【課題】短い運転停止期間で、ダストが付着・堆積した装置をダストの無い装置とすることができる排ガス冷却装置を提供することを課題とする。
【解決手段】排ガスを冷却するための排ガス冷却装置３であって、その下部３ａを、分割可能に構成するようにし、これによって、ダストの無い下部３ｂとの交換を可能とする。その結果、短い運転停止期間で、ダストが付着・堆積した下部３ａをダストの無い下部３ｂとする排ガス冷却装置３を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】燃焼装置からの排ガスの脱硝及び脱硫を十分に行う。
【解決手段】一の燃焼装置１の排ガスを、当該燃焼装置１に別々に接続した第一排ガスラインＬ１、第二排ガスラインＬ２によって、低ＳＯｘ濃度排ガスと高ＳＯｘ濃度排ガスとに分けて排出し、各排ガスを、第一脱硫・脱硝装置１１、第二脱硫・脱硝装置１２に各々導入して各装置１１，１２の炭素質吸着材によって、排ガス中のＳＯｘの吸着及びＮＯｘの還元を各々行うようにする。これによって、低ＳＯｘ濃度排ガスに対しては、ＳＯｘ濃度が低いことから還元に係る触媒作用を阻害すること無く高濃度ＮＯｘの還元を十分に行い、一方、高ＳＯｘ濃度排ガスに対しては、高濃度ＳＯｘの吸着を優先的に十分に行う。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で磁場結合によるインピーダンス整合を取ることが可能になる電力フィーダを提供する。
【解決手段】同軸共振器として作用する高周波加速空胴５で共振を持続させるための電力を供給する電力フィーダ１７であり、同軸状の中心導体２３と周囲導体２５とを備え、高周波加速空胴５の筐体７内で、中心導体２３と高周波加速空胴５の背壁１９とに固定される枠状のカプラー部２７と、カプラー部２７で囲まれた内側の領域Ｆのうち、磁束Ｂが通る有効面積を調整する有効面積調整手段４３と、を備える。有効面積調整手段４３によって、カプラー部２７で囲まれた内側の有効面積を変更してインピーダンス整合を取ることができ、カプラー部２７を移動させる機構や構造は不要であり、真空の保持や接点の確保などの構造が簡単になり、簡単な構造で磁場結合によるインピーダンス整合を取ることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】燃焼効率が向上される燃焼装置及び燃焼装置の運転方法を提供すること。
【解決手段】回転するキルン本体１，２を直列に複数段並設し、前段のキルン本体１に導入された廃棄物を、各キルン本体１，２を通して搬送しながら燃焼させる燃焼装置１００において、キルン本体１，２同士の間に位置してこれらを連通させる中間室８に、廃棄物を投入する構成とし、この中間室８に投入する廃棄物を、例えば還元材や加熱材（熱源）として機能するものや、例えば滞留時間が短くて済むものや乾燥が不要なもの等後段側のキルン本体２への投入で十分であり敢えて前段側のキルン本体１へ投入しなくても良いものとすることで、燃焼効率の向上を可能とする。 （もっと読む）

【課題】金型が進退動した場合でも、離型フィルムに掛かるテンションを一定の範囲内に調整する。
【解決手段】上型１１２と該上型１１２に対して進退動可能な下型１１４とを備え、該下型１１４の表面に離型フィルム１６０を介在させた状態で樹脂封止を行う樹脂封止装置であって、使用前の離型フィルム１６０が巻回された供給ロール１５０と使用後の離型フィルム１６０を巻回して回収する回収ロール１５１とを下型１１４に対して水平方向同じ側に配置すると共に、離型フィルム１６０を供給ロール１５０から回収ロール１５１まで案内する複数の案内ローラ１５４を備え、下型１１４が進退動した場合でも、離型フィルム１６０に掛かるテンションを一定範囲内に調整可能なバッファローラ１５９を備える。 （もっと読む）

【課題】短い運転停止期間で、ダストが堆積した排ガスダクトをダストの無い排ガスダクトとする。
【解決手段】排ガスの流路を構成する排ガスダクトＤｄと、交換用の排ガスダクトＤｅとを走行可能に構成すると共に、走行により交換可能とすることによって、設備の運転を停止して行う交換作業を容易として短時間で実施可能とし、設備の運転を直ちに再開するのを可能とする。そして、今回流路から外した排ガスダクトＤｄを次回の交換用の排ガスダクトとする場合には、設備の運転中にそのダスト除去作業を十分に実施することを可能とし、また、今回流路から外した排ガスダクトＤｄに代えて新規の排ガスダクトを次回の交換用の排ガスダクトとする場合には、設備の運転中にその交換作業を実施することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 良質な加工を行う。
【解決手段】 レーザビームを加工対象物上に、複数の光強度分布のピークをもつビームプロファイルを形成させて入射させる。光強度分布のピークの値をＰ、光強度分布のピーク間の極小値をＡ、加工対象物の加工が可能な光強度の閾値をＳとするとき、
Ｓ＜Ａ≦（Ｐ＋Ｓ）／２
の関係を満たすように、レーザビームを前記加工対象物に入射させる。 （もっと読む）

【課題】金型が開閉する瞬間の「ゆっくりとした金型の開閉」を確保すると同時に、樹脂封止装置全体としてのサイクルタイムを短縮する。
【解決手段】半導体チップが搭載されたワークを、相対向する上下の金型１１４、１１５にてクランプした上で、供給された樹脂を用いて封止する樹脂封止装置１００であって、両金型を開閉させる動力源としてのサーボモータ１１６を備え、両金型が当接している状態において、所定の変速点を境にサーボモータ１１６の回転速度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸方向とＺ軸回りθ方向とにテーブルを駆動する場合において、より大きな荷重をテーブルに負荷でき且つテーブルの位置決め制御の制御性を高める。
【解決手段】ステージ装置１は、Ｚ軸方向を軸線Ｇ方向として配置され軸線Ｇ回りに回転可能な回転軸５と、回転軸５上に配置され軸線Ｇ回りに回転可能な回転リング６と、回転軸５及び回転リング６のそれぞれを軸線Ｇ回りに回転駆動するアクチュエータ７と、を備え、Ｚ軸方向に傾斜しながら軸線Ｇ回りに螺旋状に延在するスパイラル面Ｓを介して回転軸５及び回転リング６が互いに接触している。スパイラル面Ｓで回転運動が並進運動に変換されるため、接触面積を増大させてテーブル４の支持剛性を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが排気すべき気体の種類は用途によって異なる。さらにほとんどの場合において排気すべき気体は複数種類の気体の混合気体であり、クライオポンプには複数種類の気体それぞれを同時に効率よく排気することが要求される。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ容器１２と、冷凍機１４と、低温パネル１６と、中間パネル１８と、放射シールド２０とを含んで構成される。クライオポンプ容器１２は、排気されるべき気体が進入する吸気口を有する。放射シールド２０は一端に開口部を有する。低温パネル１６は、放射シールド２０の内部に配置され、放射シールド２０よりも低温に冷却される。中間パネル１８は、放射シールド２０よりも低温、かつ低温パネル１６よりも高温に冷却される。 （もっと読む）