リペア装置のメンテナンス機構
【課題】大型化した装置に対して、メンテナンス時の作業性を向上させる。
【解決手段】リペア対象板が載置されるワークテーブルと、当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置のメンテナンス機構である。このメンテナンス機構を、上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成した。
【解決手段】リペア対象板が載置されるワークテーブルと、当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置のメンテナンス機構である。このメンテナンス機構を、上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型のリペア装置の内部でメンテナンスを行う際に用いるリペア装置のメンテナンス機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
大型のリペア装置の場合は、外部からメンテナンスを行うのは容易でないため、内部に作業者が入ってメンテナンスを行う必要がある。この場合、内部にリペアユニット等の種々の機器があるため、足場を確保せずにメンテナンスを行うのは難しく、不用意に装置内へ入ると、機器の破損等の不具合を招く恐れがある。このため、予めメンテナンス機構が組み込まれているリペア装置がある。このような例として特許文献１の検査装置がある。
【０００３】
この特許文献１の検査装置は、フレームと、検査すべき表示用基板を受けるチャックと、該チャックに受けられた基板の電極に電気的に接続される複数の接触子を備えた接触子組立体であってチャックの上方に位置して上記フレームに配置された接触子組立体と、作業者が乗ることができる作業ステージとを含んで構成されている。上記作業ステージは、検査装置の筺体の上部位置に配置されている。作業者は、保守点検作業や部品交換作業を作業ステージに乗った状態で行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−６２３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１の検査装置では、ほぼ立方体状の筺体の上側面に備えた作業床に作業者が乗って、メンテナンス作業を行う。この場合、中央が開口した矩形の作業床に乗った作業者が、中央の開口からプローブブロック等に手を伸ばしてメンテナンス作業を行う。
【０００６】
しかし、この場合、検査装置があまり大きくなければ問題ないが、検査対象の基板の大型化に伴って検査装置が大型化すると、作業性が悪くなる。即ち、検査装置の大型化により、作業床からプローブブロック等までの距離が遠くなると、作業者の手が届かなくなって、メンテナンスの作業性が悪くなるという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、大型化した装置に対してメンテナンス箇所に作業者の手が容易に届くようにしてメンテナンス時の作業性を向上させたリペア装置のメンテナンス機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るリペア装置のメンテナンス機構は、リペア対象板が載置されるワークテーブルと、当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置において、上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
上記構成により、大型化した装置に対してメンテナンス時の作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係るリペア装置の要部及びメンテナンス機構を示す斜視図である。
【図２】図１のリペア装置（メンテナンス機構を除く）を示す平面図である。
【図３】図１のリペア装置（メンテナンス機構を除く）を示す正面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るリペア装置のメンテナンス機構を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態に係るリペア装置のメンテナンス機構について、添付図面を参照しながら説明する。本発明に係るリペア装置は、液晶ディスプレイ等のリペア対象板の表面に形成された回路等のリペアを行うための装置である。リペア装置のメンテナンス機構は、リペア装置の立上時の調整や、清掃、不測のトラブル発生時等のメンテナンスの際に用いる機構である。
【００１２】
