【課題】半導体チップにゲッタリング性能を付与するために、チップに適用される樹脂膜のゲッタリング性能を、簡便に評価しうる方法を提供する。
【解決手段】ゲッタリング性能を評価する対象の樹脂膜をシリコンウエハの片面に形成する工程、該樹脂膜を硬化してシリコンウエハとの積層体を形成する工程、該積層体を金属イオンで汚染する工程、汚染後の該樹脂をエッチングする工程、該エッチングに用いた液の回収液と純水とで金属イオン濃度測定用試料を調整する工程、および該試料をＩＣＰ−ＭＳ等により含有金属元素量の定量を行う工程を含む。 （もっと読む）

【課題】偏光板等の光学部材に適用したときに、耐光漏れ性と耐久性の両方に優れた粘着剤および粘着シートを提供する。
【解決手段】重量平均分子量が５０万〜３００万の第１の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）と、重量平均分子量が８０００〜３０万の第２の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ｂ）を架橋してなる成分とを含有し、引張試験による破断伸度が１５００％以上であり、ゲル分率が３０〜９０％である粘着剤。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップにゲッタリング性能を付与するために、チップに適用される樹脂膜のゲッタリング性能を、簡便に評価しうる方法を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る樹脂膜のゲッタリング性能の評価方法は、
該樹脂膜をシリコンウエハの片面に形成する工程、
該樹脂膜とシリコンウエハとの積層体を２００℃以上に加熱する工程、および
該シリコンウエハの他面側の表面層における重金属元素量を定量する工程を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】優れた帯電防止性または導電性ならびに再剥離性を有する粘着剤組成物、及び粘着シート、詳しくは半導体ウエハ加工などに用いられる帯電防止性または導電性ならびに再剥離性を有する粘着剤組成物及び粘着シートを提供する。
【解決手段】粘着剤中に、平均外周径が１〜１０００ｎｍ、平均長さが０．０１〜１００μｍであるカーボンナノ材料および２３℃のおける粘度が７０００〜１８０００ｍＰａ・ｓであるエポキシ基含有化合物が含有されてなる粘着剤組成物。 （もっと読む）

【課題】偏光板等の光学部材に適用したときに、耐光漏れ性と耐久性の両方に優れた粘着性組成物、当該粘着性組成物の製造方法、粘着剤および粘着シートを提供する。
【解決手段】重量平均分子量が５０万〜３００万の第１の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）と、重量平均分子量が８０００〜３０万の第２の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ｂ）と、架橋剤（Ｃ）とを含有する粘着性組成物であって、（Ｂ）は、架橋剤（Ｃ）と反応する官能基（ｂ１）を有するモノマーを構成成分として含有し、（Ａ）は、架橋剤（Ｃ）と反応する官能基を有するモノマーを構成成分として含有しないか、（Ｂ）の官能基（ｂ１）よりも架橋剤（Ｃ）との反応性が低い官能基（ａ１）を有するモノマーを構成成分として含有し、かつ（Ａ）および／または（Ｂ）は、芳香環を有するモノマーを構成成分として含有する粘着性組成物。 （もっと読む）

【課題】 表面に回路が形成され、裏面外周部に環状凸部を有する半導体ウエハの裏面内周部（環状凸部により囲繞された領域）に、保護膜を形成できる保護膜形成用シートを提供すること。
【解決手段】 本発明に係る保護膜形成用シートは、円状凸部を有する積層フィルムの凸部上に、剥離可能に形成された保護膜形成層を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】偏光板等の光学部材に適用したときに、耐光漏れ性と耐久性の両方に優れた粘着剤および粘着シートを提供する。
【解決手段】重量平均分子量が５０万〜３００万の第１の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）と、重量平均分子量が８０００〜３０万の第２の（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ｂ）を架橋してなる成分とを含有し、引張試験にて９００％伸長させて３００秒保持した後の応力緩和率が６０％以上であり、ゲル分率が３０〜９０％である粘着剤。 （もっと読む）

【課題】キャスト塗工紙を基材として粘着シートを製造した場合、長期間経過した際に粘着剤の粘着力が低下するという技術課題があり、特に、キャスト塗工紙の原紙として中性紙を使用した場合に粘着力が低下する傾向が顕著であった。キャスト塗工紙のキャスト面と反対面に粘着剤を設けた場合に、粘着シートの粘着力の低下を抑制する技術の提供。
【解決手段】顔料および接着剤を含む塗工液を原紙の片面に塗工し、湿潤状態にある塗工層をキャストドラムの鏡面に圧接および乾燥させてなるキャスト塗工紙の製造方法であって、表面サイズ剤および耐水化剤から選択される粘着力低下抑制剤をキャスト塗工面の反対面に塗布することを含む方法。 （もっと読む）

【課題】水平投影面積を縮小しつつ被照射体を容易にセットすることができる光照射装置および光照射方法を提供すること。
【解決手段】水平面と傾斜したＡ−Ｂ平面（所定平面）に沿って被照射体Ｗ１が支持されるので、支持された被照射体Ｗ１の水平投影面積を小さくして光照射装置１のが専有する設置面積を縮小するとともに、ケース体２への一体物ＷＡの投入方向の水平距離を小さくすることが可能となり、被照射体Ｗ１をセットするための作業者の労力増大や搬送装置の大型化などの不都合を抑制しつつ、被照射体Ｗ１を支持手段３に容易にセットすることができ、作業効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】
口溶け性に優れ、嚥下が容易であり、かつ塩基性薬物の苦味が抑制された積層シート状製剤を提供する。
【解決手段】
塩基性薬物（Ａ）、崩壊剤（Ｂ１）、及び非イオン性水溶性高分子（Ｃ）を含有する薬物含有層と、塩基性基含有化合物（ｄ１）及び／又はアニオン性高分子（ｄ２）を含むマスキング剤（Ｄ）、及び崩壊剤（Ｂ２）を含有する被覆層と、を有することを特徴とする積層シート状製剤。 （もっと読む）