説明

ウシオ電機株式会社により出願された特許

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【課題】電極部の絶縁材表面への放電ガスに起因する金属の堆積を抑制し、安定した放電が得られるようにし、また高精度にEUV光を放出する高密度高温プラズマの位置とEUV集光鏡の位置との位置合わせ可能とすること。
【解決手段】SnH4 等の放電ガスおよびデブリを発生せずまたEUV光の発生もしないガス(例えばAr)を放電部1で衝突するように、主放電電極12および主放電電極11側から供給する。SnH4 のリッチな部分からはSnおよび/またはSnの化合物等が飛び出すが、反対側から供給されるArガスにより絶縁材13の方向に向かうのを押し戻される。このため、上記化合物等が絶縁材13に付着堆積する量を減少させることができる。また、上記ガスの流量を調整することにより高密度高温プラズマにおいて波長13.5nmのEUV光を放射する領域の位置制御を高精度に行うことが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 突起部の形状を維持し、安定なアーク放電を形成し、チラツキを抑制することができる高圧放電ランプを提供することを目的とする。
【解決手段】 石英ガラスからなる発光管に一対の電極を2mm以下の間隔で対向配置し、この発光管に0.15mg/mm以上の水銀と、希ガスと、1×10−6〜1×10−2μmol/mmの範囲でハロゲンを封入した高圧放電ランプにおいて、前記電極は大径部と軸部より構成され、少なくとも一方の電極は、大径部にコイル部が設けられ、大径部の軸方向先端中央部にお椀状の突出部が形成され、前記突出部の軸方向先端中央部にお椀状の突起部が形成されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 ランプ点灯中にアンテナ部材が変位したり、アンテナ部材が細管部から抜け出すことなく安定して点灯する放電ランプを備えた電磁波励起光源装置を提供することを提供すること
【解決手段】 透光性の非導電性材料からなり、膨出部とそれに連設された細管部を有する放電容器と、放電容器外部に突出することなく、細管部に支持されて先端部が膨出部の放電空間に臨む、放電空間の中で電界を集中させ強める作用をする、金属あるいは誘電体からなるアンテナ部材を備え、放電容器に発光物質を封入した放電ランプと、アンテナ部材に電磁波を供給する電磁波供給手段と、からなり、電磁波供給手段が指向性のある放射をする電磁波放射部を備えたものであり、放電ランプが、点灯と消灯を繰り返す過程においてアンテナ部材の位置が変位するのを抑制する、アンテナ部材の変位抑制機能を有するものであることを特徴とする電磁波励起光源装置とする。 (もっと読む)


【課題】 電極の凹部に金属箔を介して電極支持棒を挿入し、その軸方向の寸法精度が優れ、さらに電極支持棒による電極の保持力に製品間でバラツキがなく、確実に保持できる放電ランプを提供すること。
【解決手段】 電極の凹部に金属箔を介して、電極支持棒を挿入した放電ランプにおいて、電極の凹部は電極内側に向かうにつれ細くなるテーパーとなっており、電極支持棒の挿入部も先端に向かうにつれ細くなるテーパーとなっており、その二つのテーパー角は同角であり、前記テーパー角はθ≧0.8°であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 紫外線治療用光源ユニットの内部空間の制約を受けることなく、エキシマランプの内側管と外側管の位置関係を変え、反射鏡とエキシマランプの位置関係を特定の関係にすることにより、患部に均一に紫外線が照射される紫外線治療用光源ユニットを提供することにある。
【解決手段】 本発明の紫外線治療用光源ユニットは、内側管1と外側管2との間の空間5が放電空間となるエキシマランプ10と、このエキシマランプ10を取り囲むように反射鏡101が配置された紫外線治療用光源ユニットにおいて、放電空間5には、放電用ガスとしてキセノンと塩素が封入されており、エキシマランプは内側管1が外側管2に対して偏心しており、エキシマランプは、内側管1と外側管2との間の放電ギャップが長い方が反射鏡101の反射面J側に位置し、放電ギャップが短い方が反射鏡101の開口K側に位置していることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 集光レンズを備えた紫外線発光素子パッケージであって、紫外線の取り出し効率が高く、かつ、安定した出力が得られる、新規な構造を有する紫外線発光素子パッケージを提供すること。
【解決手段】 上記課題は、集光レンズと、この集光レンズの底面側の中央に位置されてレンズの底面と離間して配置された紫外線発光素子とを備えてなり、少なくとも紫外線発光素子と集光レンズの底面との間のギャップに、紫外線耐久性を有する屈折率差緩和物質が充填されてなる紫外線発光素子パッケージにより、達成することができる。屈折率差緩和物質としては、シリコーン樹脂またはフッ素系樹脂が用いられる。 (もっと読む)