まず、リペア装置について説明する。リペア装置は、筺体(図示せず)と、当該筺体内に収納されたワークテーブルやリペアユニット等の機器とから構成されている。
【００１３】
筺体内の機器としては種々のものがあるが、その主要部品について説明する。リペア装置の筺体内には、図１〜３に示すように主に、ワークテーブル１と、ガイドレール２と、門型ステージ３と、リペアユニット４とを備えている。
【００１４】
ワークテーブル１は、液晶ディスプレイ等のリペア対象板を載置するためのテーブルである。ワークテーブル１は、架台５の上側面に設置されている。
【００１５】
ガイドレール２は、門型ステージ３を支持するためのレールである。ガイドレール２は、架台５の上側面のうち、ワークテーブル１の両側に２つ並列に配置されている。これにより、各ガイドレール２は、Ｘ方向（図２の左右方向）に配置されている。ガイドレール２は、長尺の長方体状（断面四角形の棒状）に形成されている。ガイドレール２の上側面に、２本のレール部７が並列に設けられている。このレール部７に門型ステージ３がスライド可能に支持されている。ガイドレール２はワークテーブル１との間に隙間を空けて配設されている。これにより、ガイドレール２とワークテーブル１との間にガイド溝８が形成されている。ガイド溝８は、後述するメンテナンス機構２１の足台２２の嵌合棒部２９をスライド可能に案内する溝である。
【００１６】
門型ステージ３は、リペアユニット４を支持してリペア対象位置に移動させるための装置である。門型ステージ３は、スライドガイド１０と、梁部１１と、レール部１２とから構成されている。
【００１７】
スライドガイド１０は、ガイドレール２に移動可能に支持されて、リペアユニット４のＸ方向への移動を案内するための部材である。スライドガイド１０は、各ガイドレール２上のレール部７にスライド可能に嵌合されている。スライドガイド１０には、直動機構(図示せず)が設けられている。
【００１８】
梁部１１は、ワークテーブル１上に架け渡される部材である。梁部１１は、リペアユニット４を、Ｙ方向（ガイドレール２の長手方向（Ｘ方向）と直交する方向）に移動可能に支持する。梁部１１の両端部にはスライドガイド１０が固定されている。これにより、２つのスライドガイド１０が各ガイドレール２のレール部７にそれぞれスライド可能に嵌合されることで、梁部１１が上記ワークテーブル１上に架け渡して設けられている。
【００１９】
レール部１２は、リペアユニット４をＹ方向に移動可能に支持するための部材である。レール部１２は、梁部１１の側面に取り付けられることで、Ｙ方向に配設されている。レール部１２は、２本並列に配設されている。
【００２０】
リペアユニット４は、ワークテーブル１に載置されたリペア対象板上の回路等をリペアするための装置である。リペアユニット４は主に、光学系、カメラ、レーザー装置、塗布ユニット等（いずれも図示せず）を備えて構成されている。さらに、リペアユニット４の背面（図２の左側面）には、スライドガイド１４が設けられている。スライドガイド１４は、リペアユニット４をＹ方向に移動させるための装置である。スライドガイド１４は、梁部１１のレール部１２にスライド可能に嵌合されて、リペアユニット４をＹ方向にスライド可能に支持している。スライドガイド１４には、直動機構(図示せず)が設けられている。
さらに、架台５の上側面には、作業者の足場となる作業用通路１６が設けられている。この作業用通路１６は、作業者が使用する通路である。作業用通路１６は、メンテナンス時には作業者が足場として使用する。作業用通路１６は、２つのガイドレール２のうちの一方の外側（図３の右側のガイドレール２の右外側）に配設されている。作業用通路１６は、ガイドレール２とほぼ同じ長さに設定されている。作業用通路１６とガイドレール２との間隔は、上記ガイド溝８とほぼ同じか、ガイド溝８よりも広く設定されている。これにより、作業用通路１６とガイドレール２との間に、足台２２の嵌合棒部２９が嵌合できるようになっている。
【００２１】
次に、メンテナンス機構２１について説明する。メンテナンス機構２１は、リペア装置内でメンテナンスをする必要が生じたときに用いる機構である。メンテナンス機構２１は、図１，４に示すように、足台２２と、天板２３とから構成されている。
【００２２】
足台２２は、上記各ガイドレール２にそれぞれ嵌合されて、天板２３を支持するための部材である。足台２２は、上記天板２３を直接支持する支持板部２５と、上記ガイドレール２に嵌合する嵌合脚部２６とから構成されている。
【００２３】
支持板部２５は、上記天板２３を支持する平板部２５Ａと、当該平板部２５Ａの両側に設けられ上記天板２３の幅方向両側を支持する縦板部２５Ｂとから構成されている。
【００２４】
