【課題】電気的検査と光学像による観察とを行うＴＦＴ液晶基板検査において、装置構成を小型化し、基板アレイ検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴ液晶基板検査装置は、検査チャンバーから電気的検査によって欠陥位置を取得したＴＦＴ液晶基板を、検査チャンバーから基板交換チャンバーに搬出する際に、ＴＦＴ液晶基板上の欠陥位置に撮像装置を移動させて光学像を取得する構成とすることによって、光学像を取得的するために要するスペースを不要として装置構成を小型化すると共に、ＴＦＴ液晶基板の搬出と同時に光学像を取得することによって、光学像のみを取得するための時間を不要としてＴＦＴ液晶基板検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】
自身の正常な動作確認を容易に行えて、ＬＥＤ点灯装置を信頼性よく検査できるＬＥＤ点灯装置用チェッカーを提供する。
【解決手段】
ＬＥＤ点灯装置用チェッカー１は、出力端１１から電流を出力可能に形成された電流源２と、直流電流を出力可能に形成された自己診断用電源３と、ＬＥＤ点灯装置１２の出力を入力する入力端４と、擬似負荷５と、ＬＥＤ点灯装置１２の検査時に擬似負荷５を入力端４に接続させ、自己診断時に擬似負荷５を自己診断用電源３の出力間に接続させる接続手段６と、擬似負荷５に流れる電流を検出する電流検出手段７と、電流検出手段７が検出した電流と予め設定された基準値とを比較して評価する評価手段８と、評価手段８の評価結果を表示する表示手段９と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】ＥＭＳ試験において複合的な電磁波を照射することが可能な電磁波試験装置を提供する。
【解決手段】高周波信号が入力されると電磁波を放射する複数のアンテナエレメント１４と、各アンテナエレメント１４の入力端子にそれぞれ接続され、高周波信号を発生する複数の信号発生部３１〜３７と、測定器２６とを備え、測定器２６が、複数の信号発生部３１〜３７を各々制御することにより、アンテナエレメント１４毎に予め設定された周波数の電磁波を放射させる。そして、供試品における電子機器からの出力信号に基づき、外部からの電磁波による電子機器の耐性検査（ＥＭＳ試験）を行うように構成した。この構成によれば、ＥＭＳ試験を行う際に、様々なノイズ環境を再現することができる。 （もっと読む）

【課題】電子機器の通常動作を妨げることなく、ＣＰＵの経時劣化を保障し、電子機器の性能を維持することができるようにする。
【解決手段】保守装置１は、ＣＰＵ１１に内蔵されるセンサ回路１２からＣＰＵ１１の劣化に応じて変化する劣化情報をＣＰＵ１１の通常動作時に取得する劣化情報取得部２と、劣化情報に基づいてＣＰＵ１１の劣化の進行度を示す劣化レベルを判定する劣化レベル判定部３と、劣化レベルの増大に伴いＣＰＵ１１に印加される電源電圧を増加させるように電源１３を制御する電源制御部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】実際の強誘電体メモリセルについて疲労特性を直接に測定する試験方法を含む半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、基板上に形成された強誘電体キャパシタの疲労特性の面内分布を取得する第１の工程と、前記面内分布に基づいて、半導体装置を製造する第２の工程と、を含み、前記第２の工程は、前記半導体装置が形成される基板上に複数の強誘電体キャパシタを形成し、前記第１の工程で取得された疲労特性の面内分布から、前記半導体装置が形成される基板上の特定領域を指定し、前記特定領域に形成された前記強誘電体キャパシタについて疲労特性を測定し、前記特定領域の強誘電体キャパシタについて測定した前記疲労特性に基づき、前記特定領域の強誘電体キャパシタについて良否判定を行い、前記良否判定の結果が良であれば、前記複数の強誘電体キャパシタの全てについて良と判定する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの放電時期を適宜選択しながら、効率的に実現し得るような装置及び検査方法を提供すること。
【解決手段】直流電源１と複数個の各テスト回路５との間を、充電用抵抗素子（Ｒ_１）、放電用抵抗素子（Ｒ_２）、キャパシタンス（Ｃ）を備えているノイズ放電回路２を設け、当該ノイズ放電回路２と各テスト回路５との間に介在しているプローブ４が、複数個の各テスト回路５を選択しかつ接続可能とする一方、前記各テスト回路５に対し選択回路８を介して接続されている同期遅延コントローラー回路６が、印加コントローラー回路７を介してノイズ放電の時期を調整することができるテスト回路５の誤動作試験装置及び当該装置を使用している誤動作検出方法。 （もっと読む）

