【課題】従来に比べて品質特性がより高いＳi薄膜をより低コストで形成する薄膜形成装置及び方法を提供する。
【解決手段】薄膜形成装置は、原料ガスと希釈ガスとクリプトンガスの流量を調整することにより得られる第１のガスを成膜空間に供給する工程と、前記第１のガスが供給された前記成膜空間において、電極板に高周波電力を供給してプラズマを生成するとともに、前記載置台にバイアス電圧を印加することにより、前記基板に処理を施す工程と、前記原料ガスと前記希釈ガスの流量を調整することにより得られる第２のガスを前記成膜空間に供給する工程と、前記第２のガスが供給された前記成膜空間において、前記電極板に高周波電力を供給してプラズマを生成することにより、前記基板に薄膜を形成する工程と、を行う。前記第１のガスにおける前記原料ガスと前記希釈ガスの合計流量に対する前記原料ガスの流量の比は、前記第２のガスの前記比に比べて小さい。 （もっと読む）

【課題】プラズマＡＬＤ法を用いた場合により高密度の薄膜を形成することができる原子層堆積装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する原子層堆積装置であって、成膜容器と、前記薄膜の原料である原料ガスを前記成膜容器に供給する原料ガス供給部と、前記原料ガスと反応して前記薄膜を形成する反応ガスを前記成膜容器に供給する反応ガス供給部と、前記成膜容器の内部にプラズマを発生させるために高周波電流を供給する高周波電源と、前記原料ガスと前記反応ガスとが交互に供給されるように、前記原料ガス供給部と前記反応ガス供給部とを制御し、かつ、前記高周波電源が高周波電流を供給するタイミングを制御する制御部と、前記基板を上面に載置するサセプタと、前記サセプタに設けられ、前記成膜容器の成膜空間内の前記基板の上方に磁界を発生させる磁界発生部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プラズマを用いて基板に薄膜を形成するとき、従来に比べて成膜速度が向上する薄膜形成装置および薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】薄膜形成装置は、減圧状態で基板載置面に載置した基板に薄膜を形成する成膜空間を備える成膜容器と、前記成膜空間内の前記基板載置面の上方において、前記基板載置面に対して対向する面に分散した複数のガス導入孔を通して前記成膜空間内に薄膜用原料ガスを導入する原料ガス導入部と、前記原料ガス導入部の上方に設けられ、電流が一方の端面から他方の端面に流れる板部材をプラズマ生成素子として有し、前記薄膜用原料ガスを用いて前記成膜空間においてプラズマを生成させるプラズマ電極部と、前記基板載置面に、負電圧のバイアス電圧を印加するバイアス電圧部と、を有する。この装置を用いて、薄膜を基板に形成する。 （もっと読む）

【課題】排ガスから、有害物質の排出基準を満たし、固結防止性の高い凍結防止剤を、経済的且つ効率的に製造する凍結防止剤の製造方法を提供すること。
【解決手段】重金属微粒子を除去する除塵バグフィルタ工程と、除塵バグフィルタ工程で分離された排ガスに炭酸水素ナトリウムを噴霧し、塩化ナトリウム及び炭酸ナトリウムを含む脱塩残渣を固相に捕集する脱塩バグフィルタ工程と、脱塩残渣を水に溶解して水溶液を生成すると共に塩酸を添加して酸性とし、塩化ナトリウムを生成する第１の塩化ナトリウム生成工程と、第１の塩化ナトリウム生成工程で生成された水溶液にｐＨ６〜７となるように水酸化ナトリウムを添加して塩化ナトリウムを生成する第２の塩化ナトリウム生成工程と、第２の塩化ナトリウム生成工程で生成された水溶液から固形の塩化ナトリウムを製造する固形塩化ナトリウム生成工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被ガス化原料をガス化装置でガス化して合成ガスを生成する際に除去回収される固形物を、再ガス化する原料としてガス化炉に戻したとき、ガス化炉内で生じるクリンカやアグロメレーションの発生を防止するとともに、再ガス化を行うことによるガス化効率の向上が図られるガス化システムを提供する。
【解決手段】ガス化炉２で生成されたガスＧ１中の固形物Ｃsを除去する第１除去部３と、前記第１除去部３で除去された前記固形分Ｃｓ中に含まれる未燃物Ｃs１と不燃物Ｃｓ２とを分離する分離部５とを備えることにより、分離部５でクリンカ発生の原因となる不燃物Ｃｓ２を分離し、未燃物Ｃｓ１のみをガス化炉２にガス化原料Ｍ’として戻すことで、ガス化炉２内でのクリンカの発生防止やガス化効率の向上を図る。 （もっと読む）

