【課題】可動プレートのＸＹ並進方向の可動範囲から独立してθ方向の可動範囲を制限することを可能とする位置決め装置を提供する。
【解決手段】ＸＹθステージ１は、可動プレート３に載置される半導体ウエハＷのＸＹθ方向の位置決めを行う装置であり、前記可動プレート３を、ＸＹθ方向に駆動するアクチュエータ４１ｘ，４３ｘ，４１ｙ〜４４ｙと、θ方向の可動範囲を制限する回転制限部２０と、を備えている。前記回転制限部２０は、前記可動プレート３に対するＸ方向の並進移動とＹ方向の並進移動とが許容され、かつθ方向の回転移動が規制されるように前記可動プレート３にリンクされた円筒部材２５と、前記基台フレーム５に対して固定され、前記円筒部材２５の内壁面との間に間隙をもって円筒部材２５に挿通された丸棒部材２７と、を有している。 （もっと読む）

【課題】圧縮成形金型において、圧縮時の離型フィルムの皺を防止、低減する。
【解決手段】圧縮金型１０８の表面が枠状金型１０６の表面に対して凹部１４０となるように当該圧縮金型１０８と枠状金型１０６とが位置決めされる工程と、上下の金型１０２、１０４を接近させる工程と、枠状金型１０６と基板１５０との間に隙間Ｇを保った状態で枠状金型１０６を位置決めする工程と、当該隙間Ｇを保ったままで、圧縮金型１０８を基板１５０へと移動させる工程と、圧縮金型１０８が所定の位置に達した段階で、枠状金型１０６を基板１５０に当接させることにより隙間Ｇを消滅させる工程と、更に、圧縮金型１０８を基板１５０側へと移動させる工程をへて圧縮成形する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造にもかかわらず、被駆動体の移動を高精度に制御することができる非接触アクチュエータ及びその制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被駆動体３０を移動させるための第１非接触リニアアクチュエータ１０であって、環状をなし、その一端と他端との距離が増減するように伸縮する第１ベローズ１１と、第１ベローズ１１の一端を気密的に閉塞する第１天壁部１２と、第１ベローズ１１の他端を気密的に閉塞する第１底壁部１３と、第１ベローズ１１を伸縮させるため、第１ベローズ１１と第１天壁部１２と第１底壁部１３とで封止される気密空間１４ｂ内に流体を供給且つ気密空間１４ｂ内から流体を排出する第１導入導出部１４ａと、被駆動体３０に面して第１天壁部１２に形成され、被駆動体３０を非接触で支持する第１静圧軸受１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】過冷却状態の発生の抑制を低コストで実現することのできる界面前進凍結濃縮装置を提供すること。
【解決手段】被処理液を循環させる循環流路と、循環流路内に配置され、被処理液にその表面が接触すると共に裏面側が冷ブラインにより冷却される凍結板２１と、を備える凍結濃縮装置において、凍結板２１に、当該凍結板を折り曲げることにより裏面側へ凹む凹部２１ａを複数個離間して形成する。この凹部２１ａに進入した被処理液は、折り曲げていない部分と比較して凍結速度が速いため、早期に氷結晶が形成されて被処理液の凍結時の種氷となることから、過冷却の発生を抑制することができる。また、複数の凹部２１ａを板を折り曲げることにより形成しているため、凍結板２１に分厚い板を用いる必要がなくコストを低下させることができると同時に、薄い板であっても十分な強度を持つ凍結板２１を容易に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】減速機の軸方向への長さをコンパクトに保ちつつ、減速比を大きく取ることができ、且つ高い伝達トルク／体積重量を確保する。
【解決手段】入力軸１０２に設けられた偏心体１１２と、該偏心体１１２が嵌合され、該偏心体１１２により揺動回転すると共に、軸方向Ｏに磁極の対を有して交互に向きが異なる複数の磁気歯１２４Ｂ、１２６Ｂを自身の側面に備える複数の第１磁気歯車１２４、１２６と、該第１磁気歯車１２４、１２６の磁気歯１２４Ｂ、１２６Ｂの磁極の対の少なくとも一方と所定の空隙で該軸方向Ｏに対峙して磁気的噛合する磁気歯１３２Ｂ、１３４Ｂ、１３６Ｂを備えると共に、該第１磁気歯車１２４、１２６の歯数より僅少の差で歯数が多い複数の第２磁気歯車１３２、１３４、１３６と、前記第１磁気歯車１２４、１２６と前記第２磁気歯車１３２、１３４、１３６との相対回転成分を取出す出力軸１５４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの大型化に対応させ易くしたリフトピンユニット及びそれを具備したＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るリフトピンユニット５０は、ワークを搭載させるための吸着盤１０の裏面に固定可能な取付けプレート５１と、取付けプレート５１に固定されるモータ５４と、吸着盤１０を貫通して上下方向に延在するピン穴７０内に挿入される複数のリフトピン６７と、モータ５４の回転をリフトピン６７の上下運動に変換する運動変換手段Ｓと、を備え、運動変換手段Ｓは、モータ５４の出力軸５４ａとして延在するネジ軸５７と、ネジ軸５７に螺合されたナット部５８と、ナット部５８に連結されたカム板６３と、カム板６３に形成されたカム溝６３ａに沿って移動すると共に、リフトピン６７を支持するリフトピンベース６６に連結された従動ローラ６４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】収容されている複数の基板の姿勢を、所望の状態となるよう一度に修正することが可能な基板収容装置を提供する。
【解決手段】基板収容装置１は、基板支持カセット１２と、回動軸３０Ａ，３０Ｂと、歯車３２Ａ，３２Ｂと、チェーン３４と、連結具３８Ａ，３８Ｂと、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂと、駆動機構と、ストッパ部材とを有する。基板支持カセット１２は、複数の棚２０を有し、各棚２０にガラス基板１８がそれぞれ支持される。Ｌ字アングル４０Ａは連結具３８Ａによって回動軸３０Ａに取り付けられており、Ｌ字アングル４０Ｂは連結具３８Ｂによって回動軸３０Ａに取り付けられている。回動軸３０Ａ，３０Ｂは、歯車３２Ａ，３２Ｂ及びチェーン３４によって同期して回動する。駆動機構は、Ｌ字アングル４０Ａを回動軸３０Ａ周りに駆動させる。ストッパ部材は、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂの回転を規制する。 （もっと読む）

