平板状被検査体の検査装置
【課題】パネル受けを交換することなく、及び被検査体が偏光板を備えるか否かに関わりなく、被検査体を正しく検査可能にすることにある。
【解決手段】平板状被検査体の検査装置は、第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成する４つの第２のベースと、少なくとも１つの第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置を含む。昇降装置は、上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成するように枠状に、第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースと間に配置されて、対応する第２のベースを第１のベースに昇降可能に支持させる。
【解決手段】平板状被検査体の検査装置は、第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成する４つの第２のベースと、少なくとも１つの第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置を含む。昇降装置は、上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成するように枠状に、第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースと間に配置されて、対応する第２のベースを第１のベースに昇降可能に支持させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような矩形の平板状被検査体を点灯検査する検査装置は、被検査体が装着されるパネル受けを備える。このパネル受けは、被検査体を受ける受け面を共同して形成する４つのパネル受け部を含む。これらのパネル受け部は、被検査体を安定して支持しつつ、検査用の光の通路となる矩形の開口を形成すべく、被検査体の外周の４つの辺の縁部において被検査体を受けるように配置されている。
【０００３】
ところで、そのような被検査体には、最終製品の画面寸法の種類に応じて、４つの辺の寸法、すなわち外周寸法が異なる様々な種類の被検査体がある。そのような複数種類の被検査体を１つのパネル受けで検査できる検査装置として、例えば、特許文献１に記載の検査装置がある。
【０００４】
特許文献１に記載の検査装置は、第１の開口を有する板状のテーブルベースと、該テーブルベースの上方に間隔をおいて配置されて、被検査体を受けるパネル受けと、前記テーブルベース及び前記パネル受け間に配置されて、前記テーブルベース及び前記パネル受けを結合する結合装置とを含む。
【０００５】
前記パネル受けは、卍型状に組み合わせることで前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成する４つの移動片であって、被検査体を受けるパネル受け部をそれぞれが有する４つの移動片を含み、前記結合装置は、各移動片が前記テーブルベースに平行な面内で二次元的に移動可能に前記移動片と前記テーブルベースとを結合する。
【０００６】
この検査装置によれば、各移動片が前記テーブルベースに平行な面内において移動可能であるから、前記４つの移動片により形成される第２の開口の大きさ、すなわち４つのパネル受け部の配置位置を、被検査体の外周寸法に応じて変更することができる。これにより、様々な種類の被検査体を１つのパネル受けで検査することができる。
【０００７】
しかし、点灯検査される被検査体には、その外周寸法の異なる被検査体の他に、２枚のガラス基板内に液晶を封入したアレイ基板のみの被検査体と、該アレイ基板に通過させる光の偏光を揃える偏光板を、前記アレイ基板の片面又は両面に設けた被検査体とがある。
【０００８】
前記偏光板は、アレイ基板のほぼ全面を覆うように設けられるが、設計上、アレイ基板の通電用の複数の端子を配置した端子部及び該端子部の裏側の部分には設けられない。この端子部は、アレイ基板の外周の４つのいずれかの辺、一般には隣り合う２つの辺に沿った縁部に設けられる。
【０００９】
したがって、パネル受けに対向する面に偏光板を有する被検査体の場合、端子部又はその裏側に偏光板を備えない縁部の厚さ寸法とそれ以外の偏光板を備える縁部の厚さ寸法とが異なる。その結果、パネル受けに対する被検査体の被支持部の高さ位置が異なる。
【００１０】
例えば、偏光板を備えないアレイ基板のみの平坦な被検査体を前記テーブルベースに対して平行に受けるべく、４つのパネル受け部の受け面の高さ位置を同一にしたパネル受けにおいて、偏光板を備える被検査体をパネル受けに載置すると、その被検査体は、偏光板の厚さ寸法に対応した角度だけテーブルベースに対し傾いてパネル受けに受けられる。この被検査体の傾きは、検査時に、検査用の接触子が前記端子に正確に接触できない恐れを生じさせる。
【００１１】
したがって、被検査体が偏光板を備える場合と備えない場合との場合において、パネル受けが被検査体を前記テーブルベースに対して平行に受けるには、アレイ基板のみの被検査体用として４つのパネル受け部の受け面の高さ位置を揃えたパネル受けと、アレイ基板に偏光板が取り付けられた被検査体用に、端子部に対応する縁部を受けるパネル受け部の受け面の高さを偏光板の厚さ寸法分だけ、他の縁部を受けるパネル受け部の受け面に対して高くしたパネル受けとを準備し、被検査体が偏光板を備えるか否かに応じて、パネル受けを交換する必要があった。しかし、パネル受けの交換作業は繁雑で、さらに近年の液晶パネルの大型化により、パネル受けも大型化しており、交換作業の繁雑さ及び危険性が増している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００７−４０７４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、パネル受けを交換することなく、及び被検査体が偏光板を備えるか否かに関わりなく、被検査体を正しく検査可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の平板状被検査体の検査装置は、上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成するように、前記第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースであって、それぞれが平板状被検査体を共同して受ける受け面を有する４つの第２のベースと、少なくとも１つの前記第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置であって、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されて、対応する第２のベースを前記第１のベースに昇降可能に支持させる少なくとも１つの昇降装置とを含む。
【００１５】
前記昇降装置は、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されていてもよく、また前記第２のベースを前記第１のベースに対し昇降させる少なくとも１つの昇降機構と、該昇降機構を駆動させる駆動機構であって、前記第１又は第２のベースに取り付けられた駆動機構とを含むことができる。
【００１６】
前記昇降機構は、互いに対向された第１及び第２の固定部材であって、それぞれ前記第１のベースの上側及び第２のベースの下側に取り付けられた第１及び第２の固定部材と、前記第２のベースの長手方向へ移動可能に前記第１及び第２の固定部材に結合されていると共に、前記駆動機構により前記第２のベースの長手方向へ移動される可動部材とを含むことができ、前記第１の固定部材及び前記可動部材の結合部又は第２の固定部材及び前記可動部材の結合部は、前記第２のベースの長手方向に対し傾斜した方向に前記可動部材に対して相対的に移動可能に結合されていてもよく、前記昇降装置は、さらに、前記第２のベースが前記第１のベースに対し昇降することは許すが、少なくとも前記第２のベースの長手方向へ移動することは阻止する複数の移動規制機構を含むことができる。
【００１７】
前記第１及び第２の固定部材のいずれか一方は、前記第２のベースの長手方向へ延びる第１のレールであって、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられた第１のレールを含むことができ、前記可動部材は、前記第１のレールに沿って移動可能に該第１のレールに結合された第１のガイドと、該第１のガイドに取り付けられた第１の楔形部材であって、前記第２のベースの長手方向に対して傾斜した第１の傾斜部を有する第１の楔形部材と、前記第１の傾斜部に取り付けられてその傾斜方向へ延びる第２のレールとを含むことができ、前記第１及び第２の固定部材の他方は、前記第２のレールに沿って移動可能に前記第２のレールに結合された第２のガイドと、前記第１の傾斜部に平行に対向した第２の傾斜部を備えていてもよく、該第２の傾斜部に前記第２のガイドが取り付けられた第２の楔形部材であって、前記第１及び第２のベースの他方に取り付けられた第２の楔形部材とを含むことができる。
【００１８】
前記検査装置には、２つ、３つ又は４つの前記第２のベースのそれぞれに前記昇降装置が配置されていてもよい。
【００１９】
前記第１の開口は、下側の第３の開口及び上側の第４の開口を含んでいてもよく、前記第１のベースは、第３の開口及び上面を有するテーブルベースと、該テーブルベースの上方において矩形の前記第４の開口を形成するように配置された長い４つの移動片と、前記テーブルベース及び各移動片の間に配置されて前記第４の開口の大きさを変更するように各移動片を前記テーブルベースの上面に平行な面内で二次元的に移動可能に結合している結合装置とを含むことができ、各第２のベースは、前記移動片に対応されて、対応する移動片の上側に配置されていていてもよい。
【００２０】
前記移動規制機構は、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられたリニアブッシュであって、前記昇降機構の昇降方向に貫通した穴を有するリニアブッシュと、前記第１及び第２のベースの他方に固定されたシャフトであって、前記穴に通されたシャフトとを含むことができる。
【００２１】
前記検査装置は、さらに、前記受け面に受けられた平板状被検査体を位置決めるアライメント装置を含むことができ、各第２のベースは、前記受け面を有するパネル受け部を含み、前記アライメント装置は、対向する一対の前記第２のベースの一方及び他方にあって前記受け面の外側にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構及び第１の位置決め機構と、対向する他の一対の前記第２のベースの一方及び他方にそれぞれ配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを備え、前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け部に受けられた平板状被検査体を対向する位置決め機構又はプッシャー機構に押圧する少なくとも１つの押圧部材と、該押圧部材を対応する第２のベースの長手方向及び幅方向に変位させる少なくとも１つのアライメント駆動機構とを有し、各位置決め機構の前記アライメント駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明においては、少なくとも１つの第２のベースをこれに対応する昇降装置により他の第２のベースに対して昇降させることができる。このため、被検査体が受け面に受けられる被支持部に偏光板を備えているか否かに応じて、少なくとも１つの第２のベースの高さ位置を他の第２のベースの高さ位置に対して調整することにより、被検査体を正しい姿勢に受け面に受けることができる。その結果、パネル受けを交換することなく、偏光板の有無に応じて被検査体を正しく検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る検査装置の第１の実施例を示す斜視図である。
【図２】第１の実施例における移動機構を示す概略図である。
【図３】第１の実施例における昇降装置を示す側面図である。
【図４】第１の実施例における昇降装置を示す斜視図である。
【図５】図３におけるＡの部分を拡大した側面図である。
【図６】図３におけるＢの部分を拡大した断面図である。
【図７】図５におけるＡの部分の昇降装置の降下状態を示す側面図である。
【図８】アライメント装置を示す側面図である。
【図９】アライメント装置のプッシャー機構を示す斜視図である。
【図１０】アライメント装置の位置決め機構を示す斜視図である。
【図１１】アライメント装置の動作の概略図である。
【図１２】本発明に係る検査装置の第２の実施例を示す概略図である。
【図１３】第２の実施例における移動機構を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
［用語の説明］
【００２５】
本発明においては、図３において、上下方向をＺ方向又は上下方向といい、左右方向をＸ方向又は左右方向といい、紙背方向をＹ方向又は前後方向という。しかし、それらの方向は検査時の被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００２６】
それゆえに、本発明に係る検査装置は、Ｘ方向及びＹ方向により規定されるＸＹ面が、水平面となる状態、水平面に対し傾斜した状態となる状態等、いずれの状態で使用してもよい。
【００２７】
［第１の実施例］
【００２８】
図１〜３を参照するに、検査装置１０は、液晶表示パネルのような平板状被検査体１２とし、その被検査体１２を所定の電気回路に接続して、点灯検査のような検査をする装置として用いられる。
