プローブユニット及びこれを用いる試験装置
【課題】 配線通し穴をプローブベースに設けることなく、電気的接続具をプローブベースの上側に通す構造とすることにある。
【解決手段】 プローブユニットは、板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が後端針先に接続された電気的接続具とを含む。支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備える。電気的接続具の後部側の領域は、プローブベースの上側に導かれていると共に、支持台の空間を経て延びている。
【解決手段】 プローブユニットは、板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が後端針先に接続された電気的接続具とを含む。支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備える。電気的接続具の後部側の領域は、プローブベースの上側に導かれていると共に、支持台の空間を経て延びている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の通電試験に用いられるプローブユニット及びこれを用いる試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような平板状の被検査体は、一般に、プローブユニットを用いる検査装置すなわち試験装置により検査すなわち試験をされる。そのようなプローブユニットの１つとして、特許文献１及び２に記載されたものがある。
【０００３】
特許文献１に記載されたプローブユニットは、試験装置の本体フレームに取り付けられる板状のプローブベースと、該プローブベースに前後方向に間隔をおいて配置された複数のプローブ装置とを含む。
【０００４】
各プローブ装置は、プローブベースに取り付けられた連結ブロック(スライドベース)と、高さ位置を調整可能に連結ブロックに懸架された支持ブロックと、複数のプローブをプローブホルダの下側に配置したプローブ組立体（プローブブロック）であって、支持ブロックに組み付けられたプローブ組立体と、プローブ組立体の後端部から後方へ延びるシート状の電気的接続具とを含む。
【０００５】
上記従来技術においては、電気的接続具として、ＴＡＢ（テープ自動化実装）、ＴＰＣ（テープ・キャリア・ボンディング）、ＦＰＣ（フレキシブル・プリンテッド・サーキット）等のシート状の配線接続具を用いている。
【０００６】
連結ブロック及び支持ブロックは、プローブ組立体を支持する支持装置を形成している。また、電気的接続具は前後方向へ延びる複数の配線を有している。さらに、各配線はその先端部において前記プローブの後端針先に接続されている。
【０００７】
電気的接続具は、プローブベースの下側を延びており、また後端部において中継基板に電気的に接続されている。中継基板は、被検査体のために試験信号を発生する電気回路に中継配線を介して電気的に接続される。
【０００８】
しかし、電気的接続具がプローブベースの下側を延在していると、特許文献２のように、中継基板をプローブベースの下側に設けなければならず、この中継基板から後方へ延びる中継配線をプローブベースの下側に位置させて、プローブベースの後方へ延在させなければならない。
【０００９】
上記のようなプローブユニットでは、電気的接続具、中継基板、中継配線等、故障部品又は点検部品の交換又は点検をする際に、プローブベースを本体フレームから分離して、交換作業又は保守管理作業を行わなければならず、故障部品又は点検部品の交換作業又は点検作業が面倒になるのみならず、中継配線の取り扱いが面倒になる。
【００１０】
また、プローブ組立体を被検査体に対し上下動又は進退させる機構のような駆動機構をプローブベースの下側に配置する試験装置においては、電気的接続具、中継基板及び中継配線を、それらがそのような駆動機構の妨げにならないように、駆動機構の下側に通さなければならず、駆動機構、電気的接続具、中継基板、中継配線等の取り扱いが面倒であり、しかもそれらの保守管理作業が繁雑になる。
【００１１】
上記の課題を解決する手法の１つとして、プローブベースを上下方向に貫通する複数の配線通し穴を左右方向に間隔をおいてプローブベースに設け、各プローブ装置の電気的接続具又は中継配線をその通し穴にプローブベースの下方から上方に通すことが考えられる。
【００１２】
しかし、そのようにすると、プローブベースの配線通し穴を設けた箇所の機械的強度が低下するから、そのような機械的強度の低下を補償する複数の補強部材をプローブベースに設けなければならず、プローブベースの構造が複雑になり、プローブユニットが高価になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００４−１９１０６４号公報
【特許文献２】特開２００９−１１５５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、配線通し穴をプローブベースに設けることなく、電気的接続具をプローブベースの上側に通す構造とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係るプローブユニットは、板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が前記後端針先に接続された電気的接続具とを含む。前記支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備える。前記電気的接続具の後部側の領域は、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経て延びている。
【００１６】
前記支持台は、左右方向へ延びる板状の主体部であって、前記プローブ装置が取り付けられた主体部と、主体部の左右方向における各端部から下方へ延びる脚部とにより、門型の正面形状に形成されていてもよい。
【００１７】
前記脚部の一方は前記主体部の前端から左右方向における一方の側へ突出されており、前記脚部の他方は前記主体部後端から左右方向における他方の側へ突出されており、それにより前記支持台はクランク状の平面形状に形成されていてもよい。
【００１８】
前記支持台は、前記プローブベース及び前記脚部のいずれか一方を上下方向に貫通して、前記プローブベース及び前記脚部の他方に螺合されたねじ部材により、前記プローブベースに取り付けられていてもよい。
【００１９】
本発明に係るプローブユニットは、複数の前記支持台と、該支持台に個々に支持された複数の前記プローブ装置とを含むことができる。これの代わりに、前記支持台に共通に支持された複数の前記プローブ装置を含むことができる。
【００２０】
本発明に係るプローブユニットは、さらに、前記プローブベースの上側に配置された中継基板であって、前記電気的接続具の配線の後端部が電気的に接続された中継基板を含むことができる。前記電気接続具の後端部はコネクタにより前記中継基板に電気的に接続されていてもよい。
【００２１】
前記中継基板は後方及び上方へ斜めに延びる状態に前記プローブベースの上側に配置されていてもよく、また前記電気接続具の後端部はコネクタ及び該コネクタに接続されたケーブルにより前記中継基板に電気的に接続されていてもよい。
【００２２】
前記プローブ装置は、前記複数のプローブをプローブホルダの下側に配置したプローブ組立体と、該プローブ組立体を支持する第１の支持装置と、該第１の支持装置を支持する第２の支持装置であって、前記支持台に取り付けられた第２の支持装置とを備えることができる。また、前記電気的接続具は、前記プローブ組立体の後端部から後方へ延びていてもよい。
【００２３】
前記電気的接続具は、前記第１の支持装置の下部を経て後方に延びて、前記プローブベースの前端部から前記プローブベースの上側に導かれていてもよい。
【００２４】
前記電気的接続具は、前後方向へ延びる複数の第１の配線を有する第１の配線領域であって、各第１の配線の先端部が前記プローブの後端針先に接続された第１の配線領域と、前後方向へ延びる複数の第２の配線を有する第２の配線領域であって、各第２の配線の先端部が前記第１の配線の後端部に接続された第２の配線領域とを含むことができ、また前記第２の配線領域において、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経ていてもよい。
【００２５】
前記第１の支持装置は、前記第２の支持装置に支持された支持ブロックと、該支持ブロックに組み付けられた結合ブロックであって、前記プローブ組立体が前部下側に組み付けられかつ前記第１の配線領域が下側に配置された結合ブロックと、前記支持ブロックの後部下側と前記結合ブロックの後部上側との間に配置されて、前記支持ブロックに取り付けられた接続ブロックであって、前記第２の配線領域の先端部が下側に配置された接続ブロックとを含むことができる。また、前記第１の配線領域の後端部は、前記結合ブロックの後端において、該結合ブロックの下側から上側に折り返されて、その各配線が前記第２の配線領域の配線に接続されていてもよい。
【００２６】
前記電気的接続具は、シート状の配線接続具を含むことができる。
【００２７】
本発明に係る試験装置は、ベースと、該ベースに支持されたワークテーブルであって、平板状被検査体を受ける受け部を有するワークテーブルと、上記のようなプローブユニットであって、前記ベースに配置されたプローブユニットと、該プローブユニットを前記ベースに支持させるユニット支持機構とを含む。該ユニット支持機構は、前記被検査体と平行なＸＹ面内を前後方向へ移動可能に前記ベースに受けられた第１の移動体であって、前記ＸＹ面内を左右方向へ延びる第１の移動体と、斜め上下方向に移動可能に前記第１の移動体に結合された第２の移動体であって、左右方向へ延びる第２の移動体と、前記第２の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第１の移動体を被検査体に対し進退させ、それにより前記第２の移動体を、前後方向又は左右方向に移動させると共に、上下方向に変位させるプローブ変位機構とを備える。前記プローブユニットは前記第２の移動体に支持されている。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係るプローブユニットの一実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示すプローブユニットにおける１つのプローブ装置及びその近傍を示す正面図である。
【図３】図１に示すプローブユニットにおける１つのプローブ装置及びその近傍を示す平面図である。
【図４】プローブ組立体及び結合ブロックを除去したプローブ装置の正面図である。
【図５】図１及び２に示すプローブユニットの右側面図であって、支持台を断面で示す図である。
【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図である。
【図７】支持台の一実施例を拡大して示す平面図である。
【図８】図３における８−８線に沿って得た断面図であって、プローブユニットを分解して示す図である。
【図９】プローブ装置の主要部の断面図である。
【図１０】結合ブロックを支持ブロックに組み付ける組み付け装置の一実施例を示す分解斜視図である。
【図１１】電気的接続具の接続部を拡大して示す正面図である。
【図１２】本発明に係るプローブユニットを用いた試験装置の一実施例を示す平面図であって、プローブが被検査体に押圧されている状態で示す図である。
【図１３】図１２に示す試験装置をプローブが被検査体から上方に変位されている状態で示す図である。
【図１４】図１２に示す試験装置をプローブが被検査体から退避位置に後退されている状態で示す図である。
【図１５】図１２に示す検査装置の平面図である。
【図１６】図１２における１６−１６線に沿って得た断面図である。
【図１７】図１２における１７−１７線に沿って得た断面図である。
【図１８】図１２における符号Ａで示す部分の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
［用語について］
【００３０】
本発明においては、図２において、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、左右方向を左右方向又はＸ方向といい、紙背方向をプローブの先端針先の側を前方とする前後方向又はＹ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００３１】
それゆえに、本発明に係るプローブユニットは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。
【００３２】
［プローブユニットの実施例］
【００３３】
図１から図１０を参照するに、プローブユニット１０は、一部を図８及び９に示す液晶表示パネルを平板状の被検査体１２とし、被検査体１２の点灯検査に用いられる。被検査体１２は、長方形の形状を有しており、また複数の電極１４（図９参照）を少なくとも長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交する方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ延びる帯状の形状を有している。
【００３４】
プローブユニット１０は、本体フレーム（図示せず）に取り付けられる板状のプローブベース１６と、プローブベース１６の前端部上側に左右方向に間隔をおいて並列的に配置された複数の支持台１８と、支持台１８に１対１の関係に載置された複数のプローブ装置２０と、プローブベース１６の上に配置された板状の中継ベース２２（図５参照）と、中継ベース２２に載置された中継基板２４（図５参照）とを含む。
【００３５】
プローブベース１６は、被検査体１２の電極１４が配置された1つの縁部の長手方向（図示の例では、左右方向）へ延びる状態に及び厚さ方向を上下方向とした状態に、試験装置の上記した本体フレームに直接又は板状ベースを介して取り付けられる。
【００３６】
