【課題】処理室の内圧の変化を抑制する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板１８が収納された処理室１０２に原料ガスを供給する工程と、処理室１０２をパージする工程と、処理室１０２に酸素を供給する工程と、処理室１０２を再びパージする工程とを１サイクルとして、複数回、このサイクルを繰り返して基板１８に薄膜を形成する基板処理装置１０に、処理室１０２に供給されるトータルのガス量を各工程を通じて略一定とするための調整用ガス供給管１４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】待機室の下部領域における澱みの発生を防止する。
【解決手段】ウエハ１を処理する処理室２３と、ウエハ１を保持して処理室２３に搬入するボート２１と、ボート２１が処理室２３への搬入に待機する待機室１６と、待機室１６に清浄な窒素ガス３０を供給するクリーンユニット４０Ａ、４０Ｂとを備えた熱処理装置１０において、ボート２１に対向する位置に配置されるクリーンユニット４０Ｂにバッファダクト部５１および澱み防止ダクト部５４を設置し、澱み防止ダクト部５４の吹出口５６にスリットプレート５７およびフィン５９を設置する。バッファダクト部５１からの窒素ガス３０を澱み防止ダクト部５４の吹出口５６から待機室１６におけるシールキャップ２０の下方空間に流して、この下方空間の雰囲気を押し流すことにより、澱みの発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】テレビジョンカメラと映像装置間の、信号線の数を減らした信号伝送方法およびその方法を用いた装置を提供する。また、ケーブルの直径を細くして、より柔軟なケーブルを用いることができるテレビジョンカメラと映像装置間の信号伝送方法およびその方法を用いた装置を提供する。ケーブル信号本数を極力減らし、ケーブルの径を細くしてよりフレキシブルにすると共に、IP信号で通信可能にする。
【解決手段】カメラ側からパラレルの映像信号を時分割多重化してシリアル信号として映像装置側に伝送する際、カメラから映像装置側への制御信号も併せて時分割多重化する。更に、映像装置側からカメラへの複数種類のトリガ信号を１つのシリアル信号に時分割多重してカメラ側に伝送しても良い。 （もっと読む）

【課題】高周波印加用電極と加熱用ヒータとの間に設けた均熱管に流れる渦電流を抑制し、投入した高周波電力を有効にプラズマに変換できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を収容する空間を形成する処理管２と、処理管２を外側から覆うように配置される均熱管１６と、均熱管１６の周囲に配置される加熱手段４と、処理管２と均熱管１６との間の空間に配置され、高周波電力が印加される少なくとも一対の電極６、７と、を備えた基板処理装置であって、均熱管１６の少なくとも電極側の表面には凹凸部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】CCTV 装置等の監視カメラシステムにおいて、本来監視するための機器であるカメラ装置自体への盗難防止をも含めた監視カメラシステムを提供する。
【解決手段】カメラハウジング（カメラケース）の扉及び制御盤の扉に扉開を検知するセンサを設置し、扉が開けられるとアラーム情報を出力する。アラーム情報により制御装置、アラーム発生箇所を確認可能な他カメラ装置に対して制御装置から制御信号を送信しアラーム発生箇所を撮影する。センサは、例えば、接点センサであり、扉が開いたことにより接点が離れたことを検知する。 （もっと読む）

【課題】複数のＰＡユニット等、複数の電子機器を冷却する電子機器用空冷装置において、各電子機器に流入する冷却風の風量が均一となるように調整することができる構造の電子機器用空冷装置を提供する。
【解決手段】レバー７と、このレバー７の操作に連動してダクト２内で回転する風向板を設けることにより、レバー７の操作に応じて風向板の傾斜角を可変する構造とすることで、レバー７を操作して各ＰＡユニット４への冷却風の風量が均一となるように調整できるようにする。 （もっと読む）

【課題】受信した各信号系統間に位相差がある場合に系統切替を行うと、切り替えたＴＳデータに不連続区間が生じ、画像、音声にフリーズ等が生じるという問題点を解決したデジタルデータ受信装置の実現。
【解決手段】受信した同一の信号を２系統以上に分配し、各々復調して得られた複数のデータストリームの１系統を選択出力するデジタルデータ受信装置において、入力されるデータストリームを各々の系統のクロックで記憶する記憶部と、記憶されたデータストリームを同時に読出すデータ読出し制御部と、読出されたデータストリームの１系統を選択出力する選択部と、選択されたデータストリームと対で出力されるクロックを生成するクロック制御部から構成され、データ読出し制御部は、切替を行う系統間のデータストリームの位相差を検出し、該位相差状態に応じ、選択部の切替モードを制御し、当該切替モードを表す信号を出力するデジタルデータ受信装置。 （もっと読む）

【課題】 商品に対する顧客の関心度情報を得るシステムの提供。
【解決手段】 ＲＦＩＤタグＲが付けられた商品Ａ〜Ｃを搭載する商品陳列棚１１０〜１３０を含むインテリジェント棚１００と、該商品のＲＦＩＤタグＲからタグシリアル番号を検知する複数のアンテナ１１２ａ〜１１２ｃと、商品陳列棚１２０の両端に配置された人体センサＳと、タグシリアル番号並びに商品種毎に付与された商品ＩＤとを対応して格納したタグ−商品ＩＤ登録テーブル２０１を含み、管理用コンピュータ２００が、入力したタグシリアル番号と該タグシリアル番号を検知したアンテナとの組み合わせによって、特定の商品陳列棚から特定の商品が取られたこと及び又は戻されたことを検知すると共に、前記一対の人体センサの検知時刻差によって人体の移動方向を検知するもの。 （もっと読む）

【課題】排気管系の詰まりを防止する。
【解決手段】ウエハ１を処理する処理室１４に上流側端が接続され下流側端が排気装置に接続される排気管系４０の排気口２０に第一排気管４１を接続し、第一排気管４１の内側に被覆管４７をバッファ４６を介して挿入し、第一排気管４１にバッファ４６に付着防止ガス４４を導入する付着ガス導入管４５を接続する。被覆管４７は上流側口径が大きく下流側口径が小さい円筒形状に形成されたセグメントリング５１で構成する。複数個のセグメントリング５１を中心線を揃えて直列に配列しセグメントリング５１同士の上流側と下流側とを一部重ねて隙間を形成させて、この隙間によってバッファ４６の付着防止ガスを被覆管４７の内側空間に流出させる流出口５２を構成する。流出口から流出した付着防止ガスにより副生成物等の排気管や被覆管の内周面への付着堆積を防止できる。
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【課題】 移載時及び処理室内で発生した基板の位置ズレを検出し、適時これを補正することにより、装置稼働率の低下を抑制し、基板品質の安定化を図り得る基板処理装置を提供する。
【解決手段】 移載装置で基板を前記気密室に対して搬入または搬出する際、搬送室内に設けられる基板待機位置にて基板の周縁部の検出を行い、正規の基板位置からの位置ずれ量を検出する少なくとも２つのラインセンサを設け、前記ラインセンサは、一方のラインセンサが前記基板待機位置における基板中心を原点とする極座標系において、基板中心から一方のラインセンサによる基板周縁部の検出点に向かう角度が前記気密室内への基板の搬入出方向と直交する方向に対して約２０°〜５０°の範囲で設けられ、他方のラインセンサが前記一方のラインセンサと前記搬入出方向に対して線対称に設けられている。 （もっと読む）