【００２９】
被検査体１２は、透明な２枚の基板間に液晶を封入したアレイ基板１６と、アレイ基板１６の両面に張り付けられて、通過する光の偏光を揃える偏光板１８とを含む。しかし、被検査体１２には、偏光板１８を含まないものや、アレイ基板１６の上面及び下面のいずれか一方にのみ貼り付けられた偏光板１８を備えたものがある。
【００３０】
アレイ基板１６は、矩形の形状を有しており、また矩形の辺に沿ったいくつかの縁部が複数の端子を設けた端子部２０とし、端子部２０以外の領域を表示部２２としている。偏光板１８は、表示部２２にのみ設けられ、端子部２０及びその裏側には、偏光板１８は設けられていない。すなわち偏光板１８が設けられた表示部２２と、偏光板１８が設けられていない端子部２０とでは、被検査体１２の厚さ寸法が異なる。図１において、アレイ基板１６は、矩形の隣り合う２つ辺に端子部２０を備える。
【００３１】
図１を参照するに、検査装置１０は、上下方向に貫通した第１の開口を中央領域に有する第１のベース２４と、前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成するように第１のベース２４の上方に間隔をおいて配置された４つの第２のベース２６を備えるパネル受け１４と、各第２のベース２６及び第１のベース２４の間に配置されて、各第２のベース２６を第１のベース２４に昇降可能に支持させる昇降装置２８とを含む。
【００３２】
パネル受け１４に受けられた被検査体１２を下方から照明するバックライトユニット（図示せず）は、第１のベース２４の下方に間隔をおいて配置されている。前記第１及び第２の開口は、そのバックライト（図示しない）の光をパネル受け１４に配置された被検査体１２の表示部２２へ導く通路として作用する。
【００３３】
各第２のベース２６は、長い板状のパネル受け部２６ａと、長い板状部材２６ｂとを含み、またパネル受け部２６ａが板状部材２６ｂの幅方向における一方の縁部から立ち上がるように、及び板状部材２６ｂがＸＹ面内に位置する（水平となる）ように、パネル受け部２６ａと板状部材２６ｂとをＬ字状に結合している。各第２のベース２６の、パネル受け部２６ａの長手方向に延びる上端面は、被検査体１２を共同して受ける受け面２６ｃとされている。
【００３４】
図２を参照するに、第１のベース２４は、前記第１の開口の下側部分として作用する第３の開口を有する板状のテーブルベース３０と、前記第１の開口の上側部分をとして作用する第４の開口を形成するように卍型状に組み合わされた長い板状の４つの移動片３２ａ〜３２ｄと、移動片３２ａ〜３２ｄ及びテーブルベース３０の間に配置されて、移動片３２ａ〜３２ｄをＸ方向及びＹ方向に二次元的に移動可能にテーブルベース３０に結合している結合装置３４とを含む。
【００３５】
［移動片について］
【００３６】
対向する一対の移動片３２ａ及び３２ｂはＸＹ平面内をＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延びており、また対向する他の一対の移動片３２ｃ及び３２ｂはＸＹ平面内をＸ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に延びている。それらの移動片３２ａ〜３２ｄは、結合装置３４により、第４の開口の大きさを変更するようにＸＹ平面内を二次元的に移動可能にテーブルベース３０に結合されている。
【００３７】
隣り合う２つの移動片３２は、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に一体となって移動可能に、またＹ方向（又はＸ方向）に個々に移動可能に適宜な結合手段により結合されている。これにより、隣り合う移動片３２は、相手の移動片３２が独立してＹ方向（又は、Ｘ方向）へ移動することを妨げることなく、結合されている。
【００３８】
そのような結合手段として、例えば、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びて第４の開口側に開放する、台形の断面形状を有する蟻溝と、該蟻溝に滑動可能に嵌合された蟻柄との組合せを用いることができる。蟻溝は、隣り合う２つの移動片３２の一方の幅方向における第４の開口の側に形成され、蟻柄は隣り合う２つの移動片３２の他方の長手方向における一端縁部に形成される。また、蟻溝と蟻柄との組合せに代えて、レールと、該レールに滑動可能に及び離脱不能に結合されたガイドとの組み合わせのような、他の結合手段を用いてもよい。
【００３９】
［結合装置について］
【００４０】
図２を参照するに、結合装置３４は、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向に伸びかつＸ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた、長い板状の一対の第１のスライダ３６と、第１のスライダ３６の上方でＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延びかつＹ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた、長い板状の一対の第２のスライダ３８とを備える。
【００４１】
第１及び第２のスライダ３６及び３８は、テーブルベース３０の上面に井桁状に配置されている。各第１のスライダ３６は、Ｘ方向へ延びるレール４２に移動可能に、一端部及び他端部において結合されている。各第２のスライダ３８は、Ｙ方向へ延びるレール４４に移動可能に、一端部及び他端部において結合されている。各第２のスライダ３８は、第１及び第２の結合部材４０ａ及び４０ｂにより、Ｙ方向へ移動可能に両第１のスライダ３６に結合されている。
【００４２】
結合部材４０ａ及び４０ｂのそれぞれは、対応する第１のスライダ３６に設けられかつその第１のスライダ３６の長手方向へ延びる一対のレール４６ａ（又は、４６ｂ）にＹ方向に移動可能に結合されていると共に、対応する第２のスライダ３８に設けられかつその第２のスライダ３８の長手方向へ延びる一対のレール４８ａ（又は、４８ｂ）にＸ方向に移動可能に結合されている。これにより、結合部材４０ａ及び４０ｂは、テーブルベース３０に対し、ＸＹ面内を二次元的に移動可能である。
【００４３】
図示の例では、Ｘ方向へ延びる移動片３２ａ及び３２ｂは、それぞれ、下側に設けられてＸ方向へ延びるレール４１ａ及び４１ｂを有する。レール４１ａ及び４１ｂは、それぞれ、結合部材４０ｂ及び４０ｂに設けられた一対のガイド４３ｂ及び４３ｂに相対的に移動可能に結合されている。これにより、移動片３２ａ及び３２ｂは、それぞれ、Ｘ方向へ移動可能に及びＹ方向へ移動不能に、第２のスライダ３８及び３８に結合さている。
【００４４】
同様に、Ｙ方向へ延びる移動片３２ｃ及び３２ｄは、それぞれ、下側に設けられてＹ方向へ延びるレール４１ｃ及び４１ｄを有する。レール４１ｃ及び４１ｄは、それぞれ、結合部材４０ａ及び４０ａに設けられた一対のガイド４３ａ及び４３ａに相対的に移動可能に結合されている。これにより、移動片３２ｃ及び３２ｄは、それぞれ、Ｙ方向へ移動可能に及びＸ方向へ移動不能に、第１のスライダ３６及び３６に結合さている。
【００４５】
第１及び第２のスライダ３６及び３８のそれぞれは、移動片駆動機構５０により、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に移動されて、そのような移動方向における適宜位置に解除可能に維持される。
【００４６】
各移動片駆動機構５０として、テーブルベース３０の上面に配置されたモータと、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びる状態に前記モータに連結された、該モータにより回転されるボールねじと、該ボールねじに螺合されかつ第１及び第２のスライダ３６又は３８に連結具により連結されたナットとを含む機構が用いられる。モータはパルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータである。
【００４７】
例えば、両第１のスライダ３６が対応する移動片駆動機構５０により相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動されると、結合部材４０ａ及び４０ａを介して第１のスライダ３６及び３６に結合されたＹ方向へ延びる移動片３２ｃ及び３２ｄが相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ結合部材４０ａ及び４０ａと共に移動されると共に、移動片３２ｃ及び３２ｄに前記した蟻溝、蟻柄等の結合手段により連結された移動片３２ａ及び３２ｂが移動片３２ｃ及び３２ｄの移動にともなってＸ方向へ移動される。
【００４８】
第１のスライダ３６がＸ方向へ移動したとき、第２のスライダ３８及び３８に対する移動片３２ａ及び３２ｂのＸ方向への移動は、移動片３２ａ及び３２ｂに設けられてＸ方向へ延びるレール４１ａ及び４１ｂと、各結合部材に設けられたガイド４３ｂ及び４３ｂとの間の相対的な移動により、許される。
【００４９】
また、両第２のスライダ３８が対応する移動片駆動機構５０により相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動されると、結合部材４０ｂ及び４０ｂを介して第２のスライダ３８及び３８に連結されたＹ方向へ延びる移動片３２ａ及び３２ｂが相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ結合部材４０ｂ及び４４ｂと共に移動されると共に、移動片３２ａ及び３２ｂに前記した蟻溝、蟻柄等の結合手段により連結された移動片３２ｃ及び３２ｄが移動片３２ａ及び３２ｂの移動にともなってＹ方向へ移動される。
【００５０】
第２のスライダ３８がＹ方向へ移動したとき、第１のスライダ３６及び３６に対する移動片３２ｃ及び３２ｄのＹ方向への移動は、移動片３２ｃ及び３２ｄに設けられてＹ方向へ延びるレール４１ｃ及び４１ｄと、結合部材４０ｂ及び４０ｂに設けられたガイド４３ａ及び４３ａとの間の相対的な移動により、許される。
【００５１】
これにより、４つの移動片３２ａ〜３２ｄは、第４の開口の大きさを変更するように移動される。その結果、第４の開口、ひいては後に説明する第２の開口の大きさを、検査すべき被検査体１２の平面寸法に応じて変更することができる。この作業は、被検査体１２の点灯試験に先立って行われる。
【００５２】
［昇降装置について］
【００５３】
図３〜６を参照するに、各第２のベース２６は、対応する移動片３２の直上に間隔をおいて配置されており、昇降装置２８は、第２のベース２６を対応する移動片３２に対して昇降可能に支持すべく、第２のベース２６と対応する移動片３２との間に配置されている。
【００５４】
図４を参照するに、昇降装置２８は、第２のベース２６を昇降可能に支持する４つの昇降機構５２と、これら昇降機構５２に連結されて昇降機構５２を駆動させる駆動機構５４と、第２のベース２６が上下方向（Ｚ方向）に昇降することは許すが、左右方向及び前後方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動することは阻止する６つの移動規制機構５６とを含む。昇降機構５２、駆動機構５４及び移動規制機構５６の数は、被検査体１２の寸法、重量、及びパネル受け１４の大きさに等に基づいて決定される。
【００５５】
駆動機構５４は、対応する移動片３２の長手方向に間隔をおいて移動片３２の長手方向と直交する方向へ延びる２つの第１の駆動力伝達部材７９と、両第１の駆動力伝達部材７９に連結された第２の駆動力伝達部材８０と、第２の駆動力伝達部材８０に連結されて、対応する第２の駆動力伝達部材８０を対応する移動片３２に長手方向へ移動させる駆動源８２と、移動片３２に取り付けられて第１の駆動力伝達部材７９を移動片３２の長手方向に移動可能に支持する支持部材８４とを含む。
【００５６】
各第１の駆動力伝達部材７９は、移動片３２の幅方向に延びる長い板状（又は、棒状）の形状を有しており、また移動片３２の幅方向に間隔をおいて配置された一対の昇降機構５２にその一端又は他端で結合されている。第２の駆動力伝達部材８０は、移動片３２の長手方向に延びる長い板状（又は、棒状）の形状を有しており、また２つの第１の駆動力伝達部材７９に連結されて、その一端で駆動源８２に連結されている。
【００５７】
駆動源８２は、第２の駆動力伝達部材８０を移動片３２の長手方向に移動させ、これにより、第２の駆動力伝達部材８０に連結された第１の駆動力伝達部材７９を介して昇降機構５２を駆動させる。駆動源８２は、空気圧シリンダや油圧シリンダのような流体圧シリンダ機構を含むことができる。このシリンダ機構は、そのシリンダが移動片３２又は第２のベース２６に取り付けられ、ピストンロッドが第２の駆動力伝達部材８０に連結される。
【００５８】
しかし、駆動源８２は、シリンダ機構に代えて、パルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを含むことができる。この場合、第２の駆動力伝達部材８０はボールねじ及び該ボールねじに螺合されたナットを有し、第１の駆動力伝達部材７９は前記ナットに結合される。これにより、前記モータで前記ボールねじを回転させることにより、前記ナットを移動片３２の長手方向に進退させ、ひいては第１の駆動力伝達部材７９を介して後に説明する可動部材６２を移動片３２の長手方向に移動させる。
【００５９】
図３、４及び６を参照するに、移動規制機構５６は、上下方向に貫通する貫通穴を有するリニアブッシュ８６と、リニアブッシュ８６の貫通穴に嵌合されたシャフト８８とを含む。リニアブッシュ８６及びシャフト８８は、それぞれ、第２のベース２６及び移動片３２に取り付けられている。移動規制機構５６は、また、リニアブッシュ８６の貫通穴に連続して第２のベース２６に設けられた穴８９を含む。