【課題】サンプリング不良により生じる欠陥の誤検出を解消する。
【解決手段】ピクセルに対して異なる電圧の検査信号を二次元で互いに交互に印加する際に得られるピクセルの信号強度パターンの特徴を利用し、検査対象のピクセルに対してｙ方向で隣接するピクセルの信号強度と比較対照することによって、サンプリング不良によるｘ方向のサンプリング点の行が欠如した場合であっても、サンプリング行に含まれるピクセルについて欠陥検出を行う。検査対象のピクセルに対してｙ方向に隣接するピクセルの信号強度との比較対照において、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がｙ方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と異なる信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定し、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がｙ方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と同じ信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定する。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】コンデンサの実装・非実装の判別と共に、非実装のときには非実装のコンデンサが実装されるべき位置を判別する。
【解決手段】導体パターン１１，１２上の測定点Ｐ１，Ｐ２間のインピーダンスの周波数特性を測定する測定部２と、コンデンサ２１〜２３が正常に実装された状態での周波数特性に現れる各共振周波数ｆ１〜ｆ３毎に、共振周波数ｆ１〜ｆ３を含む判定範囲ｆｒ１〜ｆｒ３と共振周波数ｆ１〜ｆ３に対応するコンデンサ２１，２２，２３とを対応付ける基準データＤ２が記憶された記憶部３と、コンデンサ２１〜２３の実装状態が未知の導体パターン１１，１２についての周波数特性を測定部２に測定させ、この周波数特性に現れている共振周波数と基準データＤ２の各判定範囲ｆｒ１〜ｆｒ３とを比較して、共振周波数を含まない判定範囲ｆｒ１〜ｆｒ３に対応付けられたコンデンサが非実装状態であると判別する処理部４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
事前知識を必要とせずに、部品のより正確な品質を推定することが可能な品質推定装置、品質推定方法及び品質推定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを提供する。
【解決手段】
実施形態の品質推定装置は、複数の検査対象と複数の非検査対象を含む推定対象のなかでサンプリング検査を行う前記検査対象を指定する指定情報と、前記検査対象のサンプリング検査で得られた特性値と、特性値から検査対象の品質を判定するための判定基準情報とを少なくとも記憶する記憶部と、前記検査対象の特性値から検査対象の品質を示す判定値を算出する判定値算出部と、前記推定対象を互いに異なる複数のクラスタに分類するものであって、各クラスタが前記判定値を変数とする互いに異なる確率分布となるように前記推定対象を前記クラスタに分類するクラスタリング部とを備える。 （もっと読む）