嵌合脚部２６は、支持板部２５の四隅の位置に４本設けられている。嵌合脚部２６は、嵩上げ部２８と、嵌合棒部２９とから構成されている。
【００２５】
嵩上げ部２８は、上記天板２３を支持する位置をガイドレール２の上方に嵩上げするための部分である。嵩上げ部２８は、支持板部２５の周囲から下方へ垂下された板材で構成されている。嵩上げ部２８は、嵌合棒部２９よりもその幅を広く形成されている。これにより、嵩上げ部２８の下端部には、嵌合棒部２９が一体的に設けられていると共に、ガイドレール２への当接面２８Ａが形成されている。この当接面２８Ａがガイドレール２の上側面に当接することで、嵩上げ部２８により、上記天板２３を支持する位置を上方へ嵩上げしている。
【００２６】
嵌合棒部２９は、上記ガイド溝８に嵌合する部分である。嵌合棒部２９は、嵩上げ部２８よりも狭い幅の棒状に形成されている。嵌合棒部２９の幅は、ガイド溝８よりも狭い幅に設定されている。さらに、対向する２つの嵌合棒部２９（Ｙ方向に並んだ２つの嵌合棒部２９）の間隔は、ガイドレール２の幅よりも僅かに広く設定されている。なお、嵌合棒部２９の幅は、ガイド溝８の幅よりも僅かに狭い幅に設定してもよい。これにより、Ｘ方向に並んだ２つの嵌合棒部２９がガイド溝８に嵌合し、Ｙ方向に並んだ２つの嵌合棒部２９がガイドレール２を挟むように嵌合することで、足台２２がガイドレール２に容易に且つ安定して嵌合するようになっている。さらに、嵩上げ部２８の当接面２８Ａがガイドレール２の上側面に当接して、上記天板２３を支持する位置を上方へ確実に嵩上げして支持するようになっている。
【００２７】
さらに、嵌合棒部２９がガイド溝８に案内されてスムーズにスライドし、足台２２がガイドレール２の長手方向に容易に移動するようになっている。
【００２８】
なお、足台２２には、方向性はなく、縦板部２５Ｂと天板２３の方向があっていればよい。縦板部２５Ｂと天板２３の方向があっていれば、足台２２を１８０度向きを変えてガイドレール２に嵌合してもよい。
【００２９】
天板２３は、各足台２２に載置されて上記ワークテーブル１上に架け渡される板材である。作業者は、ワークテーブル１上に架け渡された天板２３に乗ってメンテナンス作業を行う。天板２３は、上記支持板部２５の２つ縦板部２５Ｂの間隔よりも狭く又はほぼ同じ幅に形成されている。なお、天板２３は２つの足台２２に載置されるため、ガイドレール２に設置された２つの足台２２が多少ずれても、天板２３を足台２２の支持板部２５に確実に載置できるように、天板２３の幅を２つ縦板部２５Ｂの間隔よりも大幅に狭く、かつ作業者が十分に乗れる幅に設定するようにしてもよい。
【００３０】
天板２３の長手方向両端には、フランジ部２３Ａが形成されている。このフランジ部２３Ａは、上記２つ縦板部２５Ｂの間隔よりも広く形成されて、上記各縦板部２５Ｂに係止して（図１の状態）、天板２３の抜け落ちを防止する。
【００３１】
以上のワークテーブル１、ガイドレール２、門型ステージ３、リペアユニット４及び架台５等は、すべてリペア装置の筺体内に組み込まれている。メンテナンス機構２１は、メンテナンス時に筺体内に組み込まれる。この筺体は、リペア装置の種類によって異なるが、フレームだけのもの、フレームに壁板を設けたもの等がある。
【００３２】
以上のように構成されたリペア装置及びメンテナンス機構２１は、次のようにして使用される。
【００３３】
リペア装置では、ワークテーブル１にリペア対象板が載置されて、このリペア対象板のリペア位置にリペアユニット４が移動される。具体的には、門型ステージ３のスライドガイド１０がガイドレール２に案内されて移動し、リペアユニット４がレール部１２に案内されて移動することで、リペアユニット４がリペア対象板のリペア位置に移動される。
【００３４】
次いで、リペアユニット４が作動してレーザー光等でリペア処理が施される。
【００３５】
リペア装置の一定期間の使用等によりメンテナンスが必要になると、メンテナンス機構２１を用いる。
【００３６】
この場合はまず、メンテナンス機構２１の足台２２をガイドレール２に設置する。具体的には、Ｙ方向に並んだ２つ嵌合脚部２６の嵌合棒部２９がガイドレール２を挟むようにして、嵌合棒部２９をガイド溝８に嵌合して、２つの足台２２を２つのガイドレール２にそれぞれ設置する。次に、２つの足台２２を互いに整合する位置に合わせる。
【００３７】
このとき、嵌合脚部２６の嵩上げ部２８の当接面２８Ａがガイドレール２の上側面に当接して、平板部２５Ａをガイドレール２よりも上方へ嵩上げする。
【００３８】
次いで、天板２３を２つの足台２２に架け渡す。具体的には、天板２３を、各足台２２の平板部２５Ａに載置して、フランジ部２３Ａを各縦板部２５Ｂの外側（図１中の右上から左下方向の外側）に当接させて引っかける。
