【課題】外部から樹脂封止装置に対して材料を補給する際に、補給ミスを防止する。
【解決手段】金型に対して封止前基板を供給する基板供給機構８６と、金型に対して樹脂を供給する樹脂供給機構７０とがケーシング８２内に収容された樹脂封止装置１であって、封止前基板供給機構８６に対して、樹脂封止装置１の外部から封止前基板を補給するためにケーシング８２に設けられた基板補給扉８２Ａと、基板補給扉８２Ａを施錠可能なロック機構９０と、基板供給扉８２Ａを介して補給される樹脂の種類を識別可能なバーコードリーダ９２とを備え、該バーコードリーダ９２の識別結果に基づいて基板供給扉８２Ａの開閉を制御する。 （もっと読む）

【課題】設備コストを低減すると共に小規模施設への実用化を促進する。
【解決手段】好気性グラニュールＧを収容する槽２内に排水Ｄを導入しながら曝気し、曝気後に好気性グラニュールＧが沈降するように静置し、静置後に処理水Ｗを排出し、これを繰り返す。このように、曝気している間も槽２内に排水Ｄを導入することで、この曝気時間分、従来に比して連続処理の時間を長くすると共に連続処理のできない時間を短くし、その結果、全体でも連続的に近い処理を可能とし、これにより、排水Ｄを槽２の上流側で一旦貯留するための貯留槽の大幅な小型化を図る。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【課題】どの種類の材料がどの位置に存在するのかをモニタ画面にて把握容易とする。
【解決手段】少なくとも１つ以上の材料が複数種類存在し、該材料を使用して封止作業が行われる樹脂封止装置１００であって、当該樹脂封止装置１００内の所定の位置における前記材料の存在を確認可能なモニタ画面１９０を備え、該モニタ画面１９０の前記所定の位置に対応する箇所の表示色を、前記所定の位置に存在している前記材料の種類に応じて変える。 （もっと読む）

【課題】ロボットの関節駆動装置におけるシール性、耐久性の向上を図る。
【解決手段】外歯歯車１６２Ｂの軸方向側部に配置され第１、第２キャリヤ１７６Ａ、１７６Ｂから取り出す揺動内接噛合式の減速機構部であって、センタ軸部材１３６は該第１、第２キャリヤ１７６Ａ、１７６Ｂと一体化されると共に、センタホロー孔１３６Ｂを有し、前記第２キャリヤ１７６Ｂの軸方向位置を反減速機構側に超えた位置にまで延在された軸部１３６Ａを備えたと一体化され、土台１１２と一体化され前記第２キャリヤ１７６Ｂの軸方向反外歯歯車側において、半径方向内側に延在することによってセンタ軸部材１３６の軸部１３６Ａと対峙されたリング部１９０と、該隙間に配置され、前記出力部材と前記第１部材との間をシールするオイルシール１９２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】反応性を高め且つランニングコストを低減し且つＳＳの流出を防止する。
【解決手段】排水導入工程、曝気工程、静置工程後の排出工程で、高い位置の排出口２１を選択し処理水Ｗｓを排出して汚泥全量の沈降を可能とし、小粒径の好気性グラニュール状汚泥１０及びフロック状汚泥３を生成して残し、一連の工程を繰り返し、フロック状汚泥３を小粒径の好気性グラニュール状汚泥化して当該汚泥１０を増加させ、小粒径の好気性グラニュール状汚泥１０の増加による密度の高まりに伴い、汚泥床の高さを低くさせ、低い位置の排出口２２を選択して処理水Ｗｓを排出することで、排出工程で処理水の大部分の排出を可能とし、後の排水導入工程で、小粒径の好気性グラニュール状汚泥１０及びフロック状汚泥３を高濃度の基質と接触させ、一連の工程の繰り返しにより、最終的に、小粒径の好気性グラニュール状汚泥１０ばかりが高密度に密集した汚泥床を得る。 （もっと読む）

【課題】ワークの高精度な受け渡しと、のワークの受け渡し場所（例えば複数の金型）間の傾き等の調整作業の簡略化を可能とする。
【解決手段】所定のワークを保持して複数の金型１０６から搬送するアンローダ１４０を備えた樹脂封止装置１００であって、アンローダ１４０が、アーム部１４２と、該アーム部１４２に支持され且つワークを保持可能なチャック部１４６と、を備え、複数の金型１０６には、ワークの受け渡し時におけるチャック部１４６の高さ方向の位置を管理するために規定の高さに管理された複数の基準面１０６Ｄがそれぞれ設けられ、チャック部１４６が、ワークの受け渡し時に基準面１０６Ｄに当接可する複数の当接部１４７Ｂを備え、且つ、アーム部１４２に対して傾くことが可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】構造を複雑にすることなく、原反ロールのようなロール体の移載を自動的にスムーズに行うことのできる移載装置を備えたロール体搬送装置を提供する。
【解決手段】ロール体搬送装置は、両側に突出部を持つロール体を、その保持手段との間で受け渡しを行うための移載装置１０を備える。この移載装置は、前記突出部を受けるための２つのコア受部１１−１、１１−２と、これらのコア受部を個別に昇降させる２つのリフタ１２−１、１２−２と、コア受部のそれぞれに作用する荷重を検出する２つのロードセル１３−１、１３−２と、これらの検出値を受けて前記２つのリフタの昇降を個別に制御する。制御は前記２つのリフタに対して、前記検出値が所定の値を超えたら停止させ、前記所定の範囲内にあると判定した時には前記保持手段による保持の解放を指示する信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】誤ったワークが金型へと搬送されてクリーニング作業等が行われてしまうことを未然に防止する。
【解決手段】正規ワークを使用した樹脂封止の他に金型をクリーニングするためのクリーニング用ワークを使用してクリーニング作業が行われる樹脂封止装置であって、ワークが収容されているワーク収容部１０２と、ワーク収容部１０２から取り出されたワーク取り出す搬送ハンド１９０と、ワークが取り出される過程においてワークの種類を判別可能なカメラ１７０と、を備え、該カメラ１７０の判別結果が予め想定されていた結果と異なる場合に、ワークの取り出しを停止させる。 （もっと読む）

【課題】 高品質のレーザ加工を行う。
【解決手段】 レーザビームを出射するレーザ光源と、加工対象物を保持するステージと、レーザ光源を出射したレーザビームを、その入射位置がステージに保持された加工対象物上で移動するように走査する第１の光偏向器を含む光学系と、 第２の光偏向器と、第１及び第２の光偏向器を介して、ステージに保持された加工対象物の表面上の一部の領域を撮像する撮像素子と、ステージに保持された加工対象物の表面のうちレーザビームの入射している位置とは異なる領域が、撮像素子で撮像されるように第２の光偏向器を制御する制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。 （もっと読む）