【課題】検査対象物に割れや欠けがなく、良品と相似形で面積が相違する物品や、周囲長が良品と同程度でも欠けが存在する物品について、従来に比してより正確に割れや欠けの有無を判定することのできるＸ線検査装置とその検査プログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１からのＸ線を検査対象物Ｗに照射し、その透過Ｘ線をＸ線検出器２で検出して得られる検査対象物のＸ線透視像を、画像処理して良否判定を行う装置において、検査対象物のＸ線透視像の外形の複雑さを数値化し、その数値をあらかじめ設定されている許容範囲と比較することによって良否判定を行うことで、割れや欠けが存在しないものの面積の大きな対象物を欠陥品と判定せず、また、周囲長が良品と同程度でも欠け等が存在する対象物を確実に欠陥品と判定する。 （もっと読む）

【課題】二次電子イメージにおいてピクセルの座標位置を位置ずれすることなく求める。
【解決手段】本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、電子線を基板に形成されるパネル上を走査して得られる二次電子を検出することによりパネルのＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、基板に複数の電子線を照射する複数の電子銃と、各電子線の走査で得られる複数の二次電子を検出する複数の検出器と、パネルのＴＦＴアレイに検査信号を印加して、パネル上に所定パターンの電位分布を形成する検査信号印加手段と、複数の検出器の検出信号から複数の二次電子イメージを求め、この二次電子イメージに基づいてパネルの各ピクセルの欠陥を検出する信号処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルフローの流量Ａを直接測定して校正できるようにすることにより、校正の精度を高める。
【解決手段】シースガス流路８で可変オリフィス１２の上流側に、計測時はシースガス流路８にスプリッタ６で分離された試料ガスを導入し、校正時はシースガス流路８に試料ガス流路２を経由しないガスを導入する流路切替え機構２６を備えている。制御装置３０は、校正時に第２流量計２８により測定される流量がエアロゾルフローキャピラリ４を流れるエアロゾルフローの目的流量となるように可変オリフィス１２を調節したときに圧力計２４により検出されたエアロゾルフローキャピラリ４による圧力損失を記憶しておく記憶装置３２を備えている。計測時は圧力計２４により検出されるエアロゾルフローキャピラリ４による圧力損失が記憶装置３２に記憶された値になるように可変オリフィス１２を調節する。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイ検査装置において、ピクセルの仕様やピクセルの検出点数等の検査条件を変更する場合に、データテーブルの作成を不要として、テーブル作成に要する時間を省いて作業時間を短縮する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴ基板に荷電粒子ビームを照射し、この荷電粒子ビーム照射によりＴＦＴ基板の画素電極から発生する二次電子を検出することによってＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置であり、荷電粒子ビームのフォーカスを定めるフォーカスパラメータを荷電粒子ビームのサンプリングピッチに基づいて算出するフォーカスパラメータ算出手段と、算出したフォーカスパラメータに基づいて荷電粒子ビームのフォーカスを制御するフォーカス制御手段とを備え、ビーム径やビーム形状等の設定データをデータテーブルに格納する構成に代えて演算によって求める。 （もっと読む）

【課題】ＭＣＸの集束端における焦点ボケを改善し、試料上の微小領域に高い強度のＸ線を照射する。
【解決手段】ＭＣＸ２において、Ｘ線入射側端部２ａは平行端、Ｘ線出射側端部２ｃはその端面面積がＸ線入射側端部２ａよりも小さな平行端であり、途中がボトルネック形状部２ｂとなっている。これにより、大きなサイズのＸ線源からＸ線入射側端部２ａに導入されたＸ線は、そのエネルギー密度が高まって平行束としてＸ出射側端部２ｃから出射し、中心軸が一致するように配置されたＦＺＰ３に導入される。ＭＣＸ２によりＸ線源から出たＸ線を効率良く収集して或る程度径を絞って小径のＦＺＰ３に導入し、ＦＺＰ３によりＸ線の集束径をさらに絞る。これにより、ごく狭い領域にＸ線を集中させることができる。 （もっと読む）

