【課題】 被結合部への結合材の付着性能の良否に関わりなく、結合材を被結合部に保持させること。
【解決手段】 プローブは、基板に結合される板状の被結合部を後端上部に有する針主体部及び該針主体部の先端部から下方へ突出する針先部を備えるプローブ本体と、被結合部に配置された熱溶融性の結合材とを含む。結合材は、錫鉛合金より高い融点を有する材料により、被結合部の少なくとも厚さ方向における両側面に配置されて、被結合部に係合された薄膜状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に電極を備えた半導体デバイス（例えばパワー半導体デバイス）をウエハ状態のままで検査する場合に、基板の裏面の電極とテスタとの間の電気経路を短くすることで、精度良く検査する。
【解決手段】チャックトップ４９の支持面５６に対面するようにチャックリード板５４を設ける。チャックトップ４９の周辺部にはポゴピン６０を固定する。ポゴピン６０はチャックリード板５４に接触する。プローブ２０はウエハ１８の表面の電極に接触する。プローブ２０はケーブル４７を経由してテスタ２２につながっている。ウエハ１８の裏面の電極はチャックトップ４９の支持面５６に接触する。支持面５６はチャックトップ４９とポゴピン６０とチャックリード板５４とケーブル５５を経由してテスタ２２につながっている。 （もっと読む）

【課題】障害の発生を未然に防いで検査作業の効率化を図る。
【解決手段】故障の発生を予知する故障予知装置において、装置に組み込まされた駆動モータのトルクを検出するトルク検出手段と、当該トルク検出手段で検出したトルクの変動を監視する監視手段と、当該監視手段で監視するトルクが設定基準値の範囲外にあるとき、前記駆動モータの停止、異常メッセージ表示又は警告のいずれか１又は複数を行うことを特徴とする制御部とを備えた。故障予知方法は、前記故障予知装置の処理機能と同様の構成を有する。また、検査装置には、前記故障予知装置の機能を組み込んだ。 （もっと読む）

【課題】 プローブホルダに対するプローブの変位量の差を可能な限り小さくして、正しい試験を可能にすることにある。
【解決手段】 プローブ装置は、複数のプローブと、該プローブがその針中央領域を対向させ、左右方向に間隔をおいて及び前後方向へ延びる状態に配置されたプローブホルダとを備えるプローブ組立体を含む。プローブホルダ及び各プローブのいずれか一方は、下向きの第１の部位と、前向きの第２の部位とを備え、プローブホルダ及び各プローブの他方は、前記第１の部位に当接可能の上向きの第３の部位と、前記第２の部位に当接可能の後向きの第４の部位とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電源電力用のプローブがこのプローブに対応すべき電極の隣りに位置する他の電極に接触することを防止することにある。
【解決手段】 プローブ装置は、板状の複数のプローブと、該プローブがその厚さ方向を左右方向とされかつ左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置されたプローブホルダとを含む。各プローブは、それぞれが複数のプローブを含む第１及び第２のプローブ群のいずれかに属する。第２のプローブ群に属する各プローブの少なくとも先端針先の左右方向における寸法は、前記第１のプローブ群に属するプローブのそれより大きい。 （もっと読む）

【課題】 フィンガー部材に対するプローブの変位を低減することにある。
【解決手段】 プローブは、板状の針主体部及び該針主体部の先端部から下方へ突出する針先部を含む。針主体部は、弧状、Ｖ字状、Ｕ字状、Ｗ字状、Ｍ字状、ホームベース状等のように、針主体部の厚さ方向の両側及び下方に開放する切り欠きであって、前後方向への長さ寸法が下方側ほど大きくなる領域を有する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体が接触子に落下することを防止すること
【解決手段】 検査装置は、平板状被検査体を受ける矩形のパネル受け面を有するパネル受けと、前記被検査体の電極に押圧される複数の接触子を有するプローブブロックを備えるプローブユニットと、前記パネル受け面の外側に位置された複数の保護部材とを含む。複数の保護部材は前記矩形の少なくとも１つの辺の方向に間隔をおいており、また各保護部材の上端は前記接触子の高さ位置の上方に位置されている。 （もっと読む）

【課題】 プローブホルダに対するプローブの変位量の差を可能な限り小さくして、正しい試験を可能にすることにある。
【解決手段】 プローブ装置は、複数のプローブと、該プローブが左右方向に間隔をおいて前後方向へ伸びる状態に配置されたプローブホルダとを備えるプローブ組立体とを含む。各プローブは、板状の針中央領域と、該針中央領域の前端部から前方へ延びる針前部領域と、該針前部領域の前端部から下方へ延びる先端針先とを有する。プローブホルダは、後方及び下方に開放しかつ左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数のスリットであって、針前部領域の少なくとも一部が受け入れられた複数のスリットを有し、またスリットを形成している壁部は、スリットが形成されていない残部より前方に突出されて、スリットの先端部を上方に開放させている。各プローブの針前部領域の先端はスリットの先端部に位置されている。 （もっと読む）

【課題】 機械的特性及び電気的特性のいずれもが良好なプローブを提供することにある。
【解決手段】 電気的試験用プローブは、ニッケル・ボロン合金で形成された針本体部と、該針本体部から下方へ突出しかつ該針本体部と異なる導電性材料で形成された針先部とを備える。前記ニッケル・ボロン合金の結晶サイズは最大で５０ｎｍであり、前記ボロンの含有量は０．０２以上、０．２０ｗｔ％以下である。 （もっと読む）

【課題】 安定した電気的接続を可能にし、かつ、突起状接続電極の突起頂点にスクラブ跡を付けることのないプローブ針のガイド部材、カンチレバー型プローブカード、並びに、半導体装置の試験方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 プローブ針先端部の移動をそのスクラブ方向に沿った直線方向にガイドする直線状の側部を備えたガイド孔を有し、当該ガイド孔が、上記プローブ針ガイド部材が突起状接続電極に対して使用位置に位置決めされたとき、突起状接続電極の突起頂点を通るスクラブ方向に沿った中心線から外れた頂点周辺部と対向する位置に開口するガイド孔であるプローブ針ガイド部材、そのようなプローブ針ガイド部材を備えたカンチレバー型のプローブカード、並びに、そのようなプローブ針ガイド部材を用いる半導体装置の試験方法を提供することによって解決する。 （もっと読む）