【課題】検査対象基板上の異物を確実に除去することができる基板検査装置の提供。
【解決手段】基板検査装置１は、マスク１１６、複数の粘着性粒子が離脱可能に設けられた剥離シート２０、および粘着部材２２が装着されるマスクホルダ１１７と、マスクホルダ１１７に対してマニピュレータ（例えばナノピンセット１０）と検出部４１とが設けられた検出ヘッド１１３を相対移動させる移動手段である鉛直方向駆動機構１２３および水平方向駆動機構１２４と、制御装置２００を備えている。制御装置２００は、剥離シート２０に設けられた複数の微小吸着粒子のいずれか一つをマニピュレータで保持して離脱させ、微小吸着粒子を保持したマニピュレータを異物の位置へ移動し、異物を粘着性粒子に付着させてマスク１１６から除去し、異物が付着した微小吸着粒子を粘着部材２２に付着させて移送する。 （もっと読む）

【課題】高感度で検査を行うことができる検査装置、検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、対物レンズ７と、対物レンズ７の視野の一部である第１の領域を、第１の偏光方向の直線偏光で照明し、対物レンズの視野内において前記第１の領域と異なる第２の領域を第１の偏光方向と異なる第２の偏光方向の直線偏光で照明する反射照明光学系５１と、第１の領域において、試料で反射した反射光を検出するＴＤＩカメラ１１ａと、第２の領域において、試料で反射した反射光を検出するＴＤＩカメラ１１ｂと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】接続される太陽電池セルを切り離すことなく、太陽電池を適切に評価する。
【解決手段】本発明の一態様に係る太陽電池評価方法は、複数の太陽電池セルを備える太陽電池の評価方法であって、複数の太陽電池セルの一部を遮光帯で遮光し、遮光帯を第１の方向にスキャンしながら、当該遮光帯で遮光された太陽電池の全面に光を照射したときの太陽電池からの出力を検出し、遮光帯の太陽電池に対する方向を異なる第２の方向に変化させ、遮光帯を第２の方向にスキャンしながら、当該遮光帯で遮光された太陽電池の全面に光を照射したときの太陽電池からの出力を検出し、検出した太陽電池からの出力に基づいて、太陽電池の変換効率分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクにペリクルを装着する際、ペリクル膜の膨らみが防止されると共にパーティクルの混入も防止できるペリクル装着方法を提供する。
【解決手段】本発明によるペリクル装着方法は、クリーンルーム（１）内にマスク（１３）を鉛直方向に延在するように支持する工程と、マスクのパターン面と対向するようにペリクル（２３）を配置する工程とを具える。そして、クリーンルームの天井側から床面に向けて、加熱された清浄空気をマスクにほぼ平行にダウンフローとして流出させながらマスクに対してペリクルを圧着する。ペリクル空間内に封入された加熱された清浄空気は、その後の冷却工程において体積が収縮し、ペリクル膜の膨らみが防止される。また、ペリクル保持装置に設け整流板（３０）によりダウンフローがペリクル膜と衝突するように方向転換させることにより、ペリクル膜の膨らみを防止することもできる。 （もっと読む）

【課題】スペックルノイズを低減することができ、かつ光量損失を抑制することができる照明光学系を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る照明光学系２０は、入射するレーザ光の径よりも小さい、それぞれ異なる径の複数の凹面及び凸面の少なくともいずれか一方が不規則に配列され、当該レーザ光を拡散するレンズアレイ２１と、レンズアレイ２１を回転させる駆動部２２とを備える。レンズアレイ２１は、凹面のみを有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】変換効率を高分解能で測定できる太陽電池評価装置を実現する。
【解決手段】太陽電池１を保持するステージ２と、ステージを所定のピッチで回転させる回転駆動装置５と、太陽電池をライン状の走査ビームを用いて走査する走査装置３と、ステージと走査装置との間に配置され、太陽電池に向けて面状のバイアス光を投射する照明装置４と、太陽電池から出力される出力電流を検出する手段８と、検出された出力電流に基づいて太陽電池の電流密度分布ないし光電変換効率を算出する手段６とを具える。照明装置は、バイアス光を発生する照明光源と、照明光源に光学的に結合され、太陽電池と対向するように配置されると共に光学的に透明な材料により構成され、太陽電池に向けて平面状のバイアス光を照射する面状照明装置を有する。走査装置から出射したライン状の走査ビーム１７は、照明手段の面状照明装置を透過しステージ上の太陽電池モジュールに入射する。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高感度で欠陥検査を行うことができる検査装置、及び検査方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかると、対物レンズ１３と、対物レンズ１３の視野の一部である検査領域５２を照明する反射照明光学系６１と、検査領域５２と検査領域５１とを照明する透過照明光学系６２と、透過照明光学系６２に設けられ、検査領域５２に入射する透過照明光の光強度を検査領域５１に入射する透過照明光の光強度よりも低くする部分透過板４と、検査領域５２において、透過照明光学系６２からの透過照明光のうち試料を透過した透過光と反射照明光学系６１からの反射照明光のうち試料で反射した反射光とを検出するＴＤＩカメラ１６ｂと、検査領域５１において、透過照明光学系からの光のうち試料を透過した透過光を検出するＴＤＩカメラ１６ａと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】安定した出力を得ることができる波長変換型の紫外光源装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る光源装置は、基本波Ｌ１を発生するレーザー光源１と、基本波Ｌ１又はその高調波を入射光として、波長変換光Ｌ２を発生する少なくとも１つの非線形光学結晶３と、入射光の光路上に配置され、当該入射光の偏光成分に対する屈折率を変化させて、波長変換光Ｌ２の出力を変化させる偏光調整手段２とを備える。偏光調整手段２は、光検出器７から電気信号出力に応じて屈折率の変化量を変化させる （もっと読む）

【課題】欠陥検査の目的や欠陥の特性等に応じて、最適なカラー表示を行うことができる欠陥検査装置及び画像表示方法を提供する。
【解決手段】フォトマスクの画像を種々の照明条件のもとで撮像し、Ａ／Ｄ変換器からの出力信号を用いてフォトマスクの欠陥を検出し、検出された欠陥を含むフォトマスクのカラー画像を出力する信号処理装置とを具える。信号処理装置は、輝度／カラーに関する変換テーブル作成手段２３と、フォトマスクの輝度／カラー変換手段２４とを有する。変換テーブル作成手段２３は、２種類のマスクパターンにそれぞれ割り当てた第１及び第２の２つの階調値、及び、前記第１の階調値と第２の階調値との間の輝度階調中に割り当てられるＲＧＢのカラー数又は階調スパンを含むパラメータに基づいて変換テーブルを作成する。 （もっと読む）

【課題】被覆膜の厚さと独立して、基板よりも反射率の低い被覆膜付きの基板上に存在するパターンの三次元形状を非破壊で測定することができる三次元形状測定装置を提供することである。
【解決手段】可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定装置であって、第１波長の照明光と、前記第１波長と異なる第２波長の照明光とを切り替えて照射する光源部と、前記第１波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第１仮想段差と、前記第２波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第２仮想段差とを測定する光検出器と、前記第１仮想段差と前記第２仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する処理部とを備える。 （もっと読む）