【課題】高繰返し化（１０ＫＨｚ以上）、高出力化、超狭帯域化（０．１ｐｍ以下）を実現することが可能な露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】ＬＭＮ３を有する狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と、光安定共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式レーザ装置において、発振段レーザ光を増幅段レーザ２０の光安定共振器内に注入する高効率な注入装置４を設ける。発振段レーザ１０には放電電極１ａが配置され、放電電極１ａを放電させるための１２ｋＨｚ電源１５が接続され、また、増幅段レーザ２０の光共振器内には複数組のペアの放電電極２ａ，２ｂが配置され、それぞれの電極ペア２ａ，２ｂを放電させるための６ｋＨｚ電源２５ａ，２５ｂが接続される。そして、２組のペア電極２ａ，２ｂに、前記注入光と同期させて交互に放電電圧を印加して放電させる。 （もっと読む）

【課題】寿命末期に達した放電ランプを新品の放電ランプに容易に交換することのできるものでありながら、ケーシングが大型化することのない光源装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ケーシング内に、放電ランプと集光反射鏡と前方側支持体と後方側支持体が配置された光源装置であって、前記前方側支持体は、前記ケーシングに設置された固定部材と、前記放電ランプの一方の側管部を支えるアーム部が設けられ、固定部材に対して回動することができるよう連結された回動部材とを備え、 前記アーム部は、前記回動部材が回動することにより、前記放電ランプを支持するときの位置と、前記放電ランプが進入或いは退出することができる位置との間にわたり回動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位置調整することのできる構成でありながら、ランプ位置調整機構を構成する部材が紫外光又は赤外光によって劣化することがなく、さらには、放電ランプが破損しても、作業者が負傷するおそれがなく、ランプ位置調整機構を構成する部材が損傷するおそれのない光源装置、およびそのような光源装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ケーシング１１内に収容された集光反射鏡１４と、ランプ１２を保持すると共にケーシング内におけるランプの位置を調整するランプ位置調整機構１６とを備えた光源装置１０であって、ランプ位置調整機構は、ケーシングと隔離壁１７Ｂ，１７Ｃとにより区画された、ランプが収容される光源部収容空間の外方に設置されている。 （もっと読む）

【課題】この発明が解決しようとする課題は、エキシマ光を利用した液晶パネル用ガラス基板等の洗浄装置において、効率の良い洗浄を行い、大型基板に対しても洗浄ムラを少なくすることのできるエキシマ光照射装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のエキシマ光照射装置は、複数のエキシマランプを並列配置したランプハウス内に少なくとも窒素等の不活性ガスを含むガスを噴出するブロー管を備え、該ブロー管と該エキシマランプ上面部分と該ランプハウスの仕切壁とで囲まれる第一の置換空間と、該ブロー管と該エキシマランプ下面部分と搬送される基板とで囲まれる第二の置換空間を備え、該ブロー管から該第一の置換空間に向かって不活性ガスを噴出することによって該第一の置換空間を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スパイクアニール工程に対しても、ゾーンの数を増加させることなくワーク表面における照度分布の均一性を向上させること。
【解決手段】複数のランプ１が並列に並べられ、各ランプ１の上部に平面ミラー２が設けられ、ワークの周りにはガードリング５が配置される。ランプ１はＩ群、ＩＩ群、ＩＩＩ群から構成され、ＩＩＩ群に属する各ランプ１への投入エネルギーは、Ｉ群、ＩＩ群に属する各ランプ１への投入エネルギーより大きい。平面ミラー２のワーク６に対応する上方領域には拡散ミラー部２１が設けられ、Ｉ群、ＩＩ群に属するランプ１から放射され反射鏡２で反射された光は拡散光としてワーク６に照射され、ウエハ表面での照度分布の均一性が向上する。また、ＩＩＩ群に属する各ランプ１から放射される光は拡散ミラー部２１での反射は殆どなく、ＩＩＩ群とＩＩ群との良好なゾーンの分離性は維持される。 （もっと読む）

【課題】 金属箔とリード棒の酸化を十分に防止することにより、耐熱温度を向上させるとともに、高温での使用寿命が長いランプを提供することにある。
【解決手段】 モリブデンからなる金属箔が埋設された封止部を有し透光性材料からなるランプ容器と、この金属箔の一端に接続された発光機構部と、この金属箔の他端に接続された外方に伸びるリード棒からなり、前記封止部内の前記リード棒の外周に形成された空隙にはルビジウム酸化物あるいはセシウム酸化物からなる封着剤が充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 マイクロチップを厳密に位置決めし、付着した検体液を容易に取り除くことができるチップホルダを有するマイクロチップ検査装置を提供すること。
【解決手段】 測定ステージ上に設けられ蓋部と箱部からなるチップホルダと、光学測定部を有し前記チップホルダに収納されるマイクロチップと、前記マイクロチップの光学測定部に対し、光を入射させる光源と、前記光学測定部を透過した光を受光する検出器と、装置を制御する制御部とを有することを特徴とするマイクロチップ検査装置において、前記チップホルダには、前記光学測定部の光軸に垂直な２方向に前記マイクロチップを位置決めする基準面と、前記基準面に前記マイクロチップを押し当てる押し部が設けられ、前記チップホルダの前記蓋部を閉じることで、前記マイクロチップが前記チップホルダ内で位置決めされることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 シリカガラスよりなる内側管の放電空間と接する表面に紫外線反射膜を設けることにより、内側管に紫外線が吸収されることなく、しかも、内側管の温度上昇を抑えることにより放電ガスの温度上昇をも抑制することがきで、放電空間においてエキシマ分子が効率よく生成され、紫外線の放射出力が大きいエキシマランプを提供することにある。
【解決手段】 本発明のエキシマランプは、シリカガラスよりなる内側管１３と外側管１２を有する放電容器１１を備え、放電容器１１の内側管１３と外側管１２との間の空間が放電空間Ｓであるエキシマランプにおいて、内側管１３の放電空間に接した表面に、少なくともシリカ粒子を含む紫外線散乱粒子が粒子状態で保持されてなる紫外線反射膜２０が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 血糖値の測定を非侵襲的に高い精度でかつ再現性よく行うことのできる血糖値測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の血糖値測定装置は、測定子を測定部位である被験者の上肢下腕手関節内側部に接触させ、当該測定子を介して中赤外光を測定部位に照射して中赤外光の吸収度を測定する全反射減衰法により、生体中のグルコース濃度を非侵襲的に測定するものであって、被験者の上肢下腕部を載置台に固定する固定機構と、測定子を測定部位に押圧して接触状態を維持する測定子押圧機構とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネル基板、半導体ウエハ、磁気ディスク基板、光ディスク基板等が大型化しても、紫外光を照射して、洗浄，エッチング等を行う基板処理に好適に対応できると共に、ランプの長寿命化を実現できる、エキシマランプの構造を提供すること。
【解決手段】 誘電体からなる放電容器にエキシマ生成ガスが封入され、一対の電極が備わり、該一対の電極間には二つの誘電体部材が介在してなり、該一対の電極に高電圧が印加されて放電するエキシマランプにおいて、一方の誘電体部材には他方の誘電体部材に向けて延在する支持部材を有し、該支持部材と該他方の誘電体部材とが接触する、該支持部材または該他方の誘電体部材の部位に、緩衝材を具備したことを特徴とするエキシマランプとする。 （もっと読む）