【００３９】
次いで、作業者は、作業用通路１６及びメンテナンス機構２１の天板２３上を適宜移動して門型ステージ３のリペアユニット４やワークテーブル１等のメンテナンスを行う。
【００４０】
足場をずらす場合は、天板２３をかけたままで２つの足台２２を同時にずらしたり、天板２３を一旦持ち上げて２つの足台２２をずらした後、天板２３を各足台２２に載置したりする。
【００４１】
以上のように、メンテナンス機構２１を用いて、リペア装置内にメンテナンス作業のための足場を確実に確保することができるため、大型化した装置に対してメンテナンス箇所に作業者の手が容易に届くようになり、メンテナンス時の作業性が向上する。
【００４２】
[変形例]
上記実施形態では、作業用通路１６を、上記２つのガイドレール２のうちの一方のガイドレール２の外側（図３の右側のガイドレール２の右側）に設けたが、他方のガイドレール２の外側（図３の左側のガイドレール２の左側）に設けてもよい。また、スペースに余裕があれば、２つのガイドレール２のうちの両方のガイドレール２の外側（図３の左右のガイドレール２の左側及び右側）に、作業用通路１６をそれぞれ設けるようにしてもよい。
【００４３】
上記実施形態では、足台２２を、天板２３が１枚設置できる寸法に設定したが、平板部２５Ａの幅を広げて天板２３を２枚又は３枚以上設置できる寸法に設定してもよい。即ち、足台２２を、メンテナンス作業時に必要な足場面積を確保するのに必要な枚数の天板２３を設置できる寸法に設定する。また、両方とも寸法を変えた複数種類の足台２２と天板２３を用意して、メンテナンス作業時に必要な足場面積に合わせて用いてもよい。
【００４４】
上記実施形態では、足台２２と天板２３とを別部材として構成したが、これらを一体の部材として構成してもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１：ワークテーブル、２：ガイドレール、３：門型ステージ、４：リペアユニット、５：架台、７：レール部、８：ガイド溝、１０：スライドガイド、１１：梁部、１２：レール部、１４：スライドガイド、１６：作業用通路、２１：メンテナンス機構、２２：足台、２３：天板、２３Ａ：フランジ部、２５：支持板部、２５Ａ：平板部、２５Ｂ：縦板部、２６：嵌合脚部、２８：嵩上げ部、２８Ａ：当接面、２９：嵌合棒部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型のリペア装置の内部でメンテナンスを行う際に用いるリペア装置のメンテナンス機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
大型のリペア装置の場合は、外部からメンテナンスを行うのは容易でないため、内部に作業者が入ってメンテナンスを行う必要がある。この場合、内部にリペアユニット等の種々の機器があるため、足場を確保せずにメンテナンスを行うのは難しく、不用意に装置内へ入ると、機器の破損等の不具合を招く恐れがある。このため、予めメンテナンス機構が組み込まれているリペア装置がある。このような例として特許文献１の検査装置がある。
【０００３】
この特許文献１の検査装置は、フレームと、検査すべき表示用基板を受けるチャックと、該チャックに受けられた基板の電極に電気的に接続される複数の接触子を備えた接触子組立体であってチャックの上方に位置して上記フレームに配置された接触子組立体と、作業者が乗ることができる作業ステージとを含んで構成されている。上記作業ステージは、検査装置の筺体の上部位置に配置されている。作業者は、保守点検作業や部品交換作業を作業ステージに乗った状態で行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−６２３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１の検査装置では、ほぼ立方体状の筺体の上側面に備えた作業床に作業者が乗って、メンテナンス作業を行う。この場合、中央が開口した矩形の作業床に乗った作業者が、中央の開口からプローブブロック等に手を伸ばしてメンテナンス作業を行う。
【０００６】
しかし、この場合、検査装置があまり大きくなければ問題ないが、検査対象の基板の大型化に伴って検査装置が大型化すると、作業性が悪くなる。即ち、検査装置の大型化により、作業床からプローブブロック等までの距離が遠くなると、作業者の手が届かなくなって、メンテナンスの作業性が悪くなるという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、大型化した装置に対してメンテナンス箇所に作業者の手が容易に届くようにしてメンテナンス時の作業性を向上させたリペア装置のメンテナンス機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るリペア装置のメンテナンス機構は、リペア対象板が載置されるワークテーブルと、当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置において、上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
