【課題】
オシレータおよびアンプを備えた多段増幅型レーザ装置でオシレータおよびアンプのチャンバを効率よく利用することによって作業労力や交換部品を低減する。
【解決手段】
一定期間が経過するタイミングでオシレータおよびアンプのチャンバを交換する際に、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所からチャンバを取り外し、そのチャンバをオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所に取り付ける。こうしてオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所で使用したチャンバの劣化度の余裕分を、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所で消費する。 （もっと読む）

【課題】 大型化したランプであっても、容易に装置に取り付けることができる放電ランプ保持機構を提供することである。
【解決手段】 本発明の放電ランプ保持機構は、放電ランプ１０を着脱可能にかつ吊り下げるように保持するランプホルダ３０からなる放電ランプ保持機構であって、ランプホルダ３０は、ホルダ側仮固定機構とホルダ側本固定機構を有し、放電ランプの口金は、ランプ側仮固定機構とランプ側本固定機構を有し、ホルダ側本固定機構はホルダ側ネジ機構３２１であり、ランプ側本固定機構は口金側ネジ機構４２ｃであり、ランプホルダ３０の回転部３２を回転させることにより、ホルダ側ネジ機構３２１と口金側ネジ機構４２ｃが螺合し本固定され、ホルダ側ネジ機構のネジ山Ｂの始点側の端部ＢＢ及び／又は口金側ネジ機構のネジ山Ａの始点側の端部ＡＡは、ネジ山の頂Ａ１，Ｂ１からネジ底ａ，ｂに向かうエッジ面Ａ３，Ｂ３が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 両端開口が蓋部材で塞がれた外管内に希ガス蛍光ランプを配置し、希ガス蛍光ランプの外部電極に接続された給電端子を蓋部材を貫通して外部に導出させる適切な構造を提供することにある。
【解決手段】 本発明の二重管型希ガス蛍光ランプは、外部電極１２，１３の端部に給電端子１５が接続された希ガス蛍光ランプ１０を外管２０で覆い、外管２０の端部を蓋部材３１，３２で塞いだ二重管型希ガス蛍光ランプであって、前記給電端子１５は、蓋部材３１を貫通して外管２０の外部に突出しており、給電端子１５は、外部電極１２，１３に接続される接続部１５１と、希ガス蛍光ランプに電力を供給するための給電機構に接続される給電部１５２からなり、給電部１５２は、給電端子１５の中心軸Ｘ方向に切り欠かれた切欠部１５３によって、幅が狭いネック部１５２１を有しており、切欠部１５３に蓋部材３１の一部が嵌合していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】この発明は、エキシマ光照射機に配置されるエキシマランプの内、寿命を迎えた該エキシマランプを検知し、不足した光出力を補うことによって、実質的に基板処理装置の停止を無くしたエキシマ光照射機を提供することにある。
【解決手段】基板を搬送する搬送機構を有し、エキシマ光を照射して基板を処理する基板処理装置に搭載される、エキシマ光照射機において、該エキシマ光照射機は、基板搬送方向に対して略直角となるように略棒状のエキシマランプを複数本並列配置し、各エキシマランプの出力を独立に調整可能な供給電源を有しており、該エキシマランプ個々の光出力を検知する検知機能を備え、少なくとも1本の該エキシマランプからの光出力が規定の出力に達しない場合に、不足の光出力に相当する光出力を補充する光出力補充機能を持ったことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チャンバウインドや出力結合ミラー（ＯＣ）等の光学素子の損傷を小さくし、寿命を延ばすことができる露光装置用狭帯域レーザ装置を提供すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０と増幅段レーザ（ＰＯ）２０を備えた露光装置用狭帯域レーザ装置において、増幅段レーザ２０にＯＣ２４，高反射ミラー５ａ．５ｂ，５ｃからなるリング共振器を設ける。ＯＣ２４と高反射ミラー５ａ及び高反射ミラー５ｂと５ｃは、例えば放電電極の長手方向の軸に対してオフセットして配置されている。このため、増幅段レーザ２０のＯＣ２４から注入されたレーザ光はリング共振器内での往復毎にリング共振器内部でビームが移動しビーム幅が広がる。このため、増幅段レーザ（ＰＯ）２０の光学素子（ＯＣ、レーザウインド及び高反射ミラー）におけるレーザ光のエネルギ密度が低減され、光学素子の寿命が長くなる。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタにおいて使用される高輝度放電ランプを点灯するための放電ランプ点灯装置において、増加変調の抑制が解除される際に、プロジェクタの投影画像の色合いや明るさが急激に変化するように鑑賞者に知覚される問題を解決した放電ランプ点灯装置およびプロジェクタを提供すること。
【解決手段】増加変調の抑制が解除されるに際しては、放電ランプの始動直後から定常点灯状態への移行の途中において、徐々に解除されるように動作するように構成する。 （もっと読む）

