【課題】 回路基板のパターン上に塗布したソルダーレジストのにじみを少なくする回路基板の製造方法と、その製造方法において使用される紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 基板上に回路パターンを形成する第１の工程と、形成された回路パターン上にソルダーレジストを塗布する第２の工程の間に、第２の工程においてソルダーレジストが塗布される領域の回路基板の表面を改質し濡れ性を高める表面改質処理工程を設け、表面改質処理を行った領域にソルダーレジストを塗布する。 （もっと読む）

【課題】
放電容器内壁に白濁が発生させない構造を提供すること。
【解決手段】
石英ガラスからなる放電容器に、一対の電極が対向配置するとともに、２〜１２（ｍｇ/ｃｍ^３）の水銀と、１〜８（気圧）のアルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）またはその混合ガスが封入され、少なくとも波長２００〜３００（ｎｍ）の紫外線を放射する。そして、前記電極の少なくとも一方には、タンタルが装填されるとともに、このタンタルが吸蔵している水素量が、放電容器の内容積当り水素分子換算で、３×１０^１６個/ｃｍ^３以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】解像度を低下させることなく、撮像手段と照明手段を１回走査するだけで、透過照明画像と反射照明画像の両方を得ることができるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】ＴＡＢテープ５の検査パターン５ａが搬送されてくると、透過照明手段１ａと反射照明手段１ｂにより透過照明光、反射照明光を照射し、走査手段２により、検査パターン５ａ全体が検査部１の下を通過するように走査する。これにより、制御部４に検査パターン５ａの透過照明画像、反射照明画像が取り込まれて記憶される。制御部４は、記憶した透過照明画像と透過照明用の基準パターンを比較し、透過照明画像の配線パターンが、基準パターンに対して所定の寸法の範囲内にあるかどうか、すなわち、配線パターンに「太り」または「細り」があるかを検査し、検査パターン５ａの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】反射屈折光学系を備えた投影露光装置において変倍を行うとき、投影されるパターン像の歪やコントラスト低下を小さくすること。
【解決手段】反射体Ｒ、第３のレンズ群Ｌ３、反射ミラーＭＩは支持台１１上に取り付けられ、支持台１１は、ズーム駆動用ガイド６ａに沿って、レンズＬ１，Ｌ２の光軸方向に移動可能である。変倍しないときには、第１のレンズＬ１から反射ミラーＭＩまでと、反射ミラーＭＩから第２のレンズＬ２までの光学素子は、反射ミラーＭＩ、レンズ群Ｌ３の光軸に対して対称に配置されており、マスクＭのパターン像は等倍でワークＷ上に投影される。変倍する際には、反射光学ユニット１０全体を、同図上下方向に移動させる。これにより、歪やコントラストを良好に保ちながら投影像の倍率を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】 患者や光線治療器の操作者にとって電気的・熱的に安全な光線治療器を提供することであり、感電や火傷の危険性のない光線治療を可能とすること。
【解決手段】 光源と、ミラーと、光源と患部を隔離する光透過窓と、光源とミラーと光透過窓を冷却する冷却機構を備えた光線治療器において、光透過窓もしくは光透過窓近傍に第一の温度検知手段を備え、さらに第一の温度検知手段が配置された部位以上の温度である他の部位に第二の温度検知手段を備えたことを特徴とする光線治療器とする。 （もっと読む）

【課題】 ショートアークランプから放射される光の出力が大きくなっても、陰極と陰極を支持する支持部材との接続部分の温度上昇を抑制することができ、陰極と支持部材との接続部分が破壊されることなく、また、陰極が支持部材から脱落することがなく、確実に陰極を放電空間の所定位置に支持部材によって支持することができるショートアークランプを提供することにある。
【解決手段】 本発明のショーとアークランプは、内部に湾曲した反射面１ａを有する凹部放電空間Ｄが形成された絶縁部材からなる胴体１と、放電空間Ｄにおいて、反射面の焦点位置に間隙を持って配置された一対の陰極４と陽極５と、陰極４に接続された支持部材３と、反射面の開口縁の近傍に配置され、支持部材３が接続してなる給電リング２とよりなるショートアークランプにおいて、陰極４または支持部材３に放熱部材Ｈが付加されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
レーザ装置の製造時の機差によるＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきや、レーザ装置の交換やメンテナンスに伴うＥ９５幅等のスペクトル幅のばらつきを抑制し、半導体の露光装置が形成する集積回路パターンの品質を安定させる。
【解決手段】
先ず予め複数の狭帯域化レーザ装置に共通するスペクトル幅の上限値と下限値とを設定しておく。そして、狭帯域化レーザ装置のメンテナンス時や出荷時など、狭帯域化レーザ装置を半導体露光の光源として使用する前に、狭帯域化レーザ装置をレーザ発振してスペクトル幅を検出する。この際、スペクトル幅が予め設定した上限値と下限値との間の値になるように、狭帯域化レーザ装置に備えられたスペクトル幅調整部を調整する。 （もっと読む）

【課題】 放電ランプと、光放射口が設けられた前方楕円面反射鏡部と前方楕円面反射鏡部の後方側に連続する中央球面反射鏡部とを有する凹面反射鏡とからなり、中央球面反射鏡部に入射した光が、アーク中心を通過するとともに中央球面反射鏡部の反射面上の任意の２点を結ぶ直線上を往復することを抑制して、放電ランプの発光管部に吸収される光の割合を少ないものとすることで、光の利用効率の高い光源装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 放電容器内に一対の電極が対向して配置された放電ランプと、光放射口が設けられた前方楕円面反射鏡部と前方楕円面反射鏡部の後端に連続する球面反射鏡部とを有する凹面反射鏡とを備えた光源装置において、
前記放電ランプは、その電極間の中心が、前記前方楕円面反射鏡部と前記球面反射鏡部との境界部を含む仮想平面よりも前方側に位置するよう前記凹面反射鏡に対して配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】この発明が解決しようとする課題は、小型の光源装置において、放電ランプから放射される光を出来るだけ広い範囲で捕捉し、該放電ランプから放射される光を効率良く利用できる光源装置を提供することにある。
【解決手段】 この発明の光源装置は、対向する一対の電極、該電極を内包するバルブ部、該バルブ部内に封入された０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀と希ガス、を具備した放電ランプと、該放電ランプを取り囲むように配設した凹面反射鏡と、から成る光源装置であって、該凹面反射鏡は、球面反射鏡と楕円、または放物反射鏡を連接した反射鏡であって、該２つの反射鏡が連接する境界部に穴部を設けていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】遠心分離装置の遠心ロータ上でマイクロチップの吸光光度法による血液分析を行い、一度作動すれば自動的に血液分析の検査結果が得られ、専用の検査者等を配置する必要のないマイクロチップ検査装置を提供すること。
【解決手段】所定角度に停止させることができる回転駆動源３９と、回転駆動源３９に主軸４２を介して接続する遠心ロータ２３と、主軸４２に挿通される主軸ギア４４を操作する遠心方向切替機構２８と、遠心ロータ２３上に設けられる主軸ギア４４と係合する遊星ギア３４と、遊星ギア３４と共に回転するチップホルダ５と、チップホルダ５の内部に収納され、吸光光度測定部を有するマイクロチップ２と、マイクロチップ２の吸光光度測定部に対し、光を入射させる光源と、前記吸光光度測定部を透過した光を受光する検出器と、回転駆動源３９と遠心方向切替機構２８の動きを制御する制御部４０とを有することを特徴とするマイクロチップ検査装置である。 （もっと読む）