【課題】 スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。
【解決手段】 プローブ組立体は、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第１のスリットを備える第1のスリットバーを支持片の先端部下側に配置し、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを、その第２のスリットが第１のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、第１のスリットバーに配置し、第１及び第２のプローブの前部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、第１及び第２のスリットに位置させている。 （もっと読む）

【課題】 薄いウエハでも撓みなく支持でき、測定される半導体素子が切り替わった場合でも、ウエハの裏面電極と接触するプローブ針を移動させる必要のない半導体測定装置及び測定方法並びに同軸プローブ針ユニットを提供すること。
【解決手段】 試験対象ウエハを支持する支持面を備えたウエハチャックと；ウエハチャックを上プローブ針に対して相対的に上下方向及び水平方向に移動させる移動機構と；ウエハチャックに保持され、前記支持面内でマトリックス状に配置されている複数の下プローブ針と；上プローブ針と電気的に接続されるとともに、複数の下プローブ針の各々と選択スイッチを介して接続されるテスタ装置と；測定位置にある半導体素子に対応する下プローブ針がテスタ装置と電気的に接続されるように選択スイッチを切り換える切換装置とを有している半導体測定装置及び測定方法、並びに同軸プローブ針ユニットを提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】 高温状態及び低温状態における針先位置の変位量を同じにして、プローブの針先が目的とする電極に確実に接触するようにすることにある。
【解決手段】 プローブカードは、配線基板と、該配線基板の上側に配置された板状の補強部材と、該補強部材の下側に配置されて配線基板をその厚さ方向に貫通して下方に突出する少なくとも４つの支持部材であって、それぞれが矩形の隅角部に配置された支持部材と、配線基板の下側に配置されて支持部材を連結する結合部材と、各支持部材の下部に電気絶縁材料を介して取り付けられた複数のプローブとを含む。補強部材、支持部材及び結合部材は金属材料で形成されており、支持部材及び結合部材は結合されている。 （もっと読む）

【課題】製造ラインで発生した不良品を並行して修正して生産効率を向上させる。
【解決手段】複数連結されると共にそれぞれ独立して動作するコンベアユニットと、不良パネルを外部へ送出するパネル送出装置と、前記不良パネルを修正可能品と修正不可能品とに振り分けて修正可能品をリペア処理のために移載する修正パネル移載装置と、前記コンベアユニットに併設されたリペア装置と、当該リペア装置でリペア処理が施されたパネルを検査するリペアパネル検査装置と、当該リペアパネル検査装置で検査したパネルを良品と不良品とに振り分けて移載する良品パネル移載装置と、良品パネルを受け取って前記コンベアユニットに戻すパネル受入装置と、これを制御する制御装置とを備えた。パネル処理方法は、前記制御装置での処理とほぼ同様の処理工程を備えた。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で、高精度に検出することができるにもかかわらず、プローブに押圧される部材を容易に交換可能にすることにある。
【解決手段】 圧力感知装置は、被検査体に接触される先端を有するコンタクトピンと、前記先端が上方となる状態に、コンタクトピンを解除可能に把持するチャック装置と、該チャック装置を支持する支持装置であって、コンタクトピンに作用する押圧力を、チャック装置を介して受ける圧力センサ素子を備える支持装置とを含む。チャック装置は、コンタクトピンを把持する一対のチャック片と、該チャック片を相寄り相離れる第１の方向へ移動させる移動装置であって、支持装置に支持された移動装置と、前記チャック片の間に配置されて、両チャック片が電気的に短絡することを防止する電気絶縁部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プローブカードと接続装置との接続及びその解除の作業を、人手によることなく、短時間で確実に行うことができ、省スペースにすることにある。
【解決手段】 検査装置は、プローブカードを着脱可能に受けるカード受け部を有するカード台と、前記カード受け部に配置されたプローブカードと電気的に接続可能に前記カード台の上方に配置された接続装置と、前記カード台と前記接続装置とを相寄り相離れる方向へ移動させて、前記カード台と前記接続装置との電気的な接続及びその切り離しを行う駆動装置とを含む。前記駆動装置は、前記カード台に支持されたシリンダ及び該シリンダに対し昇降される昇降ロッドを備える昇降機構と、前記昇降ロッドに取り付けられて、前記ヘッド装置の前記下面を解除可能に吸着する吸着具とを含む。 （もっと読む）

【課題】 プローブカード、接続装置及び回路装置を相対的に変位させる作業における作業者の危険性を小さくすることにある。
【解決手段】 検査装置は、プローブカードを着脱可能に受けるカード受け部を有するカード台と、前記カード受け部に配置されたプローブカードと電気的に接続可能に前記カード台の上方に配置された接続装置と、前記接続装置に電気的に接続可能に前記接続装置の上方に配置された回路装置であって、前記プローブカードに対する試験信号の受け渡しを、前記接続装置を介して行う回路装置と、前記カード台と前記接続装置とを相寄り相離れる方向へ移動させて、前記カード台と前記接続装置との接続及びその切り離しを行う第１の駆動装置と、前記接続装置と前記回路装置とを相寄り相離れる方向へ移動させて、前記接続装置と前記回路装置との接続及びその切り離しを行う第２の駆動装置とを含む。 （もっと読む）

【課題】パネルをその下側から効率的にリペア処理することができる。
【解決手段】本発明のリペア装置は処理対象パネルのリペア処理を行う。処理対象パネルを搬送してリペア処理を行う処理コンベアを備え、当該処理コンベアが、ローラコンベア部と、搬入部と、リペア部と、搬出部と、パネル搬送ステージとを備えた。前記ローラコンベア部は、フリーローラを備えて前記パネル搬送ステージによる前記パネルの搬送を補助する。前記リペア部のＸＹ軸ステージは、レーザ装置の搬送方向と直行する方向の位置調整を行うＹ軸移動機構と、前記パネル搬送ステージで前記パネルの位置決めがされた後に前記レーザ装置を搬送方向に移動させて補助的に微調整を行うＸ軸移動機構とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 汎用性に富むコンタクトピンリングの構築方法と、それに用いるコンタクトピンリングを提供することを課題とする。
【解決手段】 枠体と、前記枠体によって形成されるリング状の収容部と、前記収容部に着脱自在に取り付け可能な１又は複数のピンブロックと、前記ピンブロックに保持される１又は複数のコンタクトピンとを有するコンタクトピンリングを用い、前記収容部に取り付ける前記ピンブロックの数、その取付位置、又は種類を選択することにより、コンタクトピンリングに保持されるコンタクトピンの数又は配置を前記ピンブロック単位で設定してコンタクトピンリングを構築するコンタクトピンリングの構築方法、及びそれに用いるコンタクトピンリングを提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜太陽電池の電気的処理を、安定的に短時間で行う。
【解決手段】 本発明は、薄膜太陽電池の電気的処理に用いるプローブユニットに関する。そして、本発明のプローブユニットは、薄膜太陽電池と接触して薄膜太陽電池に電気的処理を行うプローブユニット本体と、プローブユニット本体により薄膜太陽電池に電気的処理を行う際に、プローブユニット本体が薄膜太陽電池に接触して処理を行う処理対象領域を減圧させる吸引機構とを有することを特徴とする。 （もっと読む）