【課題】電気的検査と光学像による観察とを行うＴＦＴ液晶基板検査において、装置構成を小型化し、基板アレイ検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴ液晶基板検査装置は、検査チャンバーから電気的検査によって欠陥位置を取得したＴＦＴ液晶基板を、検査チャンバーから基板交換チャンバーに搬出する際に、ＴＦＴ液晶基板上の欠陥位置に撮像装置を移動させて光学像を取得する構成とすることによって、光学像を取得的するために要するスペースを不要として装置構成を小型化すると共に、ＴＦＴ液晶基板の搬出と同時に光学像を取得することによって、光学像のみを取得するための時間を不要としてＴＦＴ液晶基板検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】大型液晶パネルの赤外検査において、検査時間を短縮し、生産性を向上させる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】液晶パネル２の配線の欠陥位置を検出するための欠陥検査装置であって、前記液晶パネル２の端子部に電圧を印加するプローブ８と、前記プローブ８を前記液晶パネルの端子部に移動させるプローブ移動手段９と、前記液晶パネルの全面を撮影する第一の赤外センサと、前記液晶パネルの局部を撮影する第二の赤外センサと、前記第二の赤外センサを、前記液晶パネルの各位置に移動させるセンサ移動手段４とを備え、前記第一の赤外センサは、複数の赤外カメラからなる。 （もっと読む）

【課題】様々な形状の接続端子部と検査基板とを電気的に接続することができる汎用性があって安価なコンタクトブロックを実現する。
【解決手段】コンタクトブロック１０は、弾性体と、前記弾性体内部に保持された導電部材を備えた導電ブロック３と、前記導電ブロックを挿入する貫通孔２を備えたアライメントケース１からなる、接続端子間を電気的に接続するコンタクトブロックであって、前記貫通孔は、前記接続端子の配置に対応した形状になるよう形成する。 （もっと読む）

【課題】サンプリング不良により生じる欠陥の誤検出を解消する。
【解決手段】ピクセルに対して異なる電圧の検査信号を二次元で互いに交互に印加する際に得られるピクセルの信号強度パターンの特徴を利用し、検査対象のピクセルに対してｙ方向で隣接するピクセルの信号強度と比較対照することによって、サンプリング不良によるｘ方向のサンプリング点の行が欠如した場合であっても、サンプリング行に含まれるピクセルについて欠陥検出を行う。検査対象のピクセルに対してｙ方向に隣接するピクセルの信号強度との比較対照において、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がｙ方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と異なる信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定し、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がｙ方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と同じ信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定する。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたアクティブエリアと共にアクティブエリア外に設けられたＴＦＴ駆動回路の欠陥を検出する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給するＴＦＴ駆動回路用ドライバ部と、アクティブエリアの走査画像に基づいて、ＴＦＴ駆動回路およびアクティブエリアの駆動状態を検出する検出部とを備える。ＴＦＴ駆動回路用ドライバ部は、基板上のＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給することによってＴＦＴ駆動回路のＴＦＴアレイを駆動し、基板上のアクティブエリアに形成されたＴＦＴアレイを駆動する。検出部は、アクティブエリアの走査画像を用いて、アクティブエリア上で駆動していない非駆動部位を検出する。 （もっと読む）

【課題】プローブ数を減らし、かつ、検査時間の短縮に適した表示パネル用基板の検査方法、を提供する。
【解決手段】表示パネル用基板の検査方法であって、前記表示パネル用基板２００上に、マトリクス状に配置された複数の検査用電極１１１を備えた検査用基板１０１を対向させて配置するステップと、前記アクティブ素子Ｔ１を駆動することにより、前記画素電極２０２と前記検査用電極１１１とで形成される容量に電荷を保持させるステップと、前記検査用電極１１１に電気的に接続された測定回路１０２により、前記容量に保持された電荷を前記検査用基板１０１を介して測定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】工具等を用いることなく、分解または組立てを容易に行うことができること。
【解決手段】スライダー２８Ａおよび２８Ｂが操作されることによって、一対のプランジャーピン２２Ａおよび２２Ｂの先端がベースプレート１０における側壁部１０ＳＷの透孔１０ｂに対し挿抜可能とされることにより、クランププレート１４は、ベースプレート１０に脱着可能とされるとともに、ガイドプレート１８および電極付基板１２相互間における相対位置がベースプレート１０に設けられる位置決めピン１６により位置決めされるもの。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧機構が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有する。当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有する。 （もっと読む）