【課題】放電部や集光鏡等の交換作業が容易で、装置の停止時間を短くすることができる極端紫外光光源装置を提供すること。
【解決手段】容器１０の開口を覆う、容器１０に対して着脱可能な蓋部材２１を設ける。この蓋部材２１に、第１の電極１１、第２の電極１２、絶縁材１３などから構成される放電部材１８、ＥＵＶ集光鏡２、ホイルトラップ３を取り付け、放電部集光鏡ユニット１９とする。そして、放電部集光鏡ユニット１９の状態で、放電部材１８の光軸と、集光鏡２の光軸とを一致させ、また放電部材１８に対する集光鏡２の光軸方向の位置を調整したのち、放電部集光鏡ユニット１９の集光鏡側を、容器１０（チャンバ）の開口に向け、チャンバ１０の中に集光鏡２およびホイルトラップ３を挿入し、蓋部材２１を容器１０に固定する。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光発生部から放出されるデブリが集光光学手段に到達しないように容器内のガスの流れを制御し得るようにすること。
【解決手段】集光鏡２の光射出側から光入射側へのガス流が形成されるように、集光鏡２の光射出側に第２ガス供給ユニット１６ｂ、第２ガス排気ユニット９ｂを配置し、第２ガス供給ユニット１６ｂから供給されるガスを集光鏡２の内側を通って第１ガス排気ユニット９ａから排気させる。そのため、例えば、容器（チャンバ１０）の内壁を内側に突き出させ、ガスがすべて集光鏡２の内側を通過するように構成する。また、ホイルトラップ３と集光鏡２を一体化し、集光鏡２の内側を流れたガスがホイルトラップ３の内側のみを通過するようにしてもよい。また、上記ガスとして、付着堆積したデブリを除去するクリーニング効果のあるクリーニングガス、あるいはその混合ガスを用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】露光装置の指令によりレーザ運転の全時間に対するパルスレーザ光の発振時間が変化しても、ビームダイバージェンスの大きさとビームポインティングの角度変化を基準レベル以内に収めることができるＭＯＰＯシステムを有する露光装置用のレーザ装置を提供する。
【解決手段】露光装置用のレーザ装置において、ＭＯＰＯシステムの発振段と増幅段の間に、出射されたレーザ光のビームダイバージェンスの大きさおよびビームポインティングの角度変化を基準レベル以下に収めるような拡大率に設定されたビームエキスパンダを設ける。 （もっと読む）

【課題】線状に集光された光を照射する光照射器において、高いピーク照度を得るとともに、線状に集光した光の長手方向の照度均一度をよくすること。
【解決手段】ランプ１２からの光はリフレクタ１３で反射して平行光となり、光路Ａの光は、そのまま反射ミラー（シリンドリカル・パラボラミラー）１７に入射し、光照射面Ｗにおいて線状に集光される。その照度分布は、中心付近の照度が高く、周辺部の照度が低い。一方、光路Ｂの光は、三角プリズム２０に入射して屈折し、光芒の中心付近の光は光芒の周辺部に向かって光路が変更され、反射ミラー１７に入射する。このため反射ミラー１７により線状に集光された光路Ｂの光は、中心付近には光がなくなり、周辺部に照度の高い領域が生じる。光照射面Ｗでは、光路Ａ光と光路Ｂの光とが重なり、光路Ａの照度の低い部分を、光路Ｂの光が補い均一度の良い線状に集光された光が得られる。 （もっと読む）