【課題】格段に優れた応答性を得ることができてガス濃度の安定化が図れ、しかも、従来のパネル型形状をそのまま維持できる集積型ガスパネル装置を提供する。
【解決手段】集積型ガスパネル装置１のパネル体２を、少なくとも主流路Ｒ２を形成する主流路用ブロック体３２と、枝流路Ｒ１を形成する枝流路用ブロック体３１とからなるものにし、その主流路用ブロック体３２を中心として左右両側に対向するように前記枝流路用ブロック体３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流体を流すことができる流体制御弁を提供する
【解決手段】着座面６ａと弁座面４ａとの間に弁内流路４１を介して上流側流路に連通する環状有底溝と、弁内流路４２を介して下流側流路に連通する環状有底溝とを互い違いに多重に設けたものにおいて、弁内流路４１有底溝に対する開口である連通口を当該有底溝の少なくとも側面に形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】機体ごとの器差の解消を図った分光光学計及びその校正方法を提供する。
【解決手段】サンプルガスに光を射出する光源２と、前記サンプルガスを透過した光を検出する光検出器５１、５２と、前記光源と前記光検出器との間に配置された光学フィルタ４と、前記光検出器５１、５２により得られた検出信号値に基づいて前記サンプルガス中の測定対象とする実ガスの濃度を算出する演算装置６と、を備えた分光光学計１であって、基準となる一の機体である基準機において得られた、代替ガス濃度と実ガス濃度とを関係付ける関数αと、前記基準機における前記実ガスと前記代替ガスとの光吸収率の関係と、校正対象となる一の機体である校正機における前記実ガスと前記代替ガスとの光吸収率の関係とを関係付ける関数βと、前記校正機における前記代替ガスの濃度と前記検出信号値との関係をあらわす関数と、に基づいて前記実ガスの濃度を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】低流量、低流速の成分ガスが流れる配管に対して、大流量、高流速の希釈ガスが逆流等することなく、スムーズに成分ガスが希釈ガスの流れる配管に流れ込み、その結果、短時間で混合ガスにおける成分ガスの濃度を所望のものとすることができるようになるガス混合装置を提供する。
【解決手段】希釈ガスが流れる外部配管１１と、先端に形成された流出口１２３が前記外部配管１１の内部に開口し、成分ガスが流れる内部配管１２と、からなる二重配管１を備えたガス混合装置１００であって、前記内部配管１２が、前記基端部１２１と前記先端部１２２とを接続する境界部１２４と、からなり、前記基端部１２１と前記先端部１２２の境界部１２４において、前記基端部１２１の外壁表面が前記先端部１２２の外壁表面よりも外側となるように段差を形成した。 （もっと読む）

【課題】異なる沸点を有する複数の材料から成る液体材料を気化する場合でも残渣の発生を防止して好適に気化可能な液体材料気化装置を提供する。
【解決手段】液体材料ＬＭとキャリアガスＣＧとを混合して気液混合体ＧＬを生成する気液混合部１と、前記気液混合部１からの気液混合体ＧＬを気化しこの気化によって生じたガスを前記キャリアガスＣＧによって外部へ導出する加熱型の気化部２と、前記気液混合部１と前記気化部２とを接続し、内部に前記気液混合体ＧＬの流路を有する接続部３と、前記接続部３を冷却する接続部冷却部４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御機構であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１と、前記流体測定部で測定される物理量の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御機構４とを備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御機構４が、前記測定値と前記設定値の偏差に基づいてデジタル制御によって前記流体制御バルブ２の開度の操作量を演算する操作量演算部４１と、アナログ制御によって位相遅れを補償する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１、３と、前記流体測定部１で測定される物理量の測定値と、予め設定される設定値との偏差に基づいて前記流体制御バルブ２の開度をデジタル制御によって制御するバルブ制御器４と、を備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を出力する操作量演算部４１と、入力される値に対して速度型デジタル演算により位相遅れを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる圧力制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体の圧力を測定する圧力センサ３と、前記圧力センサ３で測定される圧力の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御器４と、を備え、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を演算する操作量演算部４１と、入力される値に対してデジタル制御により位相のずれを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する
【解決手段】流路１内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部２と、制御バルブ３と、前記制御バルブ３を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ３の開度を制御するバルブ制御部４２と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部４１と、を備えたマスフローコントローラ１００であって、前記バルブ制御部４２が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部４１が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】標準ガスライン３における標準ガスの滞留を防止して、標準ガスの吸着や変性等による標準ガスの濃度低下を防止する。
【解決手段】希釈ガス流量調整機構２３が設けられた希釈ガスライン２と、標準ガス流量調整機構３３が設けられた標準ガスライン３と、希釈ガスライン２及び標準ガスライン３を合流して所定濃度の標準ガスを出力する出力ガスライン４と、標準ガスライン３において標準ガス流量調整機構３３の上流側に接続されており、開閉弁及び流量調整部が設けられた排ガスライン５と、標準ガスライン３を流れる標準ガス流量又は前記標準ガスの種類に応じて、開閉弁の開閉を切り換える制御部６とを有する。 （もっと読む）