【課題】 配線通し穴をプローブベースに設けることなく、電気的接続具をプローブベースの上側に通す構造とすることにある。
【解決手段】 プローブユニットは、板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が後端針先に接続された電気的接続具とを含む。支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備える。電気的接続具の後部側の領域は、プローブベースの上側に導かれていると共に、支持台の空間を経て延びている。 （もっと読む）

【課題】 不必要なダメージを与えることなく短絡部を効率良く除去できる電池短絡部除去装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板上に、第１の電極と、電力発生部として機能する中間層と、第２の電極とがこの順に積層された１又は複数の電池セルを含む電池の短絡部を、逆バイアス電圧の印加によって除去する電池短絡部除去装置に関する。短絡部除去のために印加する逆バイアス電圧の値は、以下のように決定する。すなわち、当該電池短絡部除去電圧を決定するための決定処理用の電池における、隣接する第２の電極間に印加する逆バイアス電圧を徐々に上げた場合に、逆バイアス電圧の上昇に伴って、電流値が上昇から急峻な下がり方をする境界電圧を検出し、この境界電圧を、短絡部除去のために印加する逆バイアス電圧に決定する。 （もっと読む）

【課題】 安価な手段で精度高く欠陥画素のアドレスを検出することができる欠陥画素アドレス検出方法と装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 検査対象である表示パネルの一部を撮影することができる移動可能な撮影装置を用い、その撮影装置を移動させて発見された欠陥画素を撮影して、撮影された画像上で欠陥画素の位置を特定したときの当該撮影装置の移動距離と、検査対象である表示パネルにおける画素サイズ並びにその配列形態に関する情報とから、欠陥画素のアドレスを求める欠陥画素アドレス検出方法と装置を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】 偏光板を備えるワークテーブルにおいて、ハウジングに対する偏光板の変位を防止する。
【解決手段】 ワークテーブルは、上方に開放する内部空間を備えると共に、被検査体を受ける受け部を内部空間の矩形の開放部の周りに備える箱状のハウジング３４と、被検査体に照射する光を発生するように、前記受け部の下方に位置されたバックライトユニット３６と、バックライトユニットから被検査体に向かう光の通路に配置された偏光板３８とを含む。ハウジング３４は、矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに内部空間の側に開口して矩形の対向する他の一対の辺の長手方向に延在する溝を有しており、また偏光板３８の矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれの縁部を溝に受け入れている。 （もっと読む）

【課題】光学レンズの歪曲収差の評価作業を容易にできる評価方法を提供する。また、歪曲収差を評価するための基準矩形を最適な仕様で表示できる評価方法を提供する。
【解決手段】液晶表示パネル２０の画面２２が光学レンズ１６の光軸２８に対して垂直になるように、かつ、その画面２２の位置が光学レンズ１６から所定の距離になるように、液晶表示パネル２０を配置する。この液晶表示パネル２０の画面２２に基準矩形２６を表示して、この基準矩形２６を、光学レンズ１６とＣＣＤカメラ１８からなる撮像系１４を用いて撮影して、歪曲矩形３２を取得する。この歪曲矩形３２がＣＣＤカメラ１８の視野２４から外れないように基準矩形２６の仕様を調整する。歪曲矩形２６のデジタル座標を用いて、歪曲矩形２６の基準長さＨと歪曲長さＨｄを求めて、これらに基づいて光学レンズのＴＶディストーションを自動的に算出する。 （もっと読む）

【課題】 複数の溝によって複数の電極に区画される、絶縁基板上に成膜された導電性薄膜の特性をより細やかに測定することが薄膜特性測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、溝を挟んだ２つの電極間の電気的特性を測定するものである。溝を挟む一方の電極における溝に面した沿面側部分と、溝と、溝を挟む他方の電極における溝に面した沿面側部分とでなる部分を、コンデンサとみなして、コンデンサに対する特性測定方法を適用して、溝を挟んだ２つの電極間の電気的特性を測定する。 （もっと読む）

【課題】 プローブホルダに対するプローブの変位量の差を可能な限り小さくして、正しい試験を可能にすることにある。
【解決手段】 プローブ装置において、結合ブロックを支持ブロックの下側に組み付ける組み付け装置は、結合ブロック及び支持ブロックのいずれか一方に形成された凹所と、該凹所に嵌合された連結部材と、該連結部材を結合ブロック又は支持ブロックに組み付ける第１のねじ部材と、連結部材を上下方向に貫通して、結合ブロック及び前記支持ブロックの他方に螺合された第２のねじ部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プローブカードの位置決めを高精度で行うことを目的とする。
【解決手段】本発明に係る検査装置１は、プローブカードに形成された少なくとも２つのプローブカードマークの位置を認識しプローブカードマークの位置を結んだプローブカードマーク連結線を想定するプローブカード認識手段２と、基材に形成された少なくとも２つの基材マークの位置を認識し基材マークの位置を結んだ基材マーク連結線を想定する基材認識手段３と、プローブカードマーク連結線及び基材マーク連結線に基づいてプローブカードと基材との位置関係を認識する位置関係認識手段４と、認識された位置関係に基づいてプローブカード又は基材の少なくとも一方の位置を修正する修正手段５とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減、装置の小型化及び省スペース化を図り、作業効率を向上させた。
【解決手段】プローバは、ウエハを設定位置で支持して当該ウエハの処理位置まで搬送して当該処理位置に設置されるトレイと、当該トレイに対して前記ウエハを前記設定位置に位置合わせする、１又は複数のアライメントユニットと、当該アライメントユニットよりも多く配置され前記処理位置で前記ウエハにコンタクトして検査処理を行うコンタクトユニットと、前記ウエハを支持した前記トレイを前記アライメントユニットと前記コンタクトユニットとの間で搬送するトレイ搬送部とを備えた。前記トレイは、前記チャックピンのＸＹＺθ方向への移動を許容する３以上のピン穴と、前記ウエハの位置決め用のアライメントマークと、前記トレイ自体を位置合わせするアライメント部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】手押し検査の際に、検査対象板の端子とプローブとのズレを防止する。
【解決手段】検査対象板を検査する検査装置である。前記検査対象板に接触して検査信号を印可するプローブユニットを備えた。このプローブユニットは、装置のフレーム側に固定されるプローブベースと、基端が当該プローブベースに支持され、先端に備えたプローブを前記検査対象板の各端子に臨ませて正確に位置決めして支持するプローブブロックと、前記検査対象板を支持してこの検査対象板のズレを防止する位置ズレ防止機構とを備えて構成した。 （もっと読む）