【課題】周回軌道でのイオンの追い越しに起因する複雑な周回数の判定等を必要とせず、特定のピークに対する高質量分解能のマススペクトルを取得する。
【解決手段】イオンの追い越しが生じない条件で目的試料の質量分析を行いマススペクトルを得る（Ｓ１、Ｓ２）。そのマススペクトルに現れる各ピークの質量から、周回毎に周回軌道離脱用の偏向電極にイオンが到達する時間を計算する（Ｓ４）。マススペクトルから特定ピークが抽出されると、所望の質量分解能を達成するのに必要な周回数が計算され、その周回数から求まるイオン到達時間に他の夾雑ピークのイオン到達時間が重ならないかを判断し、重なる場合に周回数を変更する（Ｓ５〜Ｓ７）。２回目の測定では、目的試料由来のイオンを周回させ、決定された周回数に応じたイオン到達時間に基づいて偏向電極によりイオンを周回軌道から離脱させて検出する（Ｓ９）。これにより、追い越しが発生しても他のイオンが混じることなく高質量分解能のマススペクトルを取得できる。 （もっと読む）

【課題】試料に疎水性成分と親水性成分というような疎水性又は極性の大きく異なる成分が混在している場合でもそれらの成分をそれぞれ捕捉して分離分析を行なうことができる高速液体クロマトグラフを提供する。
【解決手段】試料注入部を備えた試料搬送流路、第１トラップカラムを有する第１捕捉流路、第１トラップカラムとは異なる捕捉特性をもつ第２トラップカラムを有する第２捕捉流路、及びそれらの流路の接続を切り換える流路切換機構が設けられている。流路切換機構は分析の工程に応じたモードの流路構成にすることができる。試料注入部から注入された試料を捕捉するための試料捕捉モードでは、試料搬送流路の下流側に第１捕捉流路と第２捕捉流路とが直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】電子カルテの入力時に、適切な入力候補が提示されるシステムを提供する。
【解決手段】カルテに含まれる選択入力欄のそれぞれに対応する値として入力候補を保存しておく（入力候補保存部２３）。また、カルテに含まれる、例えば入力日付、患者の性別、患者の年齢などの特徴項目の取り得る値である特徴値と、選択入力欄の各入力候補との使用度数の関係を各選択入力欄ごとに保存しておく（使用度数保存部２４）。ある選択入力欄に関して入力候補提示指示が与えられると、選択入力欄の入力候補に関し、カルテに入力されている特徴値とその特徴値について前記使用度数保存部に保存されている使用度数とに基づき、積算使用度数を算出し、その積算使用度数の高い順に入力候補を配置し、ユーザに対して選択可能に提示する（入力候補提示部３１）。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内において、簡単な構造で、液体の注入に必要な部材同士の密着を正確に検出し、確実に液体をできる差圧方式を用いた液体注入装置を提供する。
【解決手段】
真空チャンバ１１と、光学窓を有し、液体容器４１が載置される容器アダプタ４２を搭載する昇降テーブル４３と、被注入容器６ａを上面に搭載し、注入口に液体容器４１に収納された液体４の液面が接したとき、容器アダプタ４２をチャッキングするように、移動可能なフック３ａ，３ｂを有するカセットトレイ２と、昇降テーブル４３の下方に配置され、フック３ａ，３ｂが容器アダプタ４２をチャッキングするように移動したとき、光学窓を介して照射された光が真空チャンバ１１の内壁まで到達するように光を出射する投光部と、真空チャンバ１１の内壁で反射した光を検出する受光部とを有するセンサ５ａ，５ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイの検査において、パネルの内部での位置誤差を補正し、ピクセル座標の位置精度の向上を図る。
【解決手段】パネルのピクセルを、パネルの縦方向および横方向の両方向に対して交互に異なる電位状態とし、この電位状態のパネルを電子線走査して走査画像を取得し、得られた走査画像のチェッカパターンを用いることによって、検出信号データをピクセルに割り付ける際の位置ずれを防いで、ピクセル位置の座標精度を向上させる。ピクセル位置検出工程において、チェッカパターンの電位分布で得られる走査画像のチェッカパターンとピクセル配列との対応関係から両者の位置関係を求め、この位置関係に基づいて走査画像の走査位置をピクセルの座標に割り付ける。 （もっと読む）