【課題】発振段レーザチャンバと増幅段チャンバを同一形状にしても、４ｋＨｚ以上の高繰り返し動作が安定に行える露光用２ステージシステムエキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段と増幅段のチャンバが同一形状である露光用２ステージエキシマレーザ装置において、増幅段の放電開始前の予め設定された時間範囲内に、発振段から放出したシード光を増幅段チャンバに注入してシード光による予備電離を行うようにしている。 （もっと読む）

【課題】装置コストを上げることなく、微細な回路パターンを鮮明に再現することができるようにすること。
【解決手段】ランプ１１から出た光は光学系２中に設けられた波長選択フィルタ２４を介してフォトマスク３１へ照射される。波長選択フィルタ２４は、感光波長領域の光を吸収または反射させ、露光面でのレジストの感光波長領域の光を、レジストの非感光波長領域の光より少なくする。フォトマスク３１に上記光が照射されることにより、フォトマスク３１の遮光膜３３の開口部の近くに近接場光が発生し、この近接場光により被処理体４１のレジスト４３が露光する。また、開口部からは伝搬光も発生するが、上記波長選択フィルタ２４によりレジスト感光波長領域の光は減衰しているので、レジストは感光せず露光されたパターンにだれは生じない。 （もっと読む）

【課題】 高輝度放電ランプを点灯するための放電ランプ点灯装置において、放電ランプを交流点灯する際ランプ印加電圧の極性反転時の光束の変動を小さくすることと同時に、始動時に放電ランプの確実な点灯性を確保することを達成した放電ランプ点灯装置を提供すること。
【解決手段】 トランス（Ｔｈ）に接続されたコンデンサ（Ｃｈ）と、１次側巻線（Ｐｈ）に電圧印加駆動を行うための間欠的電圧印加手段（Ｕｊ）とを有し、トランス（Ｔｈ）の２次側巻線（Ｓｈ）は、インバータ（Ｕｉ）の出力と放電ランプ（Ｌｄ）の主放電のための電極とを接続する経路の途中に介挿することにより、２次側巻線（Ｓｈ）に発生した電圧が、インバータ（Ｕｉ）の出力電圧に重畳して放電ランプ（Ｌｄ）の電極間に印加可能ように構成する。 （もっと読む）