上記構成により、大型化した装置に対してメンテナンス時の作業性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係るリペア装置の要部及びメンテナンス機構を示す斜視図である。
【図２】図１のリペア装置（メンテナンス機構を除く）を示す平面図である。
【図３】図１のリペア装置（メンテナンス機構を除く）を示す正面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るリペア装置のメンテナンス機構を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態に係るリペア装置のメンテナンス機構について、添付図面を参照しながら説明する。本発明に係るリペア装置は、液晶ディスプレイ等のリペア対象板の表面に形成された回路等のリペアを行うための装置である。リペア装置のメンテナンス機構は、リペア装置の立上時の調整や、清掃、不測のトラブル発生時等のメンテナンスの際に用いる機構である。
【００１２】
まず、リペア装置について説明する。リペア装置は、筺体(図示せず)と、当該筺体内に収納されたワークテーブルやリペアユニット等の機器とから構成されている。
【００１３】
筺体内の機器としては種々のものがあるが、その主要部品について説明する。リペア装置の筺体内には、図１〜３に示すように主に、ワークテーブル１と、ガイドレール２と、門型ステージ３と、リペアユニット４とを備えている。
【００１４】
ワークテーブル１は、液晶ディスプレイ等のリペア対象板を載置するためのテーブルである。ワークテーブル１は、架台５の上側面に設置されている。
【００１５】
ガイドレール２は、門型ステージ３を支持するためのレールである。ガイドレール２は、架台５の上側面のうち、ワークテーブル１の両側に２つ並列に配置されている。これにより、各ガイドレール２は、Ｘ方向（図２の左右方向）に配置されている。ガイドレール２は、長尺の長方体状（断面四角形の棒状）に形成されている。ガイドレール２の上側面に、２本のレール部７が並列に設けられている。このレール部７に門型ステージ３がスライド可能に支持されている。ガイドレール２はワークテーブル１との間に隙間を空けて配設されている。これにより、ガイドレール２とワークテーブル１との間にガイド溝８が形成されている。ガイド溝８は、後述するメンテナンス機構２１の足台２２の嵌合棒部２９をスライド可能に案内する溝である。
【００１６】
門型ステージ３は、リペアユニット４を支持してリペア対象位置に移動させるための装置である。門型ステージ３は、スライドガイド１０と、梁部１１と、レール部１２とから構成されている。
【００１７】
スライドガイド１０は、ガイドレール２に移動可能に支持されて、リペアユニット４のＸ方向への移動を案内するための部材である。スライドガイド１０は、各ガイドレール２上のレール部７にスライド可能に嵌合されている。スライドガイド１０には、直動機構(図示せず)が設けられている。
【００１８】
梁部１１は、ワークテーブル１上に架け渡される部材である。梁部１１は、リペアユニット４を、Ｙ方向（ガイドレール２の長手方向（Ｘ方向）と直交する方向）に移動可能に支持する。梁部１１の両端部にはスライドガイド１０が固定されている。これにより、２つのスライドガイド１０が各ガイドレール２のレール部７にそれぞれスライド可能に嵌合されることで、梁部１１が上記ワークテーブル１上に架け渡して設けられている。
【００１９】
レール部１２は、リペアユニット４をＹ方向に移動可能に支持するための部材である。レール部１２は、梁部１１の側面に取り付けられることで、Ｙ方向に配設されている。レール部１２は、２本並列に配設されている。
【００２０】
リペアユニット４は、ワークテーブル１に載置されたリペア対象板上の回路等をリペアするための装置である。リペアユニット４は主に、光学系、カメラ、レーザー装置、塗布ユニット等（いずれも図示せず）を備えて構成されている。さらに、リペアユニット４の背面（図２の左側面）には、スライドガイド１４が設けられている。スライドガイド１４は、リペアユニット４をＹ方向に移動させるための装置である。スライドガイド１４は、梁部１１のレール部１２にスライド可能に嵌合されて、リペアユニット４をＹ方向にスライド可能に支持している。スライドガイド１４には、直動機構(図示せず)が設けられている。