図１から図３及び図５から図８に示すように、各支持台１８は、左右方向へ延びる板状の主体部１８ａと、主体部１８ａの左右方向における端部から下方へ延びる一対の脚部１８ｂ，１８ｂとにより、門型の正面形状に形成されている。これにより、各支持台１８は、前方、後方及び下方に開放する空間２６（図２，４５及び６参照）を有する。
【００３７】
平面的に見て、一方の脚部１８ｂは主体部１８ａの前端から左右方向における一方の側へ突出されており、他方の脚部１８は主体部１８ａの後端から左右方向における他方の側へ突出されている。これにより、支持台１８は、平面的に見て、ほぼＺ字状のすなわちクランク状の平面形状に形成されている。
【００３８】
支持台１８は、プローブベース１６の左右方向に離間した箇所を下方側から貫通して、脚部１８ｂの雌ねじ穴１８ｃに螺合された一対のねじ部材２８により、プローブベース１６の上に取り付けられている。プローブ装置２０は、主体部１８ａの上に取り付けられている。
【００３９】
図２，３及び図８，９に示すように、各プローブ装置２０は、プローブ組立体３０と、プローブ組立体３０を支持する支持ブロック３２と、支持ブロック３２を支持する連結ブロック３４と、支持ブロック３２の下側（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に支持されて、プローブ組立体３０を支持ブロック３２に支持させる結合ブロック３６と、結合ブロック３６を支持ブロック３２の下側に組み付ける組み付け装置３８と、支持ブロック３２の下側に取り付けられた接続ブロック４０とを含む。
【００４０】
プローブ組立体３０は、図２から図６及び図８から図９に示すように、導電性材料により製作された複数のプローブ４２を、ブロック片４４の下面に前後方向に間隔をおいて組み付けられた一対のスリットバー４６に、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に配置し、円形の横断面形状を有するバー部材４８をプローブ４２に貫通させ、両バー部材４８の端部を一対のカバー５０によりブロック片４４に組み付けている。
【００４１】
各プローブ４２は、図９に示すように、矩形をした板状の針主体部４２ａと、針主体部４２ａの前端から前方へ一体的に延びる先端領域４２ｂと、針主体部４２ａの後端から後方へ一体的に延びる後端領域４２ｃと、先端領域４２ｂの先端から下方に延びる先端針先４２ｄと、後端領域４２ｃの後端から上方に延びる後端針先を４２ｅとを備えるブレードタイプの針とされている。先端針先４２ｄ及び後端針先４２ｅは、三角形に形成されて、先鋭にされている。
【００４２】
ブロック片４４及び各スリットバー４６は、いずれも、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、左右方向に長い角柱状の形状を有する。
【００４３】
各スリットバー４６は、電気絶縁性の材料により角柱状の形状に製作されており、またブロック片４４の前部下面又は後部下面に左右方向へ延びる状態に装着されている。各スリットバー４６は、図９に示すように、これの長手方向（左右方向）に所定の間隔をおいて前後方向へ延びて下方に開放する複数のスリット５２を下面に有する。
【００４４】
バー部材４８は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性の材料により形成されている。各バー部材４８は、プローブ４２の針主体部４２ａを貫通している。しかし、バー部材４８は、導電性の材料を電気絶縁性の材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。
【００４５】
各プローブ４２は、針主体部４２ａの厚さ方向を左右方向としかつ先端針先４２ｄ及び後端針先４２ｄをそれぞれブロック片４４から前方及び後方へ突出させた状態に、スリットバー４６に並列的に配置されており、さらに先端領域４２ｂ及び後端領域４２ｃをスリットバー４６のスリット５２に嵌合させている。
【００４６】
各カバー５０は、図２に示すように、内側に位置された板状のカバー部材５０ａと、その外側に位置された板状のカバー部材５０ｂとにより形成されている。
【００４７】
各カバー５０は、カバー部材５０ａ，５０ｂの前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、ブロック片４４の左右方向における端部に螺合された複数のねじ部材５４（図５参照）により、ブロック片４４の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。
【００４８】
各カバー５０は、また、複数の位置決めピン５６（図５参照）により、ブロック片４４に対し位置決められている。各位置決めピン５６は、ブロック片４４の左右方向における端部に、該端部から左右方向へ突出する状態に取り付けられており、また両カバー部材５０ａ，５０ｂに差し通されている。
【００４９】
バー部材４８は、その端部を内側の各カバー部材５０ａに設けられた貫通穴（図示せず）に挿入されている。これにより、バー部材４８は、カバー部材５０ａ及び５０ｂと共に、ねじ部材５４及び位置決めピン５６により、ブロック片４４に取り付けられて、位置決めされている。
【００５０】
図９に示すように、前側のスリットバー４６及び各プローブ４２は、それぞれ、後方に突出する凸部６０及び前方に開放された凹部６２を後端部及び前端部に備える。凸部６０及び凹部６２は、コ字状の断面形状を有すると共に、互いに嵌合されている。
【００５１】
また、凸部６０及び凹部６２は、それぞれ、下方（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に位置する下縁部及び上縁部６０ａ及び６２ａと、上方（Ｚ方向における他方の側）に位置する上縁部及び下縁部６０ｂ及び６２ｂとを有する。
【００５２】
凸部６０の下縁部６０ａと凹部６２の上縁部６２ｂとは下方に向いており、凸部６０の上縁部６０ｂと凹部６２の下縁部６２ａとは上方に向いている。凹部６２の上縁部６２ａは、後方側ほど低くされている。これにより、凹部６２の奥底部下側に付加的な凹部６２ｃが形成されている。
【００５３】
プローブ組立体３０は、また図８及び９に示すように、左右方向に間隔をおいた複数の位置決めピン６４（図には、その１つを示す）を含む。各位置決めピン６４は、ブロック片４４に取り付けられており、またブロック片４４から上方へ延びている。
【００５４】
各位置決めピン６４は、さらに、結合ブロック３６に設けられた位置決め穴（図示せず）に嵌合されて、その位置決め穴と共に、プローブ組立体３０を結合ブロック３６に対して位置決めている。
【００５５】
上記とは逆に、位置決めピン６４を結合ブロック３６に設け、位置決め穴をブロック片４４に設けてもよい。
【００５６】
各プローブ４２は、凸部６０及び凹部６２が相互に嵌合され、かつバー部材５８がプローブ４２を貫通し、さらに先端領域４２ｂ及び後端領域４２ｃがスリット４２に嵌合された状態に、スリットバー４６に配置される。
【００５７】
各プローブ４２は、また、そのようなスリットバー４６が、ねじ部材、接着剤等により、ブロック片４４に上記のように組み付けられると共に、カバー５０がブロック片４４に上記のように組み付けられることにより、ブロック片４４に組み付けられて、保持される。
【００５８】
結合ブロック３６は、図８に示すように、プローブ組立体３０が配置された下向き段部６６を有する。下向き段部６６は、結合ブロック３６の下部の前端部を左右方向へ延びている。
【００５９】
プローブ組立体３０は、図８及び１０に示すように、結合ブロック３６の貫通穴６７を上方から下方に貫通して、ブロック片４４に設けられた雌ねじ穴６８に螺合された頭付きのねじ部材７０により、位置決めピン６４が前記した位置決め穴に挿入された状態に、下向き段部６６に維持されている。
【００６０】
図においては、隣り合うプローブ４２が左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ４２の配列ピッチは小さい。プローブ４２の数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバー４６のスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体１２の種類、特に電極１４の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。
【００６１】
プローブ組立体３０は、両スリットバー４６を上記した状態にブロック片４４に取り付けた状態で、各プローブ４２の先端領域４２ｂ及び後端領域４２ｃをスリットバー４６のスリット５２に挿し込むと共に、凸部６０及び凹部６２を嵌合させ、バー部材４８をプローブ４２とカバー部材５０ａとに挿し通し、その後カバー部材５０ａ，５０ｂをねじ部材５４及び位置決めピン５６でブロック片４４に取り付けることにより、組み立てることができる。
【００６２】
一方のカバー５０は、両スリットバー４６をブロック片４４に取り付けた後に、ブロック片４４に取り付けてもよい。
【００６３】
プローブ組立体３０の分解は、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。プローブ４２の交換は、上記と逆の作業を実行して、元のプローブを新たなプローブに変更した後、上記と同様の作業を実行することにより、行うことができる。
【００６４】
結合ブロック３６へのプローブ組立体３０の組み付けは、位置決めピン６４（図８参照）を結合ブロック３６の前記した位置決め穴に差し込んだ状態で、ねじ部材７０を、結合ブロック３６の貫通穴６７に上方から下方に通して、ブロック片４４の前記した雌ねじ穴に螺合させることにより、行うことができる。
【００６５】
結合ブロック３６からのプローブ組立体３０の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。
【００６６】
この実施例においては、ブロック片４４とスリットバー４６とは、複数のプローブ４２を左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びるように並列的に配置したプローブホルダを構成している。
【００６７】
図５及び８に示すように、支持ブロック３２は、板状の２つ支持部３２ａ及び３２ｂによりＬ字状の断面形状に製作されている。連結ブロック３４は、支持台１８に取り付けられる主体部３４ａと、主体部３４ａの上部から前方へ延びる延長部３４ｂとにより、逆Ｌ字状の形状を有する。
【００６８】
図示の例では、支持ブロック３２は結合ブロック３６と共に支持体を形成しており、ねじ部材７０はプローブ組立体３０を結合ブロック３６に組み付ける組み付け具として作用する。
【００６９】
支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる一対のガイドレール７２と、両ガイドレール７２の間を上下方向へ延びるガイド７４とにより連結ブロック３４の主体部３４ａの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト７６により連結ブロック３４の延長部３４ｂに上下方向の位置を調整可能に連結されている。
【００７０】
両ガイドレール７２及びガイド７４は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール７２は、支持ブロック３２の支持部３２ａの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド７４は、両ガイドレール７２がガイド７４に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール７４の間に配置されており、また連結ブロック３４の主体部３４ａの前端面に取り付けられている。
【００７１】
ボルト７６は、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック３２に形成されたねじ穴７８に螺合されている。支持ブロック３２は、図２に示すように、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね８０により下方に付勢されている。
【００７２】
各圧縮コイルばね８０は、連結ブロック３４の延長部３４ｂの上に複数のねじ部材７１（図３参照）により取り付けられた板状のばね押え８２と、支持ブロック３２の支持部３２ａとの間に、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上下方向に貫通する状態に、配置されている。これにより、ねじ穴７８へのボルト７６のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置を調整することができる。
【００７３】
ばね押え８２は、ドライバーのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト７６の回転量を調整する貫通穴８２ａを有する。これにより、ばね押え８２を連結ブロック３４から取り外すことなく、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。
【００７４】
連結ブロック３４は、図２，３，５，６及び８に示すように複数のボルト８６により支持台１８に取り外し可能に取り付けられている。各ボルト８６は、連結ブロック３４の主体部３４ａを上方から下方に貫通しており、また支持台１８の主体部１８ａに形成されたねじ穴８８に螺合されている。
【００７５】
図４，８及び１０を参照するに、組み付け装置３８は、結合ブロック３６に形成された凹所９０と、凹所９０に嵌合された連結部材９２と、連結部材９２を支持ブロック３２の下側に組み付けて支持ブロック３２に支持させる複数のねじ部材９４（図４参照）と、連結部材９２の貫通穴９５を上方から下方に貫通して、結合ブロック３６のねじ穴９８に螺合されたねじ部材９６とを含む。
【００７６】
