【課題】プローブの取り換えが可能でありかつ狭配列ピッチに適したプローブ組立体を提供する。
【解決手段】プローブ組立体は、支持体と、帯状の取付け部および該取付け部の端部から伸びかつ前記取付け部の幅寸法より小さい幅寸法を有する針先部とを備える複数のプローブであって前記取付け部の幅方向が上下方向となる状態に前記支持体の下側に前記取付け部を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、前記各プローブを取り外し可能に支持すべく該プローブの前記取付け部をその厚さ方向に貫通して伸びかつ前記支持体に支持された細長い支持バーとを含む。前記プローブの一方の面は該面を部分的に覆う絶縁膜により覆われており、他方の面はその全面が露出面であることを特徴とする、プローブ。 （もっと読む）

【課題】 薄膜太陽電池の電気的処理を、安定的に短時間で行う。
【解決手段】 本発明は、薄膜太陽電池の電気的処理に用いるプローブユニットに関する。そして、本発明のプローブユニットは、薄膜太陽電池と接触して薄膜太陽電池に電気的処理を行うプローブユニット本体と、プローブユニット本体により薄膜太陽電池に電気的処理を行う際に、プローブユニット本体が薄膜太陽電池に接触して処理を行う処理対象領域を減圧させる吸引機構とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 帯状電極に対し、プローブが傾斜して接触しても電極が損傷しないようにする。
【解決手段】 本発明は、帯状電極に接触可能なプローブが設けられたプローブユニットを支持するプローブユニット支持装置に関する。そして、帯状電極にプローブが接触していないときに、プローブユニットを懸架し、帯状電極及びプローブユニットの相対移動により帯状電極にプローブが接触した以降、プローブが帯状電極上に接触した状態を維持したまま、プローブユニットの懸架状態を解放する懸架部材を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面が平坦でない電極や傷つきやすい電極や可撓性のある電極もしくは電極支持体に対して、表面を傷つけずに電気的に確実に接触させる。
【解決手段】本発明のブラシ状プローブは、導電性を有し電気的処理対象物の電極に臨ませて配設されるプローブ基材と、当該プローブ基材に複数植毛されて前記電極に接触される可撓性を有する導電性線材とを備え、前記各導電性線材を一方向に傾斜させるように、前記プローブ基材を前記相手側電極に対して斜めに移動させながら、前記各導電性線材を相手側電極に接触させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 帯状電極が短手方向に並設されているパネル部材に対し、各帯状電極と接触するプローブを設けたプローブユニットが相対的に平行であることの確認・調整を短時間で実行できる装置を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、パネル部材に対するプローブユニットの相対的平行度を調整する傾き調整機構と、プローブユニット及びパネル部材間の距離を検出する複数のセンサと、プローブ及び帯状電極が相対的に接近して接触する前後の各センサからの出力を取り込むセンサ出力取込手段と、取り込んだ各センサの出力に基づいて、プローブユニットの平行度調整において参照する情報を形成する調整参照情報形成手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長尺な電極に対してその表面を傷つけることなく長手方向に均一な電気的接触を行わせる。
【解決手段】相手側電極に対して電圧印加や電流測定等によって電気的処理を行うために相手側電極に電気的に接触する面接触プローブ及びそれを用いた電気的処理装置である。面接触プローブは、導電性を有し相手側電極に臨ませて配設されるプローブ支持体と、当該プローブ支持体に一体的に設けられ前記相手側電極に弾性的に接触される弾性層と、少なくとも当該弾性層の表面に設けられて前記相手側電極に電気的に接触される導電層とを備え、前記プローブ支持体が帯状に構成され、前記弾性層が中空の弾性凸条で構成された。 （もっと読む）

【課題】同一仕様の複数の液晶パネルを点灯検査するときに，液晶パネル間で熱膨張による伸縮量に違いがあっても，その違いを考慮して液晶パネルをアライメントできるようにする。
【解決手段】 １枚目の液晶パネルは，パネル上の三つのアライメントマークとプローブステージ上の三つのカメラを用いてアライメントし，かつ，顕微鏡を用いてプローブとパネルの電極との位置合わせ状態を確認する。同一仕様の２枚目以降の液晶パネルについては，二つのアライメントマーク５６，５８に基づいて液晶パネルを仮に位置決めしてから，第３アライメントマーク６２に関して所定の偏差Δｘを求めて，その半分だけ液晶パネルをＸ方向にシフトする。これにより，データ側プローブ２６とデータ電極６０との位置合わせが正確になり，大型の液晶パネルを高輝度バックライトで照明した場合でもアライメント不良を回避できる。 （もっと読む）

【課題】 清掃が必要なプローブを備えたプローブ組立体だけを選んで、簡単な操作で効率良くプローブのクリーニングを行うことができるプローブ清掃ユニットを提供することを課題とする。
【解決手段】 パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられるアーム部と；前記アーム部に取り付けられた本体部と；前記本体部に直線状に往復動可能に支持された移動ベースと；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させる手段と；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触するように、前記アーム部と前記移動ベースとの距離を調節する距離調節機構を備えているプローブ清掃ユニットを提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】プローブの交換、位置決め、組み立てが容易なプローブカード及び検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のプローブカードは、被検査体の各電極に電気的に接触される複数のポゴピンを備えたプローブカードであって、前記各ポゴピンを支持する支持基板を備え、当該支持基板が、前記各ポゴピンの下部を位置決めして支持する堅牢な支持部材と、前記各ポゴピンの中間部を支持する柔軟性のあるシート状支持部材とを備えた。本発明の検査装置は、プローブカードを備えた検査装置であって、当該プローブカードとして、前記プローブカードを用いた。 （もっと読む）

【課題】 基板に対するプローブの位置を容易に特定可能にすることにある。
【解決手段】 通電試験用プローブは、基板に結合されるフット部と、該フット部の下端部から横へ延びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する針先部とを含み、また前記基板上における該プローブの位置を特定する記号を、前記フット部、前記アーム部及び前記針先部から選択される少なくとも1つの箇所に有する。 （もっと読む）