【課題】 電極を大型化させた場合に、外部リード側導電板および外部リード自身が破損したり、外部リード側導電板が配置された箇所に対応する封止管部およびシール用絶縁体において外部リードが挿入された箇所が破損することを防止することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、電極の一方は、他方の電極と対向する電極先端部と、前記導電性部材に電気的に接続された内部リードと、この電極先端部と内部リードに跨って配置され、電極先端部および内部リードに対して接続された連結部材とを備え、前記電極先端部および前記内部リードには、前記連結部材に接続される側の端部にそれぞれテーパー部が形成され、前記連結部材には、このテーパー部に対応する穴が形成され、前記電極先端部および前記内部リードは、前記連結部材の内面と各々のテーパー部の外周面の間に緩衝部材が配置されるよう、連結部材に形成された穴に圧入されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大型化したランプであっても、容易に取り付けることができるランプホルダを提供すること。
【解決手段】一端に口金が装着された放電ランプと、この放電ランプを着脱可能にかつ吊り下げるように保持するランプホルダからなり、前記ランプホルダは、ホルダ側仮固定機構と本固定機構を有し、前記放電ランプの口金は、このホルダ側仮固定機構と係合するランプ側仮固定機構を有し、当該放電ランプの口金をランプホルダに挿入して、口金を回転させることで、ホルダ側仮固定機構とランプ側仮保持機構を係合させて、両者の仮固定を行うとともに、その後、ホルダ側本固定機構とランプ側本固定機構を作動させて、両者を本固定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電箔の接合部に十分に高い接合強度を有する箔シール構造の放電ランプおよびこのような放電ランプを容易にかつ確実に製造することのできる方法を提供すること。
【解決手段】放電ランプは、内部に一対の電極が対向配置された発光管および封止管よりなるバルブを具え、前記電極を先端に有する内部リードおよびバルブの外部に導出される外部リードが、封止管内に配設されたシール用絶縁体封止管との間に配設された導電箔を介して電気的に接続されていると共に、当該導電箔を介してシール用絶縁体と封止管とが気密にシールされてなり、２つの導電ディスクが導電箔の一端部が介在するよう互いに対接された状態で少なくとも一方の導電ディスクが内部リードに一体に固定されて設けられており、２つの導電ディスクと導電箔との接合部分が溶融されて接合されることにより内部リードと導電箔とが電気的に接続された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】 長時間点灯しても可視光の遮光性が低下することがなく、高入力の光源ランプを使用してもクラックや破損の発生を防止できるリフレクターを提供すること。また更に、リフレクター外面から可視光が漏れ出ることを長期に亘って防止でき、高い演出効果が得られると共にリフレクターのクラックや破損を防止することができる光源装置を提供すること。
【解決手段】 本発明のリフレクターは集光部を有し、該集光部の内面に可視光域の光を反射し赤外域の光を透過する反射膜が形成され、外面に可視光を吸収する遮光膜が形成されたリフレクターであり、遮光膜はＣｕＯを主成分とする膜からなることを特徴とする。また本願発明にかかる光源装置は前記ＣｕＯを主成分とする遮光膜を有するリフレクターと光源ランプとを具備して構成される。ＣｕＯを主成分とする膜の膜厚は５００ｎｍ以上であり遮光膜全体の厚みは５０μｍ以下であるのが良い。 （もっと読む）

【課題】 搬送ローラの表面が焼損することがなく、しかも、短時間でガラス製の被加熱物を加熱処理できる加熱装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明の加熱装置は、定位置で回転する搬送ローラ１が複数離間して配置され、この搬送ローラ１の表面にはテフロン樹脂１２が設けられており、搬送されてくるガラス製の被加熱物Ｗの裏面を近赤外線放射手段２で加熱し、表面を遠赤外線放射手段３で加熱する加熱装置であって、近赤外線放射手段２は白熱ランプ２１と反射鏡２２よりなり、近赤外線放射手段２は隣接する搬送ローラ１間であって、白熱ランプ２１から放射される直射光が搬送ローラ１に照射されない位置に設けられており、遠赤外線放射手段３は、近赤外線放射手段２から放射された光を受けて加熱されて遠赤外線を放射するものであることを特徴とする加熱装置。 （もっと読む）

【課題】 安価で十分な光量を得ることができる光源装置を提供すること。
【解決手段】反射鏡（Ｒ）と放電ランプ（Ｌ）よりなる光源装置において、一方の封止部（Ｌ２ａ）は、反射鏡の首部（Ｒ１）の一部と直接係合することで両者の位置関係を決める加工部（１１，２１，３１，４１）が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 発光管内に０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上もの水銀が封入された超高圧水銀ランプの点灯電力を低下させることにより、プロジェクタ装置を小型かつ安価にすることを可能にさせ得るとともに、周辺部材の劣化等の他の問題を生じることのない光源装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、発光部とその両端に連続する封止部とを有する発光管の内部に、一対の電極が対向して配置されるとともに、０．１５ｍｇ／ｍｍ^３以上の水銀を封入した超高圧水銀ランプと、この超高圧水銀ランプを取り囲み、当該放電ランプからの放射光を所定の方向に反射する金属製の凹面反射鏡と、この凹面反射鏡の開口面に配置される光透過性材料からなる前面ガラスとを備えた光源装置において、
前面ガラスの表面には、赤外光および紫外光を反射する反射膜が設けられ、超高圧水銀ランプから放射された赤外光または紫外光が、前面ガラスで反射されて超高圧水銀ランプの電極の一部または電極間に戻ることを特徴とする。 （もっと読む）