【課題】旋回機能を有するカメラ装置であって、回転軸への負荷を低減させ、カメラ本体が旋回に必要なトルクを一定に保ち、安定した旋回動作を可能とするカメラ装置を提供する。
【解決手段】 旋回機能を有するカメラ装置であって、カメラ本体と、前記カメラ本体に接続されたカメラ回転軸と、前記カメラ回転軸を回転可能に支持するカメラ回転軸受と、前記カメラ回転軸受を固定するベース部と、前記ベース部と前記カメラ本体との間に配置されるとともに、前記カメラ回転軸に嵌合可能な貫通孔が形成された回転軸、及び、前記回転軸を回転可能に支持する回転軸受を具備したスリップリングと、前記ベース部と前記スリップリングとの間に配置され、前記貫通孔に前記カメラ回転軸を嵌合するように前記スリップリングの前記回転軸受を前記カメラ本体に向けて付勢する弾性体と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりも低温でシリコン含有窒化膜を成膜することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ウエハにＳｉＮ膜を形成する半導体装置の製造方法であって、ウエハが収容される処理室に、ＤＣＳ（ジクロロシラン）を供給するシラン系ガス供給工程と、前記シラン系ガスの供給と同時ではないタイミングで、前記処理室にＮＨ_３（アンモニア）を供給する窒化ガス供給工程と、前記処理室にＴＥＡ（トリエチルアミン）を供給するアミン系ガス供給工程と、前記処理室の前記シラン系ガスまたは前記窒化ガスを排気する排気工程と、を有し、前記アミン系ガス供給工程は、前記シラン系ガス供給工程及び前記窒化ガス供給工程と合わせて行う。 （もっと読む）

【課題】 周波数資源を有効に利用することで、複数のノードで周波数を共用しつつ、中継による伝送遅延を低減するようにした無線通信システムを提供する。
【解決手段】 送信元ノード１Ａから中継ノード１Ｂを介して送信先ノード１Ｃにデータ伝送する無線通信システムにおいて、送信元ノード１Ａは、各周波数の使用状態を検知する周波数スキャン部１３と、各周波数の使用状態に基づき送信周波数を決定する送信周波数決定部１３と、決定した送信周波数を中継ノードに送信する周波数情報送信部１３と、データ送信部１３を備え、中継ノード１Ｂは、各周波数の使用状態を検知する周波数スキャン部１３と、周波数情報と各周波数の使用状態に基づき中継周波数を決定する決定部１３と、中継周波数を送信先ノードに送信する周波数情報送信部１３と、中継周波数を使用して中継送信するデータ送信部１３をもつ無線通信システム。 （もっと読む）

【課題】可能な限り低消費電力であり、かつ重量増加を防ぎながら、誤射等の問題への対応を可能ならしめる管制システムを提供する。
【解決手段】構成員が有する装備はＧＰＳ２０４と方向検出部２１１を具備する。所定の条件が満たされると、前記装備の制御部２０１はＧＰＳ２０４に自己位置情報を、方向検出部２１１に火器方向情報を要求する。自己位置情報及び火器方向情報を取得後、制御部２０１はこれらを統制装置１００に送信する。統制装置１００は他の装備の位置情報と送信された自己位置情報及び火器方向情報とを対比することで、誤射等の問題の発生を抑止する。 （もっと読む）

【課題】制御監視信号を最適なレベルに自動調整して、音声信号の音質劣化や誤動作を防止することができる無線システムを提供する。
【解決手段】無線システムにおいて、第１の通信装置１０は、音声信号に対する制御監視信号の信号レベルの増幅率を複数設定可能な増幅器１３〜１５と、所定の増幅率による制御監視信号を音声信号に重畳して第２の通信装置５０に送信する加算器１９を有し、第２の通信装置５０は、第１の通信装置１０から送信された制御監視信号を受信できたか否かを検出するコンパレータ５５〜５７と、制御監視信号を受信できた場合の音声信号に制御監視信号を重畳して第１の通信装置１０にフィードバックする加算器６４を有し、さらに、第１の通信装置１０は、第２の通信装置５０からフィードバックされた制御監視信号に基づいて増幅器１３〜１５における制御監視信号の信号レベルの増幅率を最適な増幅率に設定するカウンタ２５を有する。 （もっと読む）