【００６０】
シャフト８８は、リニアブッシュ８６の穴径よりやや小さいが、概ね同一の直径寸法を有する。これにより、シャフト８８は、リニアブッシュ８６がシャフト８８に対してＸ方向及びＹ方向へ移動することを阻止し、ひいては第２のベース２６が移動片３２に対してＸ方向及びＹ方向へ移動することを阻止する。
【００６１】
しかし、リニアブッシュ８６の貫通穴の内壁には複数の球体が設けられ、シャフト８８がリニアブッシュ８６に対して上下方向に滑動可能とされているから、第２のベース２６が移動片３２に対して上下方向へ移動すること、すなわち昇降することは可能である。
【００６２】
図５を参照するに、各昇降機構５２は、移動片３２の上面及び第２のベース２６の下面にそれぞれ取り付けられた第１及び第２の固定部材５８及び６０と、第２のベース２６の長手方向へ移動可能に第１及び第２の固定部材５８及び６０に結合された可動部材６２とを含む。
【００６３】
第１の固定部材５８は、移動片３２に取り付けられた第１のレール６４を含む。可動部材６２は、第１のレール６４に沿って滑動可能に第１のレール６４に結合された第１のガイド６６と、第１のガイド６６の上部に取り付けられた第１の楔形部材６８と、第１の楔形部材６８の上部に取り付けられた第２のレール７０とを含む。第２の固定部材６０は、第２のレール７０に沿って滑動可能に第２のレール７０に結合された第２のガイド７２と、第２のガイド７２の上部及び第２のベース２６の下面に取り付けられた第２の楔形部材７４とを含む。
【００６４】
第１の楔形部材６８の上部は、移動片３２の長手方向へ傾斜した第１の傾斜部７６とされている。第２の楔形部材７４の下面は、第１の傾斜部７６に平行な第２の傾斜部７８とされている。
【００６５】
第２のレール７０は、第１の傾斜部７６にその傾斜方向に延びるように移動不能に取り付けてられている。第２のレール７０に滑動可能に結合された第２のガイド７２は、第２の傾斜部７８に移動不能に取り付けられている。
【００６６】
第１のレール６４は、移動片３２の長手方向に伸びて移動片３２の上面に移動不能に取り付けている。第１のレール６４に滑動可能に結合された第１のガイド６６は、第１の楔形部材６８の下部に移動不能に取り付けられている。
【００６７】
移動片３２に対する第２のベース２６の昇降は、駆動源８２の動力が第１及び第２の駆動力伝達部材７９及び８０を介して第１の楔形部材６８を移動片３２の長手方向に移動させることにより行われる。すなわち、図５及び図７を参照するに、第１の楔形部材６８及びこれに取り付けられた第２のレール７０が移動片３２の長手方向に移動すると、第２の楔形部材７４及びこれが取り付けられた第２のベース２６が、第１の傾斜部７６の傾斜方向に延びる第２のレール７０に沿って、第１の楔形部材６８に対して滑り降り又は滑り昇るように移動される。
【００６８】
このとき、第２のベース２６は、移動規制機構５６により移動片３２の長手方向への移動を阻止されているから、第１の楔形部材６８のみが移動片３２の長手方向に移動する。これにより、第２のベース２６は、移動片３２に対し、その長手方向に移動することなく、下降又は上昇する。また、第１のレール６４及び第１のガイド６６は、第１の楔形部材６８が長手方向へのみ移動することを円滑にする。
【００６９】
第１のレール６４及び第１のガイド６６は、それぞれ、第１の楔形部材６８及び移動片３２の上面に入れ替えて取り付けられていてもよく、また第２のレール７０及び第２のガイド７２は、それぞれ、第２の楔形部材７４の下部及び第１の楔形部材６８の上部に入れ替えて取り付けられていてもよい。
【００７０】
さらに、レール及びガイドを用いずに、第１の楔形部材６８が第２の楔形部材７４の第２の傾斜部７８及び移動片３２の上面に接するように第１の楔形部材６８を配置し、また１の楔形部材の上部及び下部並びに第２の傾斜部７８の下面及び移動片３２の上面に低摩擦物質をシート状に設けて、該低摩擦物質で第１の楔形部材６８の移動を円滑にするようにしてもよい。
【００７１】
第１及び第２の固定部材５８及び６０は、移動片３２の幅方向へ延びる軸線の周りに回転するローラのような回転部材を含む。また、第１及び第２の固定部材５８及び６０は、それぞれ、第２のベース２６の下面及び移動片３２の上面に回転可能に取り付けてもよい。このとき、可動部材６２は、前記回転部材の回転方向に沿って円滑に移動できる。また、第１及び第２の固定部材５８及び６０は、それぞれ、第２のベース２６の下面及び移動片３２の上面に入れ替えて取り付けてられていてもよい。また、可動部材６２は、上部及び下部を入れ替えて配置されていてもよい。
【００７２】
昇降機構５２は、ねじ式のジャッキのようなジャッキを含むことができる。この場合、駆動機構５４は、駆動源としてパルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを含んでいてもよく、該モータによりねじ式のジャッキのねじ部分を回転させて前記ジャッキをＺ方向に伸縮させるような昇降手段であってもよい。
【００７３】
昇降装置２８は、Ｚ方向に伸縮するように配置したシリンダのような駆動機構５４を含み、昇降機構５２を介さずに直接第２のベース２６を移動片３２に対して昇降させてもよい。ただし、駆動機構５４は一般に、その駆動方向へ大きな寸法を有するから、駆動機構５４が移動片３２の長手方向に伸縮するように駆動され、昇降機構５２を介して第２のベース２６が昇降される。
【００７４】
昇降装置２８は、駆動機構５４により直接第２のベース２６を昇降させる場合に比較して、第２のベース２６と移動片３２との間の移動片３２の長手方向に大きな空間を有効に活用できる。昇降装置２８は、駆動機構５４を含まず、昇降作業の作業者により、昇降機構５２を動作させてもよい。
【００７５】
検査装置１０において、前記したテーブルベース３０の上面に平行な面内を二次元的に移動する４つの移動片３２のそれぞれに、各第２のベース２６を昇降可能に支持するように、昇降装置２８を配置することで、受け面２６ｃの位置が３次元的に調整されるから、パネル受けを交換することなく、共通のパネル受けで様々な被検査体の検査をすることができる。
【００７６】
本実施例においては、４つの第２のベース２６のそれぞれに昇降装置２８を配置されているが、検査の対象とされる被検査体１２の端子部２０の数に応じて、１つ、２つ又は３つの第２のベース２６のそれぞれに前記のような昇降装置２８が配置される。昇降装置２８が配置されない第２のベース２６については、板状部材２６ｂの幅寸法を大きくし、又は板状部材２６ｂの高さ位置を合わせる部材を第２のベース２６及び移動片３２間に配置するなどの手段により、４つの受け面２６ｃの高さ位置を揃えておく必要がある。
【００７７】
本実施例においては、また、１つの昇降装置２８が、１つの第２のベース２６を昇降させるように、第２のベース２６と第１のベース２４間に配置されているが、１つの昇降装置２８が、２つ又は３つの第２のベース２６を昇降させるように、第２のベース２６と第１のベース２４との間に配置されてもよい。
【００７８】
昇降装置２８が第２のベース２６を無段階に昇降させる場合に、３つの第２のベース２６が独立して昇降可能となるように昇降装置２８が配置されれば、偏光板１８を備える被検査体１２のいずれの辺の縁部に端子部２０が設けられていても該３つ第２のベース２６を昇降させることで、パネル受け１４は、被検査体１２が傾くことなく、テーブルベース３０に平行に被検査体１２を受けることができる。
【００７９】
［アライメント装置について］
【００８０】
図１及び８〜１１を参照するに、第１の実施例において、検査装置１０は、さらに、受け面２６ｃに平行な面内で二次元的に被検査体１２のアライメントを行うアライメント装置９０を含む。アライメント装置９０は、対向する一対の第２のベース２６の一方及び他方にあって受け面２６ｃの外側にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構９２及び第１の位置決め機構９４と、対向する他の一対の第２のベース２６の一方及び他方にそれぞれ配置された第２のプッシャー機構９６及び第２の位置決め機構９８とを含む。
【００８１】
プッシャー機構９２，９６のそれぞれは、被検査体１２を、プッシャー機構９２，９６に対向する位置決め機構９４，９８に対し進退させる。これに対し、位置決め機構９４，９８のそれぞれは、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）における被検査体１２の基準位置を決定する。
【００８２】
図８〜１０を参照するに、プッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８のそれぞれは、パネル受け面と概ね同じ高さにあって、平面的に見てパネル受け面の外側に位置された押圧部材１００と、押圧部材１００が支持された支柱状の移動体１０２と、移動体１０２ひいては押圧部１００を進退させるアライメント駆動機構１０４と、それらを支持する支持板１０６とを備える。
【００８３】
図示の例では、移動体１０２は上下に延びて、支柱状の形状を有する。押圧部１００は、取り付けピン１０８により移動体１０２の上端部にＺ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に取り付けられたＺ方向に平行な面を有するローラであるが、他の部材であってもよい。
【００８４】
支持板１０６は、板状部材２６ｂの上面に設けられた一対のレール１１０に板状部材２６ｂの長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ移動可能に組み付けられている。両レール１１０は、板状部材２６ｂの幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に間隔をおいて、長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に平行に延びている。
【００８５】
支持板１０６は、ガイド１１２により一方のレール１１０に組み付けられており、また他方のレール１１０の上面に載置されている。このため、一方のレール１１０はガイドレールとして作用する。他方のレール１１０は、上方に開放する雌ねじ穴１１４を長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）の複数箇所のそれぞれに備えている。
【００８６】
他方のレール１１０には、長手方向に延びる長穴１１６を有する帯状の止め金具１１８が載置されていると共に、支持板１０６に相対的移動不能に設けられている。止め金具１１８は、長穴１１６に上方から差し込まれて、雌ねじ穴１１４に螺合されたボルト１２０により、他方のレール１１０に解除可能に取り付けられる。これにより、各支持板１０６は、長手方向における所定の位置に解除可能に固定される。
【００８７】
上記の結果、プッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８のそれぞれは、長手方向における所定の位置に解除可能に固定される。このため、他方のレール１１０は、長手方向におけるプッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８の位置を解除可能に固定する固定レールとして作用する。しかし、長手方向におけるプッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８の位置は、ボルト１２０を螺合する雌ねじ穴１１４と、ボルト１２０に対する止め金具１１８の位置を変更することにより、被検査体１２の種類、大きさ等に応じて選択することができる。
【００８８】
各アライメント駆動機構１０４は、支持板１０６の幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に間隔をおいて支持板１０６の長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に延びる一対のレール１２２と、各レール１２２に支持板１０６の幅方向へ移動可能に嵌合されたスライダ１２４と、両スライダ１２４を連結する連結板１２６と、押圧部材１００を支持板１０６の幅方向へ移動させる駆動源１２８とを備える。
【００８９】
スライダ１２４は、連結板１２６の下面に取り付けられている。駆動源１２８は、支持板１０６の上面に取り付けられている。移動体１０２は連結板１２６の上側に直立状体に取り付けられている。しかし、移動体１０２と連結板１２６とを一体的な構造としてもよい。
【００９０】
図１０に示すように、プッシャー機構９２，９６の各駆動源１２８は、空気圧シリンダや油圧シリンダのような流体圧シリンダ機構を用いている。このシリンダ機構は、そのシリンダが支持板１０６に取り付けられ、ピストンロッドがスライダ１２４に連結されている。
【００９１】
このため、プッシャー機構９２，９６の各アライメント駆動機構１０４は、スライダ１２４を駆動源１２８により第２のベース２６のパネル受け部２６ａに対し進退させることにより、押圧部材１００をパネル受け１４に装着された被検査体１２に対してＸ方向又はＹ方向に進退させる。
【００９２】
図９及び１１に示すように、位置決め機構９４，９８の各駆動源１２８は、パルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを用いている。このため、位置決め機構９４，９８の各アライメント駆動機構１０４は、さらに、対応する駆動源１２８から支持板１０６の幅方向に延びて、対応する駆動源１２８により回転されるボールねじ１３０と、ボールねじ１３０に螺合されたナット１３２とを備える。ナット１３２は、連結板１２６に取り付けられている。
【００９３】
