【課題】ウエハ面内に複数のキャパシタが密に存在する部分と粗に存在する部分があっても、層間絶縁膜とは異なる材質の絶縁膜で側面が覆われた複数のキャパシタの上部電極を、平坦な配線で接続できるようにする。
【解決手段】キャパシタ２の側面および上面を所定厚さの第１絶縁膜３で被覆した後、第１絶縁膜３とは異なる材料からなる第２絶縁膜４を所定厚さで形成する。次に、ＣＭＰ法による第２絶縁膜４の研磨を、全てのキャパシタ２上の第１絶縁膜３が露出するまで、第２絶縁膜４を選択的に除去するスラリーを用いて行う。次に、第２絶縁膜４および第１絶縁膜３の除去比率が１：１である条件でエッチングを行い、全てのキャパシタ２の上部電極２３を露出させた後、複数の上部電極２３を接続する配線５を形成する。 （もっと読む）

【目的】 ソース／ドレインを形成する際のイオン注入によって導入される不純物イオンのチャネリング抑制及び電気的特性の対称性を向上させることで、トランジスタ素子の歩留まり及び信頼性を向上させることができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１イオン注入工程でのイオン注入により、ソース／ドレイン領域の半導体基板の表面にチャネリング抑制層１０を形成し、次の第２イオン注入工程により、ソース／ドレイン領域を形成する。 （もっと読む）

【課題】 遮光効果が高く信頼性の向上した半導体装置であり、さらには、半導体装置の微細化を図ることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】 本発明の半導体装置は、被遮光領域１０Ａを有する半導体層１０と、
前記被遮光領域１０Ａの前記半導体層１０に設けられた半導体素子１００、１２０と、
前記半導体素子１００、１２０の上方に設けられた第１層間絶縁層４０と、
前記第１層間絶縁層の上方に設けられ、複数の第１遮光層４４と、
少なくとも第１遮光層４４の上方に設けられた第２層間絶縁層５０と、
前記第２層間絶縁層５０の上方に設けられ、所定のパターンの第２遮光層５４と、を含み、
前記第２遮光層５４は、少なくとも隣り合う前記第１遮光層４４同士の間に位置するようなパターンを有する。 （もっと読む）

【課題】 製造時に半導体装置に加わる熱履歴のばらつきを小さくする。
【解決手段】この半導体製造方法は、半導体基板を、常圧かつ酸化雰囲気中で熱処理する工程（Ｓ１０）と、半導体基板を、常圧かつ不活性雰囲気中で熱処理する工程（Ｓ１４）と、を具備する。酸化雰囲気中での熱処理において、熱処理時間または熱処理温度は、少なくとも大気圧の変動に基づいて変更する。不活性雰囲気中での熱処理時間を、酸化雰囲気中での熱処理時間または熱処理温度に基づいて定める。不活性雰囲気中で熱処理する工程において、熱処理温度を、酸化雰囲気中での熱処理温度と略同一にするのが好ましい。また、酸化雰囲気中での熱処理において、熱処理時間を、少なくとも大気圧の変動に基づいて変更し、不活性雰囲気中で熱処理する工程において熱処理時間を、不活性雰囲気中での熱処理時間と酸化雰囲気中での熱処理時間の和が略一定になるように設定してもよい。 （もっと読む）

【課題】 電子部品用パッケージのベースとリッドとをシーム溶接により気密に封止する方法において、パッケージをより確実に封止させ、信頼性を向上させる。
【解決手段】 リッド２との接合面に金属層８を設けたセラミック材料の矩形ベース１を形成し、ベースとの接合面にシール金属層１１を設けた金属材料の矩形リッドを形成し、ベースに圧電振動片１３を実装しかつ該ベースの上にリッドを載置して、リッドをその矩形の短辺２ａ側においてベースにシーム溶接で仮溶接する。その後、リッドを全周に亘ってベースにシーム溶接で本溶接して、パッケージを気密に封止する。 （もっと読む）

【課題】処理液の基板の非処理面への回り込みを防止することができ、基板の製造品質維持を容易にすることができる基板処置装置を提供すること、信頼性の高い半導体基板、半導体部品および半導体装置を提供することにある。
【解決手段】基板Ｗに処理液を付与する基板処理装置１００は、基板Ｗを回転させる基板回転部１０１と、基板Ｗを雰囲気から遮蔽する遮蔽部１０３とを有する。基板回転部１０１は、基板Ｗの基板回転部１０１と対向する面に処理液を供給する処理液供給部１１０と、基板回転部１０１に対する基板Ｗの相対的な動きを規制する規制部１０５とを有する。遮蔽部１０３は、基板Ｗと遮蔽部１０３との間に気体を吐出する気体供給部と、その周縁部にわたって、前記基板に近接する近接部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 クラックの発生を抑制することができるようにした絶縁膜の形成方法及び、絶縁膜の形成装置を提供する。
【解決手段】 メタル配線が形成された半導体基板上にＴＥＯＳ膜を形成する方法であって、シリコンウエーハに一定の大きさ以上の反りが有るか無いかを検査し（ステップＳ１〜Ｓ３）、反りが有る場合には当該反りを強調する方向に応力が働くＴＥＯＳ膜をシリコンウエーハ上に形成し（ステップＳ４，５）、反りが無い場合には応力特性が中庸であるＴＥＯＳ膜をシリコンウエーハ上に形成する（ステップＳ６）。このような構成であれば、ＴＥＯＳ膜の応力はシリコンウエーハの反りを強調する方向に働くので、シリコンウエーハとＴＥＯＳ膜との間で作用し合う力を緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】設置位置、形状および大きさが良好に制御された光学部材を含む光素子およびその製造方法、前記光素子を含む光モジュールならびに光伝達装置を提供する。
【解決手段】 本発明の光素子１００は、光学面１０８を有する素子部１４０と、光学面１０８を取り囲むように設けられた尖状部１２４と、少なくとも一部が光学面１０８上に設けられた光学部材１３２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 データの書き込み時においてプローブを確実に電極に接触させる圧電発振器、この圧電発振器を搭載した電子機器および圧電発振器の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 圧電発振器１０は、圧電振動片１２とこの圧電振動片１２を発振させる回路とをパッケージ１３に搭載した圧電発振器１０であって、前記回路と電気的に接続するとともに前記圧電振動片１２の下方に設けられ、前記パッケージ１３内部の気密封止に用いられるとともに、気密封止後に周波数調整を行う電極となる貫通孔３２を備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】 パーソナルコンピュータ使用中に近くのテレビを操作するとき便利で、直感的な操作が行えるようにした遠隔制御装置及びその遠隔操作方法を提供する。
【解決手段】 パーソナルコンピュータ１０のマウス１１は、パーソナルコンピュータ１０とは別の場所に設置されたテレビジョン受像機１５のリモコン機能の一部が備わっている。パーソナルコンピュータ１０で利用されるマウス１１は、テレビジョン受像機１５のリモコン操作用の制御機構１２と、テレビジョン受像機１５のリモコン操作に関わる遠隔操作信号、ここでは赤外線信号の発信機構１３を含んでいる。制御機構１２は、少なくともモード切換え制御部１２１を有して、マウス１１の一般的で簡単な操作のうち、所定の操作がテレビジョン受像機１５のリモコン操作に割り当てられるようになっている。 （もっと読む）