【課題】安定してプラズマを発生させることができる原子層堆積装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する原子層堆積装置であって、成膜容器と、薄膜の原料である原料ガスを成膜容器に供給する原料ガス供給部と、原料ガスと反応して薄膜を形成する反応ガスを成膜容器に供給する反応ガス供給部と、成膜容器の内部にプラズマを発生させるために高周波電流を供給する高周波電源と、原料ガスと反応ガスとが交互に供給されるように、原料ガス供給部と反応ガス供給部とを制御し、かつ、高周波電源が高周波電流を供給するタイミングを制御する制御部と、点火プラグを備える点火室と、成膜容器と点火室との間に配置されるバルブと、を備えることを特徴とする原子層堆積装置。 （もっと読む）

【課題】
地震発生時に逸走防止装置が解除され、クレーン１が走行方向ｙに摺動又は走行できるように構成した解除機能付逸走防止装置を有するクレーンを提供する。
【解決手段】
嵌入溝１２に嵌入するアンカー１１を含む逸走防止装置を有するクレーンにおいて、クレーン１が解除機能付逸走防止装置１０を有しており、解除機能付逸走防止装置１０が、アンカー１１の一端に連結してアンカー１１を懸吊するアンカー連結部材１３と、アンカー１１の水平方向の移動を拘束するアンカーホルダ８を有しており、地震発生時に、アンカー連結部材１３によるアンカー１１の懸吊が解除され、アンカー１１が自重で嵌入溝１２内に落下し、アンカー１１の上端部がアンカーホルダ８の下端部よりも低い位置となる構成を有する。 （もっと読む）

【課題】地震発生時に、走行装置の走行輪の浮き上がりを防止することができる岸壁クレーンを提供する。また、耐震性能を向上した岸壁クレーンを提供する。
【解決手段】走行装置２と脚構造物３を有した岸壁クレーン１において、脚構造物３が、海側脚３２と陸側脚３３を連結する水平材７と、水平材７の下面に沿って摺動可能に設置した複数のスライダ機構８と、複数のスライダ機構８にそれぞれ設置した海側揺脚４及び陸側揺脚５を有し、地震発生時に、スライダ機構８が水平材７に対して摺動自在となる制御を行う構成を有している。 （もっと読む）

【課題】基板上部で安定してプラズマを生成させることができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基板に薄膜を形成する薄膜形成装置は、減圧状態で基板に薄膜を形成する成膜空間を備える成膜容器と、前記成膜容器の前記成膜空間内に、薄膜形成に用いるガスを導入するガス導入部と、前記成膜空間において、前記ガスを用いてプラズマを生成させるプラズマ電極部を有する。前記プラズマ電極部は、電流が一方の端面から他方の端面に流れ、主面が前記成膜空間に向く、矩形形状のプラズマ生成用電極板と、前記電極板の前記主面の中央部分に前記電流の流れる方向に沿って設けられる凹状の溝部を充填するように設けられ、前記成膜空間に向く端部が同じ極性を有する磁石と、を備える。 （もっと読む）