【課題】大型基板上においても光による均一な処理を行うことの可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板３２を載置する基板載置部３３を備える処理室１３と、処理室の外に設けられ処理室内に光を照射する発光部１１と、処理室内外を隔てる隔壁に設けられ、光を透過させるための複数の透過窓１５と、前記透過窓と透過窓の間の透過窓境界部に設けられ、透過窓を支持する透過窓支持部１６と、処理用ガスを処理室内へ導入するための、複数のガス導入口２３を有するガス配管２１と、処理室内のガスを処理室外へ排気するガス排気部とを備え、前記複数のガス導入口が、前記透過窓境界部に設けられるように基板処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ポッドオープナでのウエハの位置ずれを検出可能とする。
【解決手段】ポッドのドアを開閉するポッドオープナ２０のウエハ出し入れ口５０にロータリーアクチュエータ６０を設置し、ロータリーアクチュエータ６０のアーム６１にブラケット６２によってマッピング装置とウエハ位置ずれ検出装置とを設置する。ウエハ位置ずれ検出装置は複数個の限定反射形センサにより構成し、各限定反射形センサは投光部と受光部とを略同じ方向を向いてウエハに非接触に配置し、投光部からの検出光がウエハの外周面で反射し、反射光が受光部によって受光されたか否かで、ウエハの位置ずれの有無を判断するように構成する。ウエハの位置ずれを検出することで、ウエハ移載装置のツィーザがウエハに衝突する事故を未然に防止できる。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置と上位コンピュータとのネットワーク通信性能が低下した際に、該基板処理装置から多量のメッセージを送信して通信制御が異常となり、障害が発生してしまうのを防止する基板処理装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】基板を処理するために必要なデータや装置の稼働状況をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部と、前記データを一時的に格納するバッファを有する通信部と、前記装置制御部で生成されたデータを前記通信部を介して前記上位コンピュータに送信する通信制御部とを含む主制御部を具備した基板処理装置であって、前記通信制御部は、通信状態をチェックする工程と優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラムを実行し、前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、ＯＫであれば、一次メッセージを送信する。 （もっと読む）

【課題】監視カメラの設置位置や監視エリアの設定を自動的に行えるようにし、これにより運用開始前の設定作業に要する時間及び労力を大幅に減らして作業性の向上を図る。
【解決手段】監視カメラ１，１，…に位置センサ、方位センサ及び傾斜センサを持たせて、当該監視カメラ１，１，…が設置された時にその設置位置、設置向き及び傾斜角等のカメラの設置状態を表す情報を管理サーバ９により取得し記憶する。そして、管理サーバ９において、監視エリア割当制御プログラム１３１に従い、上記記憶されたカメラの設置状態を表す情報と、予め記憶しておいた建造物等の位置と大きさを表す情報をもとに、監視カメラ１，１，…ごとに障害物を検出し、この障害物の位置と大きさを考慮して地図上に監視カメラ１，１，…ごとの監視担当エリアを設定する。 （もっと読む）

【課題】 発熱体が熱膨張した際における発熱体と断熱体との接触を抑制し、加熱装置を構成する部材の損傷を低減する。
【解決手段】 環状に形成された発熱体と、発熱体の外周を囲うように設けられる断熱体と、発熱体を断熱体の内壁に固定する固定部と、を備えた加熱装置であって、少なくとも発熱体が室温状態の時に、発熱体と前記断熱体の内壁との間の距離が、固定部から離れるにつれて大きくなるように設定されている。 （もっと読む）