凹所９０及び連結部材９２は円形の横断面形状を有している。各ねじ部材９４は、図４に示すように、支持ブロック３２の支持部３２ｂを上方から下方に貫通して、連結部材９２の雌ねじ穴９３（図４及び１０参照）に螺合されている。
【００７７】
図示の例では、雌ねじ穴９８は、図８に示すように、結合ブロック３６の主体部３６ａに変位不能に組み付けられたナット３６ｂであるが、主体部３６ａに直接形成してもよい。
【００７８】
組み付け装置３８は、ねじ部材９６が、連結部材９２の貫通穴９５を上から下方に貫通して、雌ねじ穴９８に螺合され、連結部材９２がねじ部材９４により支持ブロック３２に取り付けられることにより、結合ブロック３６を支持ブロック３２の支持部３２ｂの下側に組み付けている。
【００７９】
組み付け装置３８は、また、凹所９０と連結部材９２が嵌合されていることにより、結合ブロック３６を支持ブロック３２に対し、左右方向及び前後方向により形成されかつ試験すべき被検査体と平行のＸＹ面内における所定の位置に維持している。
【００８０】
図示の例では、組み付け装置３８は、さらに、結合ブロック３６に形成され、ＸＹ面内を延びて、凹所９０に連通された凹所１００と、連結部材９２からＸＹ面内を延び、かつ凹所１００に受け入られたピン部材１０２と、支持ブロック３２の支持部３２ｂの下面に形成され、かつ連結部材９２の側に開放する一対の凹所１０４と、連結部材９２上方に延びて、凹所１０４に受け入られた一対のピン部材１０６とを備える。
【００８１】
凹所１００及びピン部材１０２は、ＸＹ面内においてねじ部材９６より前方の位置を一方向（図示の例では、Ｘ方向）に延びている。これに対し、両凹所１０４及び両ピン部材１０６のそれぞれは、凹所１００及びピン部材１０２が延びる方向と交差する方向、好ましくは直行する方向（図示の例では、Ｙ方向）に離間されている。
【００８２】
組み付け装置３８は、上記凹所１００，１０４及びピン部材１０２，１０４により、結合ブロック３６を支持ブロック３２に対し、左右方向及び前後方向における所定の位置に維持していると共に、上下方向に延びるθ軸線の周りにおける所定の角度位置に維持している。
【００８３】
凹所９０を支持ブロック３２に設け、連結部材９２を結合ブロック３６にねじ止めしてもよい。また、凹所１００，１０４と、ピン部材１０２，１０６とを上記と逆の部材に設けてもよい。
【００８４】
支持ブロック３２への結合ブロック３６の組み付けは、ピン部材１０６を対応する凹所１０４に位置させた状態で、連結部９２をねじ部材９４により支持ブロック３２の下側に取り付け、次いで連結部材９２を凹所９０に勘合させると共に、ピン部材１０２を対応する凹所１００に位置させた状態で、ねじ持部材９６を結合ブロック３６の雌ねじ穴９８に螺合することにより、行うことができる。
【００８５】
支持ブロック３２からの結合ブロック３６の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。
【００８６】
中継ベース２２は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース１６の上に配置されている。中継基板２４は、それぞれがプローブ装置２０のプローブ４２に対応された複数の配線（図示せず）を有する配線基板である。
【００８７】
中継基板２４の配線は、プローブ装置２０毎に備えられた電気的接続具１２０（図１，３，５，６，９，１０及び１１）により、対応するプローブ４２に電気的に接続されている。
【００８８】
図３，５及び８を参照するに、接続ブロック４０は、支持ブロック３２の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック３６の後端部と支持ブロック３２との間に位置されている。接続ブロック４０は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材１４０と、前後方向に間隔をおいた複数の位置決めピン１４２とにより支持ブロック３２の下側に分離可能に取り付けられている。
【００８９】
各ねじ部材１４０は、接続ブロック４０を下方から上方へ貫通して、支持ブロック３２に螺合されている。各位置決めピン１４２は、接続ブロック４０及び支持ブロック３２のいずれか一方に上下方向へ延びる状態に固定されて、接続ブロック４０及び支持ブロック３２の他方に設けられた位置決め穴に勘合されている。
【００９０】
上記のプローブ装置２０において、支持ブロック３２と結合ブロック３６と接続ブロック４０とは第１の支持装置として作用し、連結ブロック３４は第２の支持装置として作用する。
【００９１】
図１，３，５，６，９，１０及び１１を参照するに、各電気的接続具１２０は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置２０から後方へ延びるシート状の第１の配線領域１２２と、第１の配線領域１２２から後方へ延びるシート状の第２の配線領域１２４とを含む。
【００９２】
第１及び第２の配線領域１２２及び１２４は、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第１の配線１２６及び複数の第２の配線１２８（いずれも、図１１参照）を有する。
【００９３】
第１の配線領域１２２は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）、タブ（ＴＡＢ）、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされており、また第２の配線領域１２４は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）とされている。
【００９４】
第１の配線領域１２２は、図８に示すように、固定板１３０により結合ブロック３６の下側に位置されており、また被検査体１２を駆動する集積回路１３２を中間領域に配置しており、さらに第１の支持装置の一部として作用する結合ブロック３６の下側を後方に延びている。
【００９５】
図５，８，１０及び１１に示すように、第１の配線領域１２２の前端部は、第１の配線１２６の先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック３６の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、各プローブ４２の後端針先４２ｅは、図９に示すように、第１の配線１２６の先端部に押圧されて電気的に接続される。
【００９６】
図５，８及び１１に示すように、第１の配線領域１２２の後端部は、第１の配線領域１２２が結合ブロック３６の後端部において上方及び前方に横Ｕ字状に折り返されていることにより、第１の配線１２６の後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック３６の上面に維持されている。
【００９７】
図５，８及び１１に示すように、第２の配線領域１２４の先端部は、第１の配線領域１２２の折り返し部の上方に位置する状態に、及び第２の配線１２８の先端部が下方となる状態に、接続ブロック４０の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、第１の配線１２６の後端部と第２の配線１２８の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。
【００９８】
第２の配線領域１２４は、接続ブロック４０の後端とプローブベース１６の前端との間から、プローブベース１６の上側に導かれ、また支持台１８の空間２６に通され、さらにプローブベース１６の上を後方に延びている。
【００９９】
第２の配線領域１２４は、その後端に設けられたコネクタ１４４により、中継基板２４に結合されている。コネクタ１４４は、電気的接続具１２０の配線を介して、対応するプローブ装置２０のプローブ４２に接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板２４の前記した配線に接続される。
【０１００】
中継基板２４の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、電気的接続具１２０を介してプローブ４２に供給されて、被検査体１２を駆動（点灯）させる。
【０１０１】
図８及び１１に示すように、エラストマ１４６は、接続ブロック４０の下側にあって、第１及び第２の配線１２６及び１２８の接触部に対応する箇所に配置されている。このため、エラストマ１４６、第１の配線領域１２２及び第２の配線領域１２４は、図１１に示すように、結合ブロック３６及び接続ブロック４０が支持ブロック３２に組み付けられた状態において、圧縮変形される。これにより、第１及び第２の配線１２６及び１２８は、強く押圧されて、確実に接触する。
【０１０２】
プローブ組立体３０及び電気的接続具１２０の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。また、プローブ４２の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離し、プローブ組立体３０を結合ブロック３６から分離した状態で行うことができる。さらに、電気的接続具１２０の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離し、接続ブロック４０を支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。
【０１０３】
プローブユニット１０においては、プローブ装置２０が、前方、後方及び下方に開放する空間を備える支持台１８を介してプローブベース１６に支持されている。このため、配線通し穴をプローブベース１６に設けることなく、電気的接続具１２０の後部側の領域を、プローブベース１６の上側に導くことができると共に、支持台１８の空間２６を経るように延在させることができる。その結果、配線１２８，１２８の電気的有効長さ寸法が短くなり、その分信号の減衰量が低下し、有効な試験信号を被検査体１２に供給することができる。
【０１０４】
被検査体１２を試験する試験装置においては、上記のような形状構造を有する複数のプローブユニット１０が用いられる。
【０１０５】
［試験装置の実施例］
【０１０６】
図１２から図１８を参照するに、試験装置２００は、プローブユニット２０２と、プローブユニット２０２を支持する板状の支持ベース２０４と、支持ベース２０４に配置されて被検査体１２を受けるワークテーブル２０６と、プローブユニット２０２を支持ベース２０４に支持させるユニット支持機構２０８とを含む。
【０１０７】
プローブユニット２０２は、複数のプローブ装置２０を共通の支持台２１０に配置し、中継基板２４をその後方に配置された第２の中継基板２１２にＦＰＣのように可撓性を有する配線シート２１４（図１８参照）により電気的に接続し、第２の中継基板２１２を試験装置の電気回路に電気的に接続する構造とされていることを除いて、図１から図１１に示すプローブユニット２０と同様の形状構造を有する。
【０１０８】
支持台２１０は、図１７に示すように、プローブベース１６と平行に左右方向へ延びる板状の主体部２１０ａと、主体部２１０ａの両端部から下方へ延びる一対の脚部２１０ｂと、両脚部２１０ｂの間を主体部から下方へ延びる複数の補助部２１０ｃとを備えており、また支持台２１０を上方から下方に貫通してプローブベース１６に螺合された複数のねじ部材２１６（図１７参照）によりプローブベース１６の上面に取り付けられている。
【０１０９】
主体部２１０ａと脚部２１０ｂと補助部２１０ｃとは、前方、後方及び下方に開放する空間２６をプローブ装置２０毎に形成している。各プローブ装置２０は、対応する空間２６の上方に位置するように支持台２１０に設置されている。各プローブ装置２０の電気的接続具１２０、特に第２の配線領域１２４は、対応する空間２６に前後方向に通されている。しかし、複数のプローブ装置２０で１つの空間２６を共通に利用するようにしてもよい。
【０１１０】
この実施例においては、中継基板２４は、複数のプローブ装置２０で共通とされている。このため、全ての第２の配線領域１２４は、中継基板２１２に電気的に接続されている。中継基板２１２は、一対の取り付け具２１８によりプローブベース１６の上側に後方斜め上向きに傾斜して取り付けられている。プローブ装置２０毎に中継基板２４を設けてもよいし、複数のプローブ装置２０で１つの中継基板２４を共通に利用するようにしてもよい。
【０１１１】
支持ベース２０４は、試験装置２００のフレームに水平に配置される。ワークテーブル２０６は、被検査体１２を受けて解除可能に吸着するパネル受け面２０６ａを有する。支持ベース２０４は、ワークテーブル２０６と一体的に形成されていてもよく、またパネル受け面２０６ａを有するパネル受けに設けられた外向きのフランジ状部材であってもよい。
【０１１２】
ユニット支持機構２０８は、被検査体１２と平行なＸＹ面内でワークテーブル２０６に対し進退可能に支持ベース２０４に配置されて、プローブベース１６の長手方向（左右方向）へ延びる第１の移動体２２０と、パネル受け面２０６ａに対し傾斜する方向へ移動可能に第１の移動体２２０に結合されて、プローブベース１６の長手方向（左右方向）へ延びる第２の移動体２２２と、第１の移動体２２０を第２の移動体２２２と共にワークテーブル２０６に対し進退させるプローブ移動機構２２４と、第２の移動体２２２の最前進位置（ワークテーブル２０６の側の位置）を規定する複数の第１のストッパ２２６と、第２の移動体２２２の最上昇位置を規制すべく逆Ｌ字状の形状を有する複数の第２のストッパ２２８とを含み、プローブユニット２０２を第２の移動体２２２に支持している。
【０１１３】
第１の移動体２２０は、左右方向へ延びかつＬ字状の断面形状を有する第１の部材２２０ａに、左右方向へ延びかつくさび状の断面形状を有する第２の部材２００ｂを相対的移動不能に取り付けている。第１の移動体２２０は、前後方向に間隔をおいて左右方向へ延びる一対又は複数対のレール２３０と、各レール２３０にその長手方向へ移動可能に支持されたガイド２３２とにより、支持ベース２０４の上に結合されている。
【０１１４】
