【課題】 本発明は、撮影した複数の赤外線画像から欠陥位置特定に適した画像を抽出して、短絡欠陥部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 本発明の配線検査方法は、基板に形成された配線の短絡欠陥部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して前記短絡欠陥部を発熱させる発熱工程（Ｓ３〜Ｓ６）と、基板を撮影して複数の時刻毎の赤外線画像を取得する画像取得工程（Ｓ２〜Ｓ５）と、所定時刻の赤外線画像を用いて発熱領域を認識する発熱領域認識工程（Ｓ８）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定できるか判定する発熱領域判定工程（Ｓ９）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定する欠陥位置特定工程（Ｓ１０）とを含み、発熱領域認識工程はさらに、発熱領域判定工程において短絡欠陥部の位置を特定できないと判定されたとき、所定時刻と異なる別時刻の赤外線画像を用いて、発熱領域を認識することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気的検査と光学像による観察とを行うＴＦＴ液晶基板検査において、装置構成を小型化し、基板アレイ検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴ液晶基板検査装置は、検査チャンバーから電気的検査によって欠陥位置を取得したＴＦＴ液晶基板を、検査チャンバーから基板交換チャンバーに搬出する際に、ＴＦＴ液晶基板上の欠陥位置に撮像装置を移動させて光学像を取得する構成とすることによって、光学像を取得的するために要するスペースを不要として装置構成を小型化すると共に、ＴＦＴ液晶基板の搬出と同時に光学像を取得することによって、光学像のみを取得するための時間を不要としてＴＦＴ液晶基板検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】画面の異物付着及び画素欠陥を識別できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】画質検査装置２は、ＬＣＤ３１に白色パターンを指示し、撮像画面の白色パターンから候補エリアを抽出する候補エリア抽出部２１を有する。画質検査装置は、ＬＣＤに黒色パターンを指示し、撮像画面の黒色パターンから輝点異常の画素を含む候補エリアがある場合に、候補エリア周囲の輝点異常検出時のＲＧＢ値差を取得する輝点異常検出部２２を有する。画質検査装置は、黒色パターンを表示させたまま、候補エリア内の画素の白表示を指示し、撮像画面から候補エリア周囲の今回のＲＧＢ値差を取得する暗点異常検出部２３を有する。画質検査装置は、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えた場合、異物付着による異常と識別し、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えなかった場合、暗点の画素欠陥による異常と識別する異常識別部２４を有する。 （もっと読む）

【課題】 短絡部を含む配線の赤外線画像を２値化処理して、細線化された２値化画像を生成し、短絡部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 基板に形成された配線の短絡部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して短絡部を発熱させる発熱工程と、基板の赤外線画像を取得する画像取得工程と、赤外線画像から閾値を用いて２値化画像を生成する２値化工程と、２値化画像から短絡部の位置を特定する位置特定工程とを含み、２値化工程は、閾値を変更して２値化処理を繰返すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性構造部が機械的にコンタクト形成のできない基板のもとでも検査の実施が可能となる装置を提供する。
【解決手段】基板１上に形成される少なくとも１つの導電性構造部３の検査に必要とされる電界を、基板１に形成するための装置であって、電界が、導電性構造部３の機械的接触なしでの励起によって形成され、電気的な信号９が基板ホルダー５を介して導電性構造部３へ入力される、装置において、基板ホルダー５が別個のフラット電極を有しており、フラット電極には、電気的信号９が励起のために印加され、さらに、基板ホルダー５は電気的に中性であるように構成する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い評価を行うことが可能な欠点評価システム、及び欠点の評価方法を提供する。
【解決手段】欠陥評価システムは、液晶装置と、液晶装置の画像を投射する投射型表示装置と、投射された投射画像３０１における任意の位置に、擬似的な欠点である擬似欠点５０１を表示することが可能な擬似欠点ウインド５００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 修理ラインで直すことができる欠陥と製造ラインを止めなければならない欠陥であるかを判定できる表示デバイス（５０）の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 表示デバイスの欠陥検出方法は、表示デバイスを部分領域ごとに特徴量を計測し（Ｐ３２）、計測された領域の特徴量に基づいて欠陥領域と判定された領域をカウントする欠陥カウントステップ（Ｐ３６）と、欠陥カウントステップで第１閾値より欠陥数が多い場合には表示デバイスの製造ラインを停止するステップ（Ｐ３８，Ｐ４２）と、欠陥カウントステップで第１閾値より欠陥数が少ない場合に所定面積内の欠陥密度を計算する欠陥密度計算ステップ（Ｐ３８）と、欠陥密度計算ステップで第２閾値より欠陥密度が高い場合には表示デバイスの製造ラインを停止するステップ（Ｐ４０，Ｐ４２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】反射型液晶表示装置用カラ−フィルタにおけるレーザー修正において、無機保護膜の損傷を発生させることなく、選択的にカラーフィルタ層のみを修正することができるカラーフィルタの欠陥修正方法、及び、その欠陥修正方法によって欠陥部分が修正されたカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に金属膜からなる反射層および無機保護層が形成された基板上に、少なくとも着色層が形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、予め前記カラーフィルタの欠陥修正部分を炭化着色させる段階と、その後前記欠陥修正部分にレーザー光を照射して前記欠陥修正部分をレーザーアブレーションにより除去する段階と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】大型液晶パネルの赤外検査において、検査時間を短縮し、生産性を向上させる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】液晶パネル２の配線の欠陥位置を検出するための欠陥検査装置であって、前記液晶パネル２の端子部に電圧を印加するプローブ８と、前記プローブ８を前記液晶パネルの端子部に移動させるプローブ移動手段９と、前記液晶パネルの全面を撮影する第一の赤外センサと、前記液晶パネルの局部を撮影する第二の赤外センサと、前記第二の赤外センサを、前記液晶パネルの各位置に移動させるセンサ移動手段４とを備え、前記第一の赤外センサは、複数の赤外カメラからなる。 （もっと読む）

