【課題】太陽電池の欠陥検出の精度を改善する。
【解決手段】本発明の実施形態の欠陥検出装置は、検査対象である太陽電池セル９を保持する保持部１０と、複数の点光源３を備える面光源４と、駆動制御信号を生成するピッチ制御部（５，７）と、駆動制御信号に基づいて、面光源４を移動させる移動機構（６，８）と、面光源４の発光パターンを制御する発光制御信号を生成する光源制御部１３と、面光源４が発光した光に応じて太陽電池セル９に発生した電流の電流値を計測し、電流値を示す計測情報を生成する計測部１１と、を備える。ピッチ制御部（５，７）は、複数の点光源３の間隔より小さいピッチで面光源４が移動するように、駆動制御信号を生成する。計測部１１は、太陽電池セル９に対する面光源４の位置毎に、複数の計測情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】電気的検査と光学像による観察とを行うＴＦＴ液晶基板検査において、装置構成を小型化し、基板アレイ検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴ液晶基板検査装置は、検査チャンバーから電気的検査によって欠陥位置を取得したＴＦＴ液晶基板を、検査チャンバーから基板交換チャンバーに搬出する際に、ＴＦＴ液晶基板上の欠陥位置に撮像装置を移動させて光学像を取得する構成とすることによって、光学像を取得的するために要するスペースを不要として装置構成を小型化すると共に、ＴＦＴ液晶基板の搬出と同時に光学像を取得することによって、光学像のみを取得するための時間を不要としてＴＦＴ液晶基板検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】大型液晶パネルの赤外検査において、検査時間を短縮し、生産性を向上させる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】液晶パネル２の配線の欠陥位置を検出するための欠陥検査装置であって、前記液晶パネル２の端子部に電圧を印加するプローブ８と、前記プローブ８を前記液晶パネルの端子部に移動させるプローブ移動手段９と、前記液晶パネルの全面を撮影する第一の赤外センサと、前記液晶パネルの局部を撮影する第二の赤外センサと、前記第二の赤外センサを、前記液晶パネルの各位置に移動させるセンサ移動手段４とを備え、前記第一の赤外センサは、複数の赤外カメラからなる。 （もっと読む）

【課題】電気的バイアス処理を多数個一括処理を行って、より効率よく不良デバイスを正常な絶縁状態に回復させる。
【解決手段】デバイス６のリーク欠陥部分に対して電気的ストレスを供給してリーク欠陥部分の絶縁状態を正常化するリペア装置１において、電気的ストレス源とする高電圧電源２と、高電圧電源２により充電される複数のコンデンサ７からの各電荷ストレスを複数のデバイス６にそれぞれ一括して同時に印加する電圧印加手段を有している。 （もっと読む）

【課題】サンプリング不良により生じる欠陥の誤検出を解消する。
【解決手段】ピクセルに対して異なる電圧の検査信号を二次元で互いに交互に印加する際に得られるピクセルの信号強度パターンの特徴を利用し、検査対象のピクセルに対してｙ方向で隣接するピクセルの信号強度と比較対照することによって、サンプリング不良によるｘ方向のサンプリング点の行が欠如した場合であっても、サンプリング行に含まれるピクセルについて欠陥検出を行う。検査対象のピクセルに対してｙ方向に隣接するピクセルの信号強度との比較対照において、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がｙ方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と異なる信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定し、検査対象のピクセルのサンプリング点の信号強度がｙ方向にずれたピクセルのサンプリング点の信号強度と同じ信号強度レベルであるときには正常なピクセルと判定する。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】
事前知識を必要とせずに、部品のより正確な品質を推定することが可能な品質推定装置、品質推定方法及び品質推定方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを提供する。
【解決手段】
実施形態の品質推定装置は、複数の検査対象と複数の非検査対象を含む推定対象のなかでサンプリング検査を行う前記検査対象を指定する指定情報と、前記検査対象のサンプリング検査で得られた特性値と、特性値から検査対象の品質を判定するための判定基準情報とを少なくとも記憶する記憶部と、前記検査対象の特性値から検査対象の品質を示す判定値を算出する判定値算出部と、前記推定対象を互いに異なる複数のクラスタに分類するものであって、各クラスタが前記判定値を変数とする互いに異なる確率分布となるように前記推定対象を前記クラスタに分類するクラスタリング部とを備える。 （もっと読む）

