【課題】プレートの材料としてセラミック以外の材料を用いながら、プレートの熱変形を防止することにより、ローコストで応答性の良い基板温度制御装置を提供する。
【解決手段】この基板温度制御装置用ステージは、基板の温度を制御する基板温度制御装置において基板を載置するために用いられるステージであって、基板と対向する第１の面に所定の厚さで表面処理が施されたプレートと、プレートの第１の面と反対側の第２の面において、表面処理が施されていない領域に接着された面状のヒータとを具備する。 （もっと読む）

【課題】タイヤのスリップや急発進を抑えることができる建設車両を提供する。
【解決手段】本発明にかかる建設車両では、制御部が、エンジン回転数にかかわらず車両停止状態で、主回路油圧がカットオフ圧力値以下の最大値となり、主回路油圧が最大値から減少するにつれて走行用油圧ポンプの容量が漸次増加するように、走行用油圧ポンプの容量を制御するポンプ容量急変抑制制御を実行可能である。 （もっと読む）

【課題】車高を十分に小さくでき、かつ落下物からの機器類の保護を坑内等での移動や作業が妨げられることなく実現できる自走式のフィーダ車を提供すること。
【解決手段】自走式破砕システムを構成するフィーダ車３は、被破砕物を搬送する搬送装置３１と、左右の走行体３２と、搬送装置３１の被破砕物投入側に設けられたホッパ９６と、走行体３２を駆動する走行体用油圧モータと、この走行体用油圧モータに油圧を供給する走行体用油圧ポンプと、この油圧ポンプを駆動するエンジンとを備え、エンジン用燃料を貯留する燃料タンク、作動油タンクを貯留する作動油タンク、操作盤、およびバッテリが、左右の走行体３２の上方に分かれて外装カバー８７内に収容配置され、ホッパ９６には、走行体３２の上方に配置された機器類に覆いかかる庇部９７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
ＥＵＶ光源装置において、チャンバ内のターゲットをレーザビームで励起することによって生成されるプラズマからＥＵＶ光と共に放出されるデブリを、チャンバ内に設けられた光学素子にダメージを与えることなくその表面から除去できるようにし、光学素子の耐用期間を延ばす。
【解決手段】
ターゲットを固体の錫（Ｓｎ）とし、ターゲットの励起源をＣＯ2レーザとし、固体の錫をＣＯ2レーザから出力されるレーザビームで励起することによってプラズマから放出するデブリの大きさをナノサイズ以下にしたうえで、光学素子に付着するナノサイズのデブリに対して、デブリの付着力を断ち切る作用を付与する。 （もっと読む）

【課題】全長および車高を確実に小さくでき、自走式破砕システムを確実に実現できる自走式のフィーダ車を提供すること。
【解決手段】自走式破砕システム１を構成するフィーダ車３は、被破砕物を搬送する搬送装置３１と、左右の走行体３２とを備え、搬送装置３１は、被破砕物投入側の基端部が走行体３２の高さに位置し、かつ先端部に向かって上方に位置するように傾斜している。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内に滞留及び蓄積したデブリがチャンバを汚染して集光ミラー等の重要光学コンポーネントの性能を低下させることを防止し、長期間安定に極端紫外光を発生することが可能な極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に供給されるターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを生成するドライバレーザと、チャンバ内に設置され、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射する集光ミラーと、プラズマから発生するデブリを捕集して、捕集されたデブリをチャンバ外に排出する除塵装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】油圧アクチュエータの損傷を防止できるとともに、配管および油圧機器の配置の自由度を向上できる油圧アクチュエータ制御装置を提供すること。
【解決手段】第１の油圧アクチュエータ３２の作動油タンク２にドレン管路４３１を介して接続された第２の油圧アクチュエータ４３の駆動を制御するにあたり、油圧アクチュエータ駆動制御装置１００は、第１油圧アクチュエータ３２の動作に伴って作動油タンク２内の圧力が変動する状況にあるかを判定する圧力変動状況判定手段と、第２油圧アクチュエータ４３に流入する作動油の流量を調節する流量調節手段４２１，４２２と、圧力変動状況判定手段の判定結果に基づいて、第２油圧アクチュエータ４３の制御を切り換える制御切換手段と、制御切換手段で切り換えられた制御に基づいて、流量調節手段４２１，４２２への制御指令の生成を行う制御指令生成手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ギアが低速回転する状態が続いた場合でも、ギアに隣接するスプライン部へのオイル供給を効率よく行うことが可能な減速装置を提供する。
【解決手段】終減速装置３５は、内外側ケース４６，５２の内部に貯留されたオイル５０を、回転する大歯車４２等の回転によって撒き散らしながら周辺へのオイル５０の供給を行う減速装置であって、大歯車４２と、リングギア４４と、締結部材４３、とを備えている。リングギア４４は、大歯車４２に対して同軸で、回転軸Ｏ方向において近接配置されている。締結部材４３は、大歯車４２側に配置されており、大歯車４３の歯よりもリングギア４４側へ突出する。 （もっと読む）

【課題】車体振動に起因するモニタ装置の故障等の発生を未然に防ぐことのできる作業車両のモニタ装置取付構造を提供する。
【解決手段】車体フレーム５に防振マウント装置２１，２３を介して運転席フロアフレーム１２が取着され、この運転席フロアフレーム１２によって支持される運転席２の前方にモニタ装置４が配され、このモニタ装置４の前方にエンジンルーム３が設けられてなるブルドーザ１のモニタ装置取付構造であって、エンジンルーム３の外装カバーを兼ねるモニタ装置取付ブラケット２５を運転席フロアフレーム１２に立設し、このモニタ装置取付ブラケット２５にモニタ装置４を取り付ける。 （もっと読む）

【課題】プラズマから放出される高速イオンが、真空チャンバ内の構造物に衝突しても、ＥＵＶ光に対する透過率の低い粒子の付着により、ＥＵＶコレクタミラーの反射率が低下し難い極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、真空チャンバと、真空チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、レーザビームをターゲットに照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、コレクタミラーを支持固定するコレクタミラーホルダと、プラズマから発生するイオンに対してコレクタミラーホルダ等の構造物を遮蔽し、ＥＵＶ光の透過率が高い材料で形成された遮蔽材とを有する。 （もっと読む）