図示の例では、レール２３０は支持ベース２０４の上面に取り付けられており、ガイド２３２は第１の部材２３０ａの底板部の下面に取り付けられている。これにより、第１の移動体２２０は、ワークテーブル２０６に対し相寄り相離れる方向（前後方向）へ移動可能とされている。
【０１１５】
第２の移動体２２２は、左右方向へ延びかつＴ字状の断面形状を有する第１の部材２２２ａに、左右方向へ延びかつ角柱状の第２の部材２２２ｂを相対的移動不能に取り付けている。第１の部材２２２ａの頂面はＸＹ面と平行とされており、第１の部材２２２ａの頂面にプローブベース１６を支持している。第２の部材２２２ｂは、これを斜め上下方向に貫通するガイド穴２３４を有する。
【０１１６】
第２の移動体２２２は、斜め上下方向へ延びる状態に第１の移動体２２０に支持されたロッド２３６がガイド穴２３４に下方から受け入れられていることと、相対的変位可能に結合されたガイド２３８及びレール２４０とにより、上方側ほど前方となる斜め上下方向へ移動可能に第１の移動体２２０に結合されている。
【０１１７】
ガイド穴２３４及びロッド２３６は、上方側の部位ほどワークテーブル２０６の側となるように、傾斜されており、またガイド２３８及びレール２４０は、その相対的移動方向が上方側の部位ほどワークテーブル２０６の側となると共に、ガイド穴２３４及びロッド２３６の延在方向となるように、第１及び第２の移動体２２０及び２２４に取り付けられている。
【０１１８】
第２の移動体２２２は、ロッド２３６の周りを延びる圧縮コイルばね２４２により、常時上方に付勢されている。しかし、第２の移動体２２２の最上昇位置は、第２の移動体に支持されたプローブユニット２０２のプローブベース１６が第１の移動体２２０に取り付けられた複数の第２のストッパ２２８の前後方向へ延びる上端部に当接することにより規制される。このため、プローブユニット２０２の最上昇位置も、第２のストッパ２２８により規制される。
【０１１９】
各プローブ移動機構２２４は、第１の移動体２２０を前後方向に移動させて、第１の移動体２２０を第２の移動体２２２及びプローブユニット２０２と共にワークテーブル２０６に対し進退させる。
【０１２０】
そのようなプローブ移動機構２２４として、ブラケット２４４により支持ベース２０４の上面に設置された、モータ２４６と、前後方向に延びる状態にモータ２４６に連結されて、モータ２４６により回転されるボールねじ２４８と、第１の部材２２０ａに設けられて、ボールねじ２４８に螺合されたナット（図示せず）とを備える機構を挙げることができる。モータ２４６は、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータとすることができる。
【０１２１】
第１のストッパ２２６は、前後方向におけるワークテーブル２０６と第２の移動体２２２との間にあって、左右方向に間隔をおいて配置されている（図１６参照）。各第１のストッパ２２６は、上方へ延びる状態に支持ベース２０４に支持された支柱２５０と、左右方向へ延びる軸線の割に回転可能に支柱２５０の上端部に取り付けられたローラ２５２とを備える。ローラ２５２は、図示の例ではベアリングであり、また第２の移動体２２２の前面が当接可能の高さ位置に配置されている。
【０１２２】
試験装置２００は、プローブユニット２００とユニット支持機構２０８とが被検査体１２の電極１４が配置された縁部のそれぞれに備えられる。
【０１２３】
［試験装置の動作］
【０１２４】
試験装置２００は、各プローブユニット２００と、各第１の移動体２２０と、各第２の移動体２２２とが図１４に示す待機位置に後退されている。この状態において、第２の移動体２２２は、ストッパ２２８で規制される最上昇位置に圧縮コイルばね２４２により上昇されていると共に、ユニット移動機構２２４によりストッパ２２６のローラ２５２から後方へ離間されている。
【０１２５】
上記の待機位置において、プローブユニット２０２は、ワークテーブル２０６から上方及び後方へ離間されており、したがってプローブ４２は、その針先がワークテーブル２０６上の被検査体から上方及び後方へ離間された位置に後退されている。この状態において、ワークテーブル２０６に対する被検査体１２の受け渡しが上方側から行われる。
【０１２６】
被検査体１２の受け渡しが終了すると、第２の移動機構２２２の前面がストッパ２２６のローラ２５２に当接するまで、第１の移動体２２０がユニット移動機構２２４により前進される。これにより、プローブユニット２０２も前進されて、各プローブ４２の針先が図１３に示すように被検査体１２の電極１４の上方に移動される。
【０１２７】
第１の移動体２２０がユニット移動機構２２４によりさらに前進されると、第２の移動体２２２の前進がストッパ２２６により阻止された状態で、第１の移動体２２０が前進される。このため、第２の移動体２２２は、その前面をローラ２５２に当接させた状態で、ガイド２８８、レール２４０、ロッド２３６により、第１の移動体２２０の前進を許しつつ、下降される。これにより、各プローブブロック２０２が下降されて、各プローブ４２の針先が図１２に示すように被検査体１２の電極１４に押圧される。この状態で、被検査体１２に通電されて、被検査体１２の点灯試験が行われる。
【０１２８】
上記から明らかなように、ガイド穴２３４、ロッド２３６、ガイド２３８、レール２４０及び圧縮コイルばね２４２は、プローブユニット２０２を斜め上下方向に変位させるプローブ変位機構として作用する。
【０１２９】
上記の点灯試験は、作業者が被検査体１２を上方から目視する目視点灯試験であってもよいし、ビデオカメラのようなエリアセンサを用いかつ制御装置において画像処理をする自動点灯試験であってもよい。
【０１３０】
電気的試験が終了すると、各プローブユニット２０と、各第１の移動体２２０と各第２の移動体２２２とが図１４に示す待機位置に退避される。このとき、各第２の移動体２２２は、第１の移動体２２０がストッパ２２６から離れるまでの間、圧縮コイルばね２４２により上昇され、その後第１の移動体２２０と共に後退される。その後ワークテーブル２０６に対する被検査体１２の受け渡しが行われる。
【０１３１】
上記のように試験装置２００によれば、プローブ装置２０２は、プローブ４２の針先が被検査体１２の電極１４の上方に前進された後に下降されて、針先を電極１４に押圧され、プローブ４２の針先が被検査体１２の電極１４の上方に上昇されて、針先が電極１２から離間された後に後退される。これにより、各プローブ４２の針先は、プローブ装置２０２の上下動の際に電極１４に対し接触及び離間する方向へ変位されるが、プローブ装置２０２自体の前進後退時には、電極１２から離間した状態に維持される。その結果、針先電極１２の摩耗及び損傷が防止される。
【産業上の利用可能性】
【０１３２】
本発明は、液晶表示パネル用のプローブユニットのみならず、薄膜トランジスタが形成されたガラス基板のような他の表示用基板用のプローブユニット、集積回路のような他の平板状被検査体用のプローブユニットにも適用することができる。
【０１３３】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【０１３４】
１０，２０２ プローブユニット
１２ 表示用基板（被検査体）
１４ 表示用基板の電極
１６ プローブベース
１８，２１０ 支持台
１８ａ，２１０ａ 主体部
１８ｂ，２１０ｂ 脚部
２０ プローブ装置
２２ 中継ベース
２４ 中継基板
２６ 空間
３０ プローブ組立体
３２ 支持ブロック
３４ 連結ブロック
３６ 結合ブロック
３８ 組み付け装置
４０ 接続ブロック
４２ プローブ
４２ａ 針主体部
４２ｂ 先端領域
４２ｃ 後端領域
４２ｄ 先端針先
４２ｅ 後端針先
４４ ブロック片
４６ スリットバー
８２ ばね押え
１２０ 電気的接続具
１２２，１２４ 第１及び第２の配線領域
１２６，１２８ 第１及び第２の配線
２００ 試験装置
２０４ 支持ベース
２０６ ワークテーブル
２０６ａ パネル受け面
２０８ ユニット支持機構
２１２ 第２の中継基板
２１４ 配線シート
２２０，２２２ 第１及び第２の移動体
２２４ ユニット移動機構
２２６，２２８ ストッパ
２３０ レール
２３２ ガイド
２３４ ガイド穴（プローブ変位機構）
２３６ ロッド（プローブ変位機構）
２３８ ガイド（プローブ変位機構）
２４０ レール（プローブ変位機構）
２４２ 圧縮コイルばね（プローブ変位機構）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の通電試験に用いられるプローブユニット及びこれを用いる試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような平板状の被検査体は、一般に、プローブユニットを用いる検査装置すなわち試験装置により検査すなわち試験をされる。そのようなプローブユニットの１つとして、特許文献１及び２に記載されたものがある。
【０００３】
特許文献１に記載されたプローブユニットは、試験装置の本体フレームに取り付けられる板状のプローブベースと、該プローブベースに前後方向に間隔をおいて配置された複数のプローブ装置とを含む。
【０００４】
各プローブ装置は、プローブベースに取り付けられた連結ブロック(スライドベース)と、高さ位置を調整可能に連結ブロックに懸架された支持ブロックと、複数のプローブをプローブホルダの下側に配置したプローブ組立体（プローブブロック）であって、支持ブロックに組み付けられたプローブ組立体と、プローブ組立体の後端部から後方へ延びるシート状の電気的接続具とを含む。
【０００５】
上記従来技術においては、電気的接続具として、ＴＡＢ（テープ自動化実装）、ＴＰＣ（テープ・キャリア・ボンディング）、ＦＰＣ（フレキシブル・プリンテッド・サーキット）等のシート状の配線接続具を用いている。
【０００６】
連結ブロック及び支持ブロックは、プローブ組立体を支持する支持装置を形成している。また、電気的接続具は前後方向へ延びる複数の配線を有している。さらに、各配線はその先端部において前記プローブの後端針先に接続されている。
【０００７】
電気的接続具は、プローブベースの下側を延びており、また後端部において中継基板に電気的に接続されている。中継基板は、被検査体のために試験信号を発生する電気回路に中継配線を介して電気的に接続される。
【０００８】
しかし、電気的接続具がプローブベースの下側を延在していると、特許文献２のように、中継基板をプローブベースの下側に設けなければならず、この中継基板から後方へ延びる中継配線をプローブベースの下側に位置させて、プローブベースの後方へ延在させなければならない。
【０００９】
上記のようなプローブユニットでは、電気的接続具、中継基板、中継配線等、故障部品又は点検部品の交換又は点検をする際に、プローブベースを本体フレームから分離して、交換作業又は保守管理作業を行わなければならず、故障部品又は点検部品の交換作業又は点検作業が面倒になるのみならず、中継配線の取り扱いが面倒になる。
【００１０】
また、プローブ組立体を被検査体に対し上下動又は進退させる機構のような駆動機構をプローブベースの下側に配置する試験装置においては、電気的接続具、中継基板及び中継配線を、それらがそのような駆動機構の妨げにならないように、駆動機構の下側に通さなければならず、駆動機構、電気的接続具、中継基板、中継配線等の取り扱いが面倒であり、しかもそれらの保守管理作業が繁雑になる。
【００１１】
上記の課題を解決する手法の１つとして、プローブベースを上下方向に貫通する複数の配線通し穴を左右方向に間隔をおいてプローブベースに設け、各プローブ装置の電気的接続具又は中継配線をその通し穴にプローブベースの下方から上方に通すことが考えられる。
【００１２】
しかし、そのようにすると、プローブベースの配線通し穴を設けた箇所の機械的強度が低下するから、そのような機械的強度の低下を補償する複数の補強部材をプローブベースに設けなければならず、プローブベースの構造が複雑になり、プローブユニットが高価になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００４−１９１０６４号公報
【特許文献２】特開２００９−１１５５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、配線通し穴をプローブベースに設けることなく、電気的接続具をプローブベースの上側に通す構造とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係るプローブユニットは、板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が前記後端針先に接続された電気的接続具とを含む。前記支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備える。前記電気的接続具の後部側の領域は、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経て延びている。
【００１６】
前記支持台は、左右方向へ延びる板状の主体部であって、前記プローブ装置が取り付けられた主体部と、主体部の左右方向における各端部から下方へ延びる脚部とにより、門型の正面形状に形成されていてもよい。
【００１７】
前記脚部の一方は前記主体部の前端から左右方向における一方の側へ突出されており、前記脚部の他方は前記主体部後端から左右方向における他方の側へ突出されており、それにより前記支持台はクランク状の平面形状に形成されていてもよい。
【００１８】
前記支持台は、前記プローブベース及び前記脚部のいずれか一方を上下方向に貫通して、前記プローブベース及び前記脚部の他方に螺合されたねじ部材により、前記プローブベースに取り付けられていてもよい。
【００１９】
本発明に係るプローブユニットは、複数の前記支持台と、該支持台に個々に支持された複数の前記プローブ装置とを含むことができる。これの代わりに、前記支持台に共通に支持された複数の前記プローブ装置を含むことができる。
【００２０】
本発明に係るプローブユニットは、さらに、前記プローブベースの上側に配置された中継基板であって、前記電気的接続具の配線の後端部が電気的に接続された中継基板を含むことができる。前記電気接続具の後端部はコネクタにより前記中継基板に電気的に接続されていてもよい。
