【課題】高いピーク照度を得ることができ、照度均一度のよい、線状の集光光を照射する光照射器を提供するとともに、この光照射器を用いたインクの硬化処理を高い効率で行うことができるインクジェットプリンタを提供すること。
【解決手段】放電ランプ１２から放射された光が、回転放物面状の反射面を有するリフレクタ１３によって反射され、シリンドリカルレンズ１７に照射される。シリンドリカルレンズ１７に入射した光は、シリンドリカルレンズ１７の軸方向に直交する方向にのみ集光されながら出射される。そして、光照射面Ｗ上のシリンドリカルレンズ１７の焦点Ｆｓに位置においてシリンドリカルレンズ１７の軸方向に線状に伸びる光照射領域ＩＡが形成される。この光照射器を光硬化型インクジェット方式を利用したインクジェットプリンタに適用することにより、インクの硬化処理効率の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】休止時にチャンバ内へ放電ガスが供給されることを回避でき、放電停止時において良好に放電を再開できるよう放電ガス導入管内の圧力を適宜調整可能とすること。
【解決手段】極端紫外光放射種を含む放電ガスを、放電ガス導入管１１を介してチャンバ１００内のプラズマ生成部１０６に供給し、プラズマ生成部１０６で発生するＥＵＶ光を集光鏡１０１で集光し光取出部１０４から出射する。放電ガス導入管１１内の圧力を第２の圧力モニタ６によって検知して、検知された圧力が所定の圧力を超えると、放電ガス排気管１２に設けられた排気バルブ５を開放して第２の排気ユニット８により放電ガスを排気する。一方、放電ガス導入管１１内の圧力が低下すると、排気バルブ５を閉じて放電ガスが第２の排気ユニット８により排気されないようにする。なお、プラズマ非生成期間に、放電ガス導入管１１内にパージガスを導入するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 電極とコイルとの間の隙間が封止工程時におけるガラスの収縮にばらつきが生じても電極胴部とガラスとの間隔を所定の範囲とすることができ、電極とコイルとが接触しても影響が互いに及ぼし合うことがない、高圧水銀ランプを提供する。
【解決手段】 内部に水銀が封入され、放電空間を形成する発光管部の両端部に封止管部が連設された発光管に一対の電極が対向配置され、電極を支持する電極棒の一端部が前記封止管部の内部に埋設されてなる高圧水銀ランプであり、電極棒の前記一端部近傍にダブルコイルが巻回された状態で封止管部に埋設されていることを特徴とする。若しくは、電極棒の前記一端部近傍に、径が巻回方向で変位してなる第一のコイルが貫通状態に配置され、その外周にコイル径が略一定の第二のコイルが配置され、封止管部のガラスが該第二のコイルに支持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 冷蔵ショーケースや冷蔵庫や冷凍庫などの低温場所で使用するに際して、照明用の可視光だけではなく、殺菌作用に寄与する紫外線を管体外に放射することで、低温場所での殺菌ないし菌の増殖を抑えることを可能にする希ガス放電ランプを提供すること
【解決手段】 真空紫外光を透過する誘電体材料からなる管体の内面の一部に蛍光体層を備え、該管体の外面の管軸方向に沿って、該管体のほぼ全長に亘り複数の電極を備え、該管体の内部にキセノンガスあるいはキセノンガスを主成分とする希ガスが封入されてなる希ガス放電管を、真空紫外光を透過する誘電体材料からなる外筒管で覆い、該外筒管の両端が気密に封止され、該外筒管内は真空紫外光を透過する雰囲気となっており、該外筒管から真空紫外光と可視光を同時に放射することを特徴とする二重管型希ガス放電ランプとする。 （もっと読む）

【課題】露光精度を向上し、重量が軽く、製造コストも安い、ワークステージを平面内で移動可能にしたステージ装置を提供すること。
【解決手段】ハニカムコア７と、ハニカムコア７の下面に取り付けられ、凸極が形成された磁性体からなるプラテン８と、ハニカムコア７の上面に取り付けられ、ワーク１２を吸着保持しプラテン８とは異なる材質からなる吸着板６とからなるワークステージ５と、ワークステージ５をエア浮上により支持する支持部材３，４と、ワークステージ５を平面内で移動させる移動磁界を発生する磁極を有する推力発生手段２とからなり、ワークステージ５をエア浮上させて平面内で移動可能にしたことを特徴とするステージ装置である。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸のある立体サンプルにパターニングを行うに際して、サンプル内の場所に応じて部分的に、入射角度、偏光方向、露光量などの条件の最適化が可能な露光方法及び露光装置を提供する。
【解決手段】表面に凹凸のある立体サンプル１にリソグラフィー加工を行う際に、レジストを塗布してパターニングを行う露光工程において、入射光２を立体サンプル１の基板面の法線方向に対して、１０°以上６０°以下の範囲で傾斜させて露光する。このとき、立体サンプル１内の場所に応じて部分的に露光量を変えてもよい。また、偏光方向４を制御した入射光２を使用してもよい。 （もっと読む）

【課題】 ２方向から原稿読取面に光を照射し、かつ、線状光源装置の小型化を実現できる線状光源装置を提供すること。
【解決手段】 光源からの光を導光部材と凹面鏡を介して原稿読取面に照射する線状光源装置において、
前記導光部材は、前記原稿読取面に対してその側面が平行になるように配置された板状の部材からなり、前記板状の導光部材には光が入射する光入射部が設けられ、前記板状の導光部材の一端面には光が出射する光出射面が設けられ、前記板状の導光部材の下側面には前記原稿読取面に近づくように傾斜させた下側テーパ面が設けられ、前記光源は前記光入射部に対向して設けられ、前記凹面鏡は前記板状の導光部材の一端面の前記光出射面と同じ幅を有する樋状ミラーであって、前記原稿読取面の中心に垂直な面に対して前記光出射面と略対称位置に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】線状に集光した光の長手方向の照度均一度をよくすることができ、インクジェットプリンタに適用するのに好適な光照射器を提供すること。
【解決手段】ショートアーク型の放電ランプ９の発光部（アークの輝点）は回転楕円面状の反射面を有するリフレクタ１１の第１焦点に位置し、放電ランプ９からの光はリフレクタ１１で反射し第２焦点で集光するようにリフレクタ１１から出射し、並べて配置された円柱形状の複数のロッドレンズ１４に入射する。ロッドレンズ１４に入射する光のうち、軸方向に沿った光は、ロッドレンズ１４による影響を受けず、楕円のリフレクタの第２焦点に集光され、軸方向に直交する方向に沿った光は、ロッドレンズ１４により集光された後広がって光照射面に照射される。このため光照射面においては、照度均一度のよい線状に集光した光が得られる。 （もっと読む）

【課題】高繰返し化（１０ＫＨｚ以上）、高出力化、超狭帯域化（０．１ｐｍ以下）を実現することが可能な露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】ＬＭＮ３を有する狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０と、光安定共振器を配置した増幅段レーザ（ＰＯ）２０とからなる注入同期式レーザ装置において、発振段レーザ光を増幅段レーザ２０の光安定共振器内に注入する高効率な注入装置４を設ける。発振段レーザ１０には放電電極１ａが配置され、放電電極１ａを放電させるための１２ｋＨｚ電源１５が接続され、また、増幅段レーザ２０の光共振器内には複数組のペアの放電電極２ａ，２ｂが配置され、それぞれの電極ペア２ａ，２ｂを放電させるための６ｋＨｚ電源２５ａ，２５ｂが接続される。そして、２組のペア電極２ａ，２ｂに、前記注入光と同期させて交互に放電電圧を印加して放電させる。 （もっと読む）