【課題】テープ使用効率が改善され、ランニングコストが大幅に安価になる欠陥修正装置及び方法を実現する。
【解決手段】突起欠陥５３を修正又は除去する欠陥修正装置であり、ワーク１３を保持するステージ１４と、研磨処理を行う研磨ユニットと、研磨ユニットを、ステージ１４のワーク１３に対して、研磨テープ４２の走行方向と直交する方向に移動させる移動手段とを具える。研磨ユニットは、研磨テープ走行手段４４と、研磨ユニットに対してテープ走行方向と直交する方向に移動可能に装着され、研磨テープ４２をワーク１３表面に対して当接させるヘッドチップ４６と、ヘッドチップ４６を、研磨ユニットに対してテープ走行方向と直交し、前記方向とは反対向きの方向に相対移動させる移動手段と５０、５１を有する。研磨処理中、突起欠陥５３に対して研磨テープ４２だけがテープ走行方向と直交する方向に変位し、ヘッドチップ４６は静止状態に維持される。 （もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】太陽電池をより正確に評価することができる太陽電池評価装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る太陽電池の評価装置は、青系の波長領域の光を照射する光源１１と、光源１１からの光を太陽電池に導く光学系と、光源１１から出射された光を太陽電池に照射したときの短絡電流を測定する検出部と、光源の代わりに配置され、光学系を用いて太陽電池に電流を流したときに発生するエレクトロルミネッセンス光の強度を測定する測定部と、短絡電流の分布及び前記エレクトロルミネッセンス光の強度分布に基づいて、太陽電池の評価を行う処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】太陽電池に充分な照明強度で狭い波長幅の光を照射して、変換効率を評価することができる太陽電池効率測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る太陽電池の効率測定装置は、光源１１、円筒鏡１６、処理部を備える。光源１１は、ライン状の光を照射する。円筒鏡１６は、太陽電池セル２０の照射領域を焦点とする略楕円の一部である反射面を有し、光源１１から出射されたライン状の光を太陽電池セル２０の照射領域へ反射する。処理部は、円筒鏡１６により反射されたライン状の光を太陽電池セル２０に照射したときの変換効率を算出する。 （もっと読む）

【課題】変換効率を向上させ、かつ、安定した出力が得られる波長変換装置及び波長変換方法並びに半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる波長変換装置は、基本波光を発生するレーザー光源１と、基本波光及びその高調波光のうち少なくともいずれか一方を入射光として波長変換光１２を発生する非線形光学結晶７と、非線形光学結晶７への入射光の出力を調整する出力可変手段５と、非線形光学結晶７の温度を調整する温度調整器１１とを有する。さらに、波長変換装置は、出力可変手段５を制御して、波長変換光１２の出力が略一定になるように入射光の出力を調整しながら、温度調整器１１を制御して、入射光の出力が１回の温度調整期間において最小となるように非線形光学結晶７の温度を調整する制御部９を有する。 （もっと読む）

【課題】試料像を撮像した画像信号を用いて焦点検出を行うと共に一層高精度な焦点位置検出を行うことができる焦点検出機構を実現する。
【解決手段】試料に向けて放出する照明光源１と、試料の画像信号を出力する第１の光検出手段２３を含む撮像光学系と、試料と対物レンズの焦点との間の距離を変化させる相対距離変化手段９と、照明光源の駆動する制御手段３２と、前記対物レンズ又は試料ステージの光軸方向の位置を検出する位置検出手段１１と、照明光の光量をモニタする第２の光検出手段４と、合焦点位置情報を出力する信号処理装置４０とを具え、信号処理装置４０は、試料画像のコントラストを算出する手段４４と、算出されたコントラストをモニタ信号を用いて正規化する手段４５と、正規化されたコントラストと前記位置信号との一連の関係に基づいて、コントラストが最大となる対物レンズ又は試料ステージの位置を検出する手段４６とを具える。 （もっと読む）

【課題】太陽電池を正確に評価することができる太陽電池の評価装置、評価方法、及び太陽電池の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる太陽電池の評価装置は、遮光したときの特定バイアス電圧下における、太陽電池１２への流入電流に基づき、太陽電池１２のシャント抵抗Ｒ_ｓｈに電流を供給する電流源３４と、太陽電池１２に照射される光を出射する光源１４と、電流源３４によりシャント抵抗Ｒ_ｓｈに電流を流した状態で光を照射したときの、太陽電池１２の出力を検出する検出回路１９と、検出回路１９での検出結果に基づいて、太陽電池１２の特性値を算出する処理部２０とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で膜厚を測定することができる膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる膜厚測定装置は、透明膜の表面反射光又は界面反射光が２次元アレイ光検出器の受光面に照射される照明領域に対応する画素列を光変換手段の位置に応じて記憶する画素列記憶手段と、試料上における焦点高さを走査する焦点高さ走査手段と、照明領域に対応する画素列で検出される光に基づく信号を焦点高さと対応付けて記憶する測定データ記憶手段１０１と、焦点高さを変数とし、測定データ記憶部１０１により透明膜の光学的な膜厚を求めるために参照される参照関数を記憶する参照関数記憶手段１０２と、参照関数と測定データに基づいて最小二乗法により、薄膜の光学的な膜厚を算出する算出手段１０５とを有するものである。
ものである。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物の検出・除去にかかる時間を短縮することができる検査分析装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る検査分析装置は、基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、基板上の異物を検出する検出部２２と、検出部２２により検出された異物の撮像データを記憶する記憶部１２と、撮像データに基づいて、異物をその形態により分類・整理する分類部１３と、基板上に付着した異物を捕獲除去する異物捕獲部２３と、異物捕獲部２３により捕獲された異物を同定する分析部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークに反りや撓み等が形成されていても、突起欠陥を高精度に修正できる欠陥修正装置及び方法を実現する。
【解決手段】欠陥修正装置は、研磨ユニットの昇降機構と、基準座標系に対する位置を検出し、時間的に連続する情報として出力する位置検出手段と、駆動を制御する信号処理装置とを具える。研磨ユニットは、テープ走行装置を有する研磨ヘッドと、ワーク表面までの距離を計測し、時間的に連続する情報として出力する距離センサとを有し、信号処理装置は、距離センサから出力される情報の時間変化に基づき、又は当該情報の時間変化と位置検出手段から出力される情報の時間変化に基づいて、研磨テープが突起欠陥との接触点を検出する接触点検出手段５５と、距離センサから出力される情報を用いて、接触点が検出された後研磨ユニットがワーク面に対して相対降下量だけ降下したか否かを判定する研磨終点判定手段４６とを有する。 （もっと読む）