【００２１】
前記中継基板は後方及び上方へ斜めに延びる状態に前記プローブベースの上側に配置されていてもよく、また前記電気接続具の後端部はコネクタ及び該コネクタに接続されたケーブルにより前記中継基板に電気的に接続されていてもよい。
【００２２】
前記プローブ装置は、前記複数のプローブをプローブホルダの下側に配置したプローブ組立体と、該プローブ組立体を支持する第１の支持装置と、該第１の支持装置を支持する第２の支持装置であって、前記支持台に取り付けられた第２の支持装置とを備えることができる。また、前記電気的接続具は、前記プローブ組立体の後端部から後方へ延びていてもよい。
【００２３】
前記電気的接続具は、前記第１の支持装置の下部を経て後方に延びて、前記プローブベースの前端部から前記プローブベースの上側に導かれていてもよい。
【００２４】
前記電気的接続具は、前後方向へ延びる複数の第１の配線を有する第１の配線領域であって、各第１の配線の先端部が前記プローブの後端針先に接続された第１の配線領域と、前後方向へ延びる複数の第２の配線を有する第２の配線領域であって、各第２の配線の先端部が前記第１の配線の後端部に接続された第２の配線領域とを含むことができ、また前記第２の配線領域において、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経ていてもよい。
【００２５】
前記第１の支持装置は、前記第２の支持装置に支持された支持ブロックと、該支持ブロックに組み付けられた結合ブロックであって、前記プローブ組立体が前部下側に組み付けられかつ前記第１の配線領域が下側に配置された結合ブロックと、前記支持ブロックの後部下側と前記結合ブロックの後部上側との間に配置されて、前記支持ブロックに取り付けられた接続ブロックであって、前記第２の配線領域の先端部が下側に配置された接続ブロックとを含むことができる。また、前記第１の配線領域の後端部は、前記結合ブロックの後端において、該結合ブロックの下側から上側に折り返されて、その各配線が前記第２の配線領域の配線に接続されていてもよい。
【００２６】
前記電気的接続具は、シート状の配線接続具を含むことができる。
【００２７】
本発明に係る試験装置は、ベースと、該ベースに支持されたワークテーブルであって、平板状被検査体を受ける受け部を有するワークテーブルと、上記のようなプローブユニットであって、前記ベースに配置されたプローブユニットと、該プローブユニットを前記ベースに支持させるユニット支持機構とを含む。該ユニット支持機構は、前記被検査体と平行なＸＹ面内を前後方向へ移動可能に前記ベースに受けられた第１の移動体であって、前記ＸＹ面内を左右方向へ延びる第１の移動体と、斜め上下方向に移動可能に前記第１の移動体に結合された第２の移動体であって、左右方向へ延びる第２の移動体と、前記第２の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第１の移動体を被検査体に対し進退させ、それにより前記第２の移動体を、前後方向又は左右方向に移動させると共に、上下方向に変位させるプローブ変位機構とを備える。前記プローブユニットは前記第２の移動体に支持されている。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係るプローブユニットの一実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示すプローブユニットにおける１つのプローブ装置及びその近傍を示す正面図である。
【図３】図１に示すプローブユニットにおける１つのプローブ装置及びその近傍を示す平面図である。
【図４】プローブ組立体及び結合ブロックを除去したプローブ装置の正面図である。
【図５】図１及び２に示すプローブユニットの右側面図であって、支持台を断面で示す図である。
【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図である。
【図７】支持台の一実施例を拡大して示す平面図である。
【図８】図３における８−８線に沿って得た断面図であって、プローブユニットを分解して示す図である。
【図９】プローブ装置の主要部の断面図である。
【図１０】結合ブロックを支持ブロックに組み付ける組み付け装置の一実施例を示す分解斜視図である。
【図１１】電気的接続具の接続部を拡大して示す正面図である。
【図１２】本発明に係るプローブユニットを用いた試験装置の一実施例を示す平面図であって、プローブが被検査体に押圧されている状態で示す図である。
【図１３】図１２に示す試験装置をプローブが被検査体から上方に変位されている状態で示す図である。
【図１４】図１２に示す試験装置をプローブが被検査体から退避位置に後退されている状態で示す図である。
【図１５】図１２に示す検査装置の平面図である。
【図１６】図１２における１６−１６線に沿って得た断面図である。
【図１７】図１２における１７−１７線に沿って得た断面図である。
【図１８】図１２における符号Ａで示す部分の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
［用語について］
【００３０】
本発明においては、図２において、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、左右方向を左右方向又はＸ方向といい、紙背方向をプローブの先端針先の側を前方とする前後方向又はＹ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００３１】
それゆえに、本発明に係るプローブユニットは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。
【００３２】
［プローブユニットの実施例］
【００３３】
図１から図１０を参照するに、プローブユニット１０は、一部を図８及び９に示す液晶表示パネルを平板状の被検査体１２とし、被検査体１２の点灯検査に用いられる。被検査体１２は、長方形の形状を有しており、また複数の電極１４（図９参照）を少なくとも長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交する方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ延びる帯状の形状を有している。
【００３４】
プローブユニット１０は、本体フレーム（図示せず）に取り付けられる板状のプローブベース１６と、プローブベース１６の前端部上側に左右方向に間隔をおいて並列的に配置された複数の支持台１８と、支持台１８に１対１の関係に載置された複数のプローブ装置２０と、プローブベース１６の上に配置された板状の中継ベース２２（図５参照）と、中継ベース２２に載置された中継基板２４（図５参照）とを含む。
【００３５】
プローブベース１６は、被検査体１２の電極１４が配置された1つの縁部の長手方向（図示の例では、左右方向）へ延びる状態に及び厚さ方向を上下方向とした状態に、試験装置の上記した本体フレームに直接又は板状ベースを介して取り付けられる。
【００３６】
図１から図３及び図５から図８に示すように、各支持台１８は、左右方向へ延びる板状の主体部１８ａと、主体部１８ａの左右方向における端部から下方へ延びる一対の脚部１８ｂ，１８ｂとにより、門型の正面形状に形成されている。これにより、各支持台１８は、前方、後方及び下方に開放する空間２６（図２，４５及び６参照）を有する。
【００３７】
平面的に見て、一方の脚部１８ｂは主体部１８ａの前端から左右方向における一方の側へ突出されており、他方の脚部１８は主体部１８ａの後端から左右方向における他方の側へ突出されている。これにより、支持台１８は、平面的に見て、ほぼＺ字状のすなわちクランク状の平面形状に形成されている。
【００３８】
支持台１８は、プローブベース１６の左右方向に離間した箇所を下方側から貫通して、脚部１８ｂの雌ねじ穴１８ｃに螺合された一対のねじ部材２８により、プローブベース１６の上に取り付けられている。プローブ装置２０は、主体部１８ａの上に取り付けられている。
【００３９】
図２，３及び図８，９に示すように、各プローブ装置２０は、プローブ組立体３０と、プローブ組立体３０を支持する支持ブロック３２と、支持ブロック３２を支持する連結ブロック３４と、支持ブロック３２の下側（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に支持されて、プローブ組立体３０を支持ブロック３２に支持させる結合ブロック３６と、結合ブロック３６を支持ブロック３２の下側に組み付ける組み付け装置３８と、支持ブロック３２の下側に取り付けられた接続ブロック４０とを含む。
【００４０】
プローブ組立体３０は、図２から図６及び図８から図９に示すように、導電性材料により製作された複数のプローブ４２を、ブロック片４４の下面に前後方向に間隔をおいて組み付けられた一対のスリットバー４６に、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に配置し、円形の横断面形状を有するバー部材４８をプローブ４２に貫通させ、両バー部材４８の端部を一対のカバー５０によりブロック片４４に組み付けている。
【００４１】
各プローブ４２は、図９に示すように、矩形をした板状の針主体部４２ａと、針主体部４２ａの前端から前方へ一体的に延びる先端領域４２ｂと、針主体部４２ａの後端から後方へ一体的に延びる後端領域４２ｃと、先端領域４２ｂの先端から下方に延びる先端針先４２ｄと、後端領域４２ｃの後端から上方に延びる後端針先を４２ｅとを備えるブレードタイプの針とされている。先端針先４２ｄ及び後端針先４２ｅは、三角形に形成されて、先鋭にされている。
【００４２】
ブロック片４４及び各スリットバー４６は、いずれも、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、左右方向に長い角柱状の形状を有する。
【００４３】
各スリットバー４６は、電気絶縁性の材料により角柱状の形状に製作されており、またブロック片４４の前部下面又は後部下面に左右方向へ延びる状態に装着されている。各スリットバー４６は、図９に示すように、これの長手方向（左右方向）に所定の間隔をおいて前後方向へ延びて下方に開放する複数のスリット５２を下面に有する。
【００４４】
バー部材４８は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性の材料により形成されている。各バー部材４８は、プローブ４２の針主体部４２ａを貫通している。しかし、バー部材４８は、導電性の材料を電気絶縁性の材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。
【００４５】
各プローブ４２は、針主体部４２ａの厚さ方向を左右方向としかつ先端針先４２ｄ及び後端針先４２ｄをそれぞれブロック片４４から前方及び後方へ突出させた状態に、スリットバー４６に並列的に配置されており、さらに先端領域４２ｂ及び後端領域４２ｃをスリットバー４６のスリット５２に嵌合させている。
【００４６】
各カバー５０は、図２に示すように、内側に位置された板状のカバー部材５０ａと、その外側に位置された板状のカバー部材５０ｂとにより形成されている。
【００４７】
各カバー５０は、カバー部材５０ａ，５０ｂの前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、ブロック片４４の左右方向における端部に螺合された複数のねじ部材５４（図５参照）により、ブロック片４４の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。
【００４８】
各カバー５０は、また、複数の位置決めピン５６（図５参照）により、ブロック片４４に対し位置決められている。各位置決めピン５６は、ブロック片４４の左右方向における端部に、該端部から左右方向へ突出する状態に取り付けられており、また両カバー部材５０ａ，５０ｂに差し通されている。
【００４９】
バー部材４８は、その端部を内側の各カバー部材５０ａに設けられた貫通穴（図示せず）に挿入されている。これにより、バー部材４８は、カバー部材５０ａ及び５０ｂと共に、ねじ部材５４及び位置決めピン５６により、ブロック片４４に取り付けられて、位置決めされている。
【００５０】
図９に示すように、前側のスリットバー４６及び各プローブ４２は、それぞれ、後方に突出する凸部６０及び前方に開放された凹部６２を後端部及び前端部に備える。凸部６０及び凹部６２は、コ字状の断面形状を有すると共に、互いに嵌合されている。
【００５１】
また、凸部６０及び凹部６２は、それぞれ、下方（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に位置する下縁部及び上縁部６０ａ及び６２ａと、上方（Ｚ方向における他方の側）に位置する上縁部及び下縁部６０ｂ及び６２ｂとを有する。
【００５２】
凸部６０の下縁部６０ａと凹部６２の上縁部６２ｂとは下方に向いており、凸部６０の上縁部６０ｂと凹部６２の下縁部６２ａとは上方に向いている。凹部６２の上縁部６２ａは、後方側ほど低くされている。これにより、凹部６２の奥底部下側に付加的な凹部６２ｃが形成されている。
【００５３】
プローブ組立体３０は、また図８及び９に示すように、左右方向に間隔をおいた複数の位置決めピン６４（図には、その１つを示す）を含む。各位置決めピン６４は、ブロック片４４に取り付けられており、またブロック片４４から上方へ延びている。
【００５４】
各位置決めピン６４は、さらに、結合ブロック３６に設けられた位置決め穴（図示せず）に嵌合されて、その位置決め穴と共に、プローブ組立体３０を結合ブロック３６に対して位置決めている。
【００５５】
上記とは逆に、位置決めピン６４を結合ブロック３６に設け、位置決め穴をブロック片４４に設けてもよい。
【００５６】
各プローブ４２は、凸部６０及び凹部６２が相互に嵌合され、かつバー部材５８がプローブ４２を貫通し、さらに先端領域４２ｂ及び後端領域４２ｃがスリット４２に嵌合された状態に、スリットバー４６に配置される。
