【課題】メンテナンス作業中に変形を受けたコロナ放電針を容易に、且つ再現性を保って復元することが可能な大気圧化学イオン化インターフェイスを提供する。
【解決手段】コロナ放電針１８の材料として形状記憶合金を用いる。形状記憶合金は、常温において変形が加えられても加熱することによってその形状が復元される性質があるから、上記のように構成することにより、常温下のメンテナンス作業の過程で変形を受けたコロナ放電針１８も加熱された通常使用状態では自然に元の形状に戻る。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームのコンタクトピンの設置位置と、プローバフレームの内部配線およびコンタクトピンとＴＦＴ基板の電極との導通とを同時に検査し、コンタクトピンの設置位置と、プローバフレームの内部配線およびコンタクトピンとＴＦＴ基板の電極との導通とが共に良であるか、あるいは少なくとも何れか一つが不良であるかを同時に検査する。
【解決手段】ＴＦＴ基板検査装置用プローバフレームのコンタクトピンを上方に向けて載置する検査ステージと、検査ステージと対向して配置される検査用センサヘッドと、一端を検査用センサヘッドに接続し、他端を検査ステージ上に載置したＴＦＴ基板検査装置用プローバフレームの内部配線に接続し、この接続端間の導通状態を検査する検査部と、検査用センサヘッドを、検査ステージに対してＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向の３次元方向にそれぞれ独立して移動自在とする駆動機構を備える。 （もっと読む）

【課題】供給された基板の加熱時間の短縮ができ、タクトタイムの短縮を図ることができる真空処理装置の提供。
【解決手段】被処理基板１０は、連通領域９に移動可能に設けられたサセプタ１１，１２に載置される。搬送装置８は、基板搬入時および搬出時に連通開口１ａを閉鎖してロードロック室領域７を密閉する第１の位置へサセプタ１１，１２を搬送し、成膜処理時に連通開口１ｂを閉鎖して処理室領域４を密閉する第２の位置へサセプタ１１，１２を搬送する。サセプタ１１，１２が第１および第２の位置に搬送されると、連通開口１ａ，１ｂの周囲と載置台との間にＯリング４１，６２が挟持される。サセプタ１１，１２は、載置された被処理基板１０を加熱して所定温度に保持する載置部１０１と、載置部１０１に対して断熱的に設けられたシール部１０２とを有するので、Ｏリング４１，６２の熱劣化を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】生体内に類似した微小環境中で、近傍に存在する細胞が分泌した液性因子によって刺激を受けた別の細胞が移動する現象を観測できるようにするマイクロ反応装置の提供。
【解決手段】容積が１μＬ以下の微小ウエルからなる反応室２２にマイクロインジェクタ４１が一体的に形成された反応装置を用いる。反応室２２内に収容された細胞に対してマイクロインジェクタを用いて分泌物質相当物を含む試薬の微小量を導入して拡散により分泌物質相当物の濃度勾配を形成する。 （もっと読む）