【課題】１つのＴＦＴアレイ領域に２つのゲート駆動回路が設けられた基板においてゲート駆動回路の検査を行う場合において、いずれか一方のゲート駆動回路に欠陥がある場合でもゲート駆動回路の欠陥を検出する。
【解決手段】検査対象である基板が備えるゲート駆動回路に駆動信号を供給するゲート駆動回路用ドライバ部と、検査対象である基板が備えるＴＦＴアレイ領域を走査し、走査で得られるＴＦＴアレイ領域の走査画像に基づいて、ゲート駆動回路およびＴＦＴアレイ領域の駆動状態を検出する検出部とを備える。ゲート駆動回路用ドライバ部は、２つのゲート駆動回路に対して駆動信号を個別に供給しＴＦＴアレイ領域を個別に駆動する。検出部は、各ゲート駆動回路の駆動時における２つの走査画像を取得し、各走査画像上の非駆動部位を検出し、各走査画像で検出された非駆動部位の出現状態に基づいてＴＦＴアレイ領域とゲート駆動回路の非駆動状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】微小電荷を検出する高精度な回路構成を要することなく、簡易な構成で静電気を検出する。
【解決手段】アレイ検査装置が備えるプローバフレームは、基板に検査信号を印加するプローブを備えると共に、基板に蓄積された電荷を検出するための静電気プローブを備えることによって、表面接地板等の機構をアレイ検査装置に別途設けることなく、アレイ検査装置が備えるプローバフレームを用いて、基板に蓄積された電荷を簡易な構成で取り出す。静電気プローブを通して得た電荷を、高抵抗に通して接地側に流す。高抵抗に発生する電圧降下を電圧モニタで検出することによって、蓄積した電荷量に相当する値を検出する。高抵抗および電圧モニタは、高性能を要する微小電荷検出用の汎用表面電位モニタと比較して簡易な構成であり、価格も安価とすることができる。 （もっと読む）

【課題】パネル受けを交換することなく、及び被検査体が偏光板を備えるか否かに関わりなく、被検査体を正しく検査可能にすることにある。
【解決手段】平板状被検査体の検査装置は、第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成する４つの第２のベースと、少なくとも１つの第２のベースに対応されて、対応する第２のベースを昇降させる少なくとも１つの昇降装置を含む。昇降装置は、上下方向に貫通した第１の開口を有する第１のベースと、第１の開口に対向する第２の開口を共同して形成するように枠状に、第１のベースの上方に配置された４つの長い第２のベースと間に配置されて、対応する第２のベースを第１のベースに昇降可能に支持させる。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧部材が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧部材の加圧面と上記フィルムタイププローブの先端部との間に隙間を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】複数個の検出信号の信号強度に基づいて、各ピクセルにおいて欠陥検出に用いる欠陥強度を求める際に、各検出信号の信号強度が変動することによって生じる各ピクセルの欠陥強度の変動を低減し、欠陥検出の検出精度の低下を防ぐ。
【解決手段】欠陥強度を求めるピクセルについて、そのピクセルの近傍に所定の範囲を定め、この所定範囲内にある検出信号を用いてピクセル近傍の強度分布を補間する関数を求め、この関数の極値（極小値又は極大値）からそのピクセルの欠陥強度を求める。この欠陥強度はそのピクセルで欠陥検出を行うための信号強度であり、欠陥強度と予め定めておいたしきい値と比較することによって欠陥検出を行う。 （もっと読む）

【課題】製造工程を増加させることなく、簡易に基板の欠けやクラックによる信号配線の良否判定を可能とする技術を提供することである。
【解決手段】
接触位置の検出領域よりも外側の領域に配置され、一端が検出電極に接続され、他端に第１の電極端子が形成される第１の信号配線を有する透明基板と、前記第１の電極端子に接続される柔軟性を有するフレキシブル配線基板とを備える座標入力装置と、外部システムからの映像信号に基づいた画像表示を行う表示パネルとを備える表示装置であって、前記座標入力装置は、前記第１の信号配線よりも前記透明基板の辺縁部側に配置され、前記検出領域を含む前記第１の信号配線の形成領域を取り囲むと共にその両端が開放され、前記開放端にそれぞれ検査用の電極端子が形成される第２の信号配線を備え、前記第２の信号配線は、前記透明基板の辺縁部に沿って配置される導電性薄膜で形成される表示装置である。 （もっと読む）