【課題】装置が大型化する場合であっても、ガイドレールを全長に亘って水平に保ち、移動体を安定的に移動させることができるステージ装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１７をアジャストプレート２５の取付面２５ａに固定し、高さ調節機構２６によって、アジャストプレート２５の高さ位置を調節することを可能とする。ガイドレール１７の長手方向において、水平に保たれていない部分があった場合は、その部分の近くに設けられている高さ調節機構２６の高さ調節ネジ２７の締め込み量を調整することにより、トッププレート１０に対するアジャストプレート２５の高さ位置を調整し、これによって、ガイドレール１７の高さ位置を精密に調整する。このような調整をガイドレール１７の全長に亘って行う。 （もっと読む）

【課題】定盤を小さくすると共に装置の小型化を図ることのできるＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】Ｙ軸リフトエアベアリング１４，１６が石定盤３，４の上面を滑走面としてＹ軸スライダ１２，１３をそれぞれ支持し、Ｘ軸脚部３４が、Ｙ軸スライダ１２，１３の滑動部１２ａ，１３ａに形成された貫通孔２１，２２，２３，２４にそれぞれ通されることによって、石定盤３，４の上面をＸ軸リフトエアベアリング３９の滑走面としてＸ軸スライダ３３を支持する。これによって、Ｙ軸リフトエアベアリング１４とＸ軸リフトエアベアリング３９とで滑走面を共有させると共にＹ軸リフトエアベアリング１６とＸ軸リフトエアベアリング３９とで滑走面を共有させることにより、Ｙ軸スライダ１２，１３専用のガイドを石定盤３，４の上面にそれぞれ設けることを不要とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、移動部材を所望の精度で移動させる際に、リニアモータで発生する熱の影響を可能な限り低減させるようにしたステージ装置を提供する。
【解決手段】略直方のブロック体をなす鋼製の取付けブラケット２０には、スライダベースプレート１０ｄに向けて突出する凸部２０ａにおける第１の着座面２１が設けられ、第１の着座面２１には、３本の第１のボルト２２のそれぞれが貫通する３個の第１のボルト穴２３ａが形成されている。第１のボルト穴２３ａに連通する第１のボルト貫通孔２３は、上下方向に延在するので、取付けブラケット２０の上面２０ｂから第１のボルト２２を第１のボルト貫通孔２３内に差し込むことができ、スライダベースプレート１０ｄに形成された雌ネジ部(不図示)に第１のボルト２２が螺着される。これにより、取付けブラケット２０は、スライダベースプレート１０ｄにしっかりと固定される。 （もっと読む）