【課題】傾斜面を有しないような既存のフランジ部であっても、傾斜面型フランジ継手を用いることができる傾斜リングを提供する。
【解決手段】対向したフランジ部２ａ、２ｂ同士を圧着する時に用いるものであって、前記フランジ部２ａ、２ｂとは別体をなし、該フランジ部２ａ、２ｂの対向面の裏側に取り付けられるとともに、前記フランジ部２ａ、２ｂに向かうにつれ外側に広がる傾斜面２０１を有するように構成された傾斜リング２００である。 （もっと読む）

【課題】フランジ部を結合することが容易にできる結合リングの提供。
【解決手段】隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材５０ａ〜５０ｃと、両端のユニット部材５０ａ、５０ｃを連結するための締結具５２とを具備し、周方向に延びるように設けた凹溝５１を、対向させたフランジ部の外周縁部に外嵌させるとともに、前記両端のユニット部材５０ａ、５０ｃを前記締結具５２によって連結して環状状態とし、前記締結具５２を締め付けることで、傾斜面５１ａを押圧し、その際に発生する軸方向の分力によって前記フランジ部２ａ、２ｂ同士を圧着結合するものであって、前記両端のユニット部材５０ａ、５０ｃの開放状態において、一端のユニット部材５０ａ、５０ｃと隣接するユニット部材５０ｂとの拡開角度を一定角度以内に規制する係止部材６０ａ、６０ｂを、これらユニット部材５０ａ〜５０ｃの少なくともいずれかに設けた。 （もっと読む）

【課題】 外来ノイズの機器内への侵入を効果的に防止して機器動作やデータ伝送等への悪影響を最小限に抑えることができるようにする。
【解決手段】 デバイスネット機器１とパソコンなどの本体とを信号線５を介して接続するために機器シャーシ３に固定されるＩＥＣ準拠の金属製コネクタ４に、信号線５とシャーシ３間をＡＣ結合するコンデンサ１３を実装してなるノイズ対策基板１０を取り付けることによって、外来ノイズがデバイスネット機器１の内部ケーブル６へ侵入することを抑制するように構成している。 （もっと読む）

【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する
【解決手段】流路１内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部２と、制御バルブ３と、前記制御バルブ３を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ３の開度を制御するバルブ制御部４２と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部４１と、を備えたマスフローコントローラ１００であって、前記バルブ制御部４２が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部４１が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】酸化剤である水を噴射弁により直接噴射する際の不具合を解消した成膜方法及びその成膜装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを内部に保持し、ポンプ７１により減圧されている成膜室２内に、有機金属化合物を含む液体原料を噴射弁４１により直接噴射して減圧沸騰現象により前記液体原料を気化させて、基板表面に有機金属化合物を吸着させる吸着工程と、成膜室２内に、酸化剤である水と水よりも気化潜熱の小さい有機溶媒との混合溶液を噴射弁５１により直接噴射して減圧沸騰現象により前記混合溶液を気化させて、基板表面上に吸着した有機金属化合物を酸化する酸化工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流量制御弁を提供する。
【解決手段】弁座面４０１を有する弁座部材４と、弁座面４０１に着座する着座面６０１を有する弁体部材６と、を具備し、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流入口が形成され、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、入口が形成された部材の内部に、流入路及び流入口に連通する内部流入路４１が形成され、流出口が形成された部材の内部に、流出路及び流出口に連通する内部流出路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセス等に用いられている既存のガス配管系に何ら配管等の設計変更を行うことなく安価に導入することができ、短時間で、正確な基準容積に基づいたマスフローコントローラの検定を行うことができる検定システムを提供する
【解決手段】前記支流ガスラインＳＬと並列に設けられており、前記合流後ガスラインＭＬに合流する検定用ガスラインＫＬと、ガス配管系ＧＳの配管自体で規定される基準容積を算出する基準容積算出部３２と、検定されるマスフローコントローラ１による流量制御が行われている間において圧力測定手段２１３で測定される測定圧力の時系列データに基づいて検定用パラメータを算出する検定用パラメータ算出部３３と、前記基準容積に基づいて設定される基準パラメータと前記検定用パラメータとを比較する比較部３３と、を設けた。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】一次側圧力センサを設けることなく、従来のマスフローコントローラの機械構成を用いてＰＩ性能を発揮するマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路１内を流れる流体Ｆの流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ２と、流量センサ２の上流側に設けた流量制御バルブ３と、流量制御バルブ３の駆動電圧Ｖを検出する電圧検出部４と、少なくとも流量測定値（ＯＵＴ）、流量設定値（ＳＥＴ）及び駆動電圧をパラメータとして所定の演算式から流量制御バルブ３の開度制御信号を算出して出力する制御部５と、を具備する。 （もっと読む）