【課題】半導体や絶縁物の残渣物質による欠陥の検出を容易とする。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板を検査するためにアレイに印加する検査信号と同期させて、ＴＦＴアレイ基板の表面に光を照射することによって電極の電圧変化を強調させることで、半導体や絶縁物の残渣物質による欠陥の検出を容易とする。ＴＦＴアレイ基板のパネルに所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、このパネル上に電子線を照射して走査し、電子線走査で検出される検出信号に基づいてＴＦＴアレイ基板のアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、パネル上に電子線を照射する電子線源と、電子線走査による二次電子を検出して検出信号を出力する二次電子検出器と、二次電子検出器の検出信号を用いて欠陥を検出する欠陥検出部と、パネルに検査信号を印加する検査信号駆動部と、ＴＦＴアレイ基板の表面に光を照射すると光照射部と、検査信号駆動部と光照射部とを同期制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】走査幅が一定であることに起因する欠陥の誤検出の問題を解決し、欠陥の誤検出を低減し、欠陥の検出精度を向上させる。
【解決手段】一定の走査幅Ｗｓによって取得した走査範囲２１の信号画像において、走査方向の両端部分の信号画像を除き、中央部分の信号画像のみを用いて欠陥検出を行う。ＴＦＴ基板アレイ検査において、ピクセル３０のサイズＷｐにかかわらず一定の走査幅ＷｓでＴＦＴ基板上の走査範囲２１を走査し、電子線の走査によって取得される検出信号によって、前記走査範囲２１の信号画像を形成し、信号画像を、ピクセル３０の欠陥検出を行う検出範囲２２と、ピクセル３０の欠陥検出を行わない不検出範囲２３とに区分し、検出範囲の信号画像の信号強度に基づいてピクセル３０の欠陥検出を行い、欠陥検出で検出された欠陥ピクセルに対応するアレイを欠陥アレイとして検出する。 （もっと読む）

【課題】製造工程における位置誤差を解消して、位置精度を高め、検査精度を高め、基板上の検査対象領域の正確な位置を取得する。
【解決手段】基板検査装置１は、荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査させて得られる走査画像に基づいて基板検査を行う基板検査装置において、走査画像から基板上の検査対象領域の特定部位の座標データを取得する座標データ取得手段７を備える。基板検査において、座標データ取得手段で取得した座標データに基づいて走査画像上の検査位置を特定することで、誤差によるずれに影響されることなく基板検査を行う。 （もっと読む）

【課題】電気検査工程において、画像認識装置及びそれに連動した軸等を用いた高価な機器等を用いることなく、より安価な構成で高精度なアライメントを行う機構を提供する。
【解決手段】プローブのアライメント機構であって、キャリア１は、位置決め手段として、ワーク５の端子側端部が配置される位置決めピンブロック２と、前記位置決めピンブロック２上に前記端子側端部を挟むように並べて配置された２つの位置決めピン３と、を有しており、前記アライメント部は、位置決め手段として、前記２つの位置決めピン３の間に挿入されて前記ワークの端子側端部を押圧することが可能な位置決めブロック１０を有しており、前記位置決めブロック１０の面取り量をａ、前記位置決めピンの面取り量をｂ、両者の差をＤとするとき、Ｄ＜ａ＋ｂ・・・（１）の関係を満たす、プローブのアライメント機構。 （もっと読む）

【課題】 清掃が必要なプローブを備えたプローブ組立体だけを選んで、簡単な操作で効率良くプローブのクリーニングを行うことができるプローブ清掃ユニットを提供することを課題とする。
【解決手段】 パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられるアーム部と；前記アーム部に取り付けられた本体部と；前記本体部に直線状に往復動可能に支持された移動ベースと；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させる手段と；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触するように、前記アーム部と前記移動ベースとの距離を調節する距離調節機構を備えているプローブ清掃ユニットを提供することによって解決する。 （もっと読む）