【課題】インプリントパターンの欠陥の有無の検査を効率化する。
【解決手段】下地層１上に導電層２を形成し、導電層２上にインプリントパターン４を形成し、インプリントパターン４に電解液６を接触させ、電解液６に電極７を接触させ、導電層２と電極６との間に電圧を印加し、導電層２と電極７との間に流れる電流を計測し、その電流の計測結果に基づいてインプリントパターン４の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】電源および負荷が設けられるように構成された回路内の過渡電圧保護デバイスをテストする方法を提供する。
【解決手段】過渡電圧保護デバイスと並列に検出器を設けるステップと、回路内に設けられたスイッチングデバイスを開路するステップと、スイッチングデバイスを開路することによって生じる、回路インダクタンス内の電流の変化率によって引き起こされる電圧スパイクの特性を検出して、保護デバイスの状態を決定するステップとを含む。そのピーク電圧など、電圧スパイクの検出された特性が、期待される所定の値ではない、または期待される所定の範囲内ではない場合は、過渡電圧保護デバイス内に障害が存在すると見なすことができる。それにより過渡電圧保護デバイスは、稼働寿命の間に信頼性良くテストすることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたアクティブエリアと共にアクティブエリア外に設けられたＴＦＴ駆動回路の欠陥を検出する。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給するＴＦＴ駆動回路用ドライバ部と、アクティブエリアの走査画像に基づいて、ＴＦＴ駆動回路およびアクティブエリアの駆動状態を検出する検出部とを備える。ＴＦＴ駆動回路用ドライバ部は、基板上のＴＦＴ駆動回路に検査信号を供給することによってＴＦＴ駆動回路のＴＦＴアレイを駆動し、基板上のアクティブエリアに形成されたＴＦＴアレイを駆動する。検出部は、アクティブエリアの走査画像を用いて、アクティブエリア上で駆動していない非駆動部位を検出する。 （もっと読む）

【課題】プローブ数を減らし、かつ、検査時間の短縮に適した表示パネル用基板の検査方法、を提供する。
【解決手段】表示パネル用基板の検査方法であって、前記表示パネル用基板２００上に、マトリクス状に配置された複数の検査用電極１１１を備えた検査用基板１０１を対向させて配置するステップと、前記アクティブ素子Ｔ１を駆動することにより、前記画素電極２０２と前記検査用電極１１１とで形成される容量に電荷を保持させるステップと、前記検査用電極１１１に電気的に接続された測定回路１０２により、前記容量に保持された電荷を前記検査用基板１０１を介して測定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】１つのＴＦＴアレイ領域に２つのゲート駆動回路が設けられた基板においてゲート駆動回路の検査を行う場合において、いずれか一方のゲート駆動回路に欠陥がある場合でもゲート駆動回路の欠陥を検出する。
【解決手段】検査対象である基板が備えるゲート駆動回路に駆動信号を供給するゲート駆動回路用ドライバ部と、検査対象である基板が備えるＴＦＴアレイ領域を走査し、走査で得られるＴＦＴアレイ領域の走査画像に基づいて、ゲート駆動回路およびＴＦＴアレイ領域の駆動状態を検出する検出部とを備える。ゲート駆動回路用ドライバ部は、２つのゲート駆動回路に対して駆動信号を個別に供給しＴＦＴアレイ領域を個別に駆動する。検出部は、各ゲート駆動回路の駆動時における２つの走査画像を取得し、各走査画像上の非駆動部位を検出し、各走査画像で検出された非駆動部位の出現状態に基づいてＴＦＴアレイ領域とゲート駆動回路の非駆動状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】微小電荷を検出する高精度な回路構成を要することなく、簡易な構成で静電気を検出する。
【解決手段】アレイ検査装置が備えるプローバフレームは、基板に検査信号を印加するプローブを備えると共に、基板に蓄積された電荷を検出するための静電気プローブを備えることによって、表面接地板等の機構をアレイ検査装置に別途設けることなく、アレイ検査装置が備えるプローバフレームを用いて、基板に蓄積された電荷を簡易な構成で取り出す。静電気プローブを通して得た電荷を、高抵抗に通して接地側に流す。高抵抗に発生する電圧降下を電圧モニタで検出することによって、蓄積した電荷量に相当する値を検出する。高抵抗および電圧モニタは、高性能を要する微小電荷検出用の汎用表面電位モニタと比較して簡易な構成であり、価格も安価とすることができる。 （もっと読む）

【課題】どのような布設環境であっても異常の検出を行うことができるシールド電線の異常検出装置を提供する。
【解決手段】送受信アンテナＡＴは、１つの点で共振する。サーキュレータ２２には、発振器２１からの進行波Ｗ１が入力されるポートＰ１と、ポートＰ１から入力された進行波Ｗ１の一部である主進行波Ｗ１１が出力されるポートＰ２と、ポートＰ２に入力された受信波Ｗ２及びポートＰ１から入力された進行波Ｗ１の残りの一部である副進行波Ｗ１２が出力されるポートＰ３、が設けられている。ポートＰ３の出力が２つ以上の点で共振するように、同軸ケーブル２３の長さ、損失及びサーキュレータ２２のアイソレーションが調整されていて、発振器２１が、２つ以上の共振点の間で周波数を切り換える。 （もっと読む）