位置決め機構９４，９８の各アライメント駆動機構１０４は、ボールねじ１３０を駆動源１２８により回転させることにより、ナット１３２を第２のベース２６のパネル受け部２６ａに対し進退させ、それにより押圧部材１００をパネル受け１４に装着された被検査体１２に対して進退させる。
【００９４】
上記のような構造を有するアライメント装置９０は、例えば、図１１に示すように、Ｘ方向用の位置決め機構９８の押圧部材１００を、Ｘ方向に移動させて、Ｘ方向における被検査体１２の基準位置に維持すると共に、Ｘ方向用のプッシャー機構９６の押圧部材１００により、被検査体１２をＸ方向用の位置決め機構９８の押圧部１００に対して押す。これにより、被検査体１２はＸ方向のアライメントをされる。
【００９５】
Ｙ方向における被検査体のアライメントは、Ｙ方向用の位置決め機構９４，９４及びＹ方向用のプッシャー機構９２，９２を上記のように動作させることにより行われる。
【００９６】
上記のように位置決め機構９４，９８及び各アライメント駆動機構１０４は、Ｘ方向又はＹ方向における押圧部材１００の前進位置を変更可能に及び解除可能に維持する。また、位置決め機構９４，９８の各アライメント駆動機構１０４は、対応する押圧部材１００の進退方向における押圧部材１００の位置を対向するプッシャー機構９２又は９４の押圧力に抗して解除可能に維持する。
【００９７】
図１２及び１３を参照するに、検査装置２００において、井桁状に組まれた４つの移動片１３４は、結合装置１４２により、第４の開口の大きさを変更するようにＸＹ平面内を二次元的に移動可能にテーブルベース３０に結合されている。
【００９８】
結合装置１４２は、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向に延び、かつＸ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた長板状の一対の第１のスライダ１４４と、第１のスライダ１４４の上方でＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延び、かつＹ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた長板状の一対の第２のスライダ１４６とを備える。
【００９９】
移動片１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃ及び１３４ｄは、それぞれ、一方のスライダ１４６、他方のスライダ１４６、一方のスライダ１４４及び他方のスライダ１４４に対応されて、対応するスライダに支持されている。
【０１００】
第１及び第２のスライダ１４４及び１４６は、テーブルベース３０の上面に設けられている。また、第１及び第２のスライダ１４４及び１４６は、それぞれ、Ｘ方向に延びるレール１４８及びＹ方向に延びるレール１５０に移動可能に、各スライダの一端部及び他端部において結合されている。
【０１０１】
第１及び第２のスライダ１４４及び１４６は、相互に結合されていないから、独立してＸＹ平面内でＸ方向又はＹ方向へ移動可能である。これらスライダに支持された移動片１３４ａ〜１３４ｄは、対応するスライダの移動にともなって移動する。
【０１０２】
第１及び第２のスライダ１４４及び１４６のそれぞれは、移動片駆動機構１５２により、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に移動されて、そのような移動方向における適宜位置に解除可能に維持される。各移動片駆動機構１５２は、第１の実施例における移動片駆動機構５０と同様の機構とすることができる。
【０１０３】
［第２の実施例］
【０１０４】
図１２及び１３を参照するに、検査装置２００は、長板状の４つの移動片１３４を井桁状に組み合わせた第１のベース２４と、各移動片１３４の上方に間隔をおいて配置された第２のベース１３６及び１３８を有するパネル受け１４と、各移動片１３４と対応する第２のベース１３６又は１３８との間に配置されて、対応する第２のベース１３６又は１３８を昇降可能に移動片１３４に支持する昇降装置２８とを含む。
【０１０５】
４つの移動片１３４は、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向に延びる一対の移動片１３４ａ及び１３４ｂと、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向へ延びる移動片１３４ｃ及び１３４ｄとを井桁状に組み立てることにより、第１の実施例と同様に、第４の開口を形成している。
【０１０６】
移動片１３４ａ及び移動片１３４ｂに対応する第２のベース１３６及び１３６は、第１の実施例と同様に、長板状のパネル受け部１３６ａと、長い板状部材１３６ｂと含み、パネル受け部１３６ａ及び板状部材１３６ｂの長手方向を揃え、パネル受け部１３６ａの幅方向がＺ方向となり、板状部材１３６ｂの幅方向がＸ方向（又はＹ方向）となる状態に、パネル受け部１３６ａ及び板状部材１３６ｂをＬ字状に結合している。第２のベース１３６及び１３６は、移動片１３４ａ及び移動片１３４ｂの上方に配置されている。
【０１０７】
移動片１３４ｃ及び移動片１３４ｄに対応する第２のベース１３８及び１３８は、パネル受け部１３８ａを構成する交換部品と、板状部材１３８ｂとを含む。板状部材１３８ｂは、対応する移動片１３４ｃ及び１３４ｄの上方にあって移動片１３４ａ及び移動片１３４ｂの下方に配置されている。
【０１０８】
各板状部材１３８ｂは、昇降装置２８により移動片１３４ｃ及び１３４ｄに対して昇降可能となるように、移動片１３４ａ，１３４ｂの組みと移動片１３４ｃ、１３４ｄの組みとの間に上下方向に間隔をおいて配置されている。
【０１０９】
各交換部品は、移動片１３４ｃ又は移動片１３４ｄに対応する第２のベース１３８又は１３８の上面に取り付けられる。各交換部品は、後に説明するように移動片１３４ａ又は１３４ｂ、ひいては第２のベース１３６又は１３６が移動された後、対向する移動片１３４ａ又は１３４ｂ間の間隔に適した寸法の交換部品が取り付けられる。パネル受け部１３６ａ及びパネル受け部１３８ａは、それぞれ、受け面１３６ｃ及び１３８ｃを含み、これら受け面により、被検査体１２を受けるパネル受け面が形成される。
【０１１０】
上記の結果、４つの移動片１３４ａ〜１３４ｄは、第４の開口の大きさを変更するように移動される。移動片１３４ａ〜１３４ｄの位置が決められた後、移動片１３４ａ及び１３４ｂの間隔に適した前記交換部品が移動片１３４ｃ及び１３４ｄに対応した第２のベース１３８に取り付けられる。
【０１１１】
検査装置２００においても、テーブルベース３０の上面に平行な面内を二次元的に移動する４つの移動片１３４に、第２のベース１３６及び１３８を昇降可能に支持させる昇降装置２８を配置しているから、第２のベース１３６及び１３８の位置が３次元的に調整される.その結果、パネル受けを交換することなく、１つのパネル受けで様々な被検査体の検査ができる。
【０１１２】
第２の実施例において、検査装置は、第１の実施例と同様にアライメント装置のプッシャー機構９２，９６と、位置決め機構９４，９８とを含むことができる。
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
上記実施例においては、いずれも、アライメント装置が位置決め機構を備えているが、各位置決め機構の代わりに位置決めピンを用いてもよい。この場合、例えば、各位置決め機構の押圧部材１００、移動体１０２、アライメント駆動機構１０４等を除去し、位置決めピンを、移動体１０２のように板状部材２６ｂ又は支持板１０６からパネル受け部２６ａの外側を立ち上がるように、板状部材２６ｂ又は支持板１０６に配置すればよい。
【０１１４】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【０１１５】
１０，２００ 平板状被検査体の検査装置
１２ 平板状被検査体
１４ パネル受け
２４、１４０ 第１のベース
２６、１３６、１３８ 第２のべース
２６ａ、１３６ａ、１３８ａ パネル受け部
２６ｂ、１３６ｂ、１３８ｂ 板状部材
２６ｃ、１３６ｃ、１３８ｃ 受け面
２８ 昇降装置
３０ テーブルベース
３２、１３４ 移動片
３４、１４２ 結合装置
５２ 昇降機構
５４ 駆動機構
５６ 移動規制機構
５８ 第１の固定部材
６０ 第２の固定部材
６２ 可動部材
６４ 第１のレール
６６ 第１のガイド
６８ 第１の楔形部材
７０ 第２のレール
７２ 第２のガイド
７４ 第２の楔形部材
７６ 第１の傾斜部
７８ 第２の傾斜部
９０ アライメント装置
９２、９６ プッシャー機構
９４、９８ 位置決め機構
１０４ アライメント駆動機構
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような矩形の平板状被検査体を点灯検査する検査装置は、被検査体が装着されるパネル受けを備える。このパネル受けは、被検査体を受ける受け面を共同して形成する４つのパネル受け部を含む。これらのパネル受け部は、被検査体を安定して支持しつつ、検査用の光の通路となる矩形の開口を形成すべく、被検査体の外周の４つの辺の縁部において被検査体を受けるように配置されている。
【０００３】
ところで、そのような被検査体には、最終製品の画面寸法の種類に応じて、４つの辺の寸法、すなわち外周寸法が異なる様々な種類の被検査体がある。そのような複数種類の被検査体を１つのパネル受けで検査できる検査装置として、例えば、特許文献１に記載の検査装置がある。
【０００４】
特許文献１に記載の検査装置は、第１の開口を有する板状のテーブルベースと、該テーブルベースの上方に間隔をおいて配置されて、被検査体を受けるパネル受けと、前記テーブルベース及び前記パネル受け間に配置されて、前記テーブルベース及び前記パネル受けを結合する結合装置とを含む。
【０００５】
前記パネル受けは、卍型状に組み合わせることで前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成する４つの移動片であって、被検査体を受けるパネル受け部をそれぞれが有する４つの移動片を含み、前記結合装置は、各移動片が前記テーブルベースに平行な面内で二次元的に移動可能に前記移動片と前記テーブルベースとを結合する。
【０００６】
この検査装置によれば、各移動片が前記テーブルベースに平行な面内において移動可能であるから、前記４つの移動片により形成される第２の開口の大きさ、すなわち４つのパネル受け部の配置位置を、被検査体の外周寸法に応じて変更することができる。これにより、様々な種類の被検査体を１つのパネル受けで検査することができる。
【０００７】
しかし、点灯検査される被検査体には、その外周寸法の異なる被検査体の他に、２枚のガラス基板内に液晶を封入したアレイ基板のみの被検査体と、該アレイ基板に通過させる光の偏光を揃える偏光板を、前記アレイ基板の片面又は両面に設けた被検査体とがある。
【０００８】
前記偏光板は、アレイ基板のほぼ全面を覆うように設けられるが、設計上、アレイ基板の通電用の複数の端子を配置した端子部及び該端子部の裏側の部分には設けられない。この端子部は、アレイ基板の外周の４つのいずれかの辺、一般には隣り合う２つの辺に沿った縁部に設けられる。
【０００９】
したがって、パネル受けに対向する面に偏光板を有する被検査体の場合、端子部又はその裏側に偏光板を備えない縁部の厚さ寸法とそれ以外の偏光板を備える縁部の厚さ寸法とが異なる。その結果、パネル受けに対する被検査体の被支持部の高さ位置が異なる。
【００１０】
例えば、偏光板を備えないアレイ基板のみの平坦な被検査体を前記テーブルベースに対して平行に受けるべく、４つのパネル受け部の受け面の高さ位置を同一にしたパネル受けにおいて、偏光板を備える被検査体をパネル受けに載置すると、その被検査体は、偏光板の厚さ寸法に対応した角度だけテーブルベースに対し傾いてパネル受けに受けられる。この被検査体の傾きは、検査時に、検査用の接触子が前記端子に正確に接触できない恐れを生じさせる。
【００１１】
したがって、被検査体が偏光板を備える場合と備えない場合との場合において、パネル受けが被検査体を前記テーブルベースに対して平行に受けるには、アレイ基板のみの被検査体用として４つのパネル受け部の受け面の高さ位置を揃えたパネル受けと、アレイ基板に偏光板が取り付けられた被検査体用に、端子部に対応する縁部を受けるパネル受け部の受け面の高さを偏光板の厚さ寸法分だけ、他の縁部を受けるパネル受け部の受け面に対して高くしたパネル受けとを準備し、被検査体が偏光板を備えるか否かに応じて、パネル受けを交換する必要があった。しかし、パネル受けの交換作業は繁雑で、さらに近年の液晶パネルの大型化により、パネル受けも大型化しており、交換作業の繁雑さ及び危険性が増している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００７−４０７４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、パネル受けを交換することなく、及び被検査体が偏光板を備えるか否かに関わりなく、被検査体を正しく検査可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の平板状被検査体の検査装置は、上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成するように、前記第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースであって、それぞれが平板状被検査体を共同して受ける受け面を有する４つの第２のベースと、少なくとも１つの前記第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置であって、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されて、対応する第２のベースを前記第１のベースに昇降可能に支持させる少なくとも１つの昇降装置とを含む。