さらに、架台５の上側面には、作業者の足場となる作業用通路１６が設けられている。この作業用通路１６は、作業者が使用する通路である。作業用通路１６は、メンテナンス時には作業者が足場として使用する。作業用通路１６は、２つのガイドレール２のうちの一方の外側（図３の右側のガイドレール２の右外側）に配設されている。作業用通路１６は、ガイドレール２とほぼ同じ長さに設定されている。作業用通路１６とガイドレール２との間隔は、上記ガイド溝８とほぼ同じか、ガイド溝８よりも広く設定されている。これにより、作業用通路１６とガイドレール２との間に、足台２２の嵌合棒部２９が嵌合できるようになっている。
【００２１】
次に、メンテナンス機構２１について説明する。メンテナンス機構２１は、リペア装置内でメンテナンスをする必要が生じたときに用いる機構である。メンテナンス機構２１は、図１，４に示すように、足台２２と、天板２３とから構成されている。
【００２２】
足台２２は、上記各ガイドレール２にそれぞれ嵌合されて、天板２３を支持するための部材である。足台２２は、上記天板２３を直接支持する支持板部２５と、上記ガイドレール２に嵌合する嵌合脚部２６とから構成されている。
【００２３】
支持板部２５は、上記天板２３を支持する平板部２５Ａと、当該平板部２５Ａの両側に設けられ上記天板２３の幅方向両側を支持する縦板部２５Ｂとから構成されている。
【００２４】
嵌合脚部２６は、支持板部２５の四隅の位置に４本設けられている。嵌合脚部２６は、嵩上げ部２８と、嵌合棒部２９とから構成されている。
【００２５】
嵩上げ部２８は、上記天板２３を支持する位置をガイドレール２の上方に嵩上げするための部分である。嵩上げ部２８は、支持板部２５の周囲から下方へ垂下された板材で構成されている。嵩上げ部２８は、嵌合棒部２９よりもその幅を広く形成されている。これにより、嵩上げ部２８の下端部には、嵌合棒部２９が一体的に設けられていると共に、ガイドレール２への当接面２８Ａが形成されている。この当接面２８Ａがガイドレール２の上側面に当接することで、嵩上げ部２８により、上記天板２３を支持する位置を上方へ嵩上げしている。
【００２６】
嵌合棒部２９は、上記ガイド溝８に嵌合する部分である。嵌合棒部２９は、嵩上げ部２８よりも狭い幅の棒状に形成されている。嵌合棒部２９の幅は、ガイド溝８よりも狭い幅に設定されている。さらに、対向する２つの嵌合棒部２９（Ｙ方向に並んだ２つの嵌合棒部２９）の間隔は、ガイドレール２の幅よりも僅かに広く設定されている。なお、嵌合棒部２９の幅は、ガイド溝８の幅よりも僅かに狭い幅に設定してもよい。これにより、Ｘ方向に並んだ２つの嵌合棒部２９がガイド溝８に嵌合し、Ｙ方向に並んだ２つの嵌合棒部２９がガイドレール２を挟むように嵌合することで、足台２２がガイドレール２に容易に且つ安定して嵌合するようになっている。さらに、嵩上げ部２８の当接面２８Ａがガイドレール２の上側面に当接して、上記天板２３を支持する位置を上方へ確実に嵩上げして支持するようになっている。
【００２７】
さらに、嵌合棒部２９がガイド溝８に案内されてスムーズにスライドし、足台２２がガイドレール２の長手方向に容易に移動するようになっている。
【００２８】
なお、足台２２には、方向性はなく、縦板部２５Ｂと天板２３の方向があっていればよい。縦板部２５Ｂと天板２３の方向があっていれば、足台２２を１８０度向きを変えてガイドレール２に嵌合してもよい。
【００２９】
天板２３は、各足台２２に載置されて上記ワークテーブル１上に架け渡される板材である。作業者は、ワークテーブル１上に架け渡された天板２３に乗ってメンテナンス作業を行う。天板２３は、上記支持板部２５の２つ縦板部２５Ｂの間隔よりも狭く又はほぼ同じ幅に形成されている。なお、天板２３は２つの足台２２に載置されるため、ガイドレール２に設置された２つの足台２２が多少ずれても、天板２３を足台２２の支持板部２５に確実に載置できるように、天板２３の幅を２つ縦板部２５Ｂの間隔よりも大幅に狭く、かつ作業者が十分に乗れる幅に設定するようにしてもよい。
【００３０】
天板２３の長手方向両端には、フランジ部２３Ａが形成されている。このフランジ部２３Ａは、上記２つ縦板部２５Ｂの間隔よりも広く形成されて、上記各縦板部２５Ｂに係止して（図１の状態）、天板２３の抜け落ちを防止する。
【００３１】
以上のワークテーブル１、ガイドレール２、門型ステージ３、リペアユニット４及び架台５等は、すべてリペア装置の筺体内に組み込まれている。メンテナンス機構２１は、メンテナンス時に筺体内に組み込まれる。この筺体は、リペア装置の種類によって異なるが、フレームだけのもの、フレームに壁板を設けたもの等がある。