【００５７】
各プローブ４２は、また、そのようなスリットバー４６が、ねじ部材、接着剤等により、ブロック片４４に上記のように組み付けられると共に、カバー５０がブロック片４４に上記のように組み付けられることにより、ブロック片４４に組み付けられて、保持される。
【００５８】
結合ブロック３６は、図８に示すように、プローブ組立体３０が配置された下向き段部６６を有する。下向き段部６６は、結合ブロック３６の下部の前端部を左右方向へ延びている。
【００５９】
プローブ組立体３０は、図８及び１０に示すように、結合ブロック３６の貫通穴６７を上方から下方に貫通して、ブロック片４４に設けられた雌ねじ穴６８に螺合された頭付きのねじ部材７０により、位置決めピン６４が前記した位置決め穴に挿入された状態に、下向き段部６６に維持されている。
【００６０】
図においては、隣り合うプローブ４２が左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ４２の配列ピッチは小さい。プローブ４２の数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバー４６のスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体１２の種類、特に電極１４の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。
【００６１】
プローブ組立体３０は、両スリットバー４６を上記した状態にブロック片４４に取り付けた状態で、各プローブ４２の先端領域４２ｂ及び後端領域４２ｃをスリットバー４６のスリット５２に挿し込むと共に、凸部６０及び凹部６２を嵌合させ、バー部材４８をプローブ４２とカバー部材５０ａとに挿し通し、その後カバー部材５０ａ，５０ｂをねじ部材５４及び位置決めピン５６でブロック片４４に取り付けることにより、組み立てることができる。
【００６２】
一方のカバー５０は、両スリットバー４６をブロック片４４に取り付けた後に、ブロック片４４に取り付けてもよい。
【００６３】
プローブ組立体３０の分解は、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。プローブ４２の交換は、上記と逆の作業を実行して、元のプローブを新たなプローブに変更した後、上記と同様の作業を実行することにより、行うことができる。
【００６４】
結合ブロック３６へのプローブ組立体３０の組み付けは、位置決めピン６４（図８参照）を結合ブロック３６の前記した位置決め穴に差し込んだ状態で、ねじ部材７０を、結合ブロック３６の貫通穴６７に上方から下方に通して、ブロック片４４の前記した雌ねじ穴に螺合させることにより、行うことができる。
【００６５】
結合ブロック３６からのプローブ組立体３０の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。
【００６６】
この実施例においては、ブロック片４４とスリットバー４６とは、複数のプローブ４２を左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びるように並列的に配置したプローブホルダを構成している。
【００６７】
図５及び８に示すように、支持ブロック３２は、板状の２つ支持部３２ａ及び３２ｂによりＬ字状の断面形状に製作されている。連結ブロック３４は、支持台１８に取り付けられる主体部３４ａと、主体部３４ａの上部から前方へ延びる延長部３４ｂとにより、逆Ｌ字状の形状を有する。
【００６８】
図示の例では、支持ブロック３２は結合ブロック３６と共に支持体を形成しており、ねじ部材７０はプローブ組立体３０を結合ブロック３６に組み付ける組み付け具として作用する。
【００６９】
支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる一対のガイドレール７２と、両ガイドレール７２の間を上下方向へ延びるガイド７４とにより連結ブロック３４の主体部３４ａの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト７６により連結ブロック３４の延長部３４ｂに上下方向の位置を調整可能に連結されている。
【００７０】
両ガイドレール７２及びガイド７４は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール７２は、支持ブロック３２の支持部３２ａの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド７４は、両ガイドレール７２がガイド７４に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール７４の間に配置されており、また連結ブロック３４の主体部３４ａの前端面に取り付けられている。
【００７１】
ボルト７６は、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック３２に形成されたねじ穴７８に螺合されている。支持ブロック３２は、図２に示すように、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね８０により下方に付勢されている。
【００７２】
各圧縮コイルばね８０は、連結ブロック３４の延長部３４ｂの上に複数のねじ部材７１（図３参照）により取り付けられた板状のばね押え８２と、支持ブロック３２の支持部３２ａとの間に、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上下方向に貫通する状態に、配置されている。これにより、ねじ穴７８へのボルト７６のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置を調整することができる。
【００７３】
ばね押え８２は、ドライバーのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト７６の回転量を調整する貫通穴８２ａを有する。これにより、ばね押え８２を連結ブロック３４から取り外すことなく、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。
【００７４】
連結ブロック３４は、図２，３，５，６及び８に示すように複数のボルト８６により支持台１８に取り外し可能に取り付けられている。各ボルト８６は、連結ブロック３４の主体部３４ａを上方から下方に貫通しており、また支持台１８の主体部１８ａに形成されたねじ穴８８に螺合されている。
【００７５】
図４，８及び１０を参照するに、組み付け装置３８は、結合ブロック３６に形成された凹所９０と、凹所９０に嵌合された連結部材９２と、連結部材９２を支持ブロック３２の下側に組み付けて支持ブロック３２に支持させる複数のねじ部材９４（図４参照）と、連結部材９２の貫通穴９５を上方から下方に貫通して、結合ブロック３６のねじ穴９８に螺合されたねじ部材９６とを含む。
【００７６】
凹所９０及び連結部材９２は円形の横断面形状を有している。各ねじ部材９４は、図４に示すように、支持ブロック３２の支持部３２ｂを上方から下方に貫通して、連結部材９２の雌ねじ穴９３（図４及び１０参照）に螺合されている。
【００７７】
図示の例では、雌ねじ穴９８は、図８に示すように、結合ブロック３６の主体部３６ａに変位不能に組み付けられたナット３６ｂであるが、主体部３６ａに直接形成してもよい。
【００７８】
組み付け装置３８は、ねじ部材９６が、連結部材９２の貫通穴９５を上から下方に貫通して、雌ねじ穴９８に螺合され、連結部材９２がねじ部材９４により支持ブロック３２に取り付けられることにより、結合ブロック３６を支持ブロック３２の支持部３２ｂの下側に組み付けている。
【００７９】
組み付け装置３８は、また、凹所９０と連結部材９２が嵌合されていることにより、結合ブロック３６を支持ブロック３２に対し、左右方向及び前後方向により形成されかつ試験すべき被検査体と平行のＸＹ面内における所定の位置に維持している。
【００８０】
図示の例では、組み付け装置３８は、さらに、結合ブロック３６に形成され、ＸＹ面内を延びて、凹所９０に連通された凹所１００と、連結部材９２からＸＹ面内を延び、かつ凹所１００に受け入られたピン部材１０２と、支持ブロック３２の支持部３２ｂの下面に形成され、かつ連結部材９２の側に開放する一対の凹所１０４と、連結部材９２上方に延びて、凹所１０４に受け入られた一対のピン部材１０６とを備える。
【００８１】
凹所１００及びピン部材１０２は、ＸＹ面内においてねじ部材９６より前方の位置を一方向（図示の例では、Ｘ方向）に延びている。これに対し、両凹所１０４及び両ピン部材１０６のそれぞれは、凹所１００及びピン部材１０２が延びる方向と交差する方向、好ましくは直行する方向（図示の例では、Ｙ方向）に離間されている。
【００８２】
組み付け装置３８は、上記凹所１００，１０４及びピン部材１０２，１０４により、結合ブロック３６を支持ブロック３２に対し、左右方向及び前後方向における所定の位置に維持していると共に、上下方向に延びるθ軸線の周りにおける所定の角度位置に維持している。
【００８３】
凹所９０を支持ブロック３２に設け、連結部材９２を結合ブロック３６にねじ止めしてもよい。また、凹所１００，１０４と、ピン部材１０２，１０６とを上記と逆の部材に設けてもよい。
【００８４】
支持ブロック３２への結合ブロック３６の組み付けは、ピン部材１０６を対応する凹所１０４に位置させた状態で、連結部９２をねじ部材９４により支持ブロック３２の下側に取り付け、次いで連結部材９２を凹所９０に勘合させると共に、ピン部材１０２を対応する凹所１００に位置させた状態で、ねじ持部材９６を結合ブロック３６の雌ねじ穴９８に螺合することにより、行うことができる。
【００８５】
支持ブロック３２からの結合ブロック３６の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。
【００８６】
中継ベース２２は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース１６の上に配置されている。中継基板２４は、それぞれがプローブ装置２０のプローブ４２に対応された複数の配線（図示せず）を有する配線基板である。
【００８７】
中継基板２４の配線は、プローブ装置２０毎に備えられた電気的接続具１２０（図１，３，５，６，９，１０及び１１）により、対応するプローブ４２に電気的に接続されている。
【００８８】
図３，５及び８を参照するに、接続ブロック４０は、支持ブロック３２の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック３６の後端部と支持ブロック３２との間に位置されている。接続ブロック４０は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材１４０と、前後方向に間隔をおいた複数の位置決めピン１４２とにより支持ブロック３２の下側に分離可能に取り付けられている。
【００８９】
各ねじ部材１４０は、接続ブロック４０を下方から上方へ貫通して、支持ブロック３２に螺合されている。各位置決めピン１４２は、接続ブロック４０及び支持ブロック３２のいずれか一方に上下方向へ延びる状態に固定されて、接続ブロック４０及び支持ブロック３２の他方に設けられた位置決め穴に勘合されている。
【００９０】
上記のプローブ装置２０において、支持ブロック３２と結合ブロック３６と接続ブロック４０とは第１の支持装置として作用し、連結ブロック３４は第２の支持装置として作用する。
【００９１】
図１，３，５，６，９，１０及び１１を参照するに、各電気的接続具１２０は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置２０から後方へ延びるシート状の第１の配線領域１２２と、第１の配線領域１２２から後方へ延びるシート状の第２の配線領域１２４とを含む。
【００９２】
第１及び第２の配線領域１２２及び１２４は、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第１の配線１２６及び複数の第２の配線１２８（いずれも、図１１参照）を有する。
【００９３】
第１の配線領域１２２は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）、タブ（ＴＡＢ）、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされており、また第２の配線領域１２４は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）とされている。
【００９４】
第１の配線領域１２２は、図８に示すように、固定板１３０により結合ブロック３６の下側に位置されており、また被検査体１２を駆動する集積回路１３２を中間領域に配置しており、さらに第１の支持装置の一部として作用する結合ブロック３６の下側を後方に延びている。
【００９５】
図５，８，１０及び１１に示すように、第１の配線領域１２２の前端部は、第１の配線１２６の先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック３６の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、各プローブ４２の後端針先４２ｅは、図９に示すように、第１の配線１２６の先端部に押圧されて電気的に接続される。
【００９６】
図５，８及び１１に示すように、第１の配線領域１２２の後端部は、第１の配線領域１２２が結合ブロック３６の後端部において上方及び前方に横Ｕ字状に折り返されていることにより、第１の配線１２６の後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック３６の上面に維持されている。
【００９７】