【００１５】
前記昇降装置は、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されていてもよく、また前記第２のベースを前記第１のベースに対し昇降させる少なくとも１つの昇降機構と、該昇降機構を駆動させる駆動機構であって、前記第１又は第２のベースに取り付けられた駆動機構とを含むことができる。
【００１６】
前記昇降機構は、互いに対向された第１及び第２の固定部材であって、それぞれ前記第１のベースの上側及び第２のベースの下側に取り付けられた第１及び第２の固定部材と、前記第２のベースの長手方向へ移動可能に前記第１及び第２の固定部材に結合されていると共に、前記駆動機構により前記第２のベースの長手方向へ移動される可動部材とを含むことができ、前記第１の固定部材及び前記可動部材の結合部又は第２の固定部材及び前記可動部材の結合部は、前記第２のベースの長手方向に対し傾斜した方向に前記可動部材に対して相対的に移動可能に結合されていてもよく、前記昇降装置は、さらに、前記第２のベースが前記第１のベースに対し昇降することは許すが、少なくとも前記第２のベースの長手方向へ移動することは阻止する複数の移動規制機構を含むことができる。
【００１７】
前記第１及び第２の固定部材のいずれか一方は、前記第２のベースの長手方向へ延びる第１のレールであって、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられた第１のレールを含むことができ、前記可動部材は、前記第１のレールに沿って移動可能に該第１のレールに結合された第１のガイドと、該第１のガイドに取り付けられた第１の楔形部材であって、前記第２のベースの長手方向に対して傾斜した第１の傾斜部を有する第１の楔形部材と、前記第１の傾斜部に取り付けられてその傾斜方向へ延びる第２のレールとを含むことができ、前記第１及び第２の固定部材の他方は、前記第２のレールに沿って移動可能に前記第２のレールに結合された第２のガイドと、前記第１の傾斜部に平行に対向した第２の傾斜部を備えていてもよく、該第２の傾斜部に前記第２のガイドが取り付けられた第２の楔形部材であって、前記第１及び第２のベースの他方に取り付けられた第２の楔形部材とを含むことができる。
【００１８】
前記検査装置には、２つ、３つ又は４つの前記第２のベースのそれぞれに前記昇降装置が配置されていてもよい。
【００１９】
前記第１の開口は、下側の第３の開口及び上側の第４の開口を含んでいてもよく、前記第１のベースは、第３の開口及び上面を有するテーブルベースと、該テーブルベースの上方において矩形の前記第４の開口を形成するように配置された長い４つの移動片と、前記テーブルベース及び各移動片の間に配置されて前記第４の開口の大きさを変更するように各移動片を前記テーブルベースの上面に平行な面内で二次元的に移動可能に結合している結合装置とを含むことができ、各第２のベースは、前記移動片に対応されて、対応する移動片の上側に配置されていていてもよい。
【００２０】
前記移動規制機構は、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられたリニアブッシュであって、前記昇降機構の昇降方向に貫通した穴を有するリニアブッシュと、前記第１及び第２のベースの他方に固定されたシャフトであって、前記穴に通されたシャフトとを含むことができる。
【００２１】
前記検査装置は、さらに、前記受け面に受けられた平板状被検査体を位置決めるアライメント装置を含むことができ、各第２のベースは、前記受け面を有するパネル受け部を含み、前記アライメント装置は、対向する一対の前記第２のベースの一方及び他方にあって前記受け面の外側にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構及び第１の位置決め機構と、対向する他の一対の前記第２のベースの一方及び他方にそれぞれ配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを備え、前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け部に受けられた平板状被検査体を対向する位置決め機構又はプッシャー機構に押圧する少なくとも１つの押圧部材と、該押圧部材を対応する第２のベースの長手方向及び幅方向に変位させる少なくとも１つのアライメント駆動機構とを有し、各位置決め機構の前記アライメント駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明においては、少なくとも１つの第２のベースをこれに対応する昇降装置により他の第２のベースに対して昇降させることができる。このため、被検査体が受け面に受けられる被支持部に偏光板を備えているか否かに応じて、少なくとも１つの第２のベースの高さ位置を他の第２のベースの高さ位置に対して調整することにより、被検査体を正しい姿勢に受け面に受けることができる。その結果、パネル受けを交換することなく、偏光板の有無に応じて被検査体を正しく検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る検査装置の第１の実施例を示す斜視図である。
【図２】第１の実施例における移動機構を示す概略図である。
【図３】第１の実施例における昇降装置を示す側面図である。
【図４】第１の実施例における昇降装置を示す斜視図である。
【図５】図３におけるＡの部分を拡大した側面図である。
【図６】図３におけるＢの部分を拡大した断面図である。
【図７】図５におけるＡの部分の昇降装置の降下状態を示す側面図である。
【図８】アライメント装置を示す側面図である。
【図９】アライメント装置のプッシャー機構を示す斜視図である。
【図１０】アライメント装置の位置決め機構を示す斜視図である。
【図１１】アライメント装置の動作の概略図である。
【図１２】本発明に係る検査装置の第２の実施例を示す概略図である。
【図１３】第２の実施例における移動機構を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
［用語の説明］
【００２５】
本発明においては、図３において、上下方向をＺ方向又は上下方向といい、左右方向をＸ方向又は左右方向といい、紙背方向をＹ方向又は前後方向という。しかし、それらの方向は検査時の被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００２６】
それゆえに、本発明に係る検査装置は、Ｘ方向及びＹ方向により規定されるＸＹ面が、水平面となる状態、水平面に対し傾斜した状態となる状態等、いずれの状態で使用してもよい。
【００２７】
［第１の実施例］
【００２８】
図１〜３を参照するに、検査装置１０は、液晶表示パネルのような平板状被検査体１２とし、その被検査体１２を所定の電気回路に接続して、点灯検査のような検査をする装置として用いられる。
【００２９】
被検査体１２は、透明な２枚の基板間に液晶を封入したアレイ基板１６と、アレイ基板１６の両面に張り付けられて、通過する光の偏光を揃える偏光板１８とを含む。しかし、被検査体１２には、偏光板１８を含まないものや、アレイ基板１６の上面及び下面のいずれか一方にのみ貼り付けられた偏光板１８を備えたものがある。
【００３０】
アレイ基板１６は、矩形の形状を有しており、また矩形の辺に沿ったいくつかの縁部が複数の端子を設けた端子部２０とし、端子部２０以外の領域を表示部２２としている。偏光板１８は、表示部２２にのみ設けられ、端子部２０及びその裏側には、偏光板１８は設けられていない。すなわち偏光板１８が設けられた表示部２２と、偏光板１８が設けられていない端子部２０とでは、被検査体１２の厚さ寸法が異なる。図１において、アレイ基板１６は、矩形の隣り合う２つ辺に端子部２０を備える。
【００３１】
図１を参照するに、検査装置１０は、上下方向に貫通した第１の開口を中央領域に有する第１のベース２４と、前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成するように第１のベース２４の上方に間隔をおいて配置された４つの第２のベース２６を備えるパネル受け１４と、各第２のベース２６及び第１のベース２４の間に配置されて、各第２のベース２６を第１のベース２４に昇降可能に支持させる昇降装置２８とを含む。
【００３２】
パネル受け１４に受けられた被検査体１２を下方から照明するバックライトユニット（図示せず）は、第１のベース２４の下方に間隔をおいて配置されている。前記第１及び第２の開口は、そのバックライト（図示しない）の光をパネル受け１４に配置された被検査体１２の表示部２２へ導く通路として作用する。
【００３３】
各第２のベース２６は、長い板状のパネル受け部２６ａと、長い板状部材２６ｂとを含み、またパネル受け部２６ａが板状部材２６ｂの幅方向における一方の縁部から立ち上がるように、及び板状部材２６ｂがＸＹ面内に位置する（水平となる）ように、パネル受け部２６ａと板状部材２６ｂとをＬ字状に結合している。各第２のベース２６の、パネル受け部２６ａの長手方向に延びる上端面は、被検査体１２を共同して受ける受け面２６ｃとされている。
【００３４】
図２を参照するに、第１のベース２４は、前記第１の開口の下側部分として作用する第３の開口を有する板状のテーブルベース３０と、前記第１の開口の上側部分をとして作用する第４の開口を形成するように卍型状に組み合わされた長い板状の４つの移動片３２ａ〜３２ｄと、移動片３２ａ〜３２ｄ及びテーブルベース３０の間に配置されて、移動片３２ａ〜３２ｄをＸ方向及びＹ方向に二次元的に移動可能にテーブルベース３０に結合している結合装置３４とを含む。
【００３５】
［移動片について］
【００３６】
対向する一対の移動片３２ａ及び３２ｂはＸＹ平面内をＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延びており、また対向する他の一対の移動片３２ｃ及び３２ｂはＸＹ平面内をＸ方向に間隔をおいてＹ方向に平行に延びている。それらの移動片３２ａ〜３２ｄは、結合装置３４により、第４の開口の大きさを変更するようにＸＹ平面内を二次元的に移動可能にテーブルベース３０に結合されている。
【００３７】
隣り合う２つの移動片３２は、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に一体となって移動可能に、またＹ方向（又はＸ方向）に個々に移動可能に適宜な結合手段により結合されている。これにより、隣り合う移動片３２は、相手の移動片３２が独立してＹ方向（又は、Ｘ方向）へ移動することを妨げることなく、結合されている。
【００３８】
そのような結合手段として、例えば、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びて第４の開口側に開放する、台形の断面形状を有する蟻溝と、該蟻溝に滑動可能に嵌合された蟻柄との組合せを用いることができる。蟻溝は、隣り合う２つの移動片３２の一方の幅方向における第４の開口の側に形成され、蟻柄は隣り合う２つの移動片３２の他方の長手方向における一端縁部に形成される。また、蟻溝と蟻柄との組合せに代えて、レールと、該レールに滑動可能に及び離脱不能に結合されたガイドとの組み合わせのような、他の結合手段を用いてもよい。
【００３９】
［結合装置について］
【００４０】
図２を参照するに、結合装置３４は、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向に伸びかつＸ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた、長い板状の一対の第１のスライダ３６と、第１のスライダ３６の上方でＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延びかつＹ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた、長い板状の一対の第２のスライダ３８とを備える。
【００４１】
第１及び第２のスライダ３６及び３８は、テーブルベース３０の上面に井桁状に配置されている。各第１のスライダ３６は、Ｘ方向へ延びるレール４２に移動可能に、一端部及び他端部において結合されている。各第２のスライダ３８は、Ｙ方向へ延びるレール４４に移動可能に、一端部及び他端部において結合されている。各第２のスライダ３８は、第１及び第２の結合部材４０ａ及び４０ｂにより、Ｙ方向へ移動可能に両第１のスライダ３６に結合されている。
【００４２】
結合部材４０ａ及び４０ｂのそれぞれは、対応する第１のスライダ３６に設けられかつその第１のスライダ３６の長手方向へ延びる一対のレール４６ａ（又は、４６ｂ）にＹ方向に移動可能に結合されていると共に、対応する第２のスライダ３８に設けられかつその第２のスライダ３８の長手方向へ延びる一対のレール４８ａ（又は、４８ｂ）にＸ方向に移動可能に結合されている。これにより、結合部材４０ａ及び４０ｂは、テーブルベース３０に対し、ＸＹ面内を二次元的に移動可能である。
【００４３】
図示の例では、Ｘ方向へ延びる移動片３２ａ及び３２ｂは、それぞれ、下側に設けられてＸ方向へ延びるレール４１ａ及び４１ｂを有する。レール４１ａ及び４１ｂは、それぞれ、結合部材４０ｂ及び４０ｂに設けられた一対のガイド４３ｂ及び４３ｂに相対的に移動可能に結合されている。これにより、移動片３２ａ及び３２ｂは、それぞれ、Ｘ方向へ移動可能に及びＹ方向へ移動不能に、第２のスライダ３８及び３８に結合さている。
【００４４】