【課題】光ノイズの影響を最小限に抑えつつ、駆動電流を少なくしたり、温度変動に対するマージンを大きくする。
【解決手段】出力Ｐを一定にするように駆動電流Ｉopを制御しながら温度を変えて駆動電流Ｉopと光ノイズＮとを測定し、光ノイズＮが許容値以下となる温度領域を探索し、その温度領域に対応する駆動電流Ｉopが最少となる温度で動作するように固体レーザ結晶１３と光共振器の温度を制御する。その温度で動作させていて光ノイズＮが許容値Ｎthを超えると、温度領域の最低値と最高値の中間の温度で動作するように温度を変更する。
【効果】光ノイズの影響を最小限に抑えつつ、駆動電流を少なく抑えることが出来る。光ノイズＮが許容値Ｎthを超えると、光ノイズＮの影響のない動作ポイントに迅速に移行させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】真空容器への適用が可能で、設計自由度及び設置の自由度が高く、メンテナンス性の良い２軸ステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る２軸ステージ装置は、Ｙ軸方向に移動可能なＹテーブル４と、Ｙテーブル４上に載置された中間テーブル１５と、中間テーブル１５上に載置され、該中間テーブル１５上に設けられたＸ方向ガイド１１によってＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能なＸテーブル９を有している。Ｙ送りねじ５はＹモータ２の回転をＹ軸方向への直線運動に変換し、Ｙテーブル４をＹ軸方向に移動させる。一方、ボールスプライン軸１４はＸモータ７によりＹ軸方向を回転中心として回転する。スプラインナット１４１には歯車１３が固定されており、この歯車１３とＸテーブル９に固定されたラック１２によってボールスプライン軸１４の回転がＸ軸方向への直線運動に変換され、Ｘテーブル９をＸ軸方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＳＦモデルを組み込んだ従来の逐次画像再構成法における感度補正不足の問題を解消する。
【解決手段】点状線源を検出器リング内に配置し、検出器リングの１接線方向に位置する複数のＰＥＴ検出器によって放射線を測定して投影データを得る（Ｓ１）。投影データをそのピーク位置に関して左右別々にガウス関数で近似し、左側標準偏差σ_Ｌ及び右側標準偏差σ_Ｒを求める（Ｓ２）。σ_Ｌ及びσ_Ｒの値を対応するＰＥＴ検出器の半径方向位置に対しプロットし、σ_Ｌ及びσ_Ｒを半径方向位置の関数としてモデル化する（Ｓ３）。σ_Ｌ及びσ_Ｒを用いてガウス関数の規格化係数を半径方向位置の関数としてモデル化する（Ｓ４）。モデル化したσ_Ｌ及びσ_Ｒ、並びに規格化係数を有するガウス関数をシステムマトリックスに組み込み、逐次近似画像再構成法を改良する（Ｓ５）。改良した逐次近似画像再構成法を用いて再構成画像を生成する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による固定翼の座屈変形、およびその変形による固定翼と回転翼との接触を防止することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】固定翼３３を軸方向上下から挟持する一対のスペーサリング３５は、挟持状態において固定翼３３の外周縁部が挿入されるリング状の溝３５０を形成し、外周縁部の外周端と該外周端に対向する溝３５０の底面との間の隙間寸法が、固定翼３３の熱膨張による外周端の底面方向への移動量Δよりも大きく設定されているので、固定翼３３が熱膨張したときの座屈を防止できる。 （もっと読む）

【課題】エンドキャップ電極に矩形波電圧を印加することによりイオンを共鳴励起排出する場合に、共鳴励起条件を理想状態に近づけることで質量分解能を改善する。
【解決手段】励起共鳴電圧直流電位算出部７１は共鳴励起排出に先立って、パルス電圧発生部５１で生成される矩形波電圧の周期、パルス幅、電圧値などを用いて、時間平均電位がゼロとなるような直流電位シフト量を算出する。共鳴励起排出の実施時に、可変直流電圧発生部５２は直流電位シフト量に応じた直流電圧を発生し、電圧重畳部５３、５４において矩形波電圧はその直流電圧分だけシフトされる。それにより、各エンドキャップ電極２２、２４に印加される矩形波電圧の時間平均電位はともにゼロとなり、イオントラップ２空間内で中心軸に沿った方向の直流的な電位勾配がなくなる。その結果、捕捉されているイオンの軌道中心がトラップ２の幾何学中心に一致し、共鳴励起条件が理想に近くなる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管とＸ線検出器とを１８０度以上移動させることにより容易に三次元画像等を得ることができ、また、Ｘ線撮影の自由度を向上させることが可能なＸ線撮影装置を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線撮影装置は、Ｘ線管４１およびフラットパネルディテクタ４２を支持する略Ｃ字状の第１アーム４３と、この第１アーム４３をスライド可能に支持する支持部４４と、支持部４４を旋回させる旋回部４５と、第２アーム４７とを備える。第１アーム４３には、円弧状の案内部４８が形成されており、支持部４４は、この案内部４８と係合することにより、第１アーム４３をスライド可能に支持している。第２アーム４７には、円弧状の案内部４９が形成されており、旋回部４５に連結された支持部４６は、この案内部４９と係合することにより、旋回部４５を第２アーム４７に対してスライド可能に支持している。 （もっと読む）