図５，８及び１１に示すように、第２の配線領域１２４の先端部は、第１の配線領域１２２の折り返し部の上方に位置する状態に、及び第２の配線１２８の先端部が下方となる状態に、接続ブロック４０の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、第１の配線１２６の後端部と第２の配線１２８の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。
【００９８】
第２の配線領域１２４は、接続ブロック４０の後端とプローブベース１６の前端との間から、プローブベース１６の上側に導かれ、また支持台１８の空間２６に通され、さらにプローブベース１６の上を後方に延びている。
【００９９】
第２の配線領域１２４は、その後端に設けられたコネクタ１４４により、中継基板２４に結合されている。コネクタ１４４は、電気的接続具１２０の配線を介して、対応するプローブ装置２０のプローブ４２に接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板２４の前記した配線に接続される。
【０１００】
中継基板２４の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、電気的接続具１２０を介してプローブ４２に供給されて、被検査体１２を駆動（点灯）させる。
【０１０１】
図８及び１１に示すように、エラストマ１４６は、接続ブロック４０の下側にあって、第１及び第２の配線１２６及び１２８の接触部に対応する箇所に配置されている。このため、エラストマ１４６、第１の配線領域１２２及び第２の配線領域１２４は、図１１に示すように、結合ブロック３６及び接続ブロック４０が支持ブロック３２に組み付けられた状態において、圧縮変形される。これにより、第１及び第２の配線１２６及び１２８は、強く押圧されて、確実に接触する。
【０１０２】
プローブ組立体３０及び電気的接続具１２０の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。また、プローブ４２の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離し、プローブ組立体３０を結合ブロック３６から分離した状態で行うことができる。さらに、電気的接続具１２０の交換は、結合ブロック３６を支持ブロック３２から分離し、接続ブロック４０を支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。
【０１０３】
プローブユニット１０においては、プローブ装置２０が、前方、後方及び下方に開放する空間を備える支持台１８を介してプローブベース１６に支持されている。このため、配線通し穴をプローブベース１６に設けることなく、電気的接続具１２０の後部側の領域を、プローブベース１６の上側に導くことができると共に、支持台１８の空間２６を経るように延在させることができる。その結果、配線１２８，１２８の電気的有効長さ寸法が短くなり、その分信号の減衰量が低下し、有効な試験信号を被検査体１２に供給することができる。
【０１０４】
被検査体１２を試験する試験装置においては、上記のような形状構造を有する複数のプローブユニット１０が用いられる。
【０１０５】
［試験装置の実施例］
【０１０６】
図１２から図１８を参照するに、試験装置２００は、プローブユニット２０２と、プローブユニット２０２を支持する板状の支持ベース２０４と、支持ベース２０４に配置されて被検査体１２を受けるワークテーブル２０６と、プローブユニット２０２を支持ベース２０４に支持させるユニット支持機構２０８とを含む。
【０１０７】
プローブユニット２０２は、複数のプローブ装置２０を共通の支持台２１０に配置し、中継基板２４をその後方に配置された第２の中継基板２１２にＦＰＣのように可撓性を有する配線シート２１４（図１８参照）により電気的に接続し、第２の中継基板２１２を試験装置の電気回路に電気的に接続する構造とされていることを除いて、図１から図１１に示すプローブユニット２０と同様の形状構造を有する。
【０１０８】
支持台２１０は、図１７に示すように、プローブベース１６と平行に左右方向へ延びる板状の主体部２１０ａと、主体部２１０ａの両端部から下方へ延びる一対の脚部２１０ｂと、両脚部２１０ｂの間を主体部から下方へ延びる複数の補助部２１０ｃとを備えており、また支持台２１０を上方から下方に貫通してプローブベース１６に螺合された複数のねじ部材２１６（図１７参照）によりプローブベース１６の上面に取り付けられている。
【０１０９】
主体部２１０ａと脚部２１０ｂと補助部２１０ｃとは、前方、後方及び下方に開放する空間２６をプローブ装置２０毎に形成している。各プローブ装置２０は、対応する空間２６の上方に位置するように支持台２１０に設置されている。各プローブ装置２０の電気的接続具１２０、特に第２の配線領域１２４は、対応する空間２６に前後方向に通されている。しかし、複数のプローブ装置２０で１つの空間２６を共通に利用するようにしてもよい。
【０１１０】
この実施例においては、中継基板２４は、複数のプローブ装置２０で共通とされている。このため、全ての第２の配線領域１２４は、中継基板２１２に電気的に接続されている。中継基板２１２は、一対の取り付け具２１８によりプローブベース１６の上側に後方斜め上向きに傾斜して取り付けられている。プローブ装置２０毎に中継基板２４を設けてもよいし、複数のプローブ装置２０で１つの中継基板２４を共通に利用するようにしてもよい。
【０１１１】
支持ベース２０４は、試験装置２００のフレームに水平に配置される。ワークテーブル２０６は、被検査体１２を受けて解除可能に吸着するパネル受け面２０６ａを有する。支持ベース２０４は、ワークテーブル２０６と一体的に形成されていてもよく、またパネル受け面２０６ａを有するパネル受けに設けられた外向きのフランジ状部材であってもよい。
【０１１２】
ユニット支持機構２０８は、被検査体１２と平行なＸＹ面内でワークテーブル２０６に対し進退可能に支持ベース２０４に配置されて、プローブベース１６の長手方向（左右方向）へ延びる第１の移動体２２０と、パネル受け面２０６ａに対し傾斜する方向へ移動可能に第１の移動体２２０に結合されて、プローブベース１６の長手方向（左右方向）へ延びる第２の移動体２２２と、第１の移動体２２０を第２の移動体２２２と共にワークテーブル２０６に対し進退させるプローブ移動機構２２４と、第２の移動体２２２の最前進位置（ワークテーブル２０６の側の位置）を規定する複数の第１のストッパ２２６と、第２の移動体２２２の最上昇位置を規制すべく逆Ｌ字状の形状を有する複数の第２のストッパ２２８とを含み、プローブユニット２０２を第２の移動体２２２に支持している。
【０１１３】
第１の移動体２２０は、左右方向へ延びかつＬ字状の断面形状を有する第１の部材２２０ａに、左右方向へ延びかつくさび状の断面形状を有する第２の部材２００ｂを相対的移動不能に取り付けている。第１の移動体２２０は、前後方向に間隔をおいて左右方向へ延びる一対又は複数対のレール２３０と、各レール２３０にその長手方向へ移動可能に支持されたガイド２３２とにより、支持ベース２０４の上に結合されている。
【０１１４】
図示の例では、レール２３０は支持ベース２０４の上面に取り付けられており、ガイド２３２は第１の部材２３０ａの底板部の下面に取り付けられている。これにより、第１の移動体２２０は、ワークテーブル２０６に対し相寄り相離れる方向（前後方向）へ移動可能とされている。
【０１１５】
第２の移動体２２２は、左右方向へ延びかつＴ字状の断面形状を有する第１の部材２２２ａに、左右方向へ延びかつ角柱状の第２の部材２２２ｂを相対的移動不能に取り付けている。第１の部材２２２ａの頂面はＸＹ面と平行とされており、第１の部材２２２ａの頂面にプローブベース１６を支持している。第２の部材２２２ｂは、これを斜め上下方向に貫通するガイド穴２３４を有する。
【０１１６】
第２の移動体２２２は、斜め上下方向へ延びる状態に第１の移動体２２０に支持されたロッド２３６がガイド穴２３４に下方から受け入れられていることと、相対的変位可能に結合されたガイド２３８及びレール２４０とにより、上方側ほど前方となる斜め上下方向へ移動可能に第１の移動体２２０に結合されている。
【０１１７】
ガイド穴２３４及びロッド２３６は、上方側の部位ほどワークテーブル２０６の側となるように、傾斜されており、またガイド２３８及びレール２４０は、その相対的移動方向が上方側の部位ほどワークテーブル２０６の側となると共に、ガイド穴２３４及びロッド２３６の延在方向となるように、第１及び第２の移動体２２０及び２２４に取り付けられている。
【０１１８】
第２の移動体２２２は、ロッド２３６の周りを延びる圧縮コイルばね２４２により、常時上方に付勢されている。しかし、第２の移動体２２２の最上昇位置は、第２の移動体に支持されたプローブユニット２０２のプローブベース１６が第１の移動体２２０に取り付けられた複数の第２のストッパ２２８の前後方向へ延びる上端部に当接することにより規制される。このため、プローブユニット２０２の最上昇位置も、第２のストッパ２２８により規制される。
【０１１９】
各プローブ移動機構２２４は、第１の移動体２２０を前後方向に移動させて、第１の移動体２２０を第２の移動体２２２及びプローブユニット２０２と共にワークテーブル２０６に対し進退させる。
【０１２０】
そのようなプローブ移動機構２２４として、ブラケット２４４により支持ベース２０４の上面に設置された、モータ２４６と、前後方向に延びる状態にモータ２４６に連結されて、モータ２４６により回転されるボールねじ２４８と、第１の部材２２０ａに設けられて、ボールねじ２４８に螺合されたナット（図示せず）とを備える機構を挙げることができる。モータ２４６は、パルスモータのように回転角度位置を解除可能に維持するように、位置制御可能のモータとすることができる。
【０１２１】
第１のストッパ２２６は、前後方向におけるワークテーブル２０６と第２の移動体２２２との間にあって、左右方向に間隔をおいて配置されている（図１６参照）。各第１のストッパ２２６は、上方へ延びる状態に支持ベース２０４に支持された支柱２５０と、左右方向へ延びる軸線の割に回転可能に支柱２５０の上端部に取り付けられたローラ２５２とを備える。ローラ２５２は、図示の例ではベアリングであり、また第２の移動体２２２の前面が当接可能の高さ位置に配置されている。
【０１２２】
試験装置２００は、プローブユニット２００とユニット支持機構２０８とが被検査体１２の電極１４が配置された縁部のそれぞれに備えられる。
【０１２３】
［試験装置の動作］
【０１２４】
試験装置２００は、各プローブユニット２００と、各第１の移動体２２０と、各第２の移動体２２２とが図１４に示す待機位置に後退されている。この状態において、第２の移動体２２２は、ストッパ２２８で規制される最上昇位置に圧縮コイルばね２４２により上昇されていると共に、ユニット移動機構２２４によりストッパ２２６のローラ２５２から後方へ離間されている。
【０１２５】
上記の待機位置において、プローブユニット２０２は、ワークテーブル２０６から上方及び後方へ離間されており、したがってプローブ４２は、その針先がワークテーブル２０６上の被検査体から上方及び後方へ離間された位置に後退されている。この状態において、ワークテーブル２０６に対する被検査体１２の受け渡しが上方側から行われる。
【０１２６】
被検査体１２の受け渡しが終了すると、第２の移動機構２２２の前面がストッパ２２６のローラ２５２に当接するまで、第１の移動体２２０がユニット移動機構２２４により前進される。これにより、プローブユニット２０２も前進されて、各プローブ４２の針先が図１３に示すように被検査体１２の電極１４の上方に移動される。
【０１２７】
第１の移動体２２０がユニット移動機構２２４によりさらに前進されると、第２の移動体２２２の前進がストッパ２２６により阻止された状態で、第１の移動体２２０が前進される。このため、第２の移動体２２２は、その前面をローラ２５２に当接させた状態で、ガイド２８８、レール２４０、ロッド２３６により、第１の移動体２２０の前進を許しつつ、下降される。これにより、各プローブブロック２０２が下降されて、各プローブ４２の針先が図１２に示すように被検査体１２の電極１４に押圧される。この状態で、被検査体１２に通電されて、被検査体１２の点灯試験が行われる。
【０１２８】
上記から明らかなように、ガイド穴２３４、ロッド２３６、ガイド２３８、レール２４０及び圧縮コイルばね２４２は、プローブユニット２０２を斜め上下方向に変位させるプローブ変位機構として作用する。
【０１２９】
上記の点灯試験は、作業者が被検査体１２を上方から目視する目視点灯試験であってもよいし、ビデオカメラのようなエリアセンサを用いかつ制御装置において画像処理をする自動点灯試験であってもよい。
【０１３０】
電気的試験が終了すると、各プローブユニット２０と、各第１の移動体２２０と各第２の移動体２２２とが図１４に示す待機位置に退避される。このとき、各第２の移動体２２２は、第１の移動体２２０がストッパ２２６から離れるまでの間、圧縮コイルばね２４２により上昇され、その後第１の移動体２２０と共に後退される。その後ワークテーブル２０６に対する被検査体１２の受け渡しが行われる。
【０１３１】
上記のように試験装置２００によれば、プローブ装置２０２は、プローブ４２の針先が被検査体１２の電極１４の上方に前進された後に下降されて、針先を電極１４に押圧され、プローブ４２の針先が被検査体１２の電極１４の上方に上昇されて、針先が電極１２から離間された後に後退される。これにより、各プローブ４２の針先は、プローブ装置２０２の上下動の際に電極１４に対し接触及び離間する方向へ変位されるが、プローブ装置２０２自体の前進後退時には、電極１２から離間した状態に維持される。その結果、針先電極１２の摩耗及び損傷が防止される。
【産業上の利用可能性】
【０１３２】
本発明は、液晶表示パネル用のプローブユニットのみならず、薄膜トランジスタが形成されたガラス基板のような他の表示用基板用のプローブユニット、集積回路のような他の平板状被検査体用のプローブユニットにも適用することができる。
【０１３３】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【０１３４】
１０，２０２ プローブユニット