【課題】岸壁クレーンの走行方向の地震動に対する耐震性を向上した岸壁クレーンを提供する。
【解決手段】脚構造物と走行装置２を有する岸壁クレーンにおいて、走行装置２が、岸壁に敷設したレール６上を走行する車輪５と、車輪５又はレール６の少なくとも一方に潤滑剤を供給する潤滑剤供給装置４を有しており、潤滑剤供給装置４が、潤滑剤を充填した容器１１と、潤滑剤を車輪５又はレール６の少なくとも一方に供給する潤滑剤噴射孔１２と、容器１１と潤滑剤噴射孔１２を連通する供給管１３を有しており、地震発生時に、潤滑剤供給装置４が、車輪５又はレール６の少なくとも一方に潤滑剤を供給する制御を行う構成を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上部で安定してプラズマを発生させることができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基板に薄膜を形成する薄膜形成装置は、減圧状態で基板に薄膜を形成する成膜空間を備える成膜容器と、前記成膜容器の前記成膜空間内に、薄膜形成に用いるガスを導入するガス導入部と、前記成膜空間において、前記ガスを用いてプラズマを生成させるプラズマ電極部を有する。前記プラズマ電極部は、電流が一方の端面から他方の端面に流れ、主面が前記成膜空間に向く、矩形形状のプラズマ生成用電極板と、前記電極板を両側の側面から挟むように前記電極板の側面に沿って並行し、前記成膜空間に向く端部がお互いに異なる極性を帯びた一対の磁石と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方式によりＦＣＣＳにおけるクロストークを低減する蛍光分析装置および蛍光分析方法を提供する。
【解決手段】蛍光分析装置は、お互いに異なる変調周波数で強度変調したレーザ光を合成して試料に一定時間照射し、レーザ光の照射を受けた第１の蛍光物質が発する第１の蛍光の蛍光信号を出力し、レーザ光の照射を受けた第２の蛍光物質が発する第２の蛍光の蛍光信号を出力する。当該装置は、第１の蛍光の蛍光信号を変調信号とミキシングすることにより第１の蛍光の強度の時系列データを算出し、第２の蛍光の蛍光信号を変調信号とミキシングすることにより第２の蛍光の強度の時系列データを算出する。更に、当該装置は、第１の蛍光の蛍光強度の時系列データと第２の蛍光の蛍光強度の時系列データとの間で相互相関関数を算出することにより、第１の測定対象物と第２の測定対象物の結合の程度を判定する。 （もっと読む）

【課題】免震装置を有する岸壁クレーンにおいて、大規模地震に対応できる岸壁クレーンを提供する。特に、スライド長さが±１０００ｍｍ以上の免震装置を有した岸壁クレーンを提供する。
【解決手段】免震装置を有する岸壁クレーンにおいて、免震装置２が、底板４と、天板５と、底板４と天板５の間に配置した複数の転動体３と、それぞれの転動体３の位置を予め定めた範囲内で拘束し且つ回転可能に保持するリテーナと、底板４と天板５の相対位置を固定する固定装置を有し、底板４が下方に凸となる曲面状の底板接触面６を有し、天板５が下方に凸となる曲面状の天板接触面７を有しており、転動体３が、略球状又は角を滑らかに形成した略円柱状であり、通常時に、複数の転動体３が天板５を支持し、地震発生時に、固定装置を解除して免震装置２を作動させ、転動体３が底板４上を転動及び摺動し、天板５が転動体３上を摺動する。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングによるクリーニングの頻度を低減させることができる原子層堆積装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する原子層堆積装置であって、内部が真空に維持される成膜容器と、成膜容器の内部に配置される加熱部と、成膜容器の開口に取り付け可能な筒状のインジェクタと、インジェクタを介して成膜容器の内部に薄膜の原料である原料ガスを供給する原料ガス供給部と、インジェクタを介して成膜容器の内部に原料ガスと反応して薄膜を形成する反応ガスを供給する反応ガス供給部と、不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、を備え、インジェクタは、原料ガスが流れる原料ガス供給口と、反応ガスが流れる反応ガス供給口と、不活性ガスが流れる不活性ガス供給口と、を備え、不活性ガス供給口は、インジェクタと成膜容器との隙間に不活性ガスが流れるように、インジェクタの外表面に設けられていることを特徴とする原子層堆積装置。 （もっと読む）

【課題】ターボ過給機を備えたエンジンにＥＧＲシステムを採用しながらもコンパクトで排熱回収効率の高い排熱回収システムを提供する。
【解決手段】主機関１０の排気室１２から排出される排ガスの一部をターボ過給機１３のタービン１３Ｔへと送出し、排気管１４を通してファンネルから排出する。排ガスの残りをＥＧＲ経路１７へ送出する。タービン１３Ｔの回転力によりコンプレッサ１３Ｃを駆動し、吸気管１５から取り込まれた空気を加圧、インタクーラー１６を介して吸気室１１へと送出する。ＥＧＲ経路１７に、排ガスエコノマイザ１８、スクラバー１９、ＥＧＲクーラー２０、水分除去装置２１、ＥＧＲブロワ２２を設ける。ＥＧＲブロワ２２によって排ガスを加圧し、インタクーラー１６へと循環する。排ガスエコノマイザ１８に、ボイラドラム（あるいはスチームセパレータ）からのボイラ水を供給循環し、排ガスから熱エネルギーを回収する。 （もっと読む）