【課題】大型化した装置に対して、メンテナンス時の作業性を向上させる。
【解決手段】リペア対象板が載置されるワークテーブルと、当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置のメンテナンス機構である。このメンテナンス機構を、上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成した。 （もっと読む）

【課題】プローブ装置の接触電極を被検査体の電極に確実に接続させることにある。
【解決手段】プローブ装置は、前後方向に延びるプローブブロックと、該プローブブロックの前部の下側に取り付けられた可撓性の配線シート支持体と、該配線シート支持体の下側に支持された配線シートとを含む。前記配線シート支持体は、前方ほど下方となる斜めの方向に伸びる延長部を備える。前記配線シートは、前記延長部の下側に支持された延在部を備える。また、前記配線シートは、シート状部材と、該シート状部材に形成された複数の配線と、各配線の前部に形成された接触電極とを備える。各接触電極は、前記配線から立ち下がる前端面と、前記斜めの方向に直線状又は弧状に延びる下面と、前記前端面及び前記下面により形成される角部とを有する。 （もっと読む）

【課題】使用不能な接触子の発生による接触子の交換サイクルを長くすることができる接触子を提供する。
【解決手段】電気的接続装置１０は、前後方向に間隔をおいた複数の台座１２を下面１４に備える基板１６と、それぞれが第１の接触子１８及び第２の接触子１９を備える複数対の接触子群とを含む。第１の接触子１８は、台座１２に支持された後端部２０と自由端である先端部２２とを有する左方向へ伸びる針主体部２４を備える。第２の接触子１９は、台座１２に支持された後端部２１と自由端である先端部２３とを有する右方向へ伸びる針主体部２５を備える。第１の接触子１８が折れた場合、第２の接触子１９を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】 撮像素子を備えるカメラの解像度の簡便且つ精度良い測定乃至は調節方法と、その方法を利用した画像検査方法及び画像検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 周期的な模様を備えた対象物をカメラで撮影する工程；撮影によって得られた画像データＶ_０と同画像データを解像度を求める方向に１画素ずつずらした画像データＶｎとの自己相関係数を求める工程；自己相関係数のピークを検出し、検出された２つのピーク間のずらし画素数の差と、ピーク間領域の数と、模様の周期とに基づいて前記カメラの解像度を求める工程を含んでいるカメラ解像度自動測定方法、及び当該方法を利用するカメラ解像度自動調節方法、画像検査方法並びに画像検査装置を提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】各プランジャーを個別にスライドさせて安定して接触させる。
【解決手段】一方の部材と他方の部材にそれぞれ接触するプランジャーを備えて一方の部材に接触するプランジャーを他方の部材に接触するプランジャーが挟んで、上記各部材間を電気的に導通させる接触子である。上記他方の部材に接触する各プランジャーに個別に付勢手段を設けた。また、電気的接続装置は、被検査体の電極に接触して試験を行う装置において、上記被検査体の各電極に対応する位置に配設され当該各電極に接触して通電する接触子を備え、当該接触子として上記接触子を用いた。 （もっと読む）

【課題】清掃装置によるＣＦ基板の損傷を防止することにある。
【解決手段】プローブ装置は、電極を備える被検査体の上方に配置されて、またプローブ装置本体と、該プローブ装置本体に結合された清掃装置と、該清掃装置を前記プローブ装置に結合する結合装置とを含む。前記プローブ装置本体は、前記電極に接触されるように下方に向けられた針先を有する。前記清掃装置は、前記プローブ装置本体と前記被検査体とが相寄り相離れる上下方向への相対移動により前記電極に接触可能の前端部を前記針先より下方及び前方に備える。前記結合装置は、上方ほど後方となる斜めの方向に前記清掃装置と前記プローブ装置本体とを相対的に移動可能に結合している。 （もっと読む）

【課題】プローブ針の針先平面度を高い精度で調整し、負圧による撓みを抑えて正確な検査を行う。
【解決手段】接続ユニットが、ポゴピンブロックと、ポゴピンブロック支持部とを有し、プローブカードが、複数のプローブ針が装着された配線基板と、上記配線基板を支持して上記配線基板の上記ポゴピンブロック側を負圧に保つ配線基板支持部と、上記負圧に抗して上記配線基板を支持するアンカーとを有する上記検査装置の、上記プローブ針の針先平面度を修正する配線基板調整治具である。上記ポゴピンブロックに設けられたポゴピン装着穴と、当該ポゴピン装着穴に装着されたポゴピンと、上記配線基板の上記ポゴピンブロック側を負圧にする吸引手段とを備え、上記吸引手段で真空引きして実際の検査使用時の上記配線基板の変形を再現する。また、他の発明は上記配線基板調整治具を用いた配線基板修正方法並びに検査方法及び検査システムである。 （もっと読む）

【課題】プローブ針の針先平面度を高い精度で維持し、負圧による撓みを抑えて正確な検査を行う。
【解決手段】本発明の接触子は、互いに対向して設けられた２つの基板の各電極にそれぞれ接触して各電極間を電気的に接続するポゴピンと、当該ポゴピンの外周を囲繞して設けられ当該ポゴピンを支持すると共に上記２つの基板にそれぞれ当接して各基板間を設定間隔に維持する外側筒とを備えて構成した。また、検査装置の接続ユニットの各ポゴピン挿入穴に、上記接触子を備えた。 （もっと読む）

【課題】プローブ装置の接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれすることを防止すること。
【解決手段】プローブ装置は、可撓性を有する配線シートと、該配線シートを支持する支持体と、配線シートに取り付けられた間隔維持部材とを含む。前記配線シートは、該配線シートの一方の面に設けられた複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える。前記間隔維持部材は、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有し、前記配意線シートに取り付けられて、前記配線シートが膨張した状態で前記複数の配線相互の間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】プローブへの電極の溶着が生じても該電極からの離反時にアーム部に過度の反り返り変形を生じることのないプローブ組立体を提供する。
【解決手段】プローブ組立体は、プローブ基板と、該プローブ基板に支持される取付け部、該取付け部から前記プローブ基板に間隔をおいて該プローブ基板にほぼ沿って伸長するアーム部および該アーム部に設けられプローブ基板から離れる方向へ突出する針先部をそれぞれ有する複数のプローブと、プローブ基板に支持され、プローブの前記針先部がプローブ基板から離れる方向への作用力を受けたときにアーム部に生じる反り返り変形を規制する手段とを備える。 （もっと読む）