【課題】 閃光放電ランプに十分なトリガーエネルギーをかけ、閃光放電ランプを確実に発光させることができる閃光放電ランプ装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明の閃光放電ランプ装置は、一対の電極1が対向配置されてなる発光管2を有する閃光放電ランプと、閃光放電ランプの発光管2の外部において電極1間にわたって伸びる高電圧給電用近接導体3とを備えてなり、高電圧給電用近接導体3は、ガラス製の封管体4の内部に配置され、一端部が金属箔33に接続された金属棒であり、金属棒3には凹部30が形成されており、金属棒3の凹部30および金属箔33と対向する部分の封管体4を溶融して、高電圧給電用近接導体3を封管体4内に封止したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光源と光出射口との間に、複数の光吸収フィルターを配置し、複数の光吸収フィルターはそれぞれ光を吸収する波長域を異ならせることにより、光吸収フィルターの温度上昇を抑制することを可能にした光線治療装置を提供すること。
【解決手段】ケーシング1内に光源2が配置され、ケーシング1の光出射口8から所定の波長の光を出射する光線治療装置において、光源2と光出射口8との間に、光を吸収する波長域が異なる光入射側フィルター12と光出射側フィルター13とを設け、光入射側フィルター12が光出射側フィルター13より短波長側の光を吸収するようにしたことを特徴とする光線治療装置である。 (もっと読む)


【課題】補助光源の点灯特性を改善できて主放電容器内における始動性がきわめて良好であり、光源装置の構造が複雑になって高コストとなる問題や製品製造時の良品率や放電ランプの品質が低下することがなく、耐振動・耐衝撃に対して高い信頼性を有する光源装置を提供する。
【解決手段】放電ランプLdと反射鏡20とを備え、放電ランプの主放電電極以外の始動電極Wtが、主放電容器Bdの外部に設けられ、補助放電の放電用媒質が封入された補助放電容器Bxと、この補助放電容器Bxの外面上に設置されると共に、始動電極Wtに電気的に接続された第一の外部電極Euと、を有する補助光源Lxが、主放電反射鏡20の開口縁部に冷却風が流入する通風口24aが形成され、ベース23には冷却風を排出する通風口が24b形成され、補助光源Lxが、ベース23の通風口24b近傍に配置されている。 (もっと読む)


【課題】
外部リード及び封止部先端部を十分に冷却し、発光部の重力方向下流側の水銀未蒸発を抑制するランプ装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、発光部の両端に封止部を連設させた石英ガラスよりなる放電ランプの、発光部に0.2mg/mm以上の水銀を封入すると共に、封止部から外部リードを突出させた高圧放電ランプと、首部を有する凹面反射鏡とを具え、前記発光部を取り囲むように凹面反射鏡を配置すると共に、前記高圧放電ランプの一方の封止部を首部に固定し、凹面反射鏡の壁又は/及び前面開口近傍に通風孔を形成してなるランプ装置において、前記高圧放電ランプの他方の封止部を取り囲むように、石英ガラスからなりつば部又は筒状部を有するガラス部材の囲繞部を、配置したことを特徴とする。 (もっと読む)


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