【課題】様々な形状の接続端子部と検査基板とを電気的に接続することができる汎用性があって安価なコンタクトブロックを実現する。
【解決手段】コンタクトブロック１０は、弾性体と、前記弾性体内部に保持された導電部材を備えた導電ブロック３と、前記導電ブロックを挿入する貫通孔２を備えたアライメントケース１からなる、接続端子間を電気的に接続するコンタクトブロックであって、前記貫通孔は、前記接続端子の配置に対応した形状になるよう形成する。 （もっと読む）

【課題】 外観の良好な液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 アレイ基板２０と、アレイ基板２０と対向するように配置された対向基板１０と、アレイ基板２０と対向基板１０との間に挟持された液晶層ＬＱと、マトリクス状に配置された複数の表示画素ＰＸを含む表示部ＤＹＰと、表示部ＤＹＰを囲む額縁部ＦＲＭと、を備え、アレイ基板２０は額縁部ＦＲＭに配置され表示部ＤＹＰから離れる方向に延びる避雷針パタン２４を備えた第１配線ＣＯＭと、接続パッド２６Ａ、２６Ｂと、テスタパッドＰＤＣ、ＰＤＶと、表示部ＤＹＰに対してテスタパッドＰＤＣ、ＰＤＶと反対側に配置されたテスタ配線ＷＣ、ＷＶ、Ｗｃｏｍと、備え、避雷針パタン２４は絶縁層Ｌ１を介してテスタ配線ＷＣ、ＷＶ、Ｗｃｏｍの少なくとも一部と重畳している液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】 表示パネルに表示される画像における輝度ムラの発生箇所を高い精度で検出し画質の向上を図る。
【解決手段】 検査対象となる表示パネルを保持するパネル保持部と、パネル保持部に保持された表示パネルを撮像して画像データを取得する撮像部とを備え、表示パネルに画像を形成するための最小単位である所定の色を表示する複数の絵素が設けられ、撮像部に絵素を撮像するための複数の画素が設けられ、絵素の１色のみの表示が撮像部によって撮像されて画像データが取得され、取得された画像データに基づいて絵素毎の画素に対する基準位置が設定され、設定された絵素の基準位置に基づいて画像データのモアレ成分を除去するためのモアレ補正係数が算出され、算出されたモアレ補正係数に基づいてモアレ成分が除去されて画像データから輝度ムラ検出データが生成され、生成された輝度ムラ検出データと予め定められた基準データとを比較して表示パネルに表示される画像の輝度ムラの発生箇所を検出する。 （もっと読む）

【課題】画像光を出力する画像光出力装置の画素の表示性能を高精度に測定する。
【解決手段】検査対象であるプロジェクター装置１０から出力される、テストパターンを含む画像の画像光ＰＬの照射を受けてテストパターン画像を表示する投射スクリーン２０と、投射スクリーン２０の表示面内に撮像面を配置して設けられ、テストパターン画像を撮像して第１画像信号〜第９画像信号を生成する撮像装置３０−１〜３０−９と、第１画像信号〜第９画像信号を取り込み、テストパターン画像に基づいて、プロジェクター装置１０における画素の表示性能を測定して測定情報を生成する画像解析部４１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】液晶表示素子表面の傷や打痕の検査を効率的且つ安定的に行うことが可能な液晶表示素子を提供する。
【解決手段】傷又は打痕の検査対象となる第ニ電極基板２の外表面に、検査対象エリアを縁取る検査用パターン１３を設ける。検査用パターン１３は、傷の検査規格に応じた長さを有する個片状の傷検査用パターン１３ａと、打痕の検査規格に応じた長さを有する個片状の傷検査用パターン１３ｂとが、検査対象エリアの縁に沿って複数個交互に配置された集合体で構成されている。検査者は、検査用パターン１３を見るだけで検査対象エリアを正確に特定することができ、また、傷検査用パターン１３ａと打痕検査用パターン１３ｂを参照することで、傷と打痕の良否判定を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】清掃装置によるＣＦ基板の損傷を防止することにある。
【解決手段】プローブ装置は、電極を備える被検査体の上方に配置されて、またプローブ装置本体と、該プローブ装置本体に結合された清掃装置と、該清掃装置を前記プローブ装置に結合する結合装置とを含む。前記プローブ装置本体は、前記電極に接触されるように下方に向けられた針先を有する。前記清掃装置は、前記プローブ装置本体と前記被検査体とが相寄り相離れる上下方向への相対移動により前記電極に接触可能の前端部を前記針先より下方及び前方に備える。前記結合装置は、上方ほど後方となる斜めの方向に前記清掃装置と前記プローブ装置本体とを相対的に移動可能に結合している。 （もっと読む）