかし、近来、一般的な照明装置にて容易に自動調光機能を実現する方法が要求されてきている。
【解決手段】調光装置に透過率が異なる複数のＮＤフィルタを実装し、対物レンズ切り替え時にＮＤフィルタを変更させ、倍率変更や波長の制限フィルタの切り替え等による明るさの変化に対応させた。 （もっと読む）

【課題】複数のMIMO通信方式に対応する無線通信装置において、MIMO通信方式と符号化、変調方式の全てを高いスループットが得られるよう適切に切り替える。
【解決手段】送信側無線通信機1のMIMO方式決定部14は、分離器18で分離したCQI値と実測レートテーブル13を参照してMIMO方式を決定し、AMCテーブル制御部15は、決定されたMIMO方式とCQI値に基づき使用するMCS値を選定する。AMCテーブル制御部15は、送信回数と通信の成否に応じて、MCS値に徐々に変更を加える。また、受信成功時、或いは送信回数が最大値になったとき、実測レートテーブルの平均レートを更新する。このとき、使用されているMIMO通信方式、符号化方式、変調方式の組み合わせの通信結果からの推定値をもって、使用されないMIMO通信方式、符号化方式、変調方式の組み合わせに対して、切り替える基準を変更する。 （もっと読む）

【課題】不感地帯データを効率的かつ容易に収集することができるようにした無線通信端末を提供する。
【解決手段】通信品質の劣化による通信異常の発生を監視している通信異常監視部１４で、通信異常の発生を検出した場合、ＧＰＳ受信機１３からのＧＰＳ信号を用いて現在位置算出部１５で現在位置を算出し、この現在位置データを位置データ記憶部１６に格納し、その後、正常な無線通信が可能となったことを通信異常監視部１４が判定したとき、サーバ送信部１７が予め登録しておいた情報サーバ４に対して、位置データ記憶部１６内に保存していた通信障害発生時の現在位置データを取り出して自動送信する。無線通信端末１からの現在位置データを受信した情報サーバ４では、この現在位置データを不感地帯データとしてデータベース５内に格納する。 （もっと読む）

【課題】ＬＴＰ処理後においてもパーティクルの発生を抑制する。
【解決手段】半導体装置の製造方法では、ウエハ２００を処理室２０１に搬入する工程と、処理室２０１に対して、ガス供給部２４９からＤＣＳガスを、ガス供給部２３８からＮＨ_３ガスを交互に供給し、ウエハ２００にＳｉＮ膜を形成する工程と、成膜済みのウエハ２００を処理室２０１から搬出する工程と、を繰り返し実行し、複数回にわたりウエハ２００に順次ＳｉＮ膜を形成する。成膜済みのウエハ２００を処理室２０１から搬出してその次に成膜しようとするウエハ２００を処理室２０１に搬入する間で、処理室２０１の温度を変動させる工程と、処理室２０１に対して、ガス供給部２４９からＮＦ_３ガスを、ガス供給部２３７からＮ_２ガスを供給するとともに、ガス供給部２３７でＮ_２ガスをプラズマ励起させる工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】デジタルＦＰＵ受信基地局を含む放送システムにおいて、アラーム発生時のシステム全体の状態を把握しやすくする技術を提供する。
【解決手段】
本社の監視制御部は、状態再現処理を実行中であるかを判断する（Ｓ１０）。状態再現処理中でない場合（Ｓ１０のＮ）、通常の通信処理として基地局からの監視情報の受信処理を行い（Ｓ１２）、監視情報をログファイル保持部に記録し（Ｓ１４）、さらに解析処理を行う（Ｓ１６）。また、状態再現処理中である場合（Ｓ１０のＹ）、監視状態再現部５４は、状態再現の指定日時があるか否かを判断し（Ｓ１８）、状態再現の指定日時がある場合（Ｓ１８のＹ）、ログファイル保持部の監視情報から指定日時の監視情報を抽出して（Ｓ２０）、解析処理を実行する（Ｓ１６）。 （もっと読む）