【課題】誘導加熱コイルを垂直方向に複数配置した場合であっても、誘導加熱コイル間における相互誘導の影響を抑制し、良好な加熱制御を可能とする熱処理装置を提供する。
【解決手段】コア４０を有する３組の誘導加熱コイルのそれぞれに接続されるインバータ（１４ａ〜１４ｃ）とを有し、コア４０を積層配置すると共に、主加熱コイル３０、上段従属加熱コイル３２、下段従属加熱コイル３４と定めて構成する誘導加熱装置であって、上段従属加熱コイル３２のコア４０には逆結合コイル３６を設け、下段従属加熱コイル３４のコアには逆結合コイル３８を設け、３つのインバータのうち、第１のインバータ１４ａと上段従属加熱コイル３２とを接続し、第３のインバータ１４ｃと下段従属加熱コイル３４とを接続し、第２のインバータ１４ｂに対して逆結合コイル３６と逆結合コイル３８、および主加熱コイル３０を直列に接続した。 （もっと読む）

【課題】分岐口の内周面側開口周縁が穿孔時のバリが発生した鋭利な角部に形成されている条件下においても、管内作業機器やケーブル等の損傷を抑制した状態で管内作業機器を分岐管部から流体管内に確実、スムーズに導入する。
【解決手段】分岐管部３の下流側に接続可能な導入作業ケース１５に、管内作業機器Ａを分岐軸芯Ｙ方向に沿った姿勢で着脱可能に保持する保持手段Ｄ１と、これを分岐軸芯Ｙ方向に沿って分岐管部３から流体管１側に送り込む移送手段Ｄ２と、保持手段Ｄ１から流体圧で押し出される管内作業機器Ａを分岐口２の内周面側開口周縁２ａにおける下流側部位Ｐから流体管１の管軸芯Ｘ側に離れた位置を通して下流側に移動案内する移動案内手段Ｄ３とが設けられ、移動案内手段Ｄ３が、保持手段Ｄ１から分岐口２の下流側部位Ｐに当接する状態で少なくとも下流側部位にまで延出された移動案内部材１９から構成されている。 （もっと読む）

【課題】被処理原料を熱分解して生成した生成ガス中に含まれていると好ましくない物質とされていたタールを、生成ガス中から液体燃料として製造するためのタール製造システム、および当該システムに使用されるタール製造用熱分解装置を提供すること。
【解決手段】被処理原料を熱分解する際に、熱媒体供給装置より供給される熱媒体の供給量を制御して、熱分解炉の入口温度と出口温度を設定することにより、熱分解炉内の温度勾配を調整することが可能な熱分解炉を使用して、被ガス化原料を約４００〜５００℃で熱分解することにより生成ガス中に液体燃料となるタール成分を多く含ませ、その後、生成ガスを冷却しタールを製造する。 （もっと読む）

【課題】
荷役具（例えば、クラブバケット）を有するクレーンにおいて、荷役具を任意の角度に旋回することのできるクレーン及びその制御方法を提供する。
【解決手段】
トロリ２が、２本の懸吊ワイヤロープＷ３、Ｗ４を支持する２つの可動シーブ２１と、可動シーブ２１に設置した移動装置２２を有しており、海側懸吊ドラムＤ３及び陸側懸吊ドラムＤ４で、２本の懸吊ワイヤロープＷ３、Ｗ４を同一速度で巻き取る又は送り出す荷役具昇降制御と、２本の懸吊ワイヤロープＷ３、Ｗ４の一方を巻き取り、他方を送り出すトロリ横行制御と、可動シーブ２１を移動装置２２によりトロリ２の横行方向ｘに移動させ、可動シーブ２１の移動に伴い荷役具３が鉛直方向ｚを軸として旋回Ｒする荷役具旋回制御のうち、少なくとも２つの制御を同時に、又はいずれか１つの制御を単独で行う。 （もっと読む）

【課題】船舶、橋梁、配管などに用いられている様々な溶接形状を計測し、実際の溶接形状に即した溶接の形状パラメータを算出し、自動的に溶接部の疲労強度を算出する溶接形状評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接形状評価装置１が照射部１３からレーザーを照射し、溶接部を複数の２次元座標（直交座標又は極座標）を持った計測点で計測する計測装置１０と、前記計測点を用いて疲労強度を算出する演算装置２０とからなり、溶接形状評価方法が座標から計算式により溶接の形状パラメータを算出して簡易式により応力集中係数を算出する簡易式工程と、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて溶接部を解析して応力集中係数を算出する有限要素法（ＦＥＭ）工程とを備えた応力集中係数算出工程と、複数の提案式と方法を備えて疲労強度を算出する疲労強度算出工程とを備える。 （もっと読む）