【課題】高い排気速度及び低い冷却温度の両立を実現することができる実用性に優れるクライオポンプ及び真空排気方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、放射シールド１８と、放射シールド１８に包囲されて配置され放射シールド１８よりも低温に冷却されるクライオパネル２４と、放射シールド１８に熱的に接続されクライオパネル２４の前段に配置されるバッフル２３と、を備える。クライオパネル２４で排気されるべき気体についての要求排気速度に対応させて放射シールド１８の内面とバッフル２３との間隙を設定し、バッフル２３を開口２０に配置したときよりもクライオパネル２４の冷却到達温度が低くなるよう開口２０からオフセットされた位置にバッフル２３を配置し、クライオパネル２４で排気されるべき気体を要求排気速度で排気する。 （もっと読む）

【課題】搬送に必要な推力の低減を図り、且つ被搬送物のたわみを抑制することが可能な搬送装置、これを備える塗布システム及び検査システムを提供する。
【解決手段】搬送装置１２は、被搬送物２８の搬送方向Ｘに延びる主面１６ａを有するベース１６と、搬送方向Ｘに延びるガイド部材１８と、ガイド部材１８にガイドされて搬送方向Ｘに移動可能な移動部材２０と、移動部材２０に固定され主面１６ａから間隙を於いて被搬送物２８を保持する保持部材２４と、ベース１６上の搬送方向Ｘにおける一部領域において、搬送方向Ｘに搬送される被搬送物２８に対し気体の吐出及び吸引を行うための気体吐出吸引機構２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、油圧負荷が急激に増大したときでも、内燃機関の運転条件を適正に維持しながら、油圧負荷の増大に応じて油圧発生機に供給される動力を増大させることができる建設機械の制御方法を提供することを課題とする。
【解決手段】内燃機関１０により油圧発生機１２を駆動して作業を行う建設機械の制御方法において、内燃機関１０の出力の増加率を所定値に設定する。増加率の所定値から求められる内燃機関１０の出力上限値と、油圧発生機１２に要求される油圧出力から求められた要求動力とを比較する。要求動力が出力上限値を超えたときに、内燃機関１０の出力が出力上限値以下になるように制御する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー吸収部の発熱を低減することが可能なリフティングマグネット駆動回路を提供する
【解決手段】本発明の一実施形態のリフティングマグネット駆動回路１は、高電位側電源と低電位側電源との間に順に直列に接続された第１及び第２のトランジスタ４１ａ，４１ｂと、高電位側電源と低電位側電源との間に電気的に順に直列に接続された第３及び第４のトランジスタ４１ｃ，４１ｄと、第１〜第４の整流素子４２ａ〜４２ｄとを有し、リフティングマグネット２の励磁及び消磁を制御するＨブリッジ回路部４と、Ｈブリッジ回路部４における第１のトランジスタ４１ａの高電位側電源に接続された端子と第３のトランジスタ４１ｃの高電位側電源に接続された端子との間に接続された抵抗素子５１を有し、リフティングマグネット２の消磁を行う際にリフティングマグネット２に蓄積されたエネルギーを吸収するエネルギー吸収部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送トレイに搭載された複数の基板の位置ずれを低減できるアンロードチャンバ及びその運転方法を提供する。
【解決手段】アンロードチャンバ３は、複数の基板Ｗ，・・・が二次元状に配列搭載された搬送トレイＴを減圧状態で搬入しチャンバ内を昇圧可能なアンロードチャンバ３であり、減圧状態から昇圧させるための気体吹出し装置１５を備えている。この気体吹出し装置１５は、複数の基板Ｗ，・・・それぞれに対向するように二次元状に配置された複数の気体吹出し口１８，・・・を有している。このため、気体吹出し口１８から吹き出される気体の気流と搬送トレイＴとで仮想的な保持機構を形成することができ、各基板Ｗ，・・・の位置ずれを低減できる。このような位置ずれの低減により、下流工程での基板Ｗの取り上げ等の設備における安定性も向上する。 （もっと読む）

【課題】受電機器のユーザが自己の工場等に備えられている給電用の電源ケーブルを、該受電機器に簡単に接続することができるようなねじ式の端子台を提供する。
【解決手段】ねじ式の端子台１０は、導電板１２上に、給電用ケーブル３０が接続されるねじ式の給電端子１４と、受電用ケーブル３２、３４が接続されるねじ式の受電端子１６と、を備える。導電板１２上の、給電端子１４に対して給電用ケーブル３０が挿入される側から該給電端子１４に向かう給電案内面１２Ｂが、モータ（受電機器）２の端子台取付面２Ａに近付く方向に傾斜している。 （もっと読む）

【課題】収納袋、特に熱硬化性樹脂が収納された小型軽量の収納袋に収納された粉粒体の供給を、粉粒体の飛散を防止して作業性良く簡便に行う。
【解決手段】収納袋１１０に収納された粉粒体を、供給口１４０から下方に向けて供給可能な粉粒体供給装置１００であって、前記粉粒体を収納した状態で開封した前記収納袋１１０を自身の中央に配置可能な略環状の第１部材１２０と、前記供給口１４０を備えると共に、該第１部材１２０の内周から折り返された前記収納袋１１０の縁１１０Ａの略全周を、該第１部材１２０の反対側から挟持可能な第２部材１５０と、該第１部材１２０と第２部材１５０とを、挟持した収納袋１１０ごと係止する係止機構１３０と、を備え、前記第２部材１５０が、係止された前記第１部材１２０及び収納袋１１０と共に上下反転されることにより、前記供給口１４０を該第２部材１５０の最下位置に位置決め可能とされている。 （もっと読む）

【課題】整流器等の電子機器を備えた端子台ユニットの大きさを小さくする。
【解決手段】端子台ユニットＴＹの受電端子１６、給電端子１４、電子機器７０が、この順で並んで配置され、端子台１０の本体１０Ａが、導電板１２が取り付けられている導電板取付面１０Ａ１を備え、且つ受電用ケーブル３２、３４が、該導電板取付面１０Ａ１の反導電体側の空間ＳＰ２を通って受電端子１６と電子機器７０とを連結している。 （もっと読む）

【課題】リフティングマグネットの制御性を損なうことなく、低発熱を実現可能なリフティングマグネット駆動回路を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るリフティングマグネット駆動回路１は、高電位側電源と低電位側電源との間に直列に接続された第１及び第２のスイッチング素子４１ａ，４１ｂと、高電位側電源と低電位側電源との間に直列に接続された第３及び第４のスイッチング素子４１ｃ，４１ｄと、第１〜第４の整流素子４２ａ〜４２ｂとを有するＨブリッジ回路部４を備え、リフティングマグネット２の励磁を行う際には、第１及び第４のスイッチング素子４１ａ，４１ｄのうちの何れか一方がスイッチング動作を行い、第１〜第４のスイッチング素子４１ａ〜４１ｄにおける少なくともスイッチング動作を行うスイッチング素子は無接点スイッチであり、他のスイッチング素子は有接点スイッチである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって超電導コイル用の両極性電源を実現できる超電導コイル用電源回路を提供する。
【解決手段】超電導コイル用電源回路１は、超電導コイル２に両極性の直流電源電圧Ｖｂを供給するための回路であって、単一極性の直流電源電圧Ｖａを出力する直流電源部３と、直流電源部３と超電導コイル２との間に順方向接続され、単一極性の直流電源電圧Ｖａを電圧降下作用により両極性の直流電源電圧Ｖｂに変換して超電導コイル２に提供する複数のダイオード４とを備える。 （もっと読む）