【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧機構が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有する。当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有する。 （もっと読む）

【課題】マニュアルの検査装置を必要とせず、コスト低減及び検査の効率化を図る。
【解決手段】自動化ラインに並設され、当該自動化ラインと連動した自動運転で当該自動化ライン上のパネルを検査する検査装置である。上記パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換える切換機構を備えた。検査方法においては、上記パネルの装置内への手動投入の際に、受渡装置のパネル受け機構部が傾斜した状態で手動によりパネルを投入すると、当該パネルを一旦水平状態へ回動して当該パネルの位置決め及び把持を確実にして、再び傾斜させて検査部へ渡す。 （もっと読む）

【課題】延在部と台座部又は補強部材との境界部に作用する力を分散させて、プローブの針先部の破断を防止する。
【解決手段】通電試験用プローブは、台座部を備える針本体部と、前記台座部から延びる針先部とを含む。前記台座部は、少なくとも下方に開放する凹所であって、その開放面に対向する奥面領域と、該奥面領域の各端に連続しかつ該奥面領域から前記凹所の開放端に達する側面領域とにより規定される凹所を備える。前記針先部は、前記台座部に埋め込まれ又は嵌め込まれて結合された結合部と、前記凹所から下方に延びる延在部とを備える。前記延在部は、前記奥面領域から各側面領域に渡って前記凹所に接する境界部とを有する。 （もっと読む）

【課題】パネル受けを交換することなく、及び被検査体が偏光板を備えるか否かに関わりなく、被検査体を正しく検査可能にすることにある。
【解決手段】平板状被検査体の検査装置は、第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成する４つの第２のベースと、少なくとも１つの第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置を含む。昇降装置は、上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成するように枠状に、第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースと間に配置されて、対応する第２のベースを第１のベースに昇降可能に支持させる。 （もっと読む）

【課題】 プローブをプローブ基板に安定に保持させて、プローブの針先の相対的位置関係を安定させること。
【解決手段】 プローブカードの製造方法は、各プローブの取り付け部をプローブ基板に少なくとも一列に設けられた第１の貫通穴の１つに通し、各プローブの前記針先部を、厚さ方向に合わされた板状の複数の位置決め部材のそれぞれに少なくとも１列に設けられた第２の貫通穴に通し、隣り合う位置決め部材を逆の方向に相対的に変位させて、前記プローブの針先部の二次元的な位置決めをし、その後導電性接合材を軟化させて、各プローブの取り付け部を第１の貫通穴に対し位置決める。 （もっと読む）

【課題】 プローブをプローブ基板に容易にかつ堅固に保持させて、プローブの針先の相対的位置関係を安定させることにある。
【解決手段】 プローブカードの製造方法は、導電性接合材の湿潤性が取り付け部に対するよりも高い材料で形成された第１及び第２の金属層を、それぞれ、取り付け部の上端部領域の外側面及び取り付け部の上端部領域に続く領域の相対する２つの面領域のそれぞれに有し、接合材層を上端部領域及び両面領域に第１及び第２の金属層を覆うように有するプローブを用いる。各プローブは、取り付け部をプローブ基板の貫通穴に挿入された状態で、接合材層の素材を溶融、固化させることにより、取り付け部においてプローブ基板に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】 プローブをプローブ基板に安定に保持させて、プローブの針先の相対的位置関係を安定させることにある。
【解決手段】 プローブカードにおいて、各プローブの取り付け部は、プローブ基板の貫通穴に通されて該貫通穴を形成する壁部に固定されていると共に、上端部において配線基板の接合部に固定されている。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧部材が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧部材の加圧面と上記フィルムタイププローブの先端部との間に隙間を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】ピン数増加に伴うプローブカードの撓みを解消する。
【解決手段】複数のプローブ針を有し、検査装置のテストヘッドと電気的に接続して該プローブ針を被検査対象に接触させることにより検査を行うプローブカードである。前記プローブ針を前記被検査対象に接触させたときに生じるコンタクト荷重による当該プローブカードの撓みに対し、前記検査装置のテストヘッド側に前記コンタクト荷重に対する反力をとって前記撓みを抑制する補強装置を具備した。また、テストヘッドにプローブカードを取り付け、当該プローブカードに装着された複数のプローブ針を検査対象物に接触させて検査する検査装置であって、この検査装置のプローブカードとして前記プローブカードを用いた。 （もっと読む）

【課題】 スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第１のスリットを備える第1のスリットバーを支持片の先端部下側に配置し、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを、その第２のスリットが第１のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、第１のスリットバーに配置し、第１及び第２のプローブの前部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、第１及び第２のスリットに位置させている。 （もっと読む）