同様に、Ｙ方向へ延びる移動片３２ｃ及び３２ｄは、それぞれ、下側に設けられてＹ方向へ延びるレール４１ｃ及び４１ｄを有する。レール４１ｃ及び４１ｄは、それぞれ、結合部材４０ａ及び４０ａに設けられた一対のガイド４３ａ及び４３ａに相対的に移動可能に結合されている。これにより、移動片３２ｃ及び３２ｄは、それぞれ、Ｙ方向へ移動可能に及びＸ方向へ移動不能に、第１のスライダ３６及び３６に結合さている。
【００４５】
第１及び第２のスライダ３６及び３８のそれぞれは、移動片駆動機構５０により、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に移動されて、そのような移動方向における適宜位置に解除可能に維持される。
【００４６】
各移動片駆動機構５０として、テーブルベース３０の上面に配置されたモータと、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に延びる状態に前記モータに連結された、該モータにより回転されるボールねじと、該ボールねじに螺合されかつ第１及び第２のスライダ３６又は３８に連結具により連結されたナットとを含む機構が用いられる。モータはパルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータである。
【００４７】
例えば、両第１のスライダ３６が対応する移動片駆動機構５０により相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ移動されると、結合部材４０ａ及び４０ａを介して第１のスライダ３６及び３６に結合されたＹ方向へ延びる移動片３２ｃ及び３２ｄが相寄り相離れる方向（Ｘ方向）へ結合部材４０ａ及び４０ａと共に移動されると共に、移動片３２ｃ及び３２ｄに前記した蟻溝、蟻柄等の結合手段により連結された移動片３２ａ及び３２ｂが移動片３２ｃ及び３２ｄの移動にともなってＸ方向へ移動される。
【００４８】
第１のスライダ３６がＸ方向へ移動したとき、第２のスライダ３８及び３８に対する移動片３２ａ及び３２ｂのＸ方向への移動は、移動片３２ａ及び３２ｂに設けられてＸ方向へ延びるレール４１ａ及び４１ｂと、各結合部材に設けられたガイド４３ｂ及び４３ｂとの間の相対的な移動により、許される。
【００４９】
また、両第２のスライダ３８が対応する移動片駆動機構５０により相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ移動されると、結合部材４０ｂ及び４０ｂを介して第２のスライダ３８及び３８に連結されたＹ方向へ延びる移動片３２ａ及び３２ｂが相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ結合部材４０ｂ及び４４ｂと共に移動されると共に、移動片３２ａ及び３２ｂに前記した蟻溝、蟻柄等の結合手段により連結された移動片３２ｃ及び３２ｄが移動片３２ａ及び３２ｂの移動にともなってＹ方向へ移動される。
【００５０】
第２のスライダ３８がＹ方向へ移動したとき、第１のスライダ３６及び３６に対する移動片３２ｃ及び３２ｄのＹ方向への移動は、移動片３２ｃ及び３２ｄに設けられてＹ方向へ延びるレール４１ｃ及び４１ｄと、結合部材４０ｂ及び４０ｂに設けられたガイド４３ａ及び４３ａとの間の相対的な移動により、許される。
【００５１】
これにより、４つの移動片３２ａ〜３２ｄは、第４の開口の大きさを変更するように移動される。その結果、第４の開口、ひいては後に説明する第２の開口の大きさを、検査すべき被検査体１２の平面寸法に応じて変更することができる。この作業は、被検査体１２の点灯試験に先立って行われる。
【００５２】
［昇降装置について］
【００５３】
図３〜６を参照するに、各第２のベース２６は、対応する移動片３２の直上に間隔をおいて配置されており、昇降装置２８は、第２のベース２６を対応する移動片３２に対して昇降可能に支持すべく、第２のベース２６と対応する移動片３２との間に配置されている。
【００５４】
図４を参照するに、昇降装置２８は、第２のベース２６を昇降可能に支持する４つの昇降機構５２と、これら昇降機構５２に連結されて昇降機構５２を駆動させる駆動機構５４と、第２のベース２６が上下方向（Ｚ方向）に昇降することは許すが、左右方向及び前後方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動することは阻止する６つの移動規制機構５６とを含む。昇降機構５２、駆動機構５４及び移動規制機構５６の数は、被検査体１２の寸法、重量、及びパネル受け１４の大きさに等に基づいて決定される。
【００５５】
駆動機構５４は、対応する移動片３２の長手方向に間隔をおいて移動片３２の長手方向と直交する方向へ延びる２つの第１の駆動力伝達部材７９と、両第１の駆動力伝達部材７９に連結された第２の駆動力伝達部材８０と、第２の駆動力伝達部材８０に連結されて、対応する第２の駆動力伝達部材８０を対応する移動片３２に長手方向へ移動させる駆動源８２と、移動片３２に取り付けられて第１の駆動力伝達部材７９を移動片３２の長手方向に移動可能に支持する支持部材８４とを含む。
【００５６】
各第１の駆動力伝達部材７９は、移動片３２の幅方向に延びる長い板状（又は、棒状）の形状を有しており、また移動片３２の幅方向に間隔をおいて配置された一対の昇降機構５２にその一端又は他端で結合されている。第２の駆動力伝達部材８０は、移動片３２の長手方向に延びる長い板状（又は、棒状）の形状を有しており、また２つの第１の駆動力伝達部材７９に連結されて、その一端で駆動源８２に連結されている。
【００５７】
駆動源８２は、第２の駆動力伝達部材８０を移動片３２の長手方向に移動させ、これにより、第２の駆動力伝達部材８０に連結された第１の駆動力伝達部材７９を介して昇降機構５２を駆動させる。駆動源８２は、空気圧シリンダや油圧シリンダのような流体圧シリンダ機構を含むことができる。このシリンダ機構は、そのシリンダが移動片３２又は第２のベース２６に取り付けられ、ピストンロッドが第２の駆動力伝達部材８０に連結される。
【００５８】
しかし、駆動源８２は、シリンダ機構に代えて、パルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを含むことができる。この場合、第２の駆動力伝達部材８０はボールねじ及び該ボールねじに螺合されたナットを有し、第１の駆動力伝達部材７９は前記ナットに結合される。これにより、前記モータで前記ボールねじを回転させることにより、前記ナットを移動片３２の長手方向に進退させ、ひいては第１の駆動力伝達部材７９を介して後に説明する可動部材６２を移動片３２の長手方向に移動させる。
【００５９】
図３、４及び６を参照するに、移動規制機構５６は、上下方向に貫通する貫通穴を有するリニアブッシュ８６と、リニアブッシュ８６の貫通穴に嵌合されたシャフト８８とを含む。リニアブッシュ８６及びシャフト８８は、それぞれ、第２のベース２６及び移動片３２に取り付けられている。移動規制機構５６は、また、リニアブッシュ８６の貫通穴に連続して第２のベース２６に設けられた穴８９を含む。
【００６０】
シャフト８８は、リニアブッシュ８６の穴径よりやや小さいが、概ね同一の直径寸法を有する。これにより、シャフト８８は、リニアブッシュ８６がシャフト８８に対してＸ方向及びＹ方向へ移動することを阻止し、ひいては第２のベース２６が移動片３２に対してＸ方向及びＹ方向へ移動することを阻止する。
【００６１】
しかし、リニアブッシュ８６の貫通穴の内壁には複数の球体が設けられ、シャフト８８がリニアブッシュ８６に対して上下方向に滑動可能とされているから、第２のベース２６が移動片３２に対して上下方向へ移動すること、すなわち昇降することは可能である。
【００６２】
図５を参照するに、各昇降機構５２は、移動片３２の上面及び第２のベース２６の下面にそれぞれ取り付けられた第１及び第２の固定部材５８及び６０と、第２のベース２６の長手方向へ移動可能に第１及び第２の固定部材５８及び６０に結合された可動部材６２とを含む。
【００６３】
第１の固定部材５８は、移動片３２に取り付けられた第１のレール６４を含む。可動部材６２は、第１のレール６４に沿って滑動可能に第１のレール６４に結合された第１のガイド６６と、第１のガイド６６の上部に取り付けられた第１の楔形部材６８と、第１の楔形部材６８の上部に取り付けられた第２のレール７０とを含む。第２の固定部材６０は、第２のレール７０に沿って滑動可能に第２のレール７０に結合された第２のガイド７２と、第２のガイド７２の上部及び第２のベース２６の下面に取り付けられた第２の楔形部材７４とを含む。
【００６４】
第１の楔形部材６８の上部は、移動片３２の長手方向へ傾斜した第１の傾斜部７６とされている。第２の楔形部材７４の下面は、第１の傾斜部７６に平行な第２の傾斜部７８とされている。
【００６５】
第２のレール７０は、第１の傾斜部７６にその傾斜方向に延びるように移動不能に取り付けてられている。第２のレール７０に滑動可能に結合された第２のガイド７２は、第２の傾斜部７８に移動不能に取り付けられている。
【００６６】
第１のレール６４は、移動片３２の長手方向に伸びて移動片３２の上面に移動不能に取り付けている。第１のレール６４に滑動可能に結合された第１のガイド６６は、第１の楔形部材６８の下部に移動不能に取り付けられている。
【００６７】
移動片３２に対する第２のベース２６の昇降は、駆動源８２の動力が第１及び第２の駆動力伝達部材７９及び８０を介して第１の楔形部材６８を移動片３２の長手方向に移動させることにより行われる。すなわち、図５及び図７を参照するに、第１の楔形部材６８及びこれに取り付けられた第２のレール７０が移動片３２の長手方向に移動すると、第２の楔形部材７４及びこれが取り付けられた第２のベース２６が、第１の傾斜部７６の傾斜方向に延びる第２のレール７０に沿って、第１の楔形部材６８に対して滑り降り又は滑り昇るように移動される。
【００６８】
このとき、第２のベース２６は、移動規制機構５６により移動片３２の長手方向への移動を阻止されているから、第１の楔形部材６８のみが移動片３２の長手方向に移動する。これにより、第２のベース２６は、移動片３２に対し、その長手方向に移動することなく、下降又は上昇する。また、第１のレール６４及び第１のガイド６６は、第１の楔形部材６８が長手方向へのみ移動することを円滑にする。
【００６９】
第１のレール６４及び第１のガイド６６は、それぞれ、第１の楔形部材６８及び移動片３２の上面に入れ替えて取り付けられていてもよく、また第２のレール７０及び第２のガイド７２は、それぞれ、第２の楔形部材７４の下部及び第１の楔形部材６８の上部に入れ替えて取り付けられていてもよい。
【００７０】
さらに、レール及びガイドを用いずに、第１の楔形部材６８が第２の楔形部材７４の第２の傾斜部７８及び移動片３２の上面に接するように第１の楔形部材６８を配置し、また１の楔形部材の上部及び下部並びに第２の傾斜部７８の下面及び移動片３２の上面に低摩擦物質をシート状に設けて、該低摩擦物質で第１の楔形部材６８の移動を円滑にするようにしてもよい。
【００７１】
第１及び第２の固定部材５８及び６０は、移動片３２の幅方向へ延びる軸線の周りに回転するローラのような回転部材を含む。また、第１及び第２の固定部材５８及び６０は、それぞれ、第２のベース２６の下面及び移動片３２の上面に回転可能に取り付けてもよい。このとき、可動部材６２は、前記回転部材の回転方向に沿って円滑に移動できる。また、第１及び第２の固定部材５８及び６０は、それぞれ、第２のベース２６の下面及び移動片３２の上面に入れ替えて取り付けてられていてもよい。また、可動部材６２は、上部及び下部を入れ替えて配置されていてもよい。
【００７２】
昇降機構５２は、ねじ式のジャッキのようなジャッキを含むことができる。この場合、駆動機構５４は、駆動源としてパルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを含んでいてもよく、該モータによりねじ式のジャッキのねじ部分を回転させて前記ジャッキをＺ方向に伸縮させるような昇降手段であってもよい。
【００７３】
昇降装置２８は、Ｚ方向に伸縮するように配置したシリンダのような駆動機構５４を含み、昇降機構５２を介さずに直接第２のベース２６を移動片３２に対して昇降させてもよい。ただし、駆動機構５４は一般に、その駆動方向へ大きな寸法を有するから、駆動機構５４が移動片３２の長手方向に伸縮するように駆動され、昇降機構５２を介して第２のベース２６が昇降される。
【００７４】
昇降装置２８は、駆動機構５４により直接第２のベース２６を昇降させる場合に比較して、第２のベース２６と移動片３２との間の移動片３２の長手方向に大きな空間を有効に活用できる。昇降装置２８は、駆動機構５４を含まず、昇降作業の作業者により、昇降機構５２を動作させてもよい。
【００７５】
検査装置１０において、前記したテーブルベース３０の上面に平行な面内を二次元的に移動する４つの移動片３２のそれぞれに、各第２のベース２６を昇降可能に支持するように、昇降装置２８を配置することで、受け面２６ｃの位置が３次元的に調整されるから、パネル受けを交換することなく、共通のパネル受けで様々な被検査体の検査をすることができる。
【００７６】
本実施例においては、４つの第２のベース２６のそれぞれに昇降装置２８を配置されているが、検査の対象とされる被検査体１２の端子部２０の数に応じて、１つ、２つ又は３つの第２のベース２６のそれぞれに前記のような昇降装置２８が配置される。昇降装置２８が配置されない第２のベース２６については、板状部材２６ｂの幅寸法を大きくし、又は板状部材２６ｂの高さ位置を合わせる部材を第２のベース２６及び移動片３２間に配置するなどの手段により、４つの受け面２６ｃの高さ位置を揃えておく必要がある。
【００７７】
本実施例においては、また、１つの昇降装置２８が、１つの第２のベース２６を昇降させるように、第２のベース２６と第１のベース２４間に配置されているが、１つの昇降装置２８が、２つ又は３つの第２のベース２６を昇降させるように、第２のベース２６と第１のベース２４との間に配置されてもよい。
