【課題】 エネルギビームのビーム断面内の強度分布を、高精度に測定することが可能な強度分布測定方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）入射するエネルギビームのエネルギ密度が閾値を超えると物性が変化する性質を有する評価膜が表面に形成された評価用試料を準備する。（ｂ）ビーム源から出射したエネルギビームを、該エネルギビームの減衰量を異ならせ、減衰量が異なるごとに入射位置を変えて前記評価膜に入射させることにより、複数のビーム照射痕を形成する。（ｃ）複数の前記ビーム照射痕の内部の前記評価膜の物性の変化の有無の分布に基づいて、前記エネルギビームのビーム断面内の強度分布を求める。 （もっと読む）

【課題】入力軸と入力軸に設けられた偏心体とを有する減速機において、構造的な特徴を持たせることで入力軸の回転により発生する熱を効率よく放熱可能とする。
【解決手段】入力軸１０２と、該入力軸１０２に設けられた偏心体１０４と、該偏心体１０４に形成された偏心部１０４Ａ、１０４Ｂの半径方向外側に設けられた外歯歯車１０８、１１０と、該外歯歯車１０８、１１０と内接噛合する内歯歯車１２２とを備え、該外歯歯車１０８、１１０と内歯歯車１２２との相対回転を出力として取出す減速機１００であって、前記入力軸１０２が、その軸心Ｏ部分に中空部１０２Ａを有して前記偏心体１０４と一体形成されており、前記入力軸１０２の前記中空部１０２Ａ側であって、前記偏心体１０４の形成されている軸方向位置に、前記偏心部１０４Ａ、１０４Ｂの幅よりも広い凹部１０２Ｂが全周に亘って設けられている。 （もっと読む）

【課題】トグルリンク式のプレス機構を採用した場合でも、金型を歪ませることなく型締めでき、型当りの調整作業が容易または不要な樹脂封止装置を提供する。
【解決手段】それぞれプラテンに支持される上下の金型１１２、１２２がプラテンを介してトグルリンク式のプレス機構１０６によって上下に開閉可能とされ、上下の金型１１２、１２２でリードフレーム１５０をクランプした状態で樹脂によって封止する樹脂封止装置であって、下型１２２が可動プラテン１０４から支持される水平方向の支持領域を、クランプ可能な最大のリードフレーム１５０を載置した場合における当該リードフレーム１５０の水平方向両端部の幅以下とする。 （もっと読む）

【課題】 高品質の加工を実現する。
【解決手段】 （ａ）第１の加工領域、第２の加工領域にそれぞれ入射する第１のレーザパルス、及び、第２のレーザパルスであって、原パルスレーザビームから時間軸に沿って分割された第１及び第２のレーザパルスのパルスエネルギを、同一の検出器を用いて検出する。（ｂ）第１のレーザパルスのパルスエネルギが、第１の加工領域で行われる加工における許容範囲の下限値を下回った場合には、第１の加工領域における第１のレーザパルスの入射位置に追加のレーザパルスを入射させ、第２のレーザパルスのパルスエネルギが、第２の加工領域で行われる加工における許容範囲の下限値を下回った場合には、第２の加工領域における第２のレーザパルスの入射位置に追加のレーザパルスを入射させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂封止後のリードフレームを、決まられた水平方向の位置を維持したままでリフトすることを可能とし、搬送機構によって迅速且つ正確な把持を可能とする。
【解決手段】半導体チップ１５２が搭載されたリードフレーム１５０をクランプした上で、当該リードフレーム１５０の一部を樹脂１６０にて封止するための樹脂封止金型１００であって、樹脂封止後のリードフレーム１５０を金型表面から離型するためのエジェクトピン１２０、１２２、１２６と、金型に対するリードフレーム１５０の水平方向の位置を確定するリードフレーム位置決めピン１２４と、を備え、離型する際に、リードフレーム位置決めピン１２４を、エジェクトピン１２０、１２２、１２６と連動してエジェクトピン１２０、１２２、１２６の突出（移動）する方向と同じ方向に突出（移動）させる。 （もっと読む）