【００３２】
以上のように構成されたリペア装置及びメンテナンス機構２１は、次のようにして使用される。
【００３３】
リペア装置では、ワークテーブル１にリペア対象板が載置されて、このリペア対象板のリペア位置にリペアユニット４が移動される。具体的には、門型ステージ３のスライドガイド１０がガイドレール２に案内されて移動し、リペアユニット４がレール部１２に案内されて移動することで、リペアユニット４がリペア対象板のリペア位置に移動される。
【００３４】
次いで、リペアユニット４が作動してレーザー光等でリペア処理が施される。
【００３５】
リペア装置の一定期間の使用等によりメンテナンスが必要になると、メンテナンス機構２１を用いる。
【００３６】
この場合はまず、メンテナンス機構２１の足台２２をガイドレール２に設置する。具体的には、Ｙ方向に並んだ２つ嵌合脚部２６の嵌合棒部２９がガイドレール２を挟むようにして、嵌合棒部２９をガイド溝８に嵌合して、２つの足台２２を２つのガイドレール２にそれぞれ設置する。次に、２つの足台２２を互いに整合する位置に合わせる。
【００３７】
このとき、嵌合脚部２６の嵩上げ部２８の当接面２８Ａがガイドレール２の上側面に当接して、平板部２５Ａをガイドレール２よりも上方へ嵩上げする。
【００３８】
次いで、天板２３を２つの足台２２に架け渡す。具体的には、天板２３を、各足台２２の平板部２５Ａに載置して、フランジ部２３Ａを各縦板部２５Ｂの外側（図１中の右上から左下方向の外側）に当接させて引っかける。
【００３９】
次いで、作業者は、作業用通路１６及びメンテナンス機構２１の天板２３上を適宜移動して門型ステージ３のリペアユニット４やワークテーブル１等のメンテナンスを行う。
【００４０】
足場をずらす場合は、天板２３をかけたままで２つの足台２２を同時にずらしたり、天板２３を一旦持ち上げて２つの足台２２をずらした後、天板２３を各足台２２に載置したりする。
【００４１】
以上のように、メンテナンス機構２１を用いて、リペア装置内にメンテナンス作業のための足場を確実に確保することができるため、大型化した装置に対してメンテナンス箇所に作業者の手が容易に届くようになり、メンテナンス時の作業性が向上する。
【００４２】
[変形例]
上記実施形態では、作業用通路１６を、上記２つのガイドレール２のうちの一方のガイドレール２の外側（図３の右側のガイドレール２の右側）に設けたが、他方のガイドレール２の外側（図３の左側のガイドレール２の左側）に設けてもよい。また、スペースに余裕があれば、２つのガイドレール２のうちの両方のガイドレール２の外側（図３の左右のガイドレール２の左側及び右側）に、作業用通路１６をそれぞれ設けるようにしてもよい。
【００４３】
上記実施形態では、足台２２を、天板２３が１枚設置できる寸法に設定したが、平板部２５Ａの幅を広げて天板２３を２枚又は３枚以上設置できる寸法に設定してもよい。即ち、足台２２を、メンテナンス作業時に必要な足場面積を確保するのに必要な枚数の天板２３を設置できる寸法に設定する。また、両方とも寸法を変えた複数種類の足台２２と天板２３を用意して、メンテナンス作業時に必要な足場面積に合わせて用いてもよい。
【００４４】
上記実施形態では、足台２２と天板２３とを別部材として構成したが、これらを一体の部材として構成してもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１：ワークテーブル、２：ガイドレール、３：門型ステージ、４：リペアユニット、５：架台、７：レール部、８：ガイド溝、１０：スライドガイド、１１：梁部、１２：レール部、１４：スライドガイド、１６：作業用通路、２１：メンテナンス機構、２２：足台、２３：天板、２３Ａ：フランジ部、２５：支持板部、２５Ａ：平板部、２５Ｂ：縦板部、２６：嵌合脚部、２８：嵩上げ部、２８Ａ：当接面、２９：嵌合棒部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リペア対象板が載置されるワークテーブルと、
当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、
当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、
当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置において、
上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、
