【課題】被検光学系の光学特性を計測する際に、被検光学系に含まれる誤差要因の影響を軽減する。
【解決手段】被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、レチクル基板の表面の遮光膜３２中に形成されるとともに、所定の中心３６から延びる互いに異なる方向に沿ってそれぞれ配置された複数のスリットパターン３８Ａ〜３８Ｅを含む計測用パターン３４のその被検光学系による像の強度分布を検出し、その検出された強度分布からその被検光学系の光学特性を求める。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、閃光の光路を遮ることなく光学部材の温度を精度良く測定する閃光装置を提供する。
【解決手段】 閃光装置は、昇圧部、主コンデンサ、光源部、光学部材、第１温度測定部、第２温度測定部、記憶部及び温度推定部を備える。昇圧部は、電源の電圧を昇圧する。主コンデンサは、昇圧部の昇圧動作に基づいて、電気エネルギを充電する。光源部は、主閃光発光を行なう。光学部材は、光源部からの閃光を透過させる。第１温度測定部は、光学部材から離れて装置内に設定された測定点の温度を測定する。第２温度測定部は、昇圧部の温度を測定する。記憶部は、測定点の温度と光学部材の温度との相関関係を示す演算係数を昇圧部の温度変化に応じて算出すると共に、その演算係数と測定点の温度とに基づいて光学部材の温度を推定する演算式を記憶する。温度推定部は、演算式に基づいて、光学部材の温度を推定する。 （もっと読む）

【課題】焦点検出を良好に行うことのできる焦点検出装置を提供すること。
【解決手段】光学系の像面内に設定された焦点検出位置に対応して設けられた複数対の受光素子列と、前記複数対の受光素子列の出力に基づいて、前記焦点検出位置に対して、前記光学系による像面のずれ量を検出する検出手段と、前記光学系による像のうち特定の対象の像を認識する認識手段と、を備え、前記検出手段は、前記認識手段によって認識された像の像面内の位置と、前記複数対の受光素子列を構成する各受光素子列の像面内の位置とが重なっているか否かに基づいて、前記ずれ量の検出に用いる受光素子列の優先度を決定することを特徴とする焦点検出装置。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティングを用いて、高い解像度が得られるとともに、各画素を通過する光の位相を制御可能な空間光変調器を提供する。
【解決手段】配列面に入射する照明光ＩＬを変調する空間光変調器２８は、配列面を横切るＺ方向に沿った隔壁部３３ａを有するセル部３４と、セル部３４内にＺ方向に沿って配置された下部電極６０Ａ，６０Ｂ及び上部電極６４Ａ，６４Ｂと、セル部３４内の電極６０Ａ，６０Ｂ及び６４Ａ，６４Ｂ間に保持された液体Ｌｑと、を備え、電極６０Ａ，６０Ｂ及び６４Ａ，６４Ｂに与えられる電圧によって、セル部３４内の液体ＬｑのＺ方向の位置を制御して、セル部３４内で反射される照明光ＩＬの位相を制御する。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティングを用いて、高い解像度が得られるとともに、必要に応じて各画素を通過する光の位相を制御可能な空間光変調器を提供する。
【解決手段】配列面ＤＰに入射する光を変調する空間光変調器２８は、配列面ＤＰを横切るＺ方向に沿った隔壁部３３ａを有するセル部３４と、セル部３４に収容される互いに屈折率及び誘電率が異なる液体Ｌｑａ，Ｌｑｂと、セル部３４の窓部に設けられる透明電極３６と、セル部３４の底面に設けられる底面電極３７と、を備え、透明電極３６及び底面電極３７に印加する電圧によって、セル部３４内における液体Ｌｑａ，Ｌｑｂの厚さの比を制御する。 （もっと読む）

【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置ＥＸは、液体を介して露光光ＥＬで基板を露光する。露光装置ＥＸは、露光光が射出される射出面９を有し、射出面９側に液体の液浸空間が形成される光学部材と、計測光が照射される導電性の第１膜２３を有する計測部材Ｃと、光学部材の周囲の少なくとも一部において計測部材Ｃが対向可能に配置され、計測部材Ｃとの間で液体を保持可能な液浸部材４と、第１膜２３及び液浸部材４の少なくとも一方に交流電圧を加える電圧調整装置６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】異常判定をより短時間に行う。
【解決手段】被駆動部を駆動する駆動装置を動作させる動作電流の電流値を複数の動作パターンを有する駆動装置の動作に応じて検出する検出部と、検出部によって検出された電流値と、動作パターンごとに関連付けて予め設定された動作電流の許容範囲とに基づいて、駆動装置の動作が異常であるか否かを判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】出力されるトルクを計測する。
【解決手段】計測装置は、回転子ＳＦの周面の少なくとも一部に掛けられる伝達部ＢＴを用いて駆動動作及び復帰動作を行う駆動部３０によって駆動される回転子ＳＦに加えられるトルクを計測する計測部、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤやＣＭＯＳセンサなどの撮像素子を用いた薄型の撮像装置が多く用いられており、位置計測対象を複数の撮像装置で撮像して所定の画像処理を施すことにより、位置計測対象の位置を計測している。この時、視野を広くしても、分解能の低下を抑制できる撮像装置、位置計測装置及び撮像方法並びに位置計測方法を提供する。
【解決手段】視野Ｖ１〜Ｖ３の像を撮像する撮像素子２を備える。複数の視野の像を重ねて撮像素子に撮像可能とする像重ね部３を備える。前記像重ね部は、入射した光の少なくとも一部を前記撮像素子に入射させるビームスプリッターを有する。 （もっと読む）

【課題】レンズ交換式のカメラシステムにおいて、様々な種類の光学系を適切に機能させることができるアダプターを提供する。
【解決手段】アダプターは、カメラボディと通信可能であり、焦点調節を行うフォーカスレンズを含む焦点調節機構を備えた交換レンズと通信可能であるアダプター制御部を有し、前記アダプター制御部は、前記焦点検出部の検出結果に応じて前記カメラボディで生成された前記第１の制御指令を、前記カメラボディから受信し、前記第１の制御指令を前記第２の制御指令に変換し、前記第２の制御指令を前記交換レンズに対して送信するとともに、前記交換レンズから供給される前記フォーカスレンズの移動情報に応じた前記フォーカスレンズの第１位置情報は、前記カメラボディに送信されないことを特徴とする。 （もっと読む）