【課題】作業者による各モジュール（異なる種類の作業を行うモジュール）間の動作条件の調整作業を簡略化する。
【解決手段】異なる種類の作業を行う複数のモジュールを有し、該複数のモジュールのうち少なくとも２つのモジュールが夫々選択的な動作条件を有する樹脂封止装置１００であって、この選択的な動作条件を有する少なくとも２つのモジュール夫々に相当するアイコン、および、当該アイコンに相当する前記モジュールが有する動作条件の両方を表示可能な単一のモニタ画面１９０と、このモニタ画面１９０に表示されるアイコンを選択可能な選択手段と、を備え、該選択手段によりアイコンを選択することにより、対応する動作条件を対応関係を保ちつつ表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、適切なタイミングで冷間起動防止機能を解除することのできる射出成形機の監視装置を提供することを課題とする。
【解決手段】射出成形機の監視装置は、加熱シリンダ１１の所定の位置において加熱シリンダ１１の外壁近傍から内壁近傍に向かう熱流束を求める。熱流束の値が閾値以下となったときに冷間起動防止機能を解除する。 （もっと読む）

【課題】昇圧動作と降圧動作の切替点付近における応答性を向上させた昇降圧コンバータを提供することを課題とする。
【解決手段】昇降圧コンバータの駆動制御部２０は、電圧制御指令生成部２１、電圧制御部２２、ＰＷＭ指令算出部２３、ＰＷＭ指令合算部２４、昇降圧切替制御部２５、補償値算出部２６、及び補償値切替部２７を含む。ＰＷＭ指令合算部２４は、昇圧動作と降圧動作の切替点付近における低電流領域において、ＰＷＭ指令算出部２３から入力されるＰＷＭ電圧指令値(pwm_v)と、補償値算出部２６から入力される補償デューティ値(pwm_duty)とを合算し、合算デューティ値(pwm_sum)を出力する。合算デューティ値(pwm_sum)は、昇圧動作と降圧動作の切替点付近における低電流領域において増大されるため、電流応答性が良好でＤＣバス１９の電圧値を一定の範囲内に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】基台の剛性を高めることで、スループットを下げることなく基台上で基板を正確に処理することを可能とするステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１０１は、基台１１０と、基台１１０上で一軸方向に移動可能に設けられるガントリ部１３０と、基台１１０を支持する除振ユニット１５０を備える。基台１１０は、缶材を枠状に連結して構築された上部フレーム１１２と、缶材を枠状に連結して構築され上部フレーム１１２と上下に離間して設けられた下部フレーム１２２と、上部フレーム１１２と下部フレーム１２２とを連結する連結材１１８と、を有する。そして、上部フレーム１１２を下方から除振ユニット１５０を介して支柱１７８により支持する架台１７０をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は冷媒から析出される氷によって流量調整弁等の機器が氷詰まりを起こさないようした冷却システムに関し、氷フィルタ装置の氷詰まりを早期に検知しこれに対応することによりプローバの設定温度を希望する温度に適正に制御することを課題とする。
【解決手段】被温度制御対象を保持するため冷媒流路に接続されたチャックＰと、冷凍機２２で冷却された冷媒２４の流量調整を行う流量調整弁２８と、冷凍機２２で発生する氷を冷媒２４から除去する氷フィルタ装置５０と、チャックＰのチャック温度を検出する温度センサー３０ａとを有する冷却システムであって、判定開始時間の経過後に、判定開示時間の経過後における流量調整弁２８の正常な弁開度である基準弁開度値に基づく判定値と、現在の冷却システムの状態から演算される流量調整弁２８への流量調整弁指令値とを比較し、流量調整弁指令値が前記判定値よりも大きいと判断したとき、氷詰まり防止装置５０に対する再生処理を開始する。 （もっと読む）