【００７８】
昇降装置２８が第２のベース２６を無段階に昇降させる場合に、３つの第２のベース２６が独立して昇降可能となるように昇降装置２８が配置されれば、偏光板１８を備える被検査体１２のいずれの辺の縁部に端子部２０が設けられていても該３つ第２のベース２６を昇降させることで、パネル受け１４は、被検査体１２が傾くことなく、テーブルベース３０に平行に被検査体１２を受けることができる。
【００７９】
［アライメント装置について］
【００８０】
図１及び８〜１１を参照するに、第１の実施例において、検査装置１０は、さらに、受け面２６ｃに平行な面内で二次元的に被検査体１２のアライメントを行うアライメント装置９０を含む。アライメント装置９０は、対向する一対の第２のベース２６の一方及び他方にあって受け面２６ｃの外側にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構９２及び第１の位置決め機構９４と、対向する他の一対の第２のベース２６の一方及び他方にそれぞれ配置された第２のプッシャー機構９６及び第２の位置決め機構９８とを含む。
【００８１】
プッシャー機構９２，９６のそれぞれは、被検査体１２を、プッシャー機構９２，９６に対向する位置決め機構９４，９８に対し進退させる。これに対し、位置決め機構９４，９８のそれぞれは、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）における被検査体１２の基準位置を決定する。
【００８２】
図８〜１０を参照するに、プッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８のそれぞれは、パネル受け面と概ね同じ高さにあって、平面的に見てパネル受け面の外側に位置された押圧部材１００と、押圧部材１００が支持された支柱状の移動体１０２と、移動体１０２ひいては押圧部１００を進退させるアライメント駆動機構１０４と、それらを支持する支持板１０６とを備える。
【００８３】
図示の例では、移動体１０２は上下に延びて、支柱状の形状を有する。押圧部１００は、取り付けピン１０８により移動体１０２の上端部にＺ方向へ延びる軸線の周りに回転可能に取り付けられたＺ方向に平行な面を有するローラであるが、他の部材であってもよい。
【００８４】
支持板１０６は、板状部材２６ｂの上面に設けられた一対のレール１１０に板状部材２６ｂの長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ移動可能に組み付けられている。両レール１１０は、板状部材２６ｂの幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に間隔をおいて、長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に平行に延びている。
【００８５】
支持板１０６は、ガイド１１２により一方のレール１１０に組み付けられており、また他方のレール１１０の上面に載置されている。このため、一方のレール１１０はガイドレールとして作用する。他方のレール１１０は、上方に開放する雌ねじ穴１１４を長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）の複数箇所のそれぞれに備えている。
【００８６】
他方のレール１１０には、長手方向に延びる長穴１１６を有する帯状の止め金具１１８が載置されていると共に、支持板１０６に相対的移動不能に設けられている。止め金具１１８は、長穴１１６に上方から差し込まれて、雌ねじ穴１１４に螺合されたボルト１２０により、他方のレール１１０に解除可能に取り付けられる。これにより、各支持板１０６は、長手方向における所定の位置に解除可能に固定される。
【００８７】
上記の結果、プッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８のそれぞれは、長手方向における所定の位置に解除可能に固定される。このため、他方のレール１１０は、長手方向におけるプッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８の位置を解除可能に固定する固定レールとして作用する。しかし、長手方向におけるプッシャー機構９２，９６及び位置決め機構９４，９８の位置は、ボルト１２０を螺合する雌ねじ穴１１４と、ボルト１２０に対する止め金具１１８の位置を変更することにより、被検査体１２の種類、大きさ等に応じて選択することができる。
【００８８】
各アライメント駆動機構１０４は、支持板１０６の幅方向（Ｙ方向又はＸ方向）に間隔をおいて支持板１０６の長手方向（Ｘ方向又はＹ方向）に延びる一対のレール１２２と、各レール１２２に支持板１０６の幅方向へ移動可能に嵌合されたスライダ１２４と、両スライダ１２４を連結する連結板１２６と、押圧部材１００を支持板１０６の幅方向へ移動させる駆動源１２８とを備える。
【００８９】
スライダ１２４は、連結板１２６の下面に取り付けられている。駆動源１２８は、支持板１０６の上面に取り付けられている。移動体１０２は連結板１２６の上側に直立状体に取り付けられている。しかし、移動体１０２と連結板１２６とを一体的な構造としてもよい。
【００９０】
図１０に示すように、プッシャー機構９２，９６の各駆動源１２８は、空気圧シリンダや油圧シリンダのような流体圧シリンダ機構を用いている。このシリンダ機構は、そのシリンダが支持板１０６に取り付けられ、ピストンロッドがスライダ１２４に連結されている。
【００９１】
このため、プッシャー機構９２，９６の各アライメント駆動機構１０４は、スライダ１２４を駆動源１２８により第２のベース２６のパネル受け部２６ａに対し進退させることにより、押圧部材１００をパネル受け１４に装着された被検査体１２に対してＸ方向又はＹ方向に進退させる。
【００９２】
図９及び１１に示すように、位置決め機構９４，９８の各駆動源１２８は、パルスモータのように回転角度位置を制御可能のモータを用いている。このため、位置決め機構９４，９８の各アライメント駆動機構１０４は、さらに、対応する駆動源１２８から支持板１０６の幅方向に延びて、対応する駆動源１２８により回転されるボールねじ１３０と、ボールねじ１３０に螺合されたナット１３２とを備える。ナット１３２は、連結板１２６に取り付けられている。
【００９３】
位置決め機構９４，９８の各アライメント駆動機構１０４は、ボールねじ１３０を駆動源１２８により回転させることにより、ナット１３２を第２のベース２６のパネル受け部２６ａに対し進退させ、それにより押圧部材１００をパネル受け１４に装着された被検査体１２に対して進退させる。
【００９４】
上記のような構造を有するアライメント装置９０は、例えば、図１１に示すように、Ｘ方向用の位置決め機構９８の押圧部材１００を、Ｘ方向に移動させて、Ｘ方向における被検査体１２の基準位置に維持すると共に、Ｘ方向用のプッシャー機構９６の押圧部材１００により、被検査体１２をＸ方向用の位置決め機構９８の押圧部１００に対して押す。これにより、被検査体１２はＸ方向のアライメントをされる。
【００９５】
Ｙ方向における被検査体のアライメントは、Ｙ方向用の位置決め機構９４，９４及びＹ方向用のプッシャー機構９２，９２を上記のように動作させることにより行われる。
【００９６】
上記のように位置決め機構９４，９８及び各アライメント駆動機構１０４は、Ｘ方向又はＹ方向における押圧部材１００の前進位置を変更可能に及び解除可能に維持する。また、位置決め機構９４，９８の各アライメント駆動機構１０４は、対応する押圧部材１００の進退方向における押圧部材１００の位置を対向するプッシャー機構９２又は９４の押圧力に抗して解除可能に維持する。
【００９７】
図１２及び１３を参照するに、検査装置２００において、井桁状に組まれた４つの移動片１３４は、結合装置１４２により、第４の開口の大きさを変更するようにＸＹ平面内を二次元的に移動可能にテーブルベース３０に結合されている。
【００９８】
結合装置１４２は、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向に延び、かつＸ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた長板状の一対の第１のスライダ１４４と、第１のスライダ１４４の上方でＹ方向に間隔をおいてＸ方向に平行に延び、かつＹ方向へ移動可能にテーブルベース３０に取付けられた長板状の一対の第２のスライダ１４６とを備える。
【００９９】
移動片１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃ及び１３４ｄは、それぞれ、一方のスライダ１４６、他方のスライダ１４６、一方のスライダ１４４及び他方のスライダ１４４に対応されて、対応するスライダに支持されている。
【０１００】
第１及び第２のスライダ１４４及び１４６は、テーブルベース３０の上面に設けられている。また、第１及び第２のスライダ１４４及び１４６は、それぞれ、Ｘ方向に延びるレール１４８及びＹ方向に延びるレール１５０に移動可能に、各スライダの一端部及び他端部において結合されている。
【０１０１】
第１及び第２のスライダ１４４及び１４６は、相互に結合されていないから、独立してＸＹ平面内でＸ方向又はＹ方向へ移動可能である。これらスライダに支持された移動片１３４ａ〜１３４ｄは、対応するスライダの移動にともなって移動する。
【０１０２】
第１及び第２のスライダ１４４及び１４６のそれぞれは、移動片駆動機構１５２により、Ｘ方向（又は、Ｙ方向）に移動されて、そのような移動方向における適宜位置に解除可能に維持される。各移動片駆動機構１５２は、第１の実施例における移動片駆動機構５０と同様の機構とすることができる。
【０１０３】
［第２の実施例］
【０１０４】
図１２及び１３を参照するに、検査装置２００は、長板状の４つの移動片１３４を井桁状に組み合わせた第１のベース２４と、各移動片１３４の上方に間隔をおいて配置された第２のベース１３６及び１３８を有するパネル受け１４と、各移動片１３４と対応する第２のベース１３６又は１３８との間に配置されて、対応する第２のベース１３６又は１３８を昇降可能に移動片１３４に支持する昇降装置２８とを含む。
【０１０５】
４つの移動片１３４は、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向に延びる一対の移動片１３４ａ及び１３４ｂと、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向へ延びる移動片１３４ｃ及び１３４ｄとを井桁状に組み立てることにより、第１の実施例と同様に、第４の開口を形成している。
【０１０６】
移動片１３４ａ及び移動片１３４ｂに対応する第２のベース１３６及び１３６は、第１の実施例と同様に、長板状のパネル受け部１３６ａと、長い板状部材１３６ｂと含み、パネル受け部１３６ａ及び板状部材１３６ｂの長手方向を揃え、パネル受け部１３６ａの幅方向がＺ方向となり、板状部材１３６ｂの幅方向がＸ方向（又はＹ方向）となる状態に、パネル受け部１３６ａ及び板状部材１３６ｂをＬ字状に結合している。第２のベース１３６及び１３６は、移動片１３４ａ及び移動片１３４ｂの上方に配置されている。
【０１０７】
移動片１３４ｃ及び移動片１３４ｄに対応する第２のベース１３８及び１３８は、パネル受け部１３８ａを構成する交換部品と、板状部材１３８ｂとを含む。板状部材１３８ｂは、対応する移動片１３４ｃ及び１３４ｄの上方にあって移動片１３４ａ及び移動片１３４ｂの下方に配置されている。
【０１０８】
各板状部材１３８ｂは、昇降装置２８により移動片１３４ｃ及び１３４ｄに対して昇降可能となるように、移動片１３４ａ，１３４ｂの組みと移動片１３４ｃ、１３４ｄの組みとの間に上下方向に間隔をおいて配置されている。
【０１０９】
各交換部品は、移動片１３４ｃ又は移動片１３４ｄに対応する第２のベース１３８又は１３８の上面に取り付けられる。各交換部品は、後に説明するように移動片１３４ａ又は１３４ｂ、ひいては第２のベース１３６又は１３６が移動された後、対向する移動片１３４ａ又は１３４ｂ間の間隔に適した寸法の交換部品が取り付けられる。パネル受け部１３６ａ及びパネル受け部１３８ａは、それぞれ、受け面１３６ｃ及び１３８ｃを含み、これら受け面により、被検査体１２を受けるパネル受け面が形成される。
【０１１０】
上記の結果、４つの移動片１３４ａ〜１３４ｄは、第４の開口の大きさを変更するように移動される。移動片１３４ａ〜１３４ｄの位置が決められた後、移動片１３４ａ及び１３４ｂの間隔に適した前記交換部品が移動片１３４ｃ及び１３４ｄに対応した第２のベース１３８に取り付けられる。
【０１１１】
検査装置２００においても、テーブルベース３０の上面に平行な面内を二次元的に移動する４つの移動片１３４に、第２のベース１３６及び１３８を昇降可能に支持させる昇降装置２８を配置しているから、第２のベース１３６及び１３８の位置が３次元的に調整される.その結果、パネル受けを交換することなく、１つのパネル受けで様々な被検査体の検査ができる。
【０１１２】
第２の実施例において、検査装置は、第１の実施例と同様にアライメント装置のプッシャー機構９２，９６と、位置決め機構９４，９８とを含むことができる。
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
上記実施例においては、いずれも、アライメント装置が位置決め機構を備えているが、各位置決め機構の代わりに位置決めピンを用いてもよい。この場合、例えば、各位置決め機構の押圧部材１００、移動体１０２、アライメント駆動機構１０４等を除去し、位置決めピンを、移動体１０２のように板状部材２６ｂ又は支持板１０６からパネル受け部２６ａの外側を立ち上がるように、板状部材２６ｂ又は支持板１０６に配置すればよい。
