【課題】研削装置における研削ホイールを回転可能なホイールマウントに装着する場合において、研削ホイールの回転中心とホイールマウントの回転中心とを合致させ、研削ホイールの震動を防止して被加工物にダメージを与えないようにする。
【解決手段】砥石部３３１がホイールベース３３２に支持された構成の研削ホイール３３をホイールマウント３２に対して着脱自在に装着する研削ホイール装着機構において、ホイールマウント３２に少なくとも３個の係合突起３２１を形成し、ホイールベース３３２には、係合突起３２１に係合しホイールマウント３２と研削ホイール３３との相対的な回動により係合突起３２１を締結する被係合長穴３３４を形成し、係合突起３２１の締結により研削ホイール３３の回転中心とホイールマウント３２の回転中心とが合致するようにする。 （もっと読む）

【課題】 研磨パッドを確実にドレッシングすることができるドレッシング方法を提供する。
【解決手段】 チャックテーブルに保持された被加工物を研磨するための研磨パッドのドレッシング方法であって、チャックテーブルに保持された被加工物を研磨ユニットの研磨パッドによって研磨する研磨工程が終了した後、ドレッサーボードを作用位置に位置付け研磨パッドをドレッサーボードに作用せしめてドレッシングするドレッシング工程を含み、ドレッシング工程は研磨工程を実施することによって消耗する研磨パッドの磨耗量を超える所定の目標送り量が予め設定されており、研磨パッドを所定の基準位置から目標送り量だけ移動して研磨パッドの研磨面をドレッサーボードの表面を越えた位置に位置付け、研磨パッドとドレッシングボードを相対移動せしめる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の外周部が沿っている場合であっても好適に吸着保持して搬送可能な被加工物搬送装置を提供すること。
【解決手段】 テーブル３２に載置された被加工物５０の外周部を下側から支持する被加工物保持部２２と；テーブル３２に載置された被加工物の外周部に対して，上側からエアを噴射するエア噴射手段４２，４４と；被加工物保持部２２に設けられ，被加工物の外周部を吸着保持する吸着パッド２４と；吸着パッド２４により被加工物を吸着保持した被加工物保持部２２を移動させる移動手段と；を備えることを特徴とする。かかる構成により，エアの噴射によって被加工物５０の外周部の反りを矯正して，被加工物保持部２２に密着させることができる。このため，被加工物５０の外周部と被加工物保持部２２との間で空気漏れが生じないので，吸着パッド２４によって被加工物５０を好適に吸着保持できる。 （もっと読む）

【課題】表面に複数の分割予定ラインが格子状に形成されているとともに該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域に機能素子が形成されたウエーハを、該分割予定ラインに沿って個々のチップに分離するウエーハの分離方法において、個々に分割されたチップ間に所定の間隙を設けて維持することができるウエーハの分離方法を提供する。
【解決手段】ウエーハ１０に対して透過性を有するレーザー光線を分割予定ラインに沿って照射し変質層を形成した後、ウエーハ１０が貼着された保持テープ３を拡張して変質層が形成された分割予定ラインに沿って個々のチップ１００に分割するとともに各チップ間に間隙Ｓを形成し、この状態で保持テープ３におけるウエーハ１０が貼着されている領域に外的刺激を付与し保護テープの粘着層を硬化して各チップ間の間隙を維持せしめる。 （もっと読む）

【課題】 １回のレーザー加工によって形成されるレーザー加工溝の加工深さを深くすることができるとともに、レーザー光線を照射することにより発生するデブリが既にレーザー加工させている加工溝に堆積することなく加工することができるレーザー加工方法を提供する。
【解決手段】 被加工物に形成された分割予定ラインに沿ってパルスレーザー光線を照射し、分割予定ラインに沿ってレーザー加工溝を形成するレーザー加工方法であって、パルスレーザー光線は集光スポットが楕円形に形成され、該楕円形の集光スポットにおける長軸を分割予定ラインに沿って位置付け、集光スポットと被加工物とを分割予定ラインに沿って相対的に加工送りする。 （もっと読む）

【課題】 略円板状の被加工物の変形を矯正することにより、変形した被加工物であっても正確に中心位置を合わせが可能な中心位置合わせ装置及び中心位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】略円板状の被加工物の中心位置を合わせる中心位置合わせ装置１０に、中心位置合わせ装置１０のテーブル１３０に載置された被加工物に対して、上側からエアを噴射する上側エア噴射手段１１０と、下側からエアを噴射する下側エア噴射手段１２０とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 製造条件等の砥石の特性を使用後に確認したり、砥石の使用経歴を記録することができる砥石工具を提供する。
【解決手段】 被加工物に所定の加工を施す砥石工具であって、砥石工具には非接触で情報を読み出しおよび書き込み可能な無線ICタグ３が埋設されている。 （もっと読む）

【課題】 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に機能素子が形成されたウエーハの裏面に貼着されたダイボンディング用の接着フィルムを効率よく且つ確実に破断することができる接着フィルムの破断方法および破断装置を提供する。
【解決手段】 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに複数のストリートによって区画された複数の領域に機能素子が形成されたウエーハの裏面に貼着された接着フィルムを、環状のフレームに装着された保護テープの表面に貼着された状態でストリートに沿って破断する接着フィルムの破断方法であって、接着フィルムを冷却し保護テープを拡張して、接着フィルムを機能素子の外周縁に沿って破断する。 （もっと読む）

【課題】 分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられたウエーハを、分割予定ラインに沿って正確且つ確実に分割することができるウエーハの分割方法および分割装置を提供する。
【解決手段】 表面に格子状に形成された複数の分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられているウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割方法であって、ウエーハの一方の面に保護テープを貼着するテープ貼着工程と、それぞれの分割予定ラインに対してその両側に第１の吸引保持部材と第２の吸引保持部材を位置付け、該第１の吸引保持部材と該第２の吸引保持部材に該保護テープを介してウエーハを吸引保持する保持工程と、第１の吸引保持部材と第２の吸引保持部材を互いに離反する方向に移動し、該分割予定ラインと直交する方向に引張力を作用せしめる分割工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 厚さが厚い被加工物の切断や深い溝を形成することができるウォータージェット加工方法を提供する。
【解決手段】 被加工物に砥粒を混入した加工水を加工水噴射ノズルから噴射して、被加工物に所望の加工を施すウォータージェット加工方法であって、被加工物の所定位置に一方の面から所定深さのノズル挿入穴を穿設するノズル挿入穴穿設工程と、先端部に側方に向けて噴射口を備えた加工水噴射ノズルを被加工物に穿設されたノズル挿入穴に挿入し、噴射口を所定位置に位置付けるノズル挿入工程と、加工水噴射ノズルの噴射口から加工水を噴射しつつ加工水噴射ノズルをノズル挿入穴に沿って移動し、ノズル挿入穴に沿って加工溝を形成する溝加工工程とを含む。 （もっと読む）