【課題】急激な圧力変動に伴うガス流量制御器の制御異常を解決し、大流量のＮ2ガス等によりウェーハを冷却することでスループットの向上を図る。
【解決手段】基板を処理する処理室５４と、該処理室に隣設された予備室３６と、該予備室にガスを供給するガス供給ライン４１と、該ガス供給ラインに設けられ、設定圧力値に基づき前記予備室に流すガスの圧力を調整する減圧弁７９と、前記ガス供給ラインに於ける前記減圧弁と前記予備室との間に設けられ、前記予備室に流すガスの流量を調整するガス流量調整弁５８と、前記ガス供給ラインからガスを前記予備室に供給する際に、前記減圧弁の設定圧力を可変させる制御部８２とを有する。 （もっと読む）

【課題】伝送対象となる信号とパイロット信号が合成された信号をＩＦ信号からＲＦ信号へ変換して、送信側装置１から受信側装置２へ伝送する伝送装置で、装置構成の簡易化や装置の安価化を実現する。
【解決手段】送信側装置及び受信側装置では、伝送対象となる信号のＩＦとして８９５〜９１５ＭＨｚを使用する。受信側装置では、受信手段３１が送信側装置から送信されたＲＦ信号を受信し、ＩＦ変換手段３４が受信されたＲＦ信号をＩＦ信号へ変換し、パイロット信号抽出手段３７がパイロット信号に対応する周波数の信号を通過させる特性を有する１個のフィルタを用いて前記変換されたＩＦ信号に含まれるパイロット信号を抽出し、ローカル信号生成手段３８、３９、３５が抽出されたパイロット信号に基づいて周波数変換のためのローカル信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】ＣＴＩシステムから出力されるデータは、ＡＶＭシステムで一時的にキューされ、所定時間のタイミングをとりデータを送信される。しかし、ＣＴＩシステムから出力される情報が多いと、ＡＶＭシステムにデータが貯まり過ぎて、配車システムで一番必要な配車情報の送信が遅れてしまう。
【解決手段】データそれぞれの種類毎に優先度を設け、優先度が高い種類のデータ、例えば、配車情報がＣＴＩシステムからＡＶＭシステム出力された場合には、最優先でＡＶＭシステムからポーリング信号と複合させて送信するようにする。 （もっと読む）

【課題】MIMO方式など複数の通信モードを切り替えて用いる無線通信装置において、再送の連鎖が発生しない範囲で高い通信レートを使用できるようにする。
【解決手段】同じデータの送信回数、および、通信の成否に応じて使用すべきMCS値を徐々に変更することで、再送の連鎖が起きない範囲でより高い通信レートを用いるようにMCS値を制御する。送信側無線通信機1のMIMO方式決定部14は、分離器18で分離したCQI値と実測レートテーブル13を参照してMIMO方式を決定し、AMCテーブル制御部15は、決定されたMIMO方式とCQI値に基づき使用するMCS値を選定する。AMCテーブル制御部15は、送信回数と通信の成否に応じて、MCS値に徐々に変更を加える。また、受信成功時、或いは送信回数が最大値になったとき、実測レートテーブルの平均レートを更新する。 （もっと読む）

【課題】高いアスペクト比で狭い幅の溝に、シリコン酸化膜を埋め込むことの可能な、スループットの高い半導体製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法において、基板を処理室内へ搬入する工程と、炭素及び水素を含むシリコン化合物ガスを処理室内へ供給して、処理室内を第１の圧力の状態にする工程と、処理室内を前記第１の圧力にした状態において、処理室内へ供給されたシリコン化合物ガスに紫外光を照射して、基板上にシリコン酸化膜を形成する工程と、処理室内を前記第１の圧力よりも低い第２の圧力の状態にする減圧処理工程とを行う。これにより、高アスペクト比で狭い幅の溝内に、緻密なシリコン酸化膜を形成することができる。 （もっと読む）