【０１１４】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【０１１５】
１０，２００ 平板状被検査体の検査装置
１２ 平板状被検査体
１４ パネル受け
２４、１４０ 第１のベース
２６、１３６、１３８ 第２のべース
２６ａ、１３６ａ、１３８ａ パネル受け部
２６ｂ、１３６ｂ、１３８ｂ 板状部材
２６ｃ、１３６ｃ、１３８ｃ 受け面
２８ 昇降装置
３０ テーブルベース
３２、１３４ 移動片
３４、１４２ 結合装置
５２ 昇降機構
５４ 駆動機構
５６ 移動規制機構
５８ 第１の固定部材
６０ 第２の固定部材
６２ 可動部材
６４ 第１のレール
６６ 第１のガイド
６８ 第１の楔形部材
７０ 第２のレール
７２ 第２のガイド
７４ 第２の楔形部材
７６ 第１の傾斜部
７８ 第２の傾斜部
９０ アライメント装置
９２、９６ プッシャー機構
９４、９８ 位置決め機構
１０４ アライメント駆動機構
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、
前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成するように、前記第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースであって、それぞれが平板状被検査体を共同して受ける受け面を有する４つの第２のベースと、
少なくとも１つの前記第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置であって、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されて、対応する第２のベースを前記第１のベースに昇降可能に支持させる少なくとも１つの昇降装置とを含む、平板状被検査体の検査装置。
【請求項２】
前記昇降装置は、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されて、前記第２のベースを前記第１のベースに対し昇降させる少なくとも１つの昇降機構と、該昇降機構を駆動させる駆動機構であって、前記第１又は第２のベースに取り付けられた駆動機構とを含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記昇降機構は、互いに対向された第１及び第２の固定部材であって、それぞれ、前記第１のベースの上側及び第２のベースの下側に取り付けられた第１及び第２の固定部材と、前記第２のベースの長手方向へ移動可能に前記第１及び第２の固定部材に結合されていると共に、前記駆動機構により前記第２のベースの長手方向へ移動される可動部材とを含み、
前記第１の固定部材及び前記可動部材の結合部又は第２の固定部材及び前記可動部材の結合部は、前記第２のベースの長手方向に対し傾斜した方向に前記可動部材に対して相対的に移動可能に結合されており、
前記昇降装置は、さらに、前記第２のベースが前記第１のベースに対し昇降することは許すが、少なくとも前記第２のベースの長手方向へ移動することは阻止する複数の移動規制機構を含む、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の固定部材のいずれか一方は、前記第２のベースの長手方向へ伸びる第１のレールであって、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられた第１のレールを含み、
前記可動部材は、前記第１のレールに沿って移動可能に該第１のレールに結合された第１のガイドと、該第１のガイドに取り付けられた第１の楔形部材であって、前記第２のベースの長手方向に対して傾斜した第１の傾斜部を有する第１の楔形部材と、前記第１の傾斜部に取り付けられてその傾斜方向へ伸びる第２のレールとを含み、
前記第１及び第２の固定部材の他方は、前記第２のレールに沿って移動可能に前記第２のレールに結合された第２のガイドと、前記第１の傾斜部に平行に対向した第２の傾斜部を備え、該第２の傾斜部に前記第２のガイドが取り付けられた第２の楔形部材であって、前記第１及び第２のベースの他方に取り付けられた第２の楔形部材とを含む、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
２つ、３つ又は４つの前記第２のベースのそれぞれに前記昇降装置が配置されている、請求項１から４のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１の開口は、下側の第３の開口及び上側の第４の開口を含み、前記第１のベースは、第３の開口及び上面を有するテーブルベースと、該テーブルベースの上方において矩形の前記第４の開口を形成するように配置された長い４つの移動片と、前記テーブルベース及び各移動片の間に配置されて前記第４の開口の大きさを変更するように各移動片を前記テーブルベースの上面に平行な面内で二次元的に移動可能に結合している結合装置とを含み、各第２のベースは、前記移動片に対応されて、対応する移動片の上側に配置されている、請求項１から５のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項７】
前記移動規制機構は、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられたリニアブッシュであって、前記昇降機構の昇降方向に貫通した穴を有するリニアブッシュと、前記第１及び第２のベースの他方に固定されたシャフトであって、前記穴に通されたシャフトとを含む、請求項２から６のいずれか１に記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査装置は、さらに、前記受け面に受けられた平板状被検査体を位置決めるアライメント装置を含み、
各第２のベースは、前記受け面を有するパネル受け部を含み、
前記アライメント装置は、
対向する一対の前記第２のベースの一方及び他方にあって前記受け面の外側にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構及び第１の位置決め機構と、対向する他の一対の前記第２のベースの一方及び他方にそれぞれ配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを備え、
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け部に受けられた平板状被検査体を対向する位置決め機構又はプッシャー機構に押圧する少なくとも１つの押圧部材と、該押圧部材を対応する第２のベースの長手方向及び幅方向に変位させる少なくとも１つのアライメント駆動機構とを有し、
各位置決め機構の前記アライメント駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持する、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１】
上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、
前記第１の開口に対向する矩形の第２の開口を共同して形成するように、前記第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースであって、それぞれが平板状被検査体を共同して受ける受け面を有する４つの第２のベースと、
少なくとも１つの前記第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置であって、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されて、対応する第２のベースを前記第１のベースに昇降可能に支持させる少なくとも１つの昇降装置とを含む、平板状被検査体の検査装置。
【請求項２】
前記昇降装置は、対応する第２のベースと前記第１のベースとの間に配置されて、前記第２のベースを前記第１のベースに対し昇降させる少なくとも１つの昇降機構と、該昇降機構を駆動させる駆動機構であって、前記第１又は第２のベースに取り付けられた駆動機構とを含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記昇降機構は、互いに対向された第１及び第２の固定部材であって、それぞれ、前記第１のベースの上側及び第２のベースの下側に取り付けられた第１及び第２の固定部材と、前記第２のベースの長手方向へ移動可能に前記第１及び第２の固定部材に結合されていると共に、前記駆動機構により前記第２のベースの長手方向へ移動される可動部材とを含み、
前記第１の固定部材及び前記可動部材の結合部又は第２の固定部材及び前記可動部材の結合部は、前記第２のベースの長手方向に対し傾斜した方向に前記可動部材に対して相対的に移動可能に結合されており、
前記昇降装置は、さらに、前記第２のベースが前記第１のベースに対し昇降することは許すが、少なくとも前記第２のベースの長手方向へ移動することは阻止する複数の移動規制機構を含む、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の固定部材のいずれか一方は、前記第２のベースの長手方向へ伸びる第１のレールであって、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられた第１のレールを含み、
前記可動部材は、前記第１のレールに沿って移動可能に該第１のレールに結合された第１のガイドと、該第１のガイドに取り付けられた第１の楔形部材であって、前記第２のベースの長手方向に対して傾斜した第１の傾斜部を有する第１の楔形部材と、前記第１の傾斜部に取り付けられてその傾斜方向へ伸びる第２のレールとを含み、
前記第１及び第２の固定部材の他方は、前記第２のレールに沿って移動可能に前記第２のレールに結合された第２のガイドと、前記第１の傾斜部に平行に対向した第２の傾斜部を備え、該第２の傾斜部に前記第２のガイドが取り付けられた第２の楔形部材であって、前記第１及び第２のベースの他方に取り付けられた第２の楔形部材とを含む、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
２つ、３つ又は４つの前記第２のベースのそれぞれに前記昇降装置が配置されている、請求項１から４のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１の開口は、下側の第３の開口及び上側の第４の開口を含み、前記第１のベースは、第３の開口及び上面を有するテーブルベースと、該テーブルベースの上方において矩形の前記第４の開口を形成するように配置された長い４つの移動片と、前記テーブルベース及び各移動片の間に配置されて前記第４の開口の大きさを変更するように各移動片を前記テーブルベースの上面に平行な面内で二次元的に移動可能に結合している結合装置とを含み、各第２のベースは、前記移動片に対応されて、対応する移動片の上側に配置されている、請求項１から５のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項７】
前記移動規制機構は、前記第１及び第２のベースのいずれか一方に取り付けられたリニアブッシュであって、前記昇降機構の昇降方向に貫通した穴を有するリニアブッシュと、前記第１及び第２のベースの他方に固定されたシャフトであって、前記穴に通されたシャフトとを含む、請求項２から６のいずれか１に記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査装置は、さらに、前記受け面に受けられた平板状被検査体を位置決めるアライメント装置を含み、
各第２のベースは、前記受け面を有するパネル受け部を含み、
前記アライメント装置は、
対向する一対の前記第２のベースの一方及び他方にあって前記受け面の外側にそれぞれ配置された第１のプッシャー機構及び第１の位置決め機構と、対向する他の一対の前記第２のベースの一方及び他方にそれぞれ配置された第２のプッシャー機構及び第２の位置決め機構とを備え、
前記プッシャー機構及び前記位置決め機構のそれぞれは、前記パネル受け部に受けられた平板状被検査体を対向する位置決め機構又はプッシャー機構に押圧する少なくとも１つの押圧部材と、該押圧部材を対応する第２のベースの長手方向及び幅方向に変位させる少なくとも１つのアライメント駆動機構とを有し、
各位置決め機構の前記アライメント駆動機構は、対応する押圧部材の進退方向における前記押圧部材の位置を対向するプッシャー機構の押圧力に抗して解除可能に維持する、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１２−４７４５９（Ｐ２０１２−４７４５９Ａ）
【公開日】平成２４年３月８日（２０１２．３．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１８６８７１（Ｐ２０１０−１８６８７１）
【出願日】平成２２年８月２４日（２０１０．８．２４）
【出願人】（０００１５３０１８）株式会社日本マイクロニクス (349)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月８日（２０１２．３．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年８月２４日（２０１０．８．２４）
【出願人】（０００１５３０１８）株式会社日本マイクロニクス (349)
【Ｆターム（参考）】
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