当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成されたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【請求項２】
請求項１に記載のリペア装置のメンテナンス機構において、
上記各ガイドレールが上記ワークテーブルとの間に隙間を空けて配設されて、これらの間にガイド溝を形成し、
上記足台が、上記天板を支持する支持板部と、上記ガイドレールに嵌合する嵌合脚部とから構成され、
上記嵌合脚部が、上記天板を支持する位置を上方へ嵩上げする嵩上げ部と、上記ガイド溝に嵌合する嵌合棒部とから構成されたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【請求項３】
請求項２に記載のリペア装置のメンテナンス機構において、
上記足台の上記支持板部が、上記天板を支持する平板部と、当該平板部の両側に設けられ上記天板の幅方向両側を支持する縦板部とからなり、
上記天板が、上記２つ縦板部の間隔よりも狭く形成されると共に、その長手方向両端に上記２つ縦板部の間隔よりも広く形成され上記各縦板部に係止して天板の抜け落ちを防止するフランジ部を備えたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか1項に記載のリペア装置のメンテナンス機構において、
上記２つのガイドレールのうちの一方のガイドレールの外側又は両方のガイドレールの外側に、作業用通路を設けたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【請求項１】
リペア対象板が載置されるワークテーブルと、
当該ワークテーブルの両側に配置されたガイドレールと、
当該各ガイドレールに移動可能に支持されて上記ワークテーブル上に架け渡される門型ステージと、
当該門型ステージに上記ガイドレールと直交する方向にスライド可能に支持されて上記ワークテーブル上の上記リペア対象板をリペアするリペアユニットとを備えたリペア装置において、
上記各ガイドレールにそれぞれ嵌合する足台と、
当該各足台に載置されて上記ワークテーブル上に架け渡される天板とから構成されたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【請求項２】
請求項１に記載のリペア装置のメンテナンス機構において、
上記各ガイドレールが上記ワークテーブルとの間に隙間を空けて配設されて、これらの間にガイド溝を形成し、
上記足台が、上記天板を支持する支持板部と、上記ガイドレールに嵌合する嵌合脚部とから構成され、
上記嵌合脚部が、上記天板を支持する位置を上方へ嵩上げする嵩上げ部と、上記ガイド溝に嵌合する嵌合棒部とから構成されたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【請求項３】
請求項２に記載のリペア装置のメンテナンス機構において、
上記足台の上記支持板部が、上記天板を支持する平板部と、当該平板部の両側に設けられ上記天板の幅方向両側を支持する縦板部とからなり、
上記天板が、上記２つ縦板部の間隔よりも狭く形成されると共に、その長手方向両端に上記２つ縦板部の間隔よりも広く形成され上記各縦板部に係止して天板の抜け落ちを防止するフランジ部を備えたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか1項に記載のリペア装置のメンテナンス機構において、
上記２つのガイドレールのうちの一方のガイドレールの外側又は両方のガイドレールの外側に、作業用通路を設けたことを特徴とするリペア装置のメンテナンス機構。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１２−２１８８２３（Ｐ２０１２−２１８８２３Ａ）
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−８２９４１（Ｐ２０１１−８２９４１）
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【出願人】（０００１５３０１８）株式会社日本マイクロニクス (349)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月１２日（２０１２．１１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月４日（２０１１．４．４）
【出願人】（０００１５３０１８）株式会社日本マイクロニクス (349)
【Ｆターム（参考）】
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