【課題】
半導体装置製造のリソグラフィープロセスにおいて用いられるレジスト下層膜形成組成物を提供する。
【解決手段】 半導体装置製造のリソグラフィープロセスにおいてフォトレジストの下層に使用されるレジスト下層膜を電子線照射によって硬化する組成物であって、重合性物質を含むレジスト下層膜形成組成物。前記重合性物質が電子線照射により重合可能な反応性基を少なくとも一つ有する化合物である。電子線照射による重合可能な反応性基が、炭素と炭素の不飽和多重結合を有する反応性基、又はエポキシ基を有する反応性基である。炭素と炭素の不飽和多重結合を有する反応性基が、アクリレート基、メタクリレート基、又はビニルエーテル基である。 （もっと読む）

【課題】スプレー塗布された薄膜パターンのコーナ部の輪郭を改善し、薄膜パターンの精度を向上し得るスプレー塗布用メタルマスクを提供すること。
【解決手段】被塗布物の表面に当接する被塗布物当接面１０Ａおよびこれとは反対側の表面１０Ｂを有するマスク本体１０と、被塗布物当接面１０Ａと表面１０Ｂとを貫通してマスク本体１０に設けられた少なくとも１個のパターン形成用孔３０とを備え、このパターン形成用孔３０は、その両開口部３１がそれぞれ少なくとも３つの頂点３１Ａを有するとともに、これら各頂点３１Ａのうち隣り合う頂点３１Ａ同士を結んでなる開口縁部３１Ｂが開口部３１の内側方向Ｄに凸をなす弧状の曲線で構成されているスプレー塗布用メタルマスク１。 （もっと読む）

【課題】半導体装置製造のリソグラフィープロセスに使用される、リソグラフィー用下層膜形成組成物並びに平坦化膜形成組成物、及びフォトレジストに比べて大きなドライエッチング速度を有し、そして、フォトレジストとのインターミキシングを起こさない下層膜並びに平坦化膜を提供すること。
【解決手段】保護されたカルボキシル基を有する化合物、カルボキシル基と反応可能な基を有する化合物及び溶剤を含む平坦化膜形成組成物、またはカルボキシル基と反応可能な基と保護されたカルボキシル基とを有する化合物及び溶剤を含む平坦化膜形成組成物。 （もっと読む）

【課題】 光学活性エポキシ化合物の製造方法、並びに該方法に用いる錯体及びその製造方法の提供。
【解決手段】式（１）及び式（１’）


で表される光学活性チタンサラン錯体を触媒として使用し、分子中に炭素−炭素二重結合を有するプロキラルな化合物を不斉エポキシ化反応させる光学活性エポキシ化合物の製造方法、並びに該方法に用いる錯体及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】スプレー工程時にマスク表面に付着した塗布液が、パターン形成用孔の内壁を伝ってマスクと被塗布物との間に流れ込むことを効率的に防止し得るスプレー塗布用メタルマスクを提供すること。
【解決手段】被塗布物の表面に当接する被塗布物当接面１０Ａおよびこれとは反対側の塗布液付着面１０Ｂを有するマスク本体１０と、上記各面１０Ａ，１０Ｂとを連通するようにマスク本体１０に設けられた少なくとも１個のパターン形成用孔４０とを備え、当該孔４０の被塗布物当接面１０Ａ側の開口端周囲には、マスク本体１０と被塗装物との間に所望の隙間を形成するための凹部が設けられ、パターン形成用孔４０の内壁４１には、塗布液付着面１０Ｂに付着した塗布液が当該付着面１０Ｂから流れ落ちて被塗布物当接面１０Ａまで到達することを防ぐ内壁４１を周回する溝４３が１つ以上設けられたスプレー塗布用メタルマスク。 （もっと読む）

【課題】有機半導体素子およびその製造方法の提供。
【解決手段】基板と、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース電極と前記ドレイン電極とを連結する有機半導体層と、前記有機半導体層に電界を印加するためのゲート電極と、前記有機半導体層とゲート電極間に配置されるゲート絶縁膜とを備え、前記ゲート絶縁膜がハイパーブランチポリマーを成分として含有することを特徴とする有機半導体素子及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】新規な有害生物防除剤、特に殺虫剤又は殺ダニ剤を提供する。
【解決手段】一般式（１）：


［式中、A¹、A²及びA³は各々独立して炭素原子又は窒素原子を表し、Gはベンゼン環等を表し、Wは酸素原子又は硫黄原子を表し、Xはハロゲン原子、C₁〜C₆ハロアルキル等を表し、Yはハロゲン原子、C₁〜C₆アルキル等を表し、R¹は-CH=NOR^1a、-C(O)OR^1c、-C(O)NHR^1d、(Z)_p1によって置換されたフェニル、D-14、D-52、D-53、D-55〜D-59等を表し、R^1aはC₁〜C₆アルキル等を表し、R^1cはC₁〜C₆アルキル等を表し、R^1dは水素原子、-C(O)R¹⁵、-C(O)OR¹⁵等を表し、R²はC₁〜C₆アルキル、-CH₂R^14a、C₃〜C₆アルキニル、-C(O)R¹⁵、-C(O)OR¹⁵等を表わす。］で表されるイソキサゾリン置換ベンズアミド化合物。 （もっと読む）

【課題】新規な殺菌殺虫組成物及び病害虫の防除方法を提供する。
【解決手段】 ３−（３−ブロモ−６−フルオロ−２−メチルインドール−１−イルスルホニル）−Ｎ，Ｎ−ジメチル−１Ｈ−１，２，４−トリアゾール−１−スルホンアミドと公知の殺虫化合物から選ばれる１種以上とを含有する殺菌及び殺虫組成物。３−（３−ブロモ−６−フルオロ−２−メチルインドール−１−イルスルホニル）−Ｎ，Ｎ−ジメチル−１Ｈ−１，２，４−トリアゾール−１−スルホンアミドと、公知の殺虫化合物から選ばれる１種以上とを同時に又は近接して処理することを特徴とする病害および害虫の防除方法。 （もっと読む）

【課題】
医薬品などの生理活性化合物の合成中間体または原体、有機溶剤やポリカーボネート樹脂製造の原料モノマーとして有用である環状炭酸エステル化合物を製造する簡便かつ安価な方法を提供する。
【解決手段】
式（１）で示されるプロパルギルアルコール化合物を、二酸化炭素、アミン類及び式（２）で示される金属化合物の存在下で反応させることによる、式（３）で表される環状炭酸エステル化合物の製造方法。

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【課題】光増感作用を示す固体光触媒であるチタニアの表面に触媒部位となるビタミンＢ₁₂化合物を、シロキサン結合を主鎖に有する結合部を介して強固に固定化することによる、様々なｐＨ条件で耐久性の高いビタミンＢ₁₂−チタニアハイブリッド化合物および脱ハロゲン化触媒を提供する。
【解決手段】一つ以上のビタミンＢ₁₂化合物が、結合部を介してチタニアに固定化されていることを特徴とするビタミンＢ₁₂−チタニアハイブリッド化合物。 （もっと読む）