１２ 表示用基板（被検査体）
１４ 表示用基板の電極
１６ プローブベース
１８，２１０ 支持台
１８ａ，２１０ａ 主体部
１８ｂ，２１０ｂ 脚部
２０ プローブ装置
２２ 中継ベース
２４ 中継基板
２６ 空間
３０ プローブ組立体
３２ 支持ブロック
３４ 連結ブロック
３６ 結合ブロック
３８ 組み付け装置
４０ 接続ブロック
４２ プローブ
４２ａ 針主体部
４２ｂ 先端領域
４２ｃ 後端領域
４２ｄ 先端針先
４２ｅ 後端針先
４４ ブロック片
４６ スリットバー
８２ ばね押え
１２０ 電気的接続具
１２２，１２４ 第１及び第２の配線領域
１２６，１２８ 第１及び第２の配線
２００ 試験装置
２０４ 支持ベース
２０６ ワークテーブル
２０６ａ パネル受け面
２０８ ユニット支持機構
２１２ 第２の中継基板
２１４ 配線シート
２２０，２２２ 第１及び第２の移動体
２２４ ユニット移動機構
２２６，２２８ ストッパ
２３０ レール
２３２ ガイド
２３４ ガイド穴（プローブ変位機構）
２３６ ロッド（プローブ変位機構）
２３８ ガイド（プローブ変位機構）
２４０ レール（プローブ変位機構）
２４２ 圧縮コイルばね（プローブ変位機構）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が前記後端針先に接続された電気的接続具とを含み、
前記支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備え、
前記電気的接続具の後部側の領域は、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経て延びている、プローブユニット。
【請求項２】
前記支持台は、左右方向へ延びる板状の主体部であって、前記プローブ装置が取り付けられた主体部と、主体部の左右方向における各端部から下方へ延びる脚部とにより、門型の正面形状に形成されている、請求項１に記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記脚部の一方は前記主体部の前端から左右方向における一方の側へ突出されており、前記脚部の他方は前記主体部後端から左右方向における他方の側へ突出されており、それにより前記支持台はクランク状の平面形状に形成されている、請求項２に記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記支持台は、前記プローブベース及び前記脚部のいずれか一方を上下方向に貫通して、前記プローブベース及び前記脚部の他方に螺合されたねじ部材により、前記プローブベースに取り付けられている、請求項２及び３のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項５】
複数の前記支持台と、該支持台に個々に支持された複数の前記プローブ装置とを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項６】
前記支持台に共通に支持された複数の前記プローブ装置を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項７】
さらに、前記プローブベースの上側に配置された中継基板であって、前記電気的接続具の配線の後端部が電気的に接続された中継基板を含む、請求項１から６のいずれか１に記載のプローブユニット。
【請求項８】
前記電気接続具の後端部はコネクタにより前記中継基板に電気的に接続されている、請求項７に記載のプローブユニット。
【請求項９】
前記中継基板は後方及び上方へ斜めに延びる状態に前記プローブベースの上側に配置されており、前記電気接続具の後端部はコネクタ及び該コネクタに接続されたケーブルにより前記中継基板に電気的に接続されている、請求項７に記載のプローブユニット。
【請求項１０】
前記プローブ装置は、前記複数のプローブをプローブホルダの下側に配置したプローブ組立体と、該プローブ組立体を支持する第１の支持装置と、該第１の支持装置を支持する第２の支持装置であって、前記支持台に取り付けられた第２の支持装置とを備え、
前記電気的接続具は、前記プローブ組立体の後端部から後方へ延びている、請求項１から９のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項１１】
前記電気的接続具は、前記第１の支持装置の下部を経て後方に延びて、前記プローブベースの前端部から前記プローブベースの上側に導かれている、請求項１１に記載のプローブユニット。
【請求項１２】
前記電気的接続具は、前後方向へ延びる複数の第１の配線を有する第１の配線領域であって、各第１の配線の先端部が前記プローブの後端針先に接続された第１の配線領域と、前後方向へ延びる複数の第２の配線を有する第２の配線領域であって、各第２の配線の先端部が前記第１の配線の後端部に接続された第２の配線領域とを含み、また前記第２の配線領域において、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経ている、請求項１から１０のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項１３】
前記第１の支持装置は、前記第２の支持装置に支持された支持ブロックと、該支持ブロックに組み付けられた結合ブロックであって、前記プローブ組立体が前部下側に組み付けられかつ前記第１の配線領域が下側に配置された結合ブロックと、前記支持ブロックの後部下側と前記結合ブロックの後部上側との間に配置されて、前記支持ブロックに取り付けられた接続ブロックであって、前記第２の配線領域の先端部が下側に配置された接続ブロックとを含み、
前記第１の配線領域の後端部は、前記結合ブロックの後端において、該結合ブロックの下側から上側に折り返されて、その各配線が前記第２の配線領域の配線に接続されている、請求項１２に記載のプローブユニット。
【請求項１４】
前記電気的接続具は、シート状の配線接続具を含む、請求項１から１３のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項１５】
ベースと、該ベースに支持されたワークテーブルであって、平板状被検査体を受ける受け部を有するワークテーブルと、請求項１から１４のいずれか１項に記載のプローブユニットであって、前記ベースに配置されたプローブユニットと、該プローブユニットを前記ベースに支持させるユニット支持機構とを含み、
該ユニット支持機構は、前記被検査体と平行なＸＹ面内を前後方向へ移動可能に前記ベースに受けられた第１の移動体であって、前記ＸＹ面内を左右方向へ延びる第１の移動体と、斜め上下方向に移動可能に前記第１の移動体に結合された第２の移動体であって、左右方向へ延びる第２の移動体と、前記第２の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第１の移動体を被検査体に対し進退させ、それにより前記第２の移動体を、前後方向又は左右方向に移動させると共に、上下方向に変位させるプローブ変位機構とを備え、
前記プローブユニットは前記第２の移動体に支持されている、試験装置。
【請求項１】
板状のプローブベースと、該プローブベースの上に配置された支持台と、該支持台に支持されたプローブ装置であって、先端針先及び後端針先を有する複数のプローブを備えるプローブ装置と、該プローブ装置から後方へ延びる電気的接続具であって、前後方向へ延びる複数の配線を有し、かつ各配線の先端部が前記後端針先に接続された電気的接続具とを含み、
前記支持台は、前方、後方及び下方に開放する空間を備え、
前記電気的接続具の後部側の領域は、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経て延びている、プローブユニット。
【請求項２】
前記支持台は、左右方向へ延びる板状の主体部であって、前記プローブ装置が取り付けられた主体部と、主体部の左右方向における各端部から下方へ延びる脚部とにより、門型の正面形状に形成されている、請求項１に記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記脚部の一方は前記主体部の前端から左右方向における一方の側へ突出されており、前記脚部の他方は前記主体部後端から左右方向における他方の側へ突出されており、それにより前記支持台はクランク状の平面形状に形成されている、請求項２に記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記支持台は、前記プローブベース及び前記脚部のいずれか一方を上下方向に貫通して、前記プローブベース及び前記脚部の他方に螺合されたねじ部材により、前記プローブベースに取り付けられている、請求項２及び３のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項５】
複数の前記支持台と、該支持台に個々に支持された複数の前記プローブ装置とを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項６】
前記支持台に共通に支持された複数の前記プローブ装置を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項７】
さらに、前記プローブベースの上側に配置された中継基板であって、前記電気的接続具の配線の後端部が電気的に接続された中継基板を含む、請求項１から６のいずれか１に記載のプローブユニット。
【請求項８】
前記電気接続具の後端部はコネクタにより前記中継基板に電気的に接続されている、請求項７に記載のプローブユニット。
【請求項９】
前記中継基板は後方及び上方へ斜めに延びる状態に前記プローブベースの上側に配置されており、前記電気接続具の後端部はコネクタ及び該コネクタに接続されたケーブルにより前記中継基板に電気的に接続されている、請求項７に記載のプローブユニット。
【請求項１０】
前記プローブ装置は、前記複数のプローブをプローブホルダの下側に配置したプローブ組立体と、該プローブ組立体を支持する第１の支持装置と、該第１の支持装置を支持する第２の支持装置であって、前記支持台に取り付けられた第２の支持装置とを備え、
前記電気的接続具は、前記プローブ組立体の後端部から後方へ延びている、請求項１から９のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項１１】
前記電気的接続具は、前記第１の支持装置の下部を経て後方に延びて、前記プローブベースの前端部から前記プローブベースの上側に導かれている、請求項１１に記載のプローブユニット。
【請求項１２】
前記電気的接続具は、前後方向へ延びる複数の第１の配線を有する第１の配線領域であって、各第１の配線の先端部が前記プローブの後端針先に接続された第１の配線領域と、前後方向へ延びる複数の第２の配線を有する第２の配線領域であって、各第２の配線の先端部が前記第１の配線の後端部に接続された第２の配線領域とを含み、また前記第２の配線領域において、前記プローブベースの上側に導かれていると共に、前記支持台の前記空間を経ている、請求項１から１０のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項１３】
前記第１の支持装置は、前記第２の支持装置に支持された支持ブロックと、該支持ブロックに組み付けられた結合ブロックであって、前記プローブ組立体が前部下側に組み付けられかつ前記第１の配線領域が下側に配置された結合ブロックと、前記支持ブロックの後部下側と前記結合ブロックの後部上側との間に配置されて、前記支持ブロックに取り付けられた接続ブロックであって、前記第２の配線領域の先端部が下側に配置された接続ブロックとを含み、
前記第１の配線領域の後端部は、前記結合ブロックの後端において、該結合ブロックの下側から上側に折り返されて、その各配線が前記第２の配線領域の配線に接続されている、請求項１２に記載のプローブユニット。
【請求項１４】
前記電気的接続具は、シート状の配線接続具を含む、請求項１から１３のいずれか１項に記載のプローブユニット。
【請求項１５】
ベースと、該ベースに支持されたワークテーブルであって、平板状被検査体を受ける受け部を有するワークテーブルと、請求項１から１４のいずれか１項に記載のプローブユニットであって、前記ベースに配置されたプローブユニットと、該プローブユニットを前記ベースに支持させるユニット支持機構とを含み、
該ユニット支持機構は、前記被検査体と平行なＸＹ面内を前後方向へ移動可能に前記ベースに受けられた第１の移動体であって、前記ＸＹ面内を左右方向へ延びる第１の移動体と、斜め上下方向に移動可能に前記第１の移動体に結合された第２の移動体であって、左右方向へ延びる第２の移動体と、前記第２の移動体の最前進位置を規定するストッパと、前記第１の移動体を被検査体に対し進退させ、それにより前記第２の移動体を、前後方向又は左右方向に移動させると共に、上下方向に変位させるプローブ変位機構とを備え、
前記プローブユニットは前記第２の移動体に支持されている、試験装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２０１１−５３２０３（Ｐ２０１１−５３２０３Ａ）
【公開日】平成２３年３月１７日（２０１１．３．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１３６０４１（Ｐ２０１０−１３６０４１）
【出願日】平成２２年６月１５日（２０１０．６．１５）
【出願人】（０００１５３０１８）株式会社日本マイクロニクス (349)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年３月１７日（２０１１．３．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月１５日（２０１０．６．１５）
【出願人】（０００１５３０１８）株式会社日本マイクロニクス (349)
【Ｆターム（参考）】
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