【課題】インプリントパターンの欠陥の有無の検査を効率化する。
【解決手段】下地層１上に導電層２を形成し、導電層２上にインプリントパターン４を形成し、インプリントパターン４に電解液６を接触させ、電解液６に電極７を接触させ、導電層２と電極６との間に電圧を印加し、導電層２と電極７との間に流れる電流を計測し、その電流の計測結果に基づいてインプリントパターン４の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】機器内で発生する電磁ノイズと同じ周波数の試験信号を注入した場合の近似的な分布を得ることのできる電磁ノイズ分布検出装置を得る。
【解決手段】信号発生器１は、供試機器１００内で発生する電磁ノイズの周波数から僅かにずらした周波数の信号を出力し、注入プローブ３によって供試機器１００に注入する。検出プローブ４は可動部７により供試機器１００上を走査し、供試機器１００の電磁界分布を検出し、電磁界強度計６によって電磁界強度の分布を測定する。ノイズ分布検出手段１１は、電磁界強度計６で測定された電磁界強度の分布を、供試機器１００内で発生する電磁ノイズの近似的な分布として検出する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたアクティブエリアと共にアクティブエリア外に設けられたＴＦＴ駆動回路の欠陥を検出する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給するＴＦＴ駆動回路用ドライバ部と、アクティブエリアの走査画像に基づいて、ＴＦＴ駆動回路およびアクティブエリアの駆動状態を検出する検出部とを備える。ＴＦＴ駆動回路用ドライバ部は、基板上のＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給することによってＴＦＴ駆動回路のＴＦＴアレイを駆動し、基板上のアクティブエリアに形成されたＴＦＴアレイを駆動する。検出部は、アクティブエリアの走査画像を用いて、アクティブエリア上で駆動していない非駆動部位を検出する。 （もっと読む）

【課題】プローブ数を減らし、かつ、検査時間の短縮に適した表示パネル用基板の検査方法、を提供する。
【解決手段】表示パネル用基板の検査方法であって、前記表示パネル用基板２００上に、マトリクス状に配置された複数の検査用電極１１１を備えた検査用基板１０１を対向させて配置するステップと、前記アクティブ素子Ｔ１を駆動することにより、前記画素電極２０２と前記検査用電極１１１とで形成される容量に電荷を保持させるステップと、前記検査用電極１１１に電気的に接続された測定回路１０２により、前記容量に保持された電荷を前記検査用基板１０１を介して測定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】工具等を用いることなく、分解または組立てを容易に行うことができること。
【解決手段】スライダー２８Ａおよび２８Ｂが操作されることによって、一対のプランジャーピン２２Ａおよび２２Ｂの先端がベースプレート１０における側壁部１０ＳＷの透孔１０ｂに対し挿抜可能とされることにより、クランププレート１４は、ベースプレート１０に脱着可能とされるとともに、ガイドプレート１８および電極付基板１２相互間における相対位置がベースプレート１０に設けられる位置決めピン１６により位置決めされるもの。 （もっと読む）

【課題】一方の基板の位置補正に要する時間を他方の基板の検査時間内に吸収し、全体的な処理時間の短縮を図った基板検査方法及び基板検査装置を提供する
【解決手段】並んで配置された第１，第２の搬送レール１１，１２にそれぞれ搬入されて所定の検査位置に停止した基板２１，２２に対し、各基板２１，２２の表面に沿って二次元的に移動するプローブ１ａ〜１ｄを用いて電気的検査を行う基板検査方法において、一方の搬送レール１１の検査位置にある基板２１をプローブ１ａ〜１ｃにより検査している期間に、他方の搬送レール１２に搬入された基板２２の位置を位置検出カメラ４ｄにより検出して基板２２を検査位置に停止させる処理を完了し、基板２１の検査終了後に、プローブ１ａ〜１ｃを移動させて直ちに基板２２の検査を開始する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の電気的特性を正確に測定できる方法を提供する。
【解決手段】測定用基板２２を、配線基板１１の第２の主面１１ｂ側に、端子電極１４と電気的に接続するように配置する一方、配線基板１１の第１の主面１１ａ側に圧接部材２１ａ〜２１ｄを配置する。圧接部材２１ａ〜２１ｄにより、電子部品１０のチップ部品１２ａ、１２ｂが設けられていない部分を測定用基板２２側に相対的に押圧することにより電子部品１０を測定用基板２２に圧接させた状態で電子部品１０の電気的特性の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】電子部品の外部電極との接触が安定し、電子部品の外部電極が摩耗しにくい接触端子を備えた電気特性測定治具を提供する。
【解決手段】電気特性測定治具２０は、基板２１と、基板２１の主面２１ａに形成された接触端子２４とを備え、接触端子２４に電子部品１０の外部電極１２が押し付けられる。接触端子２４は、はんだにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧機構が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有する。当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有する。 （もっと読む）