【課題】 被測定物に流れる電流の分布を高精度で測定することができるようにする。
【解決手段】 通電信号供給回路４１及び通電回路４２−１〜４２−Ｍは、所定周波数の電流を被測定物の一対の電極１２，１３間に通電する。磁気センサ３２は、太陽電池セルＳＣの複数の部分に対向して位置し、複数の部分に流れる電流によってそれぞれ発生する磁界を検出して、検出磁界を表す信号を出力する。ロックインアンプ４５は、磁気センサ３２から出力される検出磁界を表す信号から、前記所定周波数に等しい周波数の信号成分を取出す。コントローラ５０は、ロックインアンプ４５によって取出された信号成分から、太陽電池セルＳＣの複数の部分に前記所定周波数と等しい周波数でそれぞれ流れる電流の大きさ及び向きを検出する。 （もっと読む）

【課題】広帯域でシールド部材の異常を検出するシールド部材の異常検出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】互いに別体に設けられた送信アンテナＡＴ１１及び受信アンテナＡＴ１２を、銅テープ１３がある正常部を走査したときと銅テープ１３がない異常部を走査したときとでアンテナインピーダンスが変化するように、ＣＶケーブル１０に近接配置すると共に、ＣＶケーブル１０の長手方向Ｙ１に沿って互いに間隔を空けて並べて配置する。次に、送信アンテナＡＴ１１から電波を送信させる。そして、判別回路２４が、受信アンテナＡＴ１２が受信した受信電波Ｗ４に基づいて銅テープ１３の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】狭ピッチの部品でも、部品や基板の破壊発生がなく容易に目的のチップ状電子部品端子の信号にプローブを接触不良なく測定することが可能なチップ状電子部品及びチップ状電子部品の搭載方法を提供する。
【解決手段】電子回路基板に搭載するチップ状電子部品であって、チップ状電子部品の搭載面の反対面には、該搭載面と電気的に導通すると共に、一端が前記チップ状電子部品の側面に開放されて他端が壁部となっている彫り込み方向の溝部を有する。 （もっと読む）

【課題】複数個の検出信号の信号強度に基づいて、各ピクセルにおいて欠陥検出に用いる欠陥強度を求める際に、各検出信号の信号強度が変動することによって生じる各ピクセルの欠陥強度の変動を低減し、欠陥検出の検出精度の低下を防ぐ。
【解決手段】欠陥強度を求めるピクセルについて、そのピクセルの近傍に所定の範囲を定め、この所定範囲内にある検出信号を用いてピクセル近傍の強度分布を補間する関数を求め、この関数の極値（極小値又は極大値）からそのピクセルの欠陥強度を求める。この欠陥強度はそのピクセルで欠陥検出を行うための信号強度であり、欠陥強度と予め定めておいたしきい値と比較することによって欠陥検出を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体や絶縁物の残渣物質による欠陥の検出を容易とする。
【解決手段】ＴＦＴアレイ基板を検査するためにアレイに印加する検査信号と同期させて、ＴＦＴアレイ基板の表面に光を照射することによって電極の電圧変化を強調させることで、半導体や絶縁物の残渣物質による欠陥の検出を容易とする。ＴＦＴアレイ基板のパネルに所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、このパネル上に電子線を照射して走査し、電子線走査で検出される検出信号に基づいてＴＦＴアレイ基板のアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、パネル上に電子線を照射する電子線源と、電子線走査による二次電子を検出して検出信号を出力する二次電子検出器と、二次電子検出器の検出信号を用いて欠陥を検出する欠陥検出部と、パネルに検査信号を印加する検査信号駆動部と、ＴＦＴアレイ基板の表面に光を照射すると光照射部と、検査信号駆動部と光照射部とを同期制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 続流遮断機能を有する機器を直列に接続した装置において、正常品を使用不能とすることなく部分破壊の故障判定を正確に行なうことが出来る故障判定方法の提供。
【解決手段】 約１ｋＨｚ未満から約１ＭＨｚを超える周波数に至る入力信号を印加し、アース側端子電圧Ｖinとライン側端子電圧Ｖoutの出力信号から、試料避雷装置のインピーダンスを導くステップと、アース側端子電圧Ｖinとライン側端子電圧Ｖout間の位相差を導くステップと、直列成分抵抗値を導くステップと、導かれた直列成分抵抗値を両対数軸にプロットし試料避雷装置固有の周波数特性カーブを得るステップと、試料避雷装置固有の周波数特性カーブと正常品避雷装置の周波数特性カーブに設定量以上の偏差が認められ、且つその偏差が１ｋＨｚ以下で確認された場合と、その偏差が１ｋＨｚ以下で確認されず、且つ１００ｋＨｚ以上で確認された場合とを判定するステップを経ることを特徴とする